JPH04339247A - 太陽電池傷自動検出装置 - Google Patents
太陽電池傷自動検出装置Info
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- JPH04339247A JPH04339247A JP1547691A JP1547691A JPH04339247A JP H04339247 A JPH04339247 A JP H04339247A JP 1547691 A JP1547691 A JP 1547691A JP 1547691 A JP1547691 A JP 1547691A JP H04339247 A JPH04339247 A JP H04339247A
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- 210000004027 cell Anatomy 0.000 description 29
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Landscapes
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は太陽電池傷自動検出装置
に関し、特に太陽電池の表面部の傷の有無について自動
的に検出する太陽電池傷自動検出装置に関する。
に関し、特に太陽電池の表面部の傷の有無について自動
的に検出する太陽電池傷自動検出装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図８は太陽電池の一例を示した平面図で
ある。
ある。
【０００３】太陽電池１は電池面１６と、電池面１６と
は異る明るさを持つエッジ１３と、電池面で生成した電
力を収集する電極線１１と、電極線１１で収集した電力
を外部に取り出す電極１２より構成されている。
は異る明るさを持つエッジ１３と、電池面で生成した電
力を収集する電極線１１と、電極線１１で収集した電力
を外部に取り出す電極１２より構成されている。
【０００４】従来、太陽電池の傷の検出は、全て作業者
による目視検査により行なわれていた。隣接する電極線
１１の間隔は２ｍｍ程度であり、電極線１１の幅は０．
１ｍｍ程度であり、通常電池面１６に生ずる傷１４の幅
は０．０１ｍｍ程度であって電極線１１の幅にくらべて
細い。
による目視検査により行なわれていた。隣接する電極線
１１の間隔は２ｍｍ程度であり、電極線１１の幅は０．
１ｍｍ程度であり、通常電池面１６に生ずる傷１４の幅
は０．０１ｍｍ程度であって電極線１１の幅にくらべて
細い。
【０００５】作業者は、被検査物である太陽電池１の表
面を、たとえば、蛍光灯などの光源によって照明した状
態で電池面１６からの反射状態を目視し、電池面１６の
傷の検出を行っていた。
面を、たとえば、蛍光灯などの光源によって照明した状
態で電池面１６からの反射状態を目視し、電池面１６の
傷の検出を行っていた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の太陽電
池の電池面の傷の検出は、作業者による目視検査によっ
ているために、検査基準が作業者により異なるために検
査結果が異なるという欠点があった。また、太陽電池に
は多くの電極線が存在し、その幅が検出しようとする傷
の１０倍程度で傷の検出の際に傷とまぎらわしいため、
傷を見落す場合が多く、また、検査に多くの時間を要す
ると共に検査時間の経過につれて作業者の疲労のために
傷を見逃す場合を生じるという欠点があった。
池の電池面の傷の検出は、作業者による目視検査によっ
ているために、検査基準が作業者により異なるために検
査結果が異なるという欠点があった。また、太陽電池に
は多くの電極線が存在し、その幅が検出しようとする傷
の１０倍程度で傷の検出の際に傷とまぎらわしいため、
傷を見落す場合が多く、また、検査に多くの時間を要す
ると共に検査時間の経過につれて作業者の疲労のために
傷を見逃す場合を生じるという欠点があった。
【０００７】本発明の目的は、上述した太陽電池の電池
面の傷の検出を自動化し、作業者にかわって装置が傷を
検出し、検査結果が作業者に依存せず一定で、従来より
短時間の内に検査を行うことができる太陽電池傷自動検
査装置を提供することにある。
面の傷の検出を自動化し、作業者にかわって装置が傷を
検出し、検査結果が作業者に依存せず一定で、従来より
短時間の内に検査を行うことができる太陽電池傷自動検
