JPH04339218A - 熱式流量計 - Google Patents
熱式流量計Info
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- JPH04339218A JPH04339218A JP3004657A JP465791A JPH04339218A JP H04339218 A JPH04339218 A JP H04339218A JP 3004657 A JP3004657 A JP 3004657A JP 465791 A JP465791 A JP 465791A JP H04339218 A JPH04339218 A JP H04339218A
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Landscapes
- Measuring Volume Flow (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、流体の温度管理に優
れた熱式流量計に関するものである。
れた熱式流量計に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より、管路中を流れる流体の流量を
測定する流量計の一つに、熱式流量計がある。この種の
熱式流量計として、管路内を流れる流体を加熱するヒー
タを設け、このヒータの上流側と下流側における前記管
路にそれぞれ温度検出素子を設け、これら温度検出素子
から出力される検出結果に基づいて前記流体の流量を測
定ものがある。
測定する流量計の一つに、熱式流量計がある。この種の
熱式流量計として、管路内を流れる流体を加熱するヒー
タを設け、このヒータの上流側と下流側における前記管
路にそれぞれ温度検出素子を設け、これら温度検出素子
から出力される検出結果に基づいて前記流体の流量を測
定ものがある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記ヒータ
には、計測コンデションの均一化のために、ヒータへ電
流を供給する電流供給回路として定電流回路が用いられ
、ヒータの発熱を一定にして流体を加熱する加熱方式が
採用されているが、この加熱方式にあっては、流体の流
量が比較的大きい場合には問題なく流量を測定すること
ができるが、流体に流量がなかったり極めて小さな流量
しかなかった場合（即ち、ヒータを挟んだ上流側及び下
流側の温度差ΔＴがゼロあるいは極めて小さな場合）に
は、図７に示すように、流体に流量がある場合と比較し
て流体の温度が必要以上に加熱されてしまう（１ｃｃ／
ｍｉｎ以上の流量がある場合と比較して約２倍の温度に
加熱されてしまう）。このため、流体中に気泡が発生し
て正確な流量の測定が困難になったり、流体が熱反応を
起こしたりあるいは変質したりする恐れがあった。
には、計測コンデションの均一化のために、ヒータへ電
流を供給する電流供給回路として定電流回路が用いられ
、ヒータの発熱を一定にして流体を加熱する加熱方式が
採用されているが、この加熱方式にあっては、流体の流
量が比較的大きい場合には問題なく流量を測定すること
ができるが、流体に流量がなかったり極めて小さな流量
しかなかった場合（即ち、ヒータを挟んだ上流側及び下
流側の温度差ΔＴがゼロあるいは極めて小さな場合）に
は、図７に示すように、流体に流量がある場合と比較し
て流体の温度が必要以上に加熱されてしまう（１ｃｃ／
ｍｉｎ以上の流量がある場合と比較して約２倍の温度に
加熱されてしまう）。このため、流体中に気泡が発生し
て正確な流量の測定が困難になったり、流体が熱反応を
起こしたりあるいは変質したりする恐れがあった。
【０００４】この発明は、上記事情に鑑みてなされたも
