JPH04344435A - X線応力測定方法 - Google Patents
X線応力測定方法Info
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- JPH04344435A JPH04344435A JP11717891A JP11717891A JPH04344435A JP H04344435 A JPH04344435 A JP H04344435A JP 11717891 A JP11717891 A JP 11717891A JP 11717891 A JP11717891 A JP 11717891A JP H04344435 A JPH04344435 A JP H04344435A
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Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、金属、セラミックス等
の表面近傍の応力をX線を用いて測定する方法に関する
。
の表面近傍の応力をX線を用いて測定する方法に関する
。
【0002】
【従来の技術】X線を用いて材料の表面近傍に存在する
応力を測定する技術は、従来から研究分野ばかりでなく
、現場技術としても定着しており、また新素材、新分野
への応用も拡がっている。この技術は測定対象、測定精
度、その他のさまざまな要求を満足する各種の測定方法
が数多く知られている。たとえば、鉄もしくは鉄を主成
分とする合金では、測定に必要なX線として、クロムを
対陰極(ターゲット)とした特性X線が用いられること
が多くの理由から推奨されている。この場合、X線放射
の機構から波長領域が異なるKα線とKβ線が発せられ
、フェライト系鉄鋼材料では前者が、またオーステナイ
ト系ステンレス鋼では後者が用いられている。
応力を測定する技術は、従来から研究分野ばかりでなく
、現場技術としても定着しており、また新素材、新分野
への応用も拡がっている。この技術は測定対象、測定精
度、その他のさまざまな要求を満足する各種の測定方法
が数多く知られている。たとえば、鉄もしくは鉄を主成
分とする合金では、測定に必要なX線として、クロムを
対陰極(ターゲット)とした特性X線が用いられること
が多くの理由から推奨されている。この場合、X線放射
の機構から波長領域が異なるKα線とKβ線が発せられ
、フェライト系鉄鋼材料では前者が、またオーステナイ
ト系ステンレス鋼では後者が用いられている。
【0003】そこで、フェライト系鉄鋼材料に対しては
、Kβ線をパナジウムなどのフィルタで除去した後のK
α線を利用して応力を測定することになるが、実際はK
α線は互いにもピーク波長が異なるKα1 線とKα2
線との複合である。これらKα1 線とKα2 線は
回折時に回折プロファイルの裾が互いに重なり合ってい
るために、適当なフィルタで一方のみを除去することは
難しい。
、Kβ線をパナジウムなどのフィルタで除去した後のK
α線を利用して応力を測定することになるが、実際はK
α線は互いにもピーク波長が異なるKα1 線とKα2
線との複合である。これらKα1 線とKα2 線は
回折時に回折プロファイルの裾が互いに重なり合ってい
るために、適当なフィルタで一方のみを除去することは
難しい。
【0004】したがって、現在では、Kα2 線がKα
1 線に比べて無視できることを前提として、Kα1
線とKα2 線が重畳したプロファイルに対する半価幅
法が応力測定の基準として採用されている。この方法は
、Kα1 線とKα2 線が重畳した回折プロファイル
のピーク強度の1/2の強度をとる両端の回折角を求め
、その平均値をピークトップ角とする方法である。
1 線に比べて無視できることを前提として、Kα1
線とKα2 線が重畳したプロファイルに対する半価幅
法が応力測定の基準として採用されている。この方法は
、Kα1 線とKα2 線が重畳した回折プロファイル
のピーク強度の1/2の強度をとる両端の回折角を求め
、その平均値をピークトップ角とする方法である。
【0005】また、上の方法とは別に、文献(若林ほか
「非線形最小二乗法を適用して回折強度曲線ガウス曲線
に近似するX線応力測定」、材料、Vol39,No.
441,pp.620−625(1990))に開示さ
れた方法がある。この方法は、Kα1 線とKα2 線
が重畳した回折プロファイルから、非線形最小二乗法を
用いてKα1 線とKα2 線を分離した後に、Kα1
線による回折プロファイルのみからピークトップ角を
求め、この角から応力を求める方法である(単ピーク法
)。
「非線形最小二乗法を適用して回折強度曲線ガウス曲線
に近似するX線応力測定」、材料、Vol39,No.
