JPH0435106B2 - - Google Patents

Info

Publication number
JPH0435106B2
JPH0435106B2 JP59239292A JP23929284A JPH0435106B2 JP H0435106 B2 JPH0435106 B2 JP H0435106B2 JP 59239292 A JP59239292 A JP 59239292A JP 23929284 A JP23929284 A JP 23929284A JP H0435106 B2 JPH0435106 B2 JP H0435106B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electrode
mos transistor
charge
shift register
capacitor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP59239292A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS60167578A (ja
Inventor
Aruku Maruku
Myunie Berunaaru
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Thales SA
Original Assignee
Thomson CSF SA
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Thomson CSF SA filed Critical Thomson CSF SA
Publication of JPS60167578A publication Critical patent/JPS60167578A/ja
Publication of JPH0435106B2 publication Critical patent/JPH0435106B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N5/00Details of television systems
    • H04N5/30Transforming light or analogous information into electric information
    • H04N5/33Transforming infrared radiation
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N25/00Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
    • H04N25/70SSIS architectures; Circuits associated therewith
    • H04N25/76Addressed sensors, e.g. MOS or CMOS sensors
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N23/00Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof
    • H04N23/20Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof for generating image signals from infrared radiation only
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N25/00Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
    • H04N25/70SSIS architectures; Circuits associated therewith
    • H04N25/76Addressed sensors, e.g. MOS or CMOS sensors
    • H04N25/779Circuitry for scanning or addressing the pixel array
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N3/00Scanning details of television systems; Combination thereof with generation of supply voltages
    • H04N3/10Scanning details of television systems; Combination thereof with generation of supply voltages by means not exclusively optical-mechanical
    • H04N3/14Scanning details of television systems; Combination thereof with generation of supply voltages by means not exclusively optical-mechanical by means of electrically scanned solid-state devices
    • H04N3/15Scanning details of television systems; Combination thereof with generation of supply voltages by means not exclusively optical-mechanical by means of electrically scanned solid-state devices for picture signal generation
    • H04N3/1506Scanning details of television systems; Combination thereof with generation of supply voltages by means not exclusively optical-mechanical by means of electrically scanned solid-state devices for picture signal generation with addressing of the image-sensor elements
    • H04N3/1512Scanning details of television systems; Combination thereof with generation of supply voltages by means not exclusively optical-mechanical by means of electrically scanned solid-state devices for picture signal generation with addressing of the image-sensor elements for MOS image-sensors, e.g. MOS-CCD

