JPH043497B2 - - Google Patents
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- JPH043497B2 JPH043497B2 JP56167027A JP16702781A JPH043497B2 JP H043497 B2 JPH043497 B2 JP H043497B2 JP 56167027 A JP56167027 A JP 56167027A JP 16702781 A JP16702781 A JP 16702781A JP H043497 B2 JPH043497 B2 JP H043497B2
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- JP
- Japan
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- light
- lens
- receiving lens
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 7
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
- G01N21/8901—Optical details; Scanning details
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は表面検査装置、特に投光される光を受
光レンズの幅方向では圧縮し縦方向では拡大せし
めた表面検査装置に関するものである。
光レンズの幅方向では圧縮し縦方向では拡大せし
めた表面検査装置に関するものである。
一般に移動している被検体は移動搬送中に振動
し、例えば高速で搬送される長さ数千ｍ、幅１ｍ
の帯状感光性フイルムの表面を検査する場合、こ
のような帯状物はその移動方向と垂直方向に振動
し波状になつたり又フイルム表面に検査対象にな
らないような凹凸が存在する場合があり、この場
合には受光レンズに対する光が受光レンズから一
部外れてしまい検出部が誤動作する虞れがある。
し、例えば高速で搬送される長さ数千ｍ、幅１ｍ
の帯状感光性フイルムの表面を検査する場合、こ
のような帯状物はその移動方向と垂直方向に振動
し波状になつたり又フイルム表面に検査対象にな
らないような凹凸が存在する場合があり、この場
合には受光レンズに対する光が受光レンズから一
部外れてしまい検出部が誤動作する虞れがある。
本発明の表面検査装置はこのような被検体の移
送中に生ずる乱れによる誤作動を除くようにした
ものであつて、光源からの光を被検体の被検査域
に照射し、前記照射された光を反射または透過に
よつて、受光部に導く表面検査装置において、被
検査域からの光の反射光または透過光を、前記被
検査域の横幅方向について集束せしめる光学手段
と、縦方向について拡大せしめる光学手段とを有
していることを特徴とする。
送中に生ずる乱れによる誤作動を除くようにした
ものであつて、光源からの光を被検体の被検査域
に照射し、前記照射された光を反射または透過に
よつて、受光部に導く表面検査装置において、被
検査域からの光の反射光または透過光を、前記被
検査域の横幅方向について集束せしめる光学手段
と、縦方向について拡大せしめる光学手段とを有
していることを特徴とする。
以下図面によつて従来及び本発明の実施例を説
明する。
明する。
第１図、第２図は従来の表面検査装置における
投影光学系を示し、Ａは被検体を照明するタング
ステンランプでハロゲンランプ等の光源である。
Ｂは赤外線透過フイルター、Ｃは光量を有効に用
いるコンデンサレンズ、Ｄはシリンドリカルレン
ズ、Ｅは被検体、例えば感光性フイルム、Ｆは受
光レンズ、Ｇは検出部を示し、この検出部Ｇから
は被検体の表面の状態を示すビデオ信号が取り出
されこれが表示部に表示される。
投影光学系を示し、Ａは被検体を照明するタング
ステンランプでハロゲンランプ等の光源である。
Ｂは赤外線透過フイルター、Ｃは光量を有効に用
いるコンデンサレンズ、Ｄはシリンドリカルレン
ズ、Ｅは被検体、例えば感光性フイルム、Ｆは受
光レンズ、Ｇは検出部を示し、この検出部Ｇから
は被検体の表面の状態を示すビデオ信号が取り出
されこれが表示部に表示される。
この従来の光学系においてはフイルムＥを通し
て受光レンズＦに至る光は第１図の平面図に示す
ように、平面的には平行になり又第２図の側面図
に示すように上下方向では上下に拡大する光とな
る。従つてフイルムＥが例えば前述のように振動
すれば受光レンズＦに至る光は第１図、第２図で
点線で示すようにゆらいでしまい、このゆらいだ
分だけ受光レンズＦから光が外れ、その分だけ受
光量が低下し検出部Ｇよりの検出信号レベルが大
きく変動することになる。