441,pp.620−625(1990))に開示さ
れた方法がある。この方法は、Kα1 線とKα2 線
が重畳した回折プロファイルから、非線形最小二乗法を
用いてKα1 線とKα2 線を分離した後に、Kα1
線による回折プロファイルのみからピークトップ角を
求め、この角から応力を求める方法である(単ピーク法
)。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかし、Kα1 線と
Kα2 線が重畳した回折プロファイルに対して半価幅
法を適用することは、Kα1 線とKα2 線の分離が
無視できない程度になっている場合には、半価幅の測定
精度に悪い影響を与えるため、適切な方法ではない。ま
た、Kα1 線とKα2 線との分離を行い、Kα1
線に対してのみピークトップ角を求めることによって応
力を算出する方法では、単一の波長のみを利用している
ために、応力の測定精度の信頼性が低くなるという欠点
があった。
Kα2 線が重畳した回折プロファイルに対して半価幅
法を適用することは、Kα1 線とKα2 線の分離が
無視できない程度になっている場合には、半価幅の測定
精度に悪い影響を与えるため、適切な方法ではない。ま
た、Kα1 線とKα2 線との分離を行い、Kα1
線に対してのみピークトップ角を求めることによって応
力を算出する方法では、単一の波長のみを利用している
ために、応力の測定精度の信頼性が低くなるという欠点
があった。
【0007】本発明は、前記問題点を解決し、測定に用
いられたKα1 線とKα2 線との両者を用いるとと
もに測定精度を向上させたX線応力測定方法を提供する
ことを目的とする。
いられたKα1 線とKα2 線との両者を用いるとと
もに測定精度を向上させたX線応力測定方法を提供する
ことを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記問題点を
解決するために、Kα1 線とKα2 線を有する特性
X線を所定の入射角で測定対象物に照射して該測定対象
物で回折されたX線の回折プロファイルを求め、該回折
プロファイルと該回折プロファイルのモデルとの偏差が
最小となるように該モデルのパラメータを定める回折あ
てはめ法を用いてKα1 線による第一の回折プロファ
イルとKα2 線による第二の回折プロファイルとに分
離し、これら2つの回折プロファイルの各ピークトップ
角を求める操作を、複数の前記所定の入射角のそれぞれ
について行い、複数の前記所定の入射角について求めら
れた前記第一の回折プロファイルのピークトップ角およ
び複数の前記所定の入射角について求められた前記第二
の回折プロファイルのピークトップ角のそれぞれに基づ
いて、前記被測定対象物のKα1 線により測定される
応力値およびKα2 線により測定される応力値を互い
に独立に求め、これらの各応力値を必要に応じて重みづ
けして平均化することによりこれらの各応力値の平均的
な値を求め、この平均的な値を前記測定対象物の応力値
とすることを特徴とするものである。
解決するために、Kα1 線とKα2 線を有する特性
X線を所定の入射角で測定対象物に照射して該測定対象
物で回折されたX線の回折プロファイルを求め、該回折
プロファイルと該回折プロファイルのモデルとの偏差が
最小となるように該モデルのパラメータを定める回折あ
てはめ法を用いてKα1 線による第一の回折プロファ
イルとKα2 線による第二の回折プロファイルとに分
離し、これら2つの回折プロファイルの各ピークトップ
角を求める操作を、複数の前記所定の入射角のそれぞれ
について行い、複数の前記所定の入射角について求めら
れた前記第一の回折プロファイルのピークトップ角およ
び複数の前記所定の入射角について求められた前記第二
の回折プロファイルのピークトップ角のそれぞれに基づ
いて、前記被測定対象物のKα1 線により測定される
応力値およびKα2 線により測定される応力値を互い
に独立に求め、これらの各応力値を必要に応じて重みづ
けして平均化することによりこれらの各応力値の平均的
な値を求め、この平均的な値を前記測定対象物の応力値
とすることを特徴とするものである。
【0009】ここで、前記回折あてはめ法として、パラ
メータ化された2つのガウス曲線の組合せを前記モデル
として、測定された前記回折プロファイルを回折プロフ
ァイルの変化率の大きい領域ほどあてはめの重みが大き