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Multimedia (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
  • Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
  • Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は低温構用の赤外線検出装置に係る。
1982年4月1日に刊行された雑誌“Electro−
nics Letters”第18巻、7号、285−287頁に所収
の論文“Electronically Scanned C.M.T.
detector array for the 8−14 micrometer
band”中には、添付の第1図について以下に説
明するような赤外領域用感光デバイスが開示され
ている。
該デバイスは、半導体基板上に集積されたN行
×M列の赤外検出器のアレーから構成されてい
る。第1図ではM=N=3とする。検出器D11
D21,D31……D12,D22,D32……は、カドミウ
ム・水銀・テルル化物(C.M.T.)半導体基板上
に集積されたフオトダイオードであり、各フオト
ダイオードはMOSトランジスタT1に連結されて
いる。第1図中、各フオトダイオードのアノード
は接地に、カソードはMOSトランジスタT1に接
続されている。水平方向電極から成る第1のアレ
ーは、同一行の検出器に連結されたMOSトラン
ジスタT1を相互に接続している。鉛直方向の電
極から成る第2のアレーは、同一列の検出器に連
結されたMOSトランジスタT1のゲートを相互に
接続している。第1シフトレジスタは、第2のア
レーの各電極を逐次アドレスさせ得る。第2のア
レーの電極がアドレスされると、この電極に接続
された検出器、第1図の例では検出器D11,D12
D13により受取られた赤外輻射に対応する電荷が
積分される。電荷の積分及び読出しは、積分器と
してキヤパシタC1,C2,C3と共に負入力及び出
力間に接続されておりかつ第1のアレーの各電極
に接続されている演算増幅器により行われる。マ
ルテプレクサは増幅器の出力を受取り、所定列の
検出器内で積分された電荷を読出すための信号列
Sに供給する。こうして次列の検出器D21,D22
D23の電荷の積分が開始される。
第1のMOSトランジスタT1及び第1シフトレ
ジスタは、赤外検出器を支持する基板に接続され
たシリコン半導体基板上に集積されている。第1
のMOSトランジスタT1及び第1のシフトレジス
タは、赤外検出器と同一の77°Kの低温槽に配置
されている。
ここに付随し、本発明によつて解決された問題
は、積分器として接続する演算増幅器を低温槽の
内側に配置できないという点である。該演算増幅
器は消費電力が大きく、従つて温度が高いので、
低温槽に配置すると問題が生じる。更に、消費量
が大きいため分離素子として構成しなければなら
ず、広いスペースが必要になる。
この結果、低温槽とデバイスの残部との間に多
数の結線を形成しなければならない。更に、低温
槽と演算増幅器との間の結線は、渦電流に敏感な
低レベルの信号を搬送する。
本発明の目的は前述の問題点を解決できる低温
槽用の赤外線検出装置を提供することにある。
本発明によれば前記目的は、第1の半導体基板
上に集積されたN行×M列の赤外検出器のアレー
と、赤外検出器の各行毎に夫々設けられた複数の
第1電極と、赤外検出器の各列毎に夫々設けられ
た複数の第2電極と、一つの赤外検出器と該一つ
の赤外検出器と同一行の第1電極との間に夫々接
続された複数の第1MOSトランジスタと、各第2
電極と接続されており第2電極の配置順に各第2
電極を逐次アドレスする第1シフトレジスタと、
一つの第1MOSトランジスタのゲートを制御すべ
く一つの第1MOSトランジスタのゲート及び該一
つの第1MOSトランジスタと同一列の第2電極の
間に夫々接続された複数の第2MOSトランジスタ
と、一つの第1電極に第1MOSトランジスタと介
して接続された赤外検出器から逐次転送される電
荷を蓄積すべく基準電位と一つの第1電極との間
に夫々接続された複数のキヤパシタと、電荷を出
力する出力端子と、キヤパシタに蓄積された電荷
を出力端子へ転送すべく一つの第1電極と前記出
力端子との間に夫々接続された複数の第3MOSト
ランジスタと、各第2MOSトランジスタと各第
3MOSトランジスタの夫々のゲートと接続されて
おり、キヤパシタに蓄積された電荷を第1電極の
配置順にキヤパシタから逐次出力端子へ転送させ
る一方で、第1シフトレジスタが一つの第2電極
をアドレスしている場合には第1シフトレジスタ
によりアドレスされた一つの第2電極と同一列の
赤外検出器から転送された電荷を、電荷が前記出
力端子へ転送されていない対応するキヤパシタに
蓄積させるように各第2MOSトランジスタ及び各
第3MOSトランジスタの夫々のゲートをアドレス
する第2シフトレジスタとを含み、第1シフトレ
ジスタは一つの第2電極をアドレスしたときに電
荷が各キヤパシタから前記出力端子へ転送されて
のち、他の第2電極をアドレスするように構成さ
れており、第1MOSトランジスタ、第2MOSトラ
ンジスタ、第3MOSトランジスタ、第1シフトレ
ジスタ、第2シフトレジスタ及びキヤパシタの
夫々が第2の半導体基板上に集積されるように構
成されている低温槽用の赤外線検出装置によつて
達成される。
本発明の装置においては、複数のキヤパシタは
夫々赤外検出器から逐次転送される電荷を蓄積
し、第2シフトレジスタはキヤパシタに蓄積され