ので、流体の流量が小さなときにも、極めて正確な流量
の測定を行うことが可能な熱式流量計を提供することを
目的としている。
ので、流体の流量が小さなときにも、極めて正確な流量
の測定を行うことが可能な熱式流量計を提供することを
目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この発明の熱式流量計は
、流路を構成する管路と、該管路内を流れる流体を加熱
する加熱部と、該加熱部の上流側及び下流側における前
記管路にそれぞれ設けられて前記流体の温度を検出する
温度検出素子と、該温度検出素子の検出結果に基づいて
前記流体の流量を演算する演算回路部と、該演算回路部
に設けられ前記流体の流量に基づいて前記加熱部の発熱
量を制御する制御部とから構成されたことを特徴として
いる。
、流路を構成する管路と、該管路内を流れる流体を加熱
する加熱部と、該加熱部の上流側及び下流側における前
記管路にそれぞれ設けられて前記流体の温度を検出する
温度検出素子と、該温度検出素子の検出結果に基づいて
前記流体の流量を演算する演算回路部と、該演算回路部
に設けられ前記流体の流量に基づいて前記加熱部の発熱
量を制御する制御部とから構成されたことを特徴として
いる。
【０００６】
【作用】この発明の熱式流量計によれば、管路内を流れ
る流体の流量に基づいて流体を加熱する加熱部の加熱量
が制御される。したがって、流体の加熱のし過ぎを防止
することができ、加熱のし過ぎによる気泡の発生あるい
は流体の熱反応、変質等を防止するこができる。
る流体の流量に基づいて流体を加熱する加熱部の加熱量
が制御される。したがって、流体の加熱のし過ぎを防止
することができ、加熱のし過ぎによる気泡の発生あるい
は流体の熱反応、変質等を防止するこができる。
【０００７】
【実施例】以下、本発明の熱式流量計の実施例を図によ
って説明する。まず、第１の実施例を説明する。図１に
示すように、本発明の熱式流量計は、肉厚の薄い金属（
例えば、ステンレス等）または、樹脂（例えば、フッ素
樹脂等）からなる管路１と、この管路１に設けられ全体
が断熱材（図示略）によって覆われたセンサ部２と、セ
ンサ部２から検出された信号を流量に変換する演算回路
部３とから構成されている。センサ部２は、図２に示す
ように、ヒータ（加熱部）２１と、このヒータ２１の上
流側及び下流側に設けられた上流温度検出素子２２ａ及
び下流側温度検出素子２２ｂとから構成されている。 ヒータ２１は管路１内を流れる流体に効率良く熱を伝達
させることができるように、管路１の外周に密着させて
取り付けられており、上流側温度検出素子２２ａ及び下
流側温度検出素子２２ｂは、それぞれ管路１内を流れる
流体の温度を正確に検出することができるように、前記
ヒータ２１と同様に、管路１に密着させて取り付けられ
ている。また、上流側温度検出素子２２ａは、センサ部
２に流入する流体の基準温度を正確に検出することがで
きるように、センサ部２に流入する流体がヒータ２１に
よる加熱の影響を受けない距離に取り付けられており、
下流側温度検出素子２２ｂは、ヒータ２１によって加熱
された流体の温度を正確に検出することができるように
ヒータ２１に近接した位置に取り付けられている。
って説明する。まず、第１の実施例を説明する。図１に
示すように、本発明の熱式流量計は、肉厚の薄い金属（
例えば、ステンレス等）または、樹脂（例えば、フッ素
樹脂等）からなる管路１と、この管路１に設けられ全体
が断熱材（図示略）によって覆われたセンサ部２と、セ
ンサ部２から検出された信号を流量に変換する演算回路
部３とから構成されている。センサ部２は、図２に示す
ように、ヒータ（加熱部）２１と、このヒータ２１の上