くなるように重みづけをして近似する方法を用いること
が好ましい。
メータ化された2つのガウス曲線の組合せを前記モデル
として、測定された前記回折プロファイルを回折プロフ
ァイルの変化率の大きい領域ほどあてはめの重みが大き
くなるように重みづけをして近似する方法を用いること
が好ましい。
【0010】
【作用】以下本発明の作用について説明する。図1は本
発明の概要を表わす処理の流れ図である。まず従来のX
線応力測定法と同様に、測定面の法線に対するX線の入
射角Ψを合計N箇所設定する。この設定した角度をそれ
ぞれΨi (i=1,…,N)とする。さて、ある入射
角Ψi に対して回折プロファイルを得る(ステップ(
a))。この回折プロファイル(原回折プロファイル)
に対してバックグランド補正、吸収補正、およびローレ
ンツ偏光補正を行ない(ステップ(b))、これらの補
正を行った後の回折プロファイル(補正済回折プロファ
イル)をp(θ)とする。ここでθは回折角である。こ
のプロファイルp(θ)を図2Aに示す。ここで、この
回折プロファイルはKα1 線による回折プロファイル
(図2B)とKα2線による回折プロファイル(図2C
)とが重畳されたものである。したがって、理想的な重
畳プロファイル、すなわち回折プロファイルのモデルを
f(θ)とすると、以下に述べる5種類のパラメータを
使って、f(θ)が次のように表わされる。
発明の概要を表わす処理の流れ図である。まず従来のX
線応力測定法と同様に、測定面の法線に対するX線の入
射角Ψを合計N箇所設定する。この設定した角度をそれ
ぞれΨi (i=1,…,N)とする。さて、ある入射
角Ψi に対して回折プロファイルを得る(ステップ(
a))。この回折プロファイル(原回折プロファイル)
に対してバックグランド補正、吸収補正、およびローレ
ンツ偏光補正を行ない(ステップ(b))、これらの補
正を行った後の回折プロファイル(補正済回折プロファ
イル)をp(θ)とする。ここでθは回折角である。こ
のプロファイルp(θ)を図2Aに示す。ここで、この
回折プロファイルはKα1 線による回折プロファイル
(図2B)とKα2線による回折プロファイル(図2C
)とが重畳されたものである。したがって、理想的な重
畳プロファイル、すなわち回折プロファイルのモデルを
f(θ)とすると、以下に述べる5種類のパラメータを
使って、f(θ)が次のように表わされる。
【0011】
f(θ)=Aexp{−(θ−Θ1 )2 /
(2σ1 2 )} +0
.5Aexp{−(θ−Θ1 )2 /(2σ1 2
)}ここでパラメータの意味は次の通りである。 A:Kα1 線のピークトップ角でのX線強度Θ1 ,
Θ2 :それぞれKα1 線,Kα2線のピークトップ
角 σ1 ,σ2 :それぞれKα1 線,Kα2線のプロ
ファイル幅 なお、Kα2 線の代表回折角でのX線強度はKα1
線の代表回折角でのX線強度の1/2であることが分か
っているので、上記のモデルではこの点をあらかじめ考
慮に入れている。
(2σ1 2 )} +0
.5Aexp{−(θ−Θ1 )2 /(2σ1 2
)}ここでパラメータの意味は次の通りである。 A:Kα1 線のピークトップ角でのX線強度Θ1 ,
Θ2 :それぞれKα1 線,Kα2線のピークトップ
角 σ1 ,σ2 :それぞれKα1 線,Kα2線のプロ
ファイル幅 なお、Kα2 線の代表回折角でのX線強度はKα1
線の代表回折角でのX線強度の1/2であることが分か
っているので、上記のモデルではこの点をあらかじめ考
慮に入れている。
【0012】実際には、回折角θをデータ処理の都合上
有限個に標本化することがほとんどである。ここでは計
L個に標本化されたとする。すなわち、回折角はθj
(j=1,…,L)と表わされる。この場合、計5個の
パラメータを決めるには、以下の誤差関数E
有限個に標本化することがほとんどである。ここでは計
L個に標本化されたとする。すなわち、回折角はθj
(j=1,…,L)と表わされる。この場合、計5個の
パラメータを決めるには、以下の誤差関数E
【0013
】
】
【数1】
【0014】を最小にすればよい。なお、(1)式の誤
差関数を最小にするパラメータを求める具体的な方法は
、非線形計画法の分野で各種提案されている。このパラ
メータのなかで、実際に使用するのはΘk (k=1,
2)である(ステップ(c))。ある入射角でこれらの
パラメータが求められたならば、他の入射角に対しても