て受光レンズＦに至る光は第１図の平面図に示す
ように、平面的には平行になり又第２図の側面図
に示すように上下方向では上下に拡大する光とな
る。従つてフイルムＥが例えば前述のように振動
すれば受光レンズＦに至る光は第１図、第２図で
点線で示すようにゆらいでしまい、このゆらいだ
分だけ受光レンズＦから光が外れ、その分だけ受
光量が低下し検出部Ｇよりの検出信号レベルが大
きく変動することになる。
本発明の表面検査装置においては第３図〜第５
図に示す様に赤外線透過フイルターを経た光路を
コンデンサレンズＣを通しシリンドリカルレンズ
Ｄを経た後、第２コンデンサレンズＨを介して被
検体Ｅに照明する。この第２コンデンサレンズＨ
はフイルムＥの被検査域Ｉに対する光を被検査域
Ｉの長手方向、即ち受光レンズＦの横幅方向には
集束せしめ、被検査域Ｉの幅方向、即ち受光レン
ズＦの縦方向では拡大せしめ受光レンズＦに達す
る光は受光レンズＦの縦幅より十分大きな縦方向
長さを有し、又受光レンズＦの横幅より十分小さ
な横幅となる。
図に示す様に赤外線透過フイルターを経た光路を
コンデンサレンズＣを通しシリンドリカルレンズ
Ｄを経た後、第２コンデンサレンズＨを介して被
検体Ｅに照明する。この第２コンデンサレンズＨ
はフイルムＥの被検査域Ｉに対する光を被検査域
Ｉの長手方向、即ち受光レンズＦの横幅方向には
集束せしめ、被検査域Ｉの幅方向、即ち受光レン
ズＦの縦方向では拡大せしめ受光レンズＦに達す
る光は受光レンズＦの縦幅より十分大きな縦方向
長さを有し、又受光レンズＦの横幅より十分小さ
な横幅となる。
本発明表面検査装置は上記のような構成である
から光源Ａからの光は第１コンデンサレンズＣを
通して被検体Ｅの前面に配置した第２のコンデン
サレンズＨで集束して被検面へスリツト状に照射
され、スリツト長手方向には受光面に収めると共
にスリツト幅方向は受光レンズＦによつて捕える
ことができるように拡散するようになるので下記
のような種々の利益がある。
から光源Ａからの光は第１コンデンサレンズＣを
通して被検体Ｅの前面に配置した第２のコンデン
サレンズＨで集束して被検面へスリツト状に照射
され、スリツト長手方向には受光面に収めると共
にスリツト幅方向は受光レンズＦによつて捕える
ことができるように拡散するようになるので下記
のような種々の利益がある。
(1) フイルムＥから受光レンズＦに向かう光にゆ
らぎがあつてもその横幅方向では受光レンズＦ
より光が外れることがなく、又その縦方向でも
光の照度が変ることがないため全体として光の
ゆらいだ場合の検出レベル変化が小さく誤動作
するおそれがない。
らぎがあつてもその横幅方向では受光レンズＦ
より光が外れることがなく、又その縦方向でも
光の照度が変ることがないため全体として光の
ゆらいだ場合の検出レベル変化が小さく誤動作
するおそれがない。
(2) その横幅方向においては光を集束しているた
め平行光の時に問題にされる中央部光量と周辺
部の光量の差を十分小さくすることができ更に
コンデンサレンズを２枚構成することによつて
レンズの収差による光量の差を少なくすること
ができるため一定幅に亘つて均一な照明を得る
ことができる。
め平行光の時に問題にされる中央部光量と周辺
部の光量の差を十分小さくすることができ更に
コンデンサレンズを２枚構成することによつて
レンズの収差による光量の差を少なくすること
ができるため一定幅に亘つて均一な照明を得る
ことができる。
(3) 第６図に示すように２個のコンデンサレンズ
Ｃ及びＨのため光源Ａから発せられる光の有効
利用角θ1が従来の１個のコンデンサレンズしか
使用しない場合の角θ2に比べ十分大きく取れる
ため光源Ａからの光をより有効に利用できる。
Ｃ及びＨのため光源Ａから発せられる光の有効
利用角θ1が従来の１個のコンデンサレンズしか
使用しない場合の角θ2に比べ十分大きく取れる
ため光源Ａからの光をより有効に利用できる。
そのため光源Ａの強さを弱くして光源の寿命
を長くできると共にその保守も簡単であり、均
一な照明ができるため余分な照明光を被検体に
与える必要がなく、被検体が感光性乳剤を塗布
したフイルムの場合にはそのかぶり等の対策上
も極めて好ましい。
を長くできると共にその保守も簡単であり、均
一な照明ができるため余分な照明光を被検体に
与える必要がなく、被検体が感光性乳剤を塗布
したフイルムの場合にはそのかぶり等の対策上
も極めて好ましい。
(4) 高解像力の必要な受光レンズＦの直径を小さ
くして軽量化することができ従つて又コストも
十分下げることができる。
くして軽量化することができ従つて又コストも
十分下げることができる。
(5) 第２のコンデンサレンズＨに傷やほこりが附
着したとき、従来の平行光ではそれらが受光レ
ンズＦにそのまゝの形で投影されてしまうが、
本発明では光が集束されるため受光レンズＦに
は元の傷やほこりが十分小さくなつて投影され