流側及び下流側に設けられた上流温度検出素子２２ａ及
び下流側温度検出素子２２ｂとから構成されている。 ヒータ２１は管路１内を流れる流体に効率良く熱を伝達
させることができるように、管路１の外周に密着させて
取り付けられており、上流側温度検出素子２２ａ及び下
流側温度検出素子２２ｂは、それぞれ管路１内を流れる
流体の温度を正確に検出することができるように、前記
ヒータ２１と同様に、管路１に密着させて取り付けられ
ている。また、上流側温度検出素子２２ａは、センサ部
２に流入する流体の基準温度を正確に検出することがで
きるように、センサ部２に流入する流体がヒータ２１に
よる加熱の影響を受けない距離に取り付けられており、
下流側温度検出素子２２ｂは、ヒータ２１によって加熱
された流体の温度を正確に検出することができるように
ヒータ２１に近接した位置に取り付けられている。
【０００８】次に、演算回路部３の構成を図３によって
説明する。この演算回路部３は、上流側温度検出素子２
２ａ及び下流側温度検出素子２２ｂにより検出された上
流側検出温度Ｔａ及び下流側検出温度Ｔｂから、ヒータ
２１を挟んだ上流側及び下流側における流体の温度差Δ
Ｔ（ΔＴ＝Ｔｂ−Ｔａ）を求める減算回路３１と、この
減算回路３１によって求められた温度差ΔＴと予め設定
された設定温度ＴＥ（後述する）との大小を比較判定し
てΔＴ＞ＴＥのときのみ判定結果を出力する判定回路３
２と、この判定回路３２から判定結果が入力されること
によりヒータ２１への供給電流Ｉを制御し、判定結果が
入力されない場合は予め設定された一定電流Ｉ０を供給
電流Ｉとしてヒータ２１へ供給する電流供給回路３３と
、減算回路３１にて求められた温度差ΔＴ及び電流供給
回路３３からヒータ２１へ供給される供給電流Ｉに基づ
いて管路１内を流れる流体の流量を演算する演算回路３
４から構成されている。
説明する。この演算回路部３は、上流側温度検出素子２
２ａ及び下流側温度検出素子２２ｂにより検出された上
流側検出温度Ｔａ及び下流側検出温度Ｔｂから、ヒータ
２１を挟んだ上流側及び下流側における流体の温度差Δ
Ｔ（ΔＴ＝Ｔｂ−Ｔａ）を求める減算回路３１と、この
減算回路３１によって求められた温度差ΔＴと予め設定
された設定温度ＴＥ（後述する）との大小を比較判定し
てΔＴ＞ＴＥのときのみ判定結果を出力する判定回路３
２と、この判定回路３２から判定結果が入力されること
によりヒータ２１への供給電流Ｉを制御し、判定結果が
入力されない場合は予め設定された一定電流Ｉ０を供給
電流Ｉとしてヒータ２１へ供給する電流供給回路３３と
、減算回路３１にて求められた温度差ΔＴ及び電流供給
回路３３からヒータ２１へ供給される供給電流Ｉに基づ
いて管路１内を流れる流体の流量を演算する演算回路３
４から構成されている。
【０００９】ここで、演算回路３４は、電流供給回路３
３の供給電流Ｉからヒータ２１の加熱量をｑ＝ｒＩ２（
ただし、ｒ：ヒータ２１の抵抗値）より計算し、この加
熱量ｑと温度差ΔＴとから次式によって、流体の質量流
量Ｑ（Ｑ＝ρν）を演算するようになっている。 Ｑ＝ρν＝κ（ｑ／ΔＴ）１．６７ ……（１）（ただ
し、ρ：流体の密度、ν：流速、κ：係数）
３の供給電流Ｉからヒータ２１の加熱量をｑ＝ｒＩ２（
ただし、ｒ：ヒータ２１の抵抗値）より計算し、この加
熱量ｑと温度差ΔＴとから次式によって、流体の質量流
量Ｑ（Ｑ＝ρν）を演算するようになっている。 Ｑ＝ρν＝κ（ｑ／ΔＴ）１．６７ ……（１）（ただ
し、ρ：流体の密度、ν：流速、κ：係数）
【００１０
】また、上記設定温度ＴＥは流体中に気泡が発生するこ
とのない温度である。即ち、流体のヒータ２１を挟んだ
上流側と下流側との温度差ΔＴは、ヒータ２１の加熱量
を一定にさせるべく電力供給回路３３から供給される供