同様な操作を行う。このようにして、全入射角に対応す
るパラメータを求める。
差関数を最小にするパラメータを求める具体的な方法は
、非線形計画法の分野で各種提案されている。このパラ
メータのなかで、実際に使用するのはΘk (k=1,
2)である(ステップ(c))。ある入射角でこれらの
パラメータが求められたならば、他の入射角に対しても
同様な操作を行う。このようにして、全入射角に対応す
るパラメータを求める。
【0015】次に、Kα1 線、Kα2 線のそれぞれ
の特性X線に対して、図3のように、横軸にsin2
Ψを、縦軸に2Θk (k=1,2)を単位としてプロ
ットすると、kを固定すれば、sin2 Ψと2Θk
は比例関係にあること、また測定物の応力は、このプロ
ット図の傾きと、測定物の材質で決定される応力定数と
の積で表わされることが知られている。そこで、各kに
対応するプロット図の傾きを求め、この傾きと応力定数
の積として応力値を求める(ステップ(d))。そして
Kα1 線、Kα2 線の応力値について平均をとり、
その材料の応力値とする(ステップ(e))。Kα1
線の強度はKα2 線の強度の2倍であることを考える
と、平均をとる時には、Kα1 線によって得られた応
力、すなわちk=1に対応する応力の値は、Kα2 線
によって得られた応力、すなわちk=2に対応する応力
の値に対し2倍の重みを付けて平均することが望ましい
。以上のように2種類の特性X線によって応力値を測定
する方法を、以下双ピーク法と呼ぶ。
の特性X線に対して、図3のように、横軸にsin2
Ψを、縦軸に2Θk (k=1,2)を単位としてプロ
ットすると、kを固定すれば、sin2 Ψと2Θk
は比例関係にあること、また測定物の応力は、このプロ
ット図の傾きと、測定物の材質で決定される応力定数と
の積で表わされることが知られている。そこで、各kに
対応するプロット図の傾きを求め、この傾きと応力定数
の積として応力値を求める(ステップ(d))。そして
Kα1 線、Kα2 線の応力値について平均をとり、
その材料の応力値とする(ステップ(e))。Kα1
線の強度はKα2 線の強度の2倍であることを考える
と、平均をとる時には、Kα1 線によって得られた応
力、すなわちk=1に対応する応力の値は、Kα2 線
によって得られた応力、すなわちk=2に対応する応力
の値に対し2倍の重みを付けて平均することが望ましい
。以上のように2種類の特性X線によって応力値を測定
する方法を、以下双ピーク法と呼ぶ。
【0016】また、誤差関数として、(1)式を拡張し
た次の式
た次の式
【0017】
【数2】
【0018】を用いても良い。ここでwj は正の定数
であり、重みと呼ばれる。wj を決める方法としては
p(θj )の変化率が大きくなるθj 付近ほど重み
wj を大きくとる方法がよい。この方法をここでは重
み付き双ピーク法と呼び、(1)式による方法を重みな
し双ピーク法と呼ぶこととする。重み付き双ピーク法に
よれば、従来の半価幅法の利点である高精度の測定方法
を活かすことができる。その理由は半価幅をとるときの
回折角と変化率が最大となる回折角はほぼ等しいからで
ある。したがって、この結果求める応力の精度がより高
くなる。 この説明を図4に示す。図4には、重畳された雑音のあ
る回折プロファイルAを、重みなし双ピーク法によって
分離したKα1 線の回折プロファイルBと、重み付き
双ピーク法によって分離したKα1 線の回折プロファ
イルCとを示した。重みなし双ピーク法では、重畳され
た回折プロファイルAの回折角の小さい領域に雑音があ
るために、分離された後回折プロファイルBのピークト
ップ角も小さい側に寄ってしまっている。一方、重み付
き双ピーク法では、雑音の影響が少く、より正しい回折
プロファイルを反映したピークトップ角が求められる。 このような雑音は、どの回折角においても、同じ確率で
、回折強度の影響を受けずに発生するので、回折プロフ
ァイルの変化率が最大となる付近の情報を重視すること
がよいと考えられる。なお、回折プロファイルの変化率
を求めるには、雑音の影響を減らすために、ローパスフ
ィルタをかけ、前処理をすることが好ましい。
であり、重みと呼ばれる。wj を決める方法としては
p(θj )の変化率が大きくなるθj 付近ほど重み
wj を大きくとる方法がよい。この方法をここでは重
み付き双ピーク法と呼び、(1)式による方法を重みな