た電荷を第1電極の配置順にキヤパシタから逐次
出力端子へ転送させる一方で、第1シフトレジス
タが一つの第2電極をアドレスしている場合には
第1シフトレジスタによりアドレスされた一つの
第2電極と同一列の赤外検出器から転送された電
荷を、電荷が前記出力端子へ転送されていない対
応するキヤパシタに蓄積させるように各第2MOS
トランジスタ及び各第3MOSトランジスタの夫々
のゲートをアドレスし、第1シフトレジスタは一
つの第2電極をアドレスしたときに電荷が各キヤ
パシタから出力端子へ転送されてのち、他の第2
電極をアドレスするように構成されているが故
に、増幅器を必要としないので増幅器の作動によ
る低温槽の内部温度の上昇がなく照射された赤外
線に応じた電荷を確実にかつ少ない消費電力で検
出し得る。
本発明の実施例においては、第1の半導体基板
上に集束されたN行×M列の赤外検出器のアレー
と、一方が同一行の検出器、他方が同一列の検出
器に割当てられている2個の電極アレーと、各検
出器と第1のアレーの電極との間に接続された第
1のMOSトランジスタと、第2のアレーの電極
を順次アドレスする第1のシフトレジスタとを備
えており、第1のMOSトランジスタと第1のレ
ジスタとが第2の半導体基板上に集積されかつ検
出器と同一の低温槽に配置されている赤外領域用
感光デバイスに係り、該デバイスは更に、第1の
MOSトランジスタの各ゲートと第2のアレーの
電極との間に接続された第2のMOSトランジス
タと、第1のアレーの各電極と基準電位との間に
接続されており、この電極に接続された検出器に
よる電荷を逐次蓄積し、次いで読出すべく機能す
るキヤパシタと、第1のアレーの各電極と感光デ
バイスの出力との間に接続されており、各キヤパ
シタに蓄積された電荷を読出させる第3のMOS
トランジスタと、第1のレジスタが第2のアレー
の1個の電極をアドレスする間、第1のアレーの
電極に接続された第3のMOSトランジスタのゲ
ートと第1のアレーの別の電極に接続された第1
のMOSトランジスタのゲートを制御する第2の
MOSトランジスタのゲートとを順次アドレスし、
第1のアレーの電極に接続された検出器が読出さ
れる時、第2のアレーの各電極に接続された全検
出器を順次読出させかつ第1のアレーの他の電極
の各々に接続された検出器からの電荷を積分させ
る第2のシフトレジスタとを第2の半導体基板上
に集積しておりかつ低温槽内に配置している。
本発明の他の目的、特徴及び結果は、添付図面
を参考に非限定的な実施例に関する以下の記載か
ら明らかになろう。
なお各図面中、同一素子は同一の参照符号で示
したが、分り易いように各素子の寸法及び比率は
考慮していない。
第1図については既に詳細な説明の冒頭で述べ
た。
第2図は、本発明の一実施例の線図である。
該デバイスは、2個のMOSトランジスタが各
検出器D11,D12,D13……に連結されているとい
う点において第1図のデバイスと特に異なつてお
り、第1のMOSトランジスタT1,11,T1,21……は
第1図と同様に各検出器と第1の電極アレーの水
平方向電極との間に接続されており、第2の
MOSトランジスタT2,11,T2,21……は各第1の
MOSトランジスタゲートと第2の電極アレーの
鉛直方向電極との間に接続されている。
第1図と同様に、第1のシフトレジスタは第2
のアレーの鉛直方向電極を順次アドレスする。
第1図のデバイスと第2図のデバイスとの他の
差違は、第1のアレーの水平方向電極S1,S2,S3
に接続された電荷の積分及び読出し用手段を備え
ているという点である。
第2図中、該手段は、第1のアレーの各水平方
向電極S1,S2,S3と第2の半導体基板の電位であ
り得、接地として図示されている基準電位との間
の接続されたキヤパシタC1,C2,C3……と、第
1のアレーの各水平方向電極S1,S2,S3と感光デ
バイスの出力Sとの間に接続された第3のMOS
トランジスタT31,T32,T33……と、第3の
MOSトランジスタのゲートと第1のアレーの電
極のうちで第3のMOSトランジスタが接続され
ていない電極に接続された第1のMOSトランジ
スタのゲートを制御する第2のMOSトランジス
タのゲートとを順次アドレスする第2のシフトレ
ジスタとから形成されている。
以下の記載中、第1及び第2のシフトレジスタ
はi,i+1,i+2……段の電極を逐次アドレ
スし、第2のシフトレジスタは、第1のアレーの
i+1段の電極に接続された第3のMOSトラン
ジスタのゲートと、同時に、第1のアレーのi段
の電極に接続された第1のMOSトランジスタの
ゲートを制御する第2のMOSトランジスタのゲ
ートとをアドレスするものと仮定する。
従つて、例えば第2図中、第2のレジスタの出
力Y2はトランジスタT32のゲートとトランジスタ
T2,11,T2,21,T2,31のゲートとに接続されている。
第2のレジスタの他の出力にも同様の結線が形成
されている。
本発明の実施例は、当然のことながら行列状検
出器が別の順序でアドレスされるように変形され
得る。
本発明の装置の大きな利点は、装置全体が低温
槽に配置され得、赤外検出器が第2の半導体基板
に接続された第1の半導体基板上に集積されてお
り、デバイスの残りの部分は第2の半導体基板上
に集積されているという点にある。低温槽は単一
の高レベル出力Sを有する。
第2図のデバイスの動作は従来技術のデバイス
と異つている。
この動作を第3図aからf及び第4図a,b,
cに関して以下に説明する。
第3図aからfは、第1及び第2のシフトレジ
スタの出力X1,X2,X3,Y1,Y2,Y3における
電圧VX1,VX2,VX3及びVY1,VY2,VY3を示して