給電流を一定電流Ｉ０にすると、流量の変化により、図
４中符号ａに示すように、ある流量までは上昇し、それ
以降では下降する曲線となる。そして、温度差ΔＴが上
昇するような微小流量領域においては、流体中の温度が
ヒータ２１の熱により加熱され過ぎてしまい、流体中に
気泡等の発生を招く恐れがある。このため、微小流量領
域における流体の温度差ΔＴの変化を、ヒータ２１への
供給電流Ｉを調節して図中ｂに示すようにして、温度差
ΔＴの上昇をなくす必要があり、本実施例では、図中ｂ
で示した微小流量領域における温度を前述した設定温度
ＴＥとする。また、上記式（１）は流量が増加するにつ
れて温度差ΔＴが減少する領域において、適応させるこ
とができるものである。
】また、上記設定温度ＴＥは流体中に気泡が発生するこ
とのない温度である。即ち、流体のヒータ２１を挟んだ
上流側と下流側との温度差ΔＴは、ヒータ２１の加熱量
を一定にさせるべく電力供給回路３３から供給される供
給電流を一定電流Ｉ０にすると、流量の変化により、図
４中符号ａに示すように、ある流量までは上昇し、それ
以降では下降する曲線となる。そして、温度差ΔＴが上
昇するような微小流量領域においては、流体中の温度が
ヒータ２１の熱により加熱され過ぎてしまい、流体中に
気泡等の発生を招く恐れがある。このため、微小流量領
域における流体の温度差ΔＴの変化を、ヒータ２１への
供給電流Ｉを調節して図中ｂに示すようにして、温度差
ΔＴの上昇をなくす必要があり、本実施例では、図中ｂ
で示した微小流量領域における温度を前述した設定温度
ＴＥとする。また、上記式（１）は流量が増加するにつ
れて温度差ΔＴが減少する領域において、適応させるこ
とができるものである。
【００１１】次に、上記のように、ヒータ２１の発熱量
を制御する制御系（制御部）が設けられた演算回路部３
による流体の温度コントロールの動作を図５に示すフロ
ーチャート図によって説明する。 ステップＳＰ１ まず、一定電流Ｉ０及び設定温度ＴＥを予め設定する。 ステップＳＰ２ 減算回路３１が上流側温度検出素子２２ａ及び下流側温
度検出素子２２ｂの検出温度に基づいて、温度差ΔＴを
求める。 ステップＳＰ３ そして、この温度差ΔＴが判定回路３２によって予め設
定された設定温度ＴＥと比較判定される。ここで、温度
差ΔＴがΔＴ＞ＴＥの場合はステップＳＰ４へ移行し、
そうでない場合はステップＳＰ６へ移行する。 ステップＳＰ４ 電流供給回路３３から出力される供給電流Ｉの電流値が
次式によって計算される。 Ｉ＝Ｉ０−Ａ（ΔＴ−ＴＥ） （ただし、Ａ：係数） ステップＳＰ５ 上記ステップＳＰ４によって求められた電流値の供給電
流Ｉが電流供給回路３３からヒータ２１へ供給され、ヒ
ータ２１における加熱量が抑えられ、温度差ΔＴの上昇
が防止される。そして、ステップＳＰ２へ移行して再び
ΔＴが検出される。 ステップＳＰ６ 電流供給回路３３からヒータ２１へ出力されている供給
電流Ｉと一定電流Ｉ０とが比較される。ここで、供給電
流Ｉと一定電流Ｉ０との関係がＩ＜Ｉ０である場合は、
ステップＳＰ４へ移行し、そうでない場合は、ステップ
ＳＰ７へ移行する。 ステップＳＰ７ 供給電流Ｉが一定電流Ｉ０とされ、ステップＳＰ５へ移
行し、電流供給回路３３からヒータ２１へ供給電流Ｉと
して一定電流Ｉ０が供給される。
を制御する制御系（制御部）が設けられた演算回路部３
による流体の温度コントロールの動作を図５に示すフロ
ーチャート図によって説明する。 ステップＳＰ１ まず、一定電流Ｉ０及び設定温度ＴＥを予め設定する。 ステップＳＰ２ 減算回路３１が上流側温度検出素子２２ａ及び下流側温
度検出素子２２ｂの検出温度に基づいて、温度差ΔＴを
求める。 ステップＳＰ３ そして、この温度差ΔＴが判定回路３２によって予め設