査装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の太陽電池傷自動
検出装置は、レーザ光源と、前記レーザ光源より放射さ
れたレーザ光をほぼ一点に近い集光点に集光する出射部
と、前記集光点に位置する被検査物である太陽電池の表
面から反射される前記レーザ光の散乱光の内の少なくと
も一部を集光し前記集光した散乱光の光量に比例したレ
ベルを持つ電気信号に変換して出力する受光部と、前記
出射部と前記受光部との相対的位置関係を一定に保ちか
つ前記表面に前記集光点を位置させながら予め定めた範
囲に亘って前記集光点を走査しかつ前記表面上の前記集
光点の位置を検出し前記位置を示す位置信号を出力する
面走査手段と、前記受光部からの出力を予め定めたレベ
ル範囲別に区分しこれら各レベルを示す多値化された信
号に変換し多値化された信号と前記位置信号によりこの
信号を測定した前記表面上の位置とを対応付けた多値化
画像信号を出力する多値化回路と、前記多値化画像信号
が生成する画像より前記被検査物の所定の領域を抽出し
検査領域信号として出力する領域決定部と、前記検査領
域信号の生成する画像内より前記表面上の傷および塵埃
部を表示する画像部分以外の画像領域に対応する画像信
号成分のレベル値を前記多値化レベルの内の前記光量が
最小であるレベル値に変換して前記傷および塵埃を表示
する画像部以外の画像領域を消去した不要部消去信号を
出力する不要部消去部と、前記不要部消去信号の生成す
る画像内で前記表面に付着した塵埃に対応する画像領域
の信号のレベル値を前記多値化レベルの内の前記光量が
最小であるレベル値に変換して前記塵埃に対応する画像
を消去した塵埃消去信号を出力する単点消去部と、前記
塵埃消去信号の生成する画像内で多値化レベルの内の前
記光量が最小であるレベルに相当する領域以外の各領域
の画像の面積を領域別に算出し内部に記憶した判定値と
前記領域別の各面積をそれぞれ比較し前記各面積の内で
前記判定値を超過する面積を持った領域が存在するとき
は傷ありと判定し検査結果が不合格であることを示す信
号を出力し前記各面積が何れも前記判定値以下であると
きは検査結果が合格であることを示す信号を出力する面
積判定部とを備えている。
検出装置は、レーザ光源と、前記レーザ光源より放射さ
れたレーザ光をほぼ一点に近い集光点に集光する出射部
と、前記集光点に位置する被検査物である太陽電池の表
面から反射される前記レーザ光の散乱光の内の少なくと
も一部を集光し前記集光した散乱光の光量に比例したレ
ベルを持つ電気信号に変換して出力する受光部と、前記
出射部と前記受光部との相対的位置関係を一定に保ちか
つ前記表面に前記集光点を位置させながら予め定めた範
囲に亘って前記集光点を走査しかつ前記表面上の前記集
光点の位置を検出し前記位置を示す位置信号を出力する
面走査手段と、前記受光部からの出力を予め定めたレベ
ル範囲別に区分しこれら各レベルを示す多値化された信
号に変換し多値化された信号と前記位置信号によりこの
信号を測定した前記表面上の位置とを対応付けた多値化
画像信号を出力する多値化回路と、前記多値化画像信号
が生成する画像より前記被検査物の所定の領域を抽出し
検査領域信号として出力する領域決定部と、前記検査領
域信号の生成する画像内より前記表面上の傷および塵埃
部を表示する画像部分以外の画像領域に対応する画像信
号成分のレベル値を前記多値化レベルの内の前記光量が
最小であるレベル値に変換して前記傷および塵埃を表示
する画像部以外の画像領域を消去した不要部消去信号を
出力する不要部消去部と、前記不要部消去信号の生成す
る画像内で前記表面に付着した塵埃に対応する画像領域
の信号のレベル値を前記多値化レベルの内の前記光量が
最小であるレベル値に変換して前記塵埃に対応する画像
を消去した塵埃消去信号を出力する単点消去部と、前記
塵埃消去信号の生成する画像内で多値化レベルの内の前
記光量が最小であるレベルに相当する領域以外の各領域
の画像の面積を領域別に算出し内部に記憶した判定値と
前記領域別の各面積をそれぞれ比較し前記各面積の内で
前記判定値を超過する面積を持った領域が存在するとき
は傷ありと判定し検査結果が不合格であることを示す信
号を出力し前記各面積が何れも前記判定値以下であると
きは検査結果が合格であることを示す信号を出力する面
積判定部とを備えている。
【０００９】
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。
て説明する。
【００１０】図１は本発明の太陽電池傷自動検出装置の