るのでこれらの影響を小さくすることができ
る。
着したとき、従来の平行光ではそれらが受光レ
ンズＦにそのまゝの形で投影されてしまうが、
本発明では光が集束されるため受光レンズＦに
は元の傷やほこりが十分小さくなつて投影され
るのでこれらの影響を小さくすることができ
る。
(6) 検出部ＧとしてCCD、フオトダイオードエ
レメント等より成るアレイ状固体撮像素子を用
いれば装置全体をコンパクトに設計することが
でき、被検体が感光性物質を含む場合には光源
として輝度を小さくしてそのかぶりを防ぐと共
に精度の高い検査を行うことができる。
レメント等より成るアレイ状固体撮像素子を用
いれば装置全体をコンパクトに設計することが
でき、被検体が感光性物質を含む場合には光源
として輝度を小さくしてそのかぶりを防ぐと共
に精度の高い検査を行うことができる。
第１図は従来装置の光学系説明用平面図、第２
図はその側面図、第３図は本発明装置の光学系の
斜視図、第４図はその平面図、第５図はその側面
図、第６図は光量利用度の説明図である。 Ａ……光源、Ｂ……赤外線透過フイルター、Ｃ
……第１コンデンサレンズ、Ｄ……シリンドリカ
ルレンズ、Ｅ……被検体、Ｆ……受光レンズ、Ｇ
……検出部、Ｈ……第２コンデンサレンズ、Ｉ…
…被検査域。
図はその側面図、第３図は本発明装置の光学系の
斜視図、第４図はその平面図、第５図はその側面
図、第６図は光量利用度の説明図である。 Ａ……光源、Ｂ……赤外線透過フイルター、Ｃ
……第１コンデンサレンズ、Ｄ……シリンドリカ
ルレンズ、Ｅ……被検体、Ｆ……受光レンズ、Ｇ
……検出部、Ｈ……第２コンデンサレンズ、Ｉ…
…被検査域。
Claims (1)
- １ 光源からの光を被検体の被検査域に照射し、
前記照射された光を反射または透過によつて、受
光部に導く表面検査装置において、被検査域から
の光の反射光または透過光を、前記被検査域の横
幅方向について集束せしめる光学手段と、縦方向
について拡大せしめる光学手段とを有しているこ
とを特徴とする表面検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16702781A JPS5868717A (ja) | 1981-10-21 | 1981-10-21 | 表面検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16702781A JPS5868717A (ja) | 1981-10-21 | 1981-10-21 | 表面検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5868717A JPS5868717A (ja) | 1983-04-23 |
| JPH043497B2 true JPH043497B2 (ja) | 1992-01-23 |
Family
ID=15842027
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16702781A Granted JPS5868717A (ja) | 1981-10-21 | 1981-10-21 | 表面検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5868717A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6463845A (en) * | 1987-09-02 | 1989-03-09 | Asahi Optical Co Ltd | Method for inspecting surface to be inspected having linear defect |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5114039A (en) * | 1974-07-25 | 1976-02-04 | Sanyo Electric Co | Hyojipaneruno ekishofunyuhoho |
-
1981
- 1981-10-21 JP JP16702781A patent/JPS5868717A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5114039A (en) * | 1974-07-25 | 1976-02-04 | Sanyo Electric Co | Hyojipaneruno ekishofunyuhoho |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5868717A (ja) | 1983-04-23 |
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