定された設定温度ＴＥと比較判定される。ここで、温度
差ΔＴがΔＴ＞ＴＥの場合はステップＳＰ４へ移行し、
そうでない場合はステップＳＰ６へ移行する。 ステップＳＰ４ 電流供給回路３３から出力される供給電流Ｉの電流値が
次式によって計算される。 Ｉ＝Ｉ０−Ａ（ΔＴ−ＴＥ） （ただし、Ａ：係数） ステップＳＰ５ 上記ステップＳＰ４によって求められた電流値の供給電
流Ｉが電流供給回路３３からヒータ２１へ供給され、ヒ
ータ２１における加熱量が抑えられ、温度差ΔＴの上昇
が防止される。そして、ステップＳＰ２へ移行して再び
ΔＴが検出される。 ステップＳＰ６ 電流供給回路３３からヒータ２１へ出力されている供給
電流Ｉと一定電流Ｉ０とが比較される。ここで、供給電
流Ｉと一定電流Ｉ０との関係がＩ＜Ｉ０である場合は、
ステップＳＰ４へ移行し、そうでない場合は、ステップ
ＳＰ７へ移行する。 ステップＳＰ７ 供給電流Ｉが一定電流Ｉ０とされ、ステップＳＰ５へ移
行し、電流供給回路３３からヒータ２１へ供給電流Ｉと
して一定電流Ｉ０が供給される。
【００１２】以上、説明したように、上記第１の実施例
の熱式流量計によれば、微小流量領域における温度差Δ
Ｔを予め設定した設定温度ＴＥ（流体中に気泡が発生す
ることのない温度）とすることができるので、微小流量
領域における流体中の気泡の発生を防止することができ
る。また、微小流量領域における流体の温度コントロー
ルを適格に行うことができるので、応答性を向上させる
ことができる。また、電流供給回路３３から供給される
供給電流Ｉの電流値を小さくすることにより、消費電力
の低減を図ることができる。なお、判定回路３２が動作
しているときの状態をもって流体出力をゼロとして、電
流供給回路３３からの出力を自動的にゼロにすると、さ
らに、消費電力の低減を図ることができる。
の熱式流量計によれば、微小流量領域における温度差Δ
Ｔを予め設定した設定温度ＴＥ（流体中に気泡が発生す
ることのない温度）とすることができるので、微小流量
領域における流体中の気泡の発生を防止することができ
る。また、微小流量領域における流体の温度コントロー
ルを適格に行うことができるので、応答性を向上させる
ことができる。また、電流供給回路３３から供給される
供給電流Ｉの電流値を小さくすることにより、消費電力
の低減を図ることができる。なお、判定回路３２が動作
しているときの状態をもって流体出力をゼロとして、電
流供給回路３３からの出力を自動的にゼロにすると、さ
らに、消費電力の低減を図ることができる。
【００１３】次に、第２の実施例を説明する。まず、こ
の熱式流量計の演算回路部３′の構成を説明する。この
演算回路部３′は、上流側温度検出素子２２ａ及び下流
側温度検出素子２２ｂにより検出された上流側検出温度
Ｔａ及び下流側検出温度Ｔａからヒータ２１の上流側及
び下流側における流体の温度差ΔＴを求め、この温度差
ΔＴに基づいて流体の流量を演算する減算回路４１と、
この減算回路４１から出力される出力値Ｓ１と後述する
比較設定回路４２から出力される設定値Ｓ２とを比較判
定して比較データを出力する比較回路４３と、この比較
回路４３から出力される比較データに基づいて、高い電
流値の電流を出力する高温加熱回路４４あるいは低い電
流値の電流を出力する低温加熱回路４５のどちらか一方
を択一的にヒータ２１へ接続する切換回路４６とから構
成されている。
の熱式流量計の演算回路部３′の構成を説明する。この
演算回路部３′は、上流側温度検出素子２２ａ及び下流
側温度検出素子２２ｂにより検出された上流側検出温度
Ｔａ及び下流側検出温度Ｔａからヒータ２１の上流側及
び下流側における流体の温度差ΔＴを求め、この温度差
ΔＴに基づいて流体の流量を演算する減算回路４１と、