一実施例を示すブロック図である。光源２としては、た
とえば、レーザ光源が使用される。光源２から放射され
た光は出射部３によって集光され点Ｐ付近に、たとえば
、直径が０．１ｍｍ程度のほぼ点状に集光される。被検
査物である太陽電池１の電池面が面走査手段１０によっ
て点Ｐ付近に位置される。面走査手段１０は太陽電池１
の電池面の内の何れかを点Ｐに位置させつつ電池面と平
行なＸ−Ｙ面に沿って予め決められた方向に移動して予
め設定された領域内の全面に亘って走査する。また、走
査と同時に或る基準点からの点Ｐまでの現在位置を位置
信号Ｓとして出力する。
一実施例を示すブロック図である。光源２としては、た
とえば、レーザ光源が使用される。光源２から放射され
た光は出射部３によって集光され点Ｐ付近に、たとえば
、直径が０．１ｍｍ程度のほぼ点状に集光される。被検
査物である太陽電池１の電池面が面走査手段１０によっ
て点Ｐ付近に位置される。面走査手段１０は太陽電池１
の電池面の内の何れかを点Ｐに位置させつつ電池面と平
行なＸ−Ｙ面に沿って予め決められた方向に移動して予
め設定された領域内の全面に亘って走査する。また、走
査と同時に或る基準点からの点Ｐまでの現在位置を位置
信号Ｓとして出力する。
【００１１】受光部４は出射部３および光源２に対して
相対的に固定された位置にあり、電池面で点Ｐにある電
池面部分からの反射光の内で正反射光すなわちスネルの
法則に従った反射光を除いた散乱反射光を受光し、受光
した光量に比例したレベルの信号に変換した画像信号を
出力する。４値化回路は入力された上述した画像信号の
レベルを予め定めてある４種のレベル内の何れかのレベ
ル値を持つ信号に変換し、かつこの信号を受光部４が検
出したときの電池面上の位置を示す位置信号Ｓと対応付
けした多値化画像信号を出力する。上述した入力信号の
レベルの変換においては、入力される画像信号が持つす
べてのレベル範囲を４つの予め定めた領域に区分してお
き、入力された画像信号の持つレベルが上述したどの領
域に含まれるかを検出し、入力された画像信号のレベル
が含まれる領域を代表する予め決められたレベルを持つ
信号に変換するものである。
相対的に固定された位置にあり、電池面で点Ｐにある電
池面部分からの反射光の内で正反射光すなわちスネルの
法則に従った反射光を除いた散乱反射光を受光し、受光
した光量に比例したレベルの信号に変換した画像信号を
出力する。４値化回路は入力された上述した画像信号の
レベルを予め定めてある４種のレベル内の何れかのレベ
ル値を持つ信号に変換し、かつこの信号を受光部４が検
出したときの電池面上の位置を示す位置信号Ｓと対応付
けした多値化画像信号を出力する。上述した入力信号の
レベルの変換においては、入力される画像信号が持つす
べてのレベル範囲を４つの予め定めた領域に区分してお
き、入力された画像信号の持つレベルが上述したどの領
域に含まれるかを検出し、入力された画像信号のレベル
が含まれる領域を代表する予め決められたレベルを持つ
信号に変換するものである。
【００１２】図２（Ａ）は太陽電池上の各部分からの散
乱反射光の光量とその反射部分との関係の一例を示す説
明図である。たとえば、正常な電池面からの散乱反射光
の光量は０．２μＷであり、傷部分からの散乱反射光は
０．４μＷから２μＷである。
乱反射光の光量とその反射部分との関係の一例を示す説
明図である。たとえば、正常な電池面からの散乱反射光
の光量は０．２μＷであり、傷部分からの散乱反射光は
０．４μＷから２μＷである。
【００１３】図２（Ｂ）は上述した多値化の一例を示す
説明図である。図２（Ｂ）においては４値化した場合の
一例が示されている。すなわち、受光部４で散乱反射光
量Ｐが０．２μＷ未満の散乱反射光を受光し、この光量
に比例したレベルの画像信号が受光部より出力された場
合には、４値化回路５で変換出力される多値化画像信号
のレベルはレベル１を表わす信号に変換される。散乱反
射光量Ｐが２μＷ以上であって、かつ、２０μＷ未満の
散乱反射光を受光部４が受光しこの入射光量に比例した
画像信号を４値化回路５に出力した場合には４値化回路
はこの信号をレベル３を表わす信号に変換する。
説明図である。図２（Ｂ）においては４値化した場合の
一例が示されている。すなわち、受光部４で散乱反射光
量Ｐが０．２μＷ未満の散乱反射光を受光し、この光量
に比例したレベルの画像信号が受光部より出力された場
合には、４値化回路５で変換出力される多値化画像信号
のレベルはレベル１を表わす信号に変換される。散乱反