いる。
各電圧VX1,VX2,VX3は、VX1,VX2,VX3……
の順で高レベルに移行する。
電圧VY1,VY2,VY3はそれぞれ電圧VX1,VX2
VX3の1個が高レベルにある各周期毎に順に高レ
ベルに移行する。第3a乃至f図中、電圧VX1
VX2,VX3の1個と電圧VY1,VY2,VY3の1個と
は常に高レベルにある。
時刻t1において、電圧VX1及びVY2は高レベルに
あり、他の電圧は低レベルにある。第2のMOS
トランジスタT2,11は導通し、第1のMOSトラン
ジスタT2,11を導通させる。検出器D11からの電荷
はキヤパシタC1に蓄積される。検出器D11からの
電荷の積分が開始すると同時に、第3のトランジ
スタT32は導通し、検出器D32から転送されてキ
ヤパシタC2に蓄積された電荷を読出す。
時刻t2において電圧VX1及びVY3は高レベルにあ
る。MOSトランジスタT2,11はゲートから低レベ
ル電圧VY2を受取り、遮断される。他方、トラン
ジスタT1,11は予めゲートに電荷が蓄積されてい
るため、導通し続ける。感光デバイス全体が冷却
された低温槽に配置されているので、トランジス
タT1,11……のゲートにおける電荷の保持が促進
される。検出器D11からの電荷は積分され続け
る。トランジスタT2,12及びT1,12は導通し、検出
器D12からの電荷をキヤパシタC2内で積分させ
る。トランジスタT32は遮断される。D32からの
電荷の読出しが終了する。トランジスタT33は導
通し、検出器D13から転送され、キヤパシタC3
蓄積された電荷が読出される。
時刻t3では、電圧VX2及びVY1が高レベルにあ
る。トランジスタT2,11は遮断されるが、トラン
ジスタT1,11は導通し続ける。検出器D11からの電
荷は積分され続ける。検出器D12からの電荷の積
分についても同様である。MOSトランジスタT33
は遮断され、検出器D13からの電荷の読出しが終
了する。他方、トランジスタT31は導通し、検出
器D11から転送され、キヤパシタC1に蓄積された
電荷を読出す。トランジスタT2,23及びT1,23は導
通し、検出器D23からの電荷の積分がキヤパシタ
C3で開始する。
時刻t4では、電圧VX2及びVY2が高レベルにあ
る。MOSトランジスタT31は遮断され、検出器
D11から転送され、キヤパシタC1に蓄積された電
荷の読出しが停止する。VX1が低レベルの間に電
圧VY2が高レベルに移行するのでトランジスタ
T2,11及びT1,11は遮断され、検出器D11からの電荷
の積分が停止する。検出器D12からの電荷の積分
が継続している間に該検出器からの電荷の読出し
が開始する。検出器D23からの電荷の積分が続け
られ、検出器D21からの電荷の積分が開始する。
トランジスタT1,11及びT2,11を例に第2図のデ
バイスの基本的な動作を説明すると、電圧VX1
びVY2が高レベルの時、MOSトランジスタT2,11
及びT1,11が導通しており、VX1が高レベルでかつ
VY2が低レベルの時、トランジスタT2,11が遮断さ
れかつゲートに蓄積された電荷によりトランジス
タT1,11が導通し続け、VX1が低レベルでかつVY2
が高レベルの時、トランジスタT2,11及びT1,11
遮断される。
第4図a,b,cは、キヤパシタC1,C2及び
C3による検出器の積分及び読出しの経時変化を
示している。
図から明らかなように、第2のアレーの各電極
に接続された検出器は逐次読出される。
従つて、検出器D13,D11,D12が読出され、次
にD23,D21,D22,D33,D31,D32、再びD13
D11,D12……の順で読出される。
水平方向電極に接続された電極が読出される
間、他の水平方向電極の各々に接続された検出器
からの電荷が積分される。従つて、D11が読出さ
れる間、D12及びD23からの電荷が積分される。
第1図のデバイスの場合と異り、検出器の積分
周期は経時的にずれている。
本発明のデバイスは利点は、検出器の行(又は
列)毎に1個のキヤパシタしか備えていないにも
拘らず電荷積分時間が向上するという点にある。
第4図から明らかなように、D11からの電荷の積
分は時刻t1からt4の間に行われるが、第1図のデ
バイスの場合、積分時間はt2−t1である。
第5図aは、例えばP型シリコンから形成され
ており、第2図のデバイスが集積される半導体基
板の横断面図である。
同図はフオトダイオードD11に接続された素子
のレベルにおける断面図である。
フオトダイオードD11は、接地として図示して
ある基準電位に接続されたアノードと、2個のダ
イオードd1及びd2と2個のゲートG1及びG2とか
ら形成された第1のMOSトランジスタT1,11に接
続されたカソードとを備えている。
第1のゲートG1は定電位とされており、フオ
トダイオードをバイアスするべく機能する。
第2のゲートG2は第2のMOSトランジスタ
T2,11(第5図a)には図示せず)により制御され
る。
電極は、第1行の検出器D11,D21,D31の第1
のトランジスタのダイオードd2を相互に接続して
いる。
電極S1は、第3のMOSトランジスタT31の一部
を構成しているダイオードd3で終端している。該
トランジスタは、定電位のゲートG3と第2のシ
フトレジスタの出力Y1に接続されたゲートG4
の2個のゲートを備えている。更にMOSトラン
ジスタT3は、デバイスの出力Sに接続されたダ
イオードd4を備えている。
キヤパシタC1は、行検出器の全ダイオードd2
キヤパシタとダイオードd3のキヤパシタとトラン
ジスタT31のゲートG3とから形成されている。
第5図b,c及びdは、半導体基板の表面電位
の経時変化を示している。