し双ピーク法と呼ぶこととする。重み付き双ピーク法に
よれば、従来の半価幅法の利点である高精度の測定方法
を活かすことができる。その理由は半価幅をとるときの
回折角と変化率が最大となる回折角はほぼ等しいからで
ある。したがって、この結果求める応力の精度がより高
くなる。 この説明を図4に示す。図4には、重畳された雑音のあ
る回折プロファイルAを、重みなし双ピーク法によって
分離したKα1 線の回折プロファイルBと、重み付き
双ピーク法によって分離したKα1 線の回折プロファ
イルCとを示した。重みなし双ピーク法では、重畳され
た回折プロファイルAの回折角の小さい領域に雑音があ
るために、分離された後回折プロファイルBのピークト
ップ角も小さい側に寄ってしまっている。一方、重み付
き双ピーク法では、雑音の影響が少く、より正しい回折
プロファイルを反映したピークトップ角が求められる。 このような雑音は、どの回折角においても、同じ確率で
、回折強度の影響を受けずに発生するので、回折プロフ
ァイルの変化率が最大となる付近の情報を重視すること
がよいと考えられる。なお、回折プロファイルの変化率
を求めるには、雑音の影響を減らすために、ローパスフ
ィルタをかけ、前処理をすることが好ましい。
【0019】
【実施例】以下本発明の実施例を述べる。実施例に用い
た実験装置の正面図を図5に、立面図を図6に示す。厚
さ3.0mm、縦横100.0mm×30.0mmの十
分に焼きなましをして残留応力をゼロとした鉄板101
を用意した。この鉄板101には、X線測定の必要上、
表面に対して機械研磨、電解研磨がこの順に施されてあ
る。次にこの鉄板101の表面に引張応力をかけるため
に、この鉄板101に対して曲げ応力をかける。すなわ
ち、この鉄板101は支持端102で支えられているの
で、両端から圧下ねじ103を下げると、鉄板101に
は曲げ応力が生じる。なお圧下ねじ103は外枠104
で固定されている。この曲げ応力によって生じた引張応
力を、表面に貼付されたひずみゲージ105によって直
接測定した。同時にダイヤルゲージ106によってたわ
み量も同時に測定し、たわみ量から計算される表面の理
論的な引張応力を算出した。
た実験装置の正面図を図5に、立面図を図6に示す。厚
さ3.0mm、縦横100.0mm×30.0mmの十
分に焼きなましをして残留応力をゼロとした鉄板101
を用意した。この鉄板101には、X線測定の必要上、
表面に対して機械研磨、電解研磨がこの順に施されてあ
る。次にこの鉄板101の表面に引張応力をかけるため
に、この鉄板101に対して曲げ応力をかける。すなわ
ち、この鉄板101は支持端102で支えられているの
で、両端から圧下ねじ103を下げると、鉄板101に
は曲げ応力が生じる。なお圧下ねじ103は外枠104
で固定されている。この曲げ応力によって生じた引張応
力を、表面に貼付されたひずみゲージ105によって直
接測定した。同時にダイヤルゲージ106によってたわ
み量も同時に測定し、たわみ量から計算される表面の理
論的な引張応力を算出した。
【0020】一方X線による測定方法は以下のとおりで
ある。まず、直径1mmに絞ったCrKα線を、鉄板1
01の表面のひずみゲージ105の貼付されていない露
出部分に照射した。この鉄板101の表面で回折された
X線の強度を、256分割のPSPC(位置敏感型比例
計数管)を用いて測定した。そして、このX線強度を1
2ビット分解能のA/D変換器を通して、コンピュータ
に取り込み、回折プロファイルとした。この回折プロフ
ァイルに対して、バックグラウンド補正、吸収補正、ロ
ーレンツ偏光補正を施したのち、従来の方法である半価
幅法、単ピーク法、および本発明による重みなし双ピー
ク法、重み付き双ピーク法の計4種類の方法により、ピ
ークトップ角Θを決定した。
ある。まず、直径1mmに絞ったCrKα線を、鉄板1
01の表面のひずみゲージ105の貼付されていない露
出部分に照射した。この鉄板101の表面で回折された
X線の強度を、256分割のPSPC(位置敏感型比例
計数管)を用いて測定した。そして、このX線強度を1
2ビット分解能のA/D変換器を通して、コンピュータ
に取り込み、回折プロファイルとした。この回折プロフ
ァイルに対して、バックグラウンド補正、吸収補正、ロ
ーレンツ偏光補正を施したのち、従来の方法である半価
幅法、単ピーク法、および本発明による重みなし双ピー
ク法、重み付き双ピーク法の計4種類の方法により、ピ