射光量Ｐが２μＷ以上であって、かつ、２０μＷ未満の
散乱反射光を受光部４が受光しこの入射光量に比例した
画像信号を４値化回路５に出力した場合には４値化回路
はこの信号をレベル３を表わす信号に変換する。
【００１４】図３は４値化回路５より出力される多値化
画像信号によって生成される画像の一例を示した説明図
である。以下の実施例においては散乱反射光の光量と多
値化画像信号のレベルとは図２（Ｂ）の関係に従うもの
とし、また太陽電池上の各部の散乱反射光の光量は図２
（Ａ）の関係に従っているものと仮定している。すなわ
ち、正常な電池面に対応する画像は前述したレベル１を
表わす信号によって生成されるレベル１正常電池面画像
２６に変換され、電池面の傷に対応する画像はレベル２
を表わす信号によって生成されるレベル２傷画像２４に
変換され、電極線に対応する画像はレベル２を表わす信
号によって生成されるレベル２電極線画像２１ａが２本
と、レベル３を現す信号によって生成されるレベル３電
極線画像２１ｂに変換される。さらに、太陽電池のエッ
ジに相当する画像はレベル４を表わす信号によって生成
されるレベル４エッジ画像２３に変換され、電極部に対
応する画像はレベル４を表わす信号によって生成される
レベル４電極部画像２２に変換され、電池面に付着した
塵埃に対応する画像はレベル２を表わす信号によって生
成されるレベル２塵埃画像２５に変換されることになる
。図４は図３の部分拡大図である。
画像信号によって生成される画像の一例を示した説明図
である。以下の実施例においては散乱反射光の光量と多
値化画像信号のレベルとは図２（Ｂ）の関係に従うもの
とし、また太陽電池上の各部の散乱反射光の光量は図２
（Ａ）の関係に従っているものと仮定している。すなわ
ち、正常な電池面に対応する画像は前述したレベル１を
表わす信号によって生成されるレベル１正常電池面画像
２６に変換され、電池面の傷に対応する画像はレベル２
を表わす信号によって生成されるレベル２傷画像２４に
変換され、電極線に対応する画像はレベル２を表わす信
号によって生成されるレベル２電極線画像２１ａが２本
と、レベル３を現す信号によって生成されるレベル３電
極線画像２１ｂに変換される。さらに、太陽電池のエッ
ジに相当する画像はレベル４を表わす信号によって生成
されるレベル４エッジ画像２３に変換され、電極部に対
応する画像はレベル４を表わす信号によって生成される
レベル４電極部画像２２に変換され、電池面に付着した
塵埃に対応する画像はレベル２を表わす信号によって生
成されるレベル２塵埃画像２５に変換されることになる
。図４は図３の部分拡大図である。
【００１５】図３より明らかなように、レベル４で表わ
される画像部分は図８中に示されたエッジ１３に対応す
る部分と電極部１２に相当する部分のみであるので４値
化回路部で生成された多値化画像信号中よりレベル４エ
ッジ画像２３とレベル４電極部画像２２の外部の領域の
画像に相当する部分の画像信号を領域決定部６により消
去処理する。領域決定部６はこの処理した信号を検査領
域信号として電極線消去部７に出力する。図５は領域決
定部６から出力される検査領域信号が生成する画像の一
例を示した説明図である。
される画像部分は図８中に示されたエッジ１３に対応す
る部分と電極部１２に相当する部分のみであるので４値
化回路部で生成された多値化画像信号中よりレベル４エ
ッジ画像２３とレベル４電極部画像２２の外部の領域の
画像に相当する部分の画像信号を領域決定部６により消
去処理する。領域決定部６はこの処理した信号を検査領
域信号として電極線消去部７に出力する。図５は領域決
定部６から出力される検査領域信号が生成する画像の一
例を示した説明図である。
【００１６】検査領域信号が生成する画像中で、図８に
示されている電極線１１に対応する画像はレベル２で表
わされる信号によって生成されるレベル２電極線画像２
１ａが２箇所と、レベル３で表わされる信号によって生
成されるレベル３電極線画像２１ｂがこれらレベル２電
極線画像２１ａにはさまれた領域の画像部分である。一
方、検査領域信号が生成する画像中で、図８中の傷１４
に対応する画像は、レベル２で表わされる信号によって
生成されるレベル２傷画像２４でありレベル２の信号の
みによって形成される画像部分である、同様に塵埃によ
って形成される画像もレベル２で表わされる信号のみに
よる画像である。従って、レベル２で表わされる信号に
よる画像部分が平行しその中間にレベル３で表わされる
信号による画像部分が存在する部分は電極線１１に対応