第5図bでは、時刻t1及びt2において検出器
D11による電荷がキヤパシタC1で積分される。
第5図cでは、時刻t3においてキヤパシタC1
蓄積された電荷がトランジスタT31により読出さ
れる。
第5図dでは、時刻t4においてキヤパシタC1
検出器D21からの電荷を蓄積する。
赤外感知検出器は図例のようなフオトダイオー
ドであるか、又はゲート・絶縁体・半導体型検出
器のような他の型の赤外検出器であり得る。フオ
トダイオードの場合、赤外検出器は図例のように
第2の半導体基板上に形成されたダイオード又
は、本発明のデバイスの動作を変更することなく
第2の基板上に形成されたゲートに接続され得
る。例えばフオートダイオードは、第2のMOS
トランジスタに接続された少なくとも1個の他の
ゲートを有する第1のMOSトランジスタの所定
のゲートに接続され得る。
同様に、光検出器及びデバイスの残りの部分は
各種の適切な半導体基板上に集積される。例えば
光検出器の場合、インジウム・アンチモン化物、
錫・鉛・テルル化物、カドミウム・水銀・テルル
化物等が使用される。デバイスの残りの部分は例
えばP又はN型シリコン半導体基板上に集積され
る。
更に、第1及び第2の電極アレーの電極の機能
は、当然のことながら容易に逆にすることがで
き、即ち第1のシフトレジスタを第1のアレーの
電極とキヤパシタとに接続し、第3のMOSトラ
ンジスタと第2のシフトレジスタとを第2のアレ
ーの電極に接続してもよい。
上記記載ではトランジスタT31,T32,T33が導
通するように電圧VY1,VY2,VY3を高レベルに向
つて移行させる場合について説明したが、デバイ
スがN型基板上に集積される場合、当然のことな
がら導通を生ずるべく制御信号は低レベルに向つ
て移行させられる。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来技術の赤外領域用感光デバイスの
線図、第2図は本発明の一実施例の線図、第3図
aからfは本発明の実施例の波形図、第4図a,
b,cは3行×3列の検出器を備える本発明の実
施例の積分及び読出し周期を示す線図、第5図a
からdは本発明の一実施例の横断面図及び動作説
明図である。 D11,D21,D31,……D33……検出器、T1
T1,11,……T33……MOSトランジスタ、C1,C2
C3……キヤパシタ、d1,……d4……ダイオード、
G1,……G4……ゲート。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 第1の半導体基板上に集積されたN行×M列
    の赤外検出器のアレーと、赤外検出器の各行毎に
    夫々設けられた複数の第1電極と、赤外検出器の
    各列毎に夫々設けられた複数の第2電極と、一つ
    の赤外検出器と該一つの赤外検出器と同一行の第
    1電極との間に夫々接続された複数の第1MOSト
    ランジスタと、各第2電極と接続されており第2
    電極の配置順に各第2電極を逐次アドレスする第
    1シフトレジスタと、一つの第1MOSトランジス
    タのゲートを制御すべく一つの第1MOSトランジ
    スタのゲート及び該一つの第1MOSトランジスタ
    と同一列の第2電極の間に夫々接続された複数の
    第2MOSトランジスタと、一つの第1電極に第
    1MOSトランジスタを介して接続された赤外検出
    器から逐次転送される電荷を蓄積すべく基準電位
    と一つの第1電極との間に夫々接続された複数の
    キヤパシタと、電荷を出力する出力端子と、キヤ
    パシタに蓄積された電荷を出力端子へ転送すべく
    一つの第1電極と前記出力端子との間に夫々接続
    された複数の第3MOSトランジスタと、各第
    2MOSトランジスタと各第3MOSトランジスタの
    夫々のゲートと接続されており、キヤパシタに蓄
    積された電荷を第1電極の配置順にキヤパシタか
    ら逐次出力端子へ転送させる一方で、第1シフト
    レジスタが一つの第2電極をアドレスしている場
    合には第1シフトレジスタによりアドレスされた
    一つの第2電極と同一列の赤外検出器から転送さ
    れた電荷を、電荷が前記出力端子へ転送されてい
    ない対応するキヤパシタに蓄積させるように各第
    2MOSトランジスタ及び各第3MOSトランジスタ
    の夫々のゲートをアドレスする第2シフトレジス
    タとを含み、第1シフトレジスタは一つの第2電
    極をアドレスしたときに電荷が各キヤパシタから
    前記出力端子へ転送されてのち、他の第2電極を
    アドレスするように構成されており、第1MOSト
    ランジスタ、第2MOSトランジスタ、第3MOSト
    ランジスタ、第1シフトレジスタ、第2シフトレ
    ジスタ及びキヤパシタの夫々が第2の半導体基板
    上に集積されるように構成されている低温槽用の
    赤外線検出装置。 2 赤外検出器がホトダイオードである特許請求
    の範囲第1項に記載の赤外線検出装置。
JP59239292A 1983-11-15 1984-11-13 低温槽用の赤外線検出装置 Granted JPS60167578A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR8318125A FR2554999B1 (fr) 1983-11-15 1983-11-15 Dispositif photosensible pour l'infrarouge
FR8318125 1983-11-15