ークトップ角Θを決定した。
【0021】以上の操作を入射角Ψ=0°,15°,3
0°,40°,45°の計5方向で同じように行い、s
in2 Ψに対する2Θをプロットした後、この傾きか
ら応力値を求めた。この応力値を求める操作を曲げ応力
を変えて行い、ひずみゲージ105による応力値ととも
にたわみ量から予測される値と比較した。図7〜図11
は横軸にたわみ量から予測される予測応力値、縦軸に予
測応力値と実測応力値の残差をプロットしたグラフであ
り、それぞれ歪ゲージによる方法、半価幅法、単一ピー
ク法、重みなし双ピーク法、重みつき双ピーク法による
ものである。本発明による方法(双ピーク法)は、半価
幅法や単ピーク法と比べて、高い精度を示していること
が分かる。双ピーク法どうしを比較すると、重み付き双
ピーク法が重みなし双ピーク法より精度が高く、ひずみ
ケージによる方法の測定精度に匹敵することがわかる。
0°,40°,45°の計5方向で同じように行い、s
in2 Ψに対する2Θをプロットした後、この傾きか
ら応力値を求めた。この応力値を求める操作を曲げ応力
を変えて行い、ひずみゲージ105による応力値ととも
にたわみ量から予測される値と比較した。図7〜図11
は横軸にたわみ量から予測される予測応力値、縦軸に予
測応力値と実測応力値の残差をプロットしたグラフであ
り、それぞれ歪ゲージによる方法、半価幅法、単一ピー
ク法、重みなし双ピーク法、重みつき双ピーク法による
ものである。本発明による方法(双ピーク法)は、半価
幅法や単ピーク法と比べて、高い精度を示していること
が分かる。双ピーク法どうしを比較すると、重み付き双
ピーク法が重みなし双ピーク法より精度が高く、ひずみ
ケージによる方法の測定精度に匹敵することがわかる。
【0022】なお、本実施例は、材料が鉄鋼である場合
について述べたが、これにとらわれることなく、他の材
料、たとえばセラミックスなどでも適用が可能である。 また、本実施例では、材料に外部から力をかけた場合に
ついて説明をしたが、これにとらわれることなく、たと
えば残留応力の測定にも適用できる。
について述べたが、これにとらわれることなく、他の材
料、たとえばセラミックスなどでも適用が可能である。 また、本実施例では、材料に外部から力をかけた場合に
ついて説明をしたが、これにとらわれることなく、たと
えば残留応力の測定にも適用できる。
【0023】
【発明の効果】本発明は、実測された回折プロファイル
を分離して、その双方の回折プロファイルから代表角、
すなわち応力を求めているために、測定する応力の精度
が従来の方法より向上している。また、回折プロファイ
ルのあてはめの時に変化率の大きな付近ほど大きな重み
をかけた場合は、従来の半価幅法の利点を受け継いだ形
となるので、さらに精度が向上する。以上の点から、産
業上に寄与するところは非常に大きい。
を分離して、その双方の回折プロファイルから代表角、
すなわち応力を求めているために、測定する応力の精度
が従来の方法より向上している。また、回折プロファイ
ルのあてはめの時に変化率の大きな付近ほど大きな重み
をかけた場合は、従来の半価幅法の利点を受け継いだ形
となるので、さらに精度が向上する。以上の点から、産
業上に寄与するところは非常に大きい。
【図1】本発明の特徴を表わした流れ図である。
【図2】重畳された回折プロファイルと分離された回折
プロファイルを表わす模式図である。
プロファイルを表わす模式図である。
【図3】入射角とピークトップ角のプロット図である。
【図4】回折プロファイルに重み付きガウス曲線と重み
なしガウス曲線をあてはめた模式図である。
なしガウス曲線をあてはめた模式図である。
【図5】実施例で用いた実験装置の正面図である。
【図6】実施例で用いた実験装置の立面図である。
【図7】たわみ量から予測される予測応力値に対する該
予測応力値と歪ゲージによる実測応力値との残差をプロ
ットしたグラフである。
予測応力値と歪ゲージによる実測応力値との残差をプロ
ットしたグラフである。
【図8】たわみ量から予測される予測応力値に対する該
予測応力値と半価幅法による実測応力値との残差をプロ
ットしたグラフである。
予測応力値と半価幅法による実測応力値との残差をプロ
ットしたグラフである。
【図9】たわみ量から予測される予測応力値に対する該
予測応力値と単ピーク法による実測応力値との残差をプ
ロットしたグラフである。