する画像部分のみである。また、検査領域信号によって
生成される画像の内でエッジ１３と電極部１２に対応し
て生成される画像部分はレベル４で表わされる信号によ
って形成される画像であるから、レベル２塵埃画像２５
およびレベル２傷画像２４とは異るレベルの信号によっ
て形成されているので、不要画像消去部７に検査領域信
号を入力し、検査領域信号が生成する画像中よりレベル
２で表わされる画像部分のみを残して他の画像領域を生
成する信号成分はすべてレベル１の信号に変換する、す
なわち、傷を表わす画像に対応する信号と塵埃を表わす
画像に対応する信号成分はそのままとし、他の信号成分
はすべてレベル１の信号に変換して傷と塵埃に対応する
画像部分のみを残して他の画像部分を消去する。不要画
像消去部７はこのような変換を行なった信号を不要部消
去信号として出力する。図６は不要部消去信号の生成す
る画像の一例を示す説明図である。図６においては傷に
対応するレベル２傷画像２４と、塵埃に対応するレベル
２塵埃画像２５のみが画像として存在することになる。
示されている電極線１１に対応する画像はレベル２で表
わされる信号によって生成されるレベル２電極線画像２
１ａが２箇所と、レベル３で表わされる信号によって生
成されるレベル３電極線画像２１ｂがこれらレベル２電
極線画像２１ａにはさまれた領域の画像部分である。一
方、検査領域信号が生成する画像中で、図８中の傷１４
に対応する画像は、レベル２で表わされる信号によって
生成されるレベル２傷画像２４でありレベル２の信号の
みによって形成される画像部分である、同様に塵埃によ
って形成される画像もレベル２で表わされる信号のみに
よる画像である。従って、レベル２で表わされる信号に
よる画像部分が平行しその中間にレベル３で表わされる
信号による画像部分が存在する部分は電極線１１に対応
する画像部分のみである。また、検査領域信号によって
生成される画像の内でエッジ１３と電極部１２に対応し
て生成される画像部分はレベル４で表わされる信号によ
って形成される画像であるから、レベル２塵埃画像２５
およびレベル２傷画像２４とは異るレベルの信号によっ
て形成されているので、不要画像消去部７に検査領域信
号を入力し、検査領域信号が生成する画像中よりレベル
２で表わされる画像部分のみを残して他の画像領域を生
成する信号成分はすべてレベル１の信号に変換する、す
なわち、傷を表わす画像に対応する信号と塵埃を表わす
画像に対応する信号成分はそのままとし、他の信号成分
はすべてレベル１の信号に変換して傷と塵埃に対応する
画像部分のみを残して他の画像部分を消去する。不要画
像消去部７はこのような変換を行なった信号を不要部消
去信号として出力する。図６は不要部消去信号の生成す
る画像の一例を示す説明図である。図６においては傷に
対応するレベル２傷画像２４と、塵埃に対応するレベル
２塵埃画像２５のみが画像として存在することになる。
【００１７】塵埃の大きさは通常０．１ｍｍの直径を有
する円形の領域に包含されるが、太陽電池の動作上支障
を来たし不良と判定すべき傷の大きさは幅が０．１ｍｍ
程度で長さが２ｍｍ以上のものである。
する円形の領域に包含されるが、太陽電池の動作上支障
を来たし不良と判定すべき傷の大きさは幅が０．１ｍｍ
程度で長さが２ｍｍ以上のものである。
【００１８】単点消去部８は前述した不要部消去信号を
入力し、電池部６上にある直径が０．１ｍｍ以下の物体
に対応する画像部分に該当する信号のレベルをレベル１
の信号に変換する、すなわち、塵埃に対応する画像部分
を消去した塵埃消去信号を面積判定部９に出力する。図
７は塵埃消去信号が生成する画像の一例を示す説明図で
ある。
入力し、電池部６上にある直径が０．１ｍｍ以下の物体
に対応する画像部分に該当する信号のレベルをレベル１
の信号に変換する、すなわち、塵埃に対応する画像部分
を消去した塵埃消去信号を面積判定部９に出力する。図
７は塵埃消去信号が生成する画像の一例を示す説明図で
ある。
【００１９】面積判定部９は予め決められた判定値を記
憶しており、塵埃消去信号が生成する画像上のレベル２
傷画像２４の面積を算出し面積値とし、前述した判定値
に対して面積値が等しいかあるいは小であれば、問題と
なる傷がなしと判定し、検査結果が合格であることを現
す判定信号、たとえば、論理値“１”を出力し、もし、
前述の面積値が判定値以上であれば、検査結果が不合格
である判定信号、たとえば、“０”を出力する。
憶しており、塵埃消去信号が生成する画像上のレベル２
傷画像２４の面積を算出し面積値とし、前述した判定値