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS60167578A JPS60167578A (ja) 1985-08-30
JPH0435106B2 true JPH0435106B2 (ja) 1992-06-10

Family

ID=9294118

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP59239292A Granted JPS60167578A (ja) 1983-11-15 1984-11-13 低温槽用の赤外線検出装置

Country Status (5)

Country Link
US (1) US4609824A (ja)
EP (1) EP0148654B1 (ja)
JP (1) JPS60167578A (ja)
DE (1) DE3472876D1 (ja)
FR (1) FR2554999B1 (ja)

Families Citing this family (71)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3942200A1 (de) * 1989-12-21 1991-06-27 Philips Patentverwaltung Anordnung zum auslesen einer sensormatrix
US5144422A (en) * 1991-06-24 1992-09-01 Hughes Aircraft Company Optimal television imaging system for guided missile
FR2692423B1 (fr) * 1992-06-16 1995-12-01 Thomson Csf Camera d'observation multistandard et systeme de surveillance utilisant une telle camera.
GB9226890D0 (en) * 1992-12-23 1993-02-17 Philips Electronics Uk Ltd An imaging device
GB9301405D0 (en) * 1993-01-25 1993-03-17 Philips Electronics Uk Ltd An image sensor
GB9314402D0 (en) * 1993-07-12 1993-08-25 Philips Electronics Uk Ltd An imaging device
FR2731569B1 (fr) * 1995-03-07 1997-04-25 Thomson Tubes Electroniques Dispositif de recopie de tension a grande linearite
WO1997008753A1 (en) * 1995-08-30 1997-03-06 Lockheed-Martin Ir Imaging Systems Bolometric focal plane array
US6515285B1 (en) 1995-10-24 2003-02-04 Lockheed-Martin Ir Imaging Systems, Inc. Method and apparatus for compensating a radiation sensor for ambient temperature variations
US6274869B1 (en) 1996-06-28 2001-08-14 Lockheed-Martin Ir Imaging Systems, Inc. Digital offset corrector
FR2751155B1 (fr) * 1996-07-12 1998-09-18 Commissariat Energie Atomique Dispositif de lecture pour une mosaique de detecteurs electromagnetiques, et systeme de detection equipe d'un tel dispositif
US6249002B1 (en) 1996-08-30 2001-06-19 Lockheed-Martin Ir Imaging Systems, Inc. Bolometric focal plane array
FR2753785B1 (fr) * 1996-09-25 1998-11-13 Autodirecteur d'un corps volant
FR2753796B1 (fr) * 1996-09-25 1998-11-13 Detecteur photosensible et mosaique de detecteurs photosensibles pour la detection d'eclats lumineux et applications
US6791610B1 (en) 1996-10-24 2004-09-14 Lockheed Martin Ir Imaging Systems, Inc. Uncooled focal plane array sensor
JP3918248B2 (ja) * 1997-09-26 2007-05-23 ソニー株式会社 固体撮像素子およびその駆動方法
US6517203B1 (en) 1999-07-02 2003-02-11 E-Vision, Llc System, apparatus, and method for correcting vision using electro-active spectacles
US6733130B2 (en) 1999-07-02 2004-05-11 E-Vision, Llc Method for refracting and dispensing electro-active spectacles
US6619799B1 (en) 1999-07-02 2003-09-16 E-Vision, Llc Optical lens system with electro-active lens having alterably different focal lengths
US6871951B2 (en) 2000-06-23 2005-03-29 E-Vision, Llc Electro-optic lens with integrated components
US7023594B2 (en) 2000-06-23 2006-04-04 E-Vision, Llc Electro-optic lens with integrated components
US6857741B2 (en) * 2002-01-16 2005-02-22 E-Vision, Llc Electro-active multi-focal spectacle lens
US6491391B1 (en) 1999-07-02 2002-12-10 E-Vision Llc System, apparatus, and method for reducing birefringence
US6986579B2 (en) * 1999-07-02 2006-01-17 E-Vision, Llc Method of manufacturing an electro-active lens
US6491394B1 (en) 1999-07-02 2002-12-10 E-Vision, Llc Method for refracting and dispensing electro-active spectacles
US7775660B2 (en) 1999-07-02 2010-08-17 E-Vision Llc Electro-active ophthalmic lens having an optical power blending region
US6851805B2 (en) * 1999-07-02 2005-02-08 E-Vision, Llc Stabilized electro-active contact lens
US7290876B2 (en) 1999-07-02 2007-11-06 E-Vision, Llc Method and system for electro-active spectacle lens design
US7604349B2 (en) 1999-07-02 2009-10-20 E-Vision, Llc Static progressive surface region in optical communication with a dynamic optic
US7290875B2 (en) 2004-11-02 2007-11-06 Blum Ronald D Electro-active spectacles and method of fabricating same
US7988286B2 (en) 1999-07-02 2011-08-02 E-Vision Llc Static progressive surface region in optical communication with a dynamic optic