予測応力値と単ピーク法による実測応力値との残差をプ
ロットしたグラフである。
【図10】たわみ量から予測される予測応力値に対する
該予測応力値と重みなし双ピーク法による実測応力値と
の残差をプロットしたグラフである。
該予測応力値と重みなし双ピーク法による実測応力値と
の残差をプロットしたグラフである。
【図11】たわみ量から予測される予測応力値に対する
該予測応力値と重みつき双ピーク法による実測応力値と
の残差をプロットしたグラフである。
該予測応力値と重みつき双ピーク法による実測応力値と
の残差をプロットしたグラフである。
101 鉄板
102 支持端103 圧下ねじ
104 外枠105
ひずみゲージ 106
ダイヤルゲージ
102 支持端103 圧下ねじ
104 外枠105
ひずみゲージ 106
ダイヤルゲージ
Claims (2)
- 【請求項1】 Kα1 線とKα2 線を有する特性
X線を所定の入射角で測定対象物に照射して該測定対象
物で回折されたX線の回折プロファイルを求め、該回折
プロファイルと該回折プロファイルのモデルとの偏差が
最小となるように該モデルのパラメータを定める回折あ
てはめ法を用いてKα1 線による第一の回折プロファ
イルとKα2 線による第二の回折プロファイルとに分
離し、これら2つの回折プロファイルの各ピークトップ
角を求める操作を、複数の前記所定の入射角のそれぞれ
について行い、複数の前記所定の入射角について求めら
れた前記第一の回折プロファイルのピークトップ角およ
び複数の前記所定の入射角について求められた前記第二
の回折プロファイルのピークトップ角のそれぞれに基づ
いて、前記被測定対象物の、Kα1 線により測定され
る応力値およびKα2 線により測定される応力値を互
いに独立に求め、これらの各応力値を必要に応じて重み
づけして平均化することによりこれらの各応力値の平均
的な値を求め、この平均的な値を前記測定対象物の応力
値とすることを特徴とするX線応力測定方法。 - 【請求項2】 前記回折あてはめ法は、パラメータ化
された2つのガウス曲線の組合せを前記モデルとして、
測定された前記回折プロファイルを回折プロファイルの
変化率の大きい領域ほどあてはめの重みが大きくなるよ
うに重みづけをして近似するものであることを特徴とす
る請求項1記載のX線応力測定方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11717891A JPH04344435A (ja) | 1991-05-22 | 1991-05-22 | X線応力測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11717891A JPH04344435A (ja) | 1991-05-22 | 1991-05-22 | X線応力測定方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04344435A true JPH04344435A (ja) | 1992-12-01 |
Family
ID=14705357
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11717891A Withdrawn JPH04344435A (ja) | 1991-05-22 | 1991-05-22 | X線応力測定方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04344435A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018059779A (ja) * | 2016-10-04 | 2018-04-12 | 東京瓦斯株式会社 | 締め付けトルク測定装置及び締め付けトルク測定方法 |
-
1991
- 1991-05-22 JP JP11717891A patent/JPH04344435A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018059779A (ja) * | 2016-10-04 | 2018-04-12 | 東京瓦斯株式会社 | 締め付けトルク測定装置及び締め付けトルク測定方法 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19980806 |