に対して面積値が等しいかあるいは小であれば、問題と
なる傷がなしと判定し、検査結果が合格であることを現
す判定信号、たとえば、論理値“１”を出力し、もし、
前述の面積値が判定値以上であれば、検査結果が不合格
である判定信号、たとえば、“０”を出力する。
【００２０】前述した判定値は、たとえば、電池面１６
上の幅が０．１ｍｍで長さが２ｍｍの矩形状の部分が持
つ面積である０．２平方ｍｍに対応する塵埃消去信号が
生成する画像の面積に相当する値とすればよい。
上の幅が０．１ｍｍで長さが２ｍｍの矩形状の部分が持
つ面積である０．２平方ｍｍに対応する塵埃消去信号が
生成する画像の面積に相当する値とすればよい。
【００２１】以上の実施例においては入力された画像信
号を４値化回路５によって４値化画像信号に変換したが
、対象とする太陽電池の表面の状態に応じて４値以外の
多値レベルを持つ多値信号に変換する多値化回路を４値
化回路５の代りに用いてもよいことは明らかである。
号を４値化回路５によって４値化画像信号に変換したが
、対象とする太陽電池の表面の状態に応じて４値以外の
多値レベルを持つ多値信号に変換する多値化回路を４値
化回路５の代りに用いてもよいことは明らかである。
【００２２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の太陽電池
傷自動検出装置は、太陽電池の電池面の傷の検出を自動
化し、作業者にかわって装置が傷を検出し、検査結果が
作業者に依存せず一定で、従来より短時間の内に検査を
行うことができる効果がある。
傷自動検出装置は、太陽電池の電池面の傷の検出を自動
化し、作業者にかわって装置が傷を検出し、検査結果が
作業者に依存せず一定で、従来より短時間の内に検査を
行うことができる効果がある。
【図１】本発明の太陽電池傷自動検出装置の一実施例を
示すブロック図である。
示すブロック図である。
【図２】図２（Ａ）は太陽電池上の各部分からの散乱反
射光の光量と反射部分との関係の一例を示す説明図であ
り、図２（Ｂ）は多値化の一例を示す説明図である。
射光の光量と反射部分との関係の一例を示す説明図であ
り、図２（Ｂ）は多値化の一例を示す説明図である。
【図３】図１の４値化回路５より出力される多値化画像
信号によって生成される画像の一例を示した説明図であ
る。
信号によって生成される画像の一例を示した説明図であ
る。
【図４】図３の部分拡大図である。
【図５】図１の領域決定部６から出力される検査領域信
号が生成する画像の一例を示した説明図である。
号が生成する画像の一例を示した説明図である。
【図６】図１の不要部消去部７が出力する不要部消去信
号の生成する画像の一例を示す説明図である。
号の生成する画像の一例を示す説明図である。
【図７】図１の単点消去部７が出力する塵埃消去信号が
生成する画像の一例を示す説明図である。
生成する画像の一例を示す説明図である。
【図８】太陽電池の一例を示した平面図である。
１ 太陽電池
２ 光源
３ 出射部
４ 受光部
５ ４値化回路
６ 領域決定部
７ 不要部消去部
８ 単点消去部
９ 面積判定部
１０ 面走査手段
Claims (1)
- 【請求項１】 レーザ光源と、前記レーザ光源より放
射されたレーザ光をほぼ一点に近い集光点に集光する出
射部と、前記集光点に位置する被検査物である太陽電池
の表面から反射される前記レーザ光の散乱光の内の少な
くとも一部を集光し前記集光した散乱光の光量に比例し
たレベルを持つ電気信号に変換して出力する受光部と、
前記出射部と前記受光部との相対的位置関係を一定に保
ちかつ前記表面に前記集光点を位置させながら予め定め
た範囲に亘って前記集光点を走査しかつ前記表面上の前
記集光点の位置を検出し前記位置を示す位置信号を出力
する面走査手段と、前記受光部からの出力を予め定めた
レベル範囲別に区分しこれら各レベルを示す多値化され
た信号に変換し多値化された信号と前記位置信号により
この信号を測定した前記表面上の位置とを対応付けた多
値化画像信号を出力する多値化回路と、前記多値化画像
信号が生成する画像より前記被検査物の所定の領域を抽
出し検査領域信号として出力する領域決定部と、前記検
査領域信号の生成する画像内より前記表面上の傷および
塵埃部を表示する画像部分以外の画像領域に対応する画
像信号成分のレベル値を前記多値化レベルの内の前記光
量が最小であるレベル値に変換して前記傷および塵埃を
表示する画像部以外の画像領域を消去した不要部消去信
号を出力する不要部消去部と、前記不要部消去信号の生