US7264354B2 (en) * 1999-07-02 2007-09-04 E-Vision, Llc Method and apparatus for correcting vision using an electro-active phoropter
US7404636B2 (en) 1999-07-02 2008-07-29 E-Vision, Llc Electro-active spectacle employing modal liquid crystal lenses
IL152425A (en) 2000-05-01 2006-12-10 Bae Systems Information Methods and apparatus for compensating a radiation sensor for temperature variations of the sensor
JP2005505789A (ja) * 2001-10-05 2005-02-24 イー・ビジョン・エルエルシー ハイブリッド電気活性レンズ
US7030378B2 (en) 2003-08-05 2006-04-18 Bae Systems Information And Electronic Systems Integration, Inc. Real-time radiation sensor calibration
KR20060061831A (ko) 2003-08-15 2006-06-08 이-비젼 엘엘씨 향상된 전기 활성 렌즈 시스템
EP1807728A4 (en) 2004-11-02 2009-07-29 E Vision Llc ELECTROACTIVE GLASSES AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR
US8778022B2 (en) 2004-11-02 2014-07-15 E-Vision Smart Optics Inc. Electro-active intraocular lenses
US9801709B2 (en) 2004-11-02 2017-10-31 E-Vision Smart Optics, Inc. Electro-active intraocular lenses
US8931896B2 (en) 2004-11-02 2015-01-13 E-Vision Smart Optics Inc. Eyewear including a docking station
US7656569B2 (en) 2004-12-03 2010-02-02 Searete Llc Vision modification with reflected image
US8244342B2 (en) 2004-12-03 2012-08-14 The Invention Science Fund I, Llc Method and system for adaptive vision modification
US7344244B2 (en) 2004-12-03 2008-03-18 Searete, Llc Adjustable lens system with neural-based control
US7931373B2 (en) 2004-12-03 2011-04-26 The Invention Science Fund I, Llc Vision modification with reflected image
US7334892B2 (en) 2004-12-03 2008-02-26 Searete Llc Method and system for vision enhancement
US7594727B2 (en) 2004-12-03 2009-09-29 Searete Llc Vision modification with reflected image
US7470027B2 (en) 2004-12-03 2008-12-30 Searete Llc Temporal vision modification
US9155483B2 (en) 2004-12-03 2015-10-13 The Invention Science Fund I, Llc Vision modification with reflected image
US7350919B2 (en) 2004-12-03 2008-04-01 Searete Llc Vision modification with reflected image
US7334894B2 (en) 2004-12-03 2008-02-26 Searete, Llc Temporal vision modification
US7390088B2 (en) 2004-12-03 2008-06-24 Searete Llc Adjustable lens system with neural-based control
US8104892B2 (en) 2004-12-03 2012-01-31 The Invention Science Fund I, Llc Vision modification with reflected image
US7486988B2 (en) 2004-12-03 2009-02-03 Searete Llc Method and system for adaptive vision modification
US20080273166A1 (en) 2007-05-04 2008-11-06 William Kokonaski Electronic eyeglass frame
WO2008105780A2 (en) 2006-05-24 2008-09-04 Pixeloptics, Inc. Optical rangefinder for an electro-active lens
EP2030073B1 (en) 2006-06-23 2018-12-05 Mitsui Chemicals, Inc. Electronic adapter for electro-active spectacle lenses
WO2008057199A2 (en) * 2006-10-27 2008-05-15 Pixeloptics, Inc. Universal endpiece for spectacle temples
AR064985A1 (es) 2007-01-22 2009-05-06 E Vision Llc Lente electroactivo flexible
EP2115519A4 (en) 2007-02-23 2012-12-05 Pixeloptics Inc DYNAMIC OPHTHALMIC OPENING
US20080273169A1 (en) 2007-03-29 2008-11-06 Blum Ronald D Multifocal Lens Having a Progressive Optical Power Region and a Discontinuity
US7883207B2 (en) 2007-12-14 2011-02-08 Pixeloptics, Inc. Refractive-diffractive multifocal lens
WO2008112037A1 (en) 2007-03-07 2008-09-18 Pixeloptics, Inc. Multifocal lens having a progressive optical power region and a discontinuity
US10613355B2 (en) 2007-05-04 2020-04-07 E-Vision, Llc Moisture-resistant eye wear
US11061252B2 (en) 2007-05-04 2021-07-13 E-Vision, Llc Hinge for electronic spectacles
US8317321B2 (en) 2007-07-03 2012-11-27 Pixeloptics, Inc. Multifocal lens with a diffractive optical power region
KR20100114133A (ko) 2008-03-18 2010-10-22 픽셀옵틱스, 인크. 진보한 전기-활성 광학 장치
US8154804B2 (en) 2008-03-25 2012-04-10 E-Vision Smart Optics, Inc. Electro-optic lenses for correction of higher order aberrations
EP2800993A2 (en) 2012-01-06 2014-11-12 HPO Assets LLC Eyewear docking station and electronic module
US10599006B2 (en) 2016-04-12 2020-03-24 E-Vision Smart Optics, Inc. Electro-active lenses with raised resistive bridges
ES2861520T3 (es) 2016-04-12 2021-10-06 E Vision Smart Optics Inc Lentes electroactivas con puentes resistivos elevados

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5492283A (en) * 1977-12-19 1979-07-21 Texas Instruments Inc Ferroelectric video display device

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2079093B (en) * 1980-06-20 1984-07-04 British Aerospace Infra-red sensor array
DE3138294A1 (de) * 1981-09-25 1983-04-14 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Zweidimensionaler halbleiter-bildsensor mit steuerung oder regelung der integrationszeit

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5492283A (en) * 1977-12-19 1979-07-21 Texas Instruments Inc Ferroelectric video display device

Also Published As

Publication number Publication date
FR2554999B1 (fr) 1986-01-17
DE3472876D1 (en) 1988-08-25
EP0148654A1 (fr) 1985-07-17
US4609824A (en) 1986-09-02
FR2554999A1 (fr) 1985-05-17
EP0148654B1 (fr) 1988-07-20
JPS60167578A (ja) 1985-08-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH0435106B2 (ja)
JP2976242B2 (ja) 集積回路とその集積回路を用いたカメラ並びに該集積回路技術を用いて作製されたイメージセンサへの副次的な入射光線を検出する方法
EP0275217B1 (en) Photoelectric converting apparatus
US6903768B1 (en) Solid state image sensor device free of influence on optical black level by signal potential change of optical black pixels
JP2977060B2 (ja) 固体撮像装置及びその制御方法
US20050104003A1 (en) Charge or particle sensing
US6163023A (en) Amplified photoelectric transducer amplified solid-state image sensor and method for driving amplified photoelectric transducer
US8018515B2 (en) Solid-state image pickup device
JP2844733B2 (ja) 光受感ドット信号増幅を伴う光受感装置
US4587426A (en) Photosensitive device for infrared radiation
JP2833729B2 (ja) 固体撮像装置
US4737832A (en) Optical signal processor
JPS61157184A (ja) 光電変換装置
US4752829A (en) Multipacket charge transfer image sensor and method
US7800038B2 (en) Photodetector device
JP3167150B2 (ja) 半導体光検出装置
JPH1022489A (ja) 固体撮像素子
JP2519208B2 (ja) カラ−固体撮像装置
JPS61157179A (ja) 撮像装置
JPH0523549B2 (ja)
JPH0562868B2 (ja)
JPH06225223A (ja) 電荷積分型二次元アレイ光検出器と信号読み出し回路およびその駆動方法
JPS5845828B2 (ja) ハンドウタイコウゾウケンシユツソウチ
JPS63263774A (ja) フオトトランジスタ
JPH0658949B2 (ja) 半導体撮像装置