成する画像内で前記表面に付着した塵埃に対応する画像
領域の信号のレベル値を前記多値化レベルの内の前記光
量が最小であるレベル値に変換して前記塵埃に対応する
画像を消去した塵埃消去信号を出力する単点消去部と、
前記塵埃消去信号の生成する画像内で多値化レベルの内
の前記光量が最小であるレベルに相当する領域以外の各
領域の画像の面積を領域別に算出し内部に記憶した判定
値と前記領域別の各面積をそれぞれ比較し前記各面積の
内で前記判定値を超過する面積を持った領域が存在する
ときは傷ありと判定し検査結果が不合格であることを示
す信号を出力し前記各面積が何れも前記判定値以下であ
るときは検査結果が合格であることを示す信号を出力す
る面積判定部とを備えたことを特徴とする太陽電池傷自
動検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1547691A JPH04339247A (ja) | 1991-02-06 | 1991-02-06 | 太陽電池傷自動検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1547691A JPH04339247A (ja) | 1991-02-06 | 1991-02-06 | 太陽電池傷自動検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04339247A true JPH04339247A (ja) | 1992-11-26 |
Family
ID=11889855
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1547691A Pending JPH04339247A (ja) | 1991-02-06 | 1991-02-06 | 太陽電池傷自動検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04339247A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008026113A (ja) * | 2006-07-20 | 2008-02-07 | Japan Aerospace Exploration Agency | 太陽電池の欠陥検査装置及びその方法 |
| CN102435611A (zh) * | 2011-09-20 | 2012-05-02 | 江阴鑫辉太阳能有限公司 | 电致发光自动成像装置 |
| JP2015129662A (ja) * | 2014-01-07 | 2015-07-16 | 株式会社島津製作所 | 外観検査装置及び外観検査方法 |
| JP2015173268A (ja) * | 2005-10-11 | 2015-10-01 | ビーティー イメージング ピーティーワイ リミテッド | 間接バンドギャップ半導体構造を検査する方法およびシステム |
-
1991
- 1991-02-06 JP JP1547691A patent/JPH04339247A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015173268A (ja) * | 2005-10-11 | 2015-10-01 | ビーティー イメージング ピーティーワイ リミテッド | 間接バンドギャップ半導体構造を検査する方法およびシステム |
| US9909991B2 (en) | 2005-10-11 | 2018-03-06 | Bt Imaging Pty Limited | Method and system for inspecting indirect bandgap semiconductor structure |
| JP2008026113A (ja) * | 2006-07-20 | 2008-02-07 | Japan Aerospace Exploration Agency | 太陽電池の欠陥検査装置及びその方法 |
| CN102435611A (zh) * | 2011-09-20 | 2012-05-02 | 江阴鑫辉太阳能有限公司 | 电致发光自动成像装置 |
| JP2015129662A (ja) * | 2014-01-07 | 2015-07-16 | 株式会社島津製作所 | 外観検査装置及び外観検査方法 |
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