この減算回路４１から出力される出力値Ｓ１と後述する
比較設定回路４２から出力される設定値Ｓ２とを比較判
定して比較データを出力する比較回路４３と、この比較
回路４３から出力される比較データに基づいて、高い電
流値の電流を出力する高温加熱回路４４あるいは低い電
流値の電流を出力する低温加熱回路４５のどちらか一方
を択一的にヒータ２１へ接続する切換回路４６とから構
成されている。
【００１４】ここで、減算回路４１は、温度差ΔＴより
次式によって、流体の流量Ｑを演算するようになってい
る。 Ｑ＝κＣｐΔＴ……（２） （ただし、κ：定数、Ｃｐ：比熱） 次に、上記のように、ヒータ２１の発熱量を制御する制
御系（制御部）が設けられた演算回路部３′による流体
の温度コントロールの動作を説明する。流体が管路１中
を流れると、上流側温度検出素子２２ａ及び下流側温度
検出素子２２ｂによって流体の温度がそれぞれ検出され
、減算回路４１によって温度差ΔＴが求められて流体の
流量Ｑが演算される。そして、減算回路４１から出力さ
れた出力値Ｓ１が比較回路４３によって比較設定回路４
２から出力された設定値Ｓ２と比較判定され、その比較
判定結果である比較データが切換回路４６へ出力される
。ここで、比較回路４２による比較判定結果がＳ１≦Ｓ
２である場合には、切換回路４６の接触子４６ａが接点
４６ｂ，４６ｂ側へ移動して接触し、これら接点４６ｂ
，４６ｂ同士を導通させ、高温加熱回路４４からヒータ
２１へ電流値の高い電流を供給させて流体を大きな発熱
量にて加熱させる。また、比較判定がＳ１＞Ｓ２である
場合には、切換回路４６の接触子４６ａが接点４６ｃ，
４６ｃ側へ移動して接触し、これら接点４６ｃ，４６ｃ
同士を導通させ、低温加熱回路４５からヒータ２１へ電
流値の低い電流を供給させて流体を小さな発熱量にて加
熱させる。
次式によって、流体の流量Ｑを演算するようになってい
る。 Ｑ＝κＣｐΔＴ……（２） （ただし、κ：定数、Ｃｐ：比熱） 次に、上記のように、ヒータ２１の発熱量を制御する制
御系（制御部）が設けられた演算回路部３′による流体
の温度コントロールの動作を説明する。流体が管路１中
を流れると、上流側温度検出素子２２ａ及び下流側温度
検出素子２２ｂによって流体の温度がそれぞれ検出され
、減算回路４１によって温度差ΔＴが求められて流体の
流量Ｑが演算される。そして、減算回路４１から出力さ
れた出力値Ｓ１が比較回路４３によって比較設定回路４
２から出力された設定値Ｓ２と比較判定され、その比較
判定結果である比較データが切換回路４６へ出力される
。ここで、比較回路４２による比較判定結果がＳ１≦Ｓ
２である場合には、切換回路４６の接触子４６ａが接点
４６ｂ，４６ｂ側へ移動して接触し、これら接点４６ｂ
，４６ｂ同士を導通させ、高温加熱回路４４からヒータ
２１へ電流値の高い電流を供給させて流体を大きな発熱
量にて加熱させる。また、比較判定がＳ１＞Ｓ２である
場合には、切換回路４６の接触子４６ａが接点４６ｃ，
４６ｃ側へ移動して接触し、これら接点４６ｃ，４６ｃ
同士を導通させ、低温加熱回路４５からヒータ２１へ電
流値の低い電流を供給させて流体を小さな発熱量にて加
熱させる。
【００１５】即ち、上記第２の実施例の熱式流量計によ
れば、管路１内を流れる流体の流量がゼロまたは所定流
量以下である場合には、ヒータ２１による流体の加熱を
小さくし、流量が所定流量より大きい場合には、ヒータ
２１による流体の加熱を大きくする。これにより、流体
の流量がゼロまたは所定流量以下である場合における流
体の加熱のし過ぎを防止することができ、流体の加熱の
し過ぎによる気泡の発生を防止することができる。した
がって、気泡の発生による流量測定精度の低下を防止す
ることができ、極めて良好な測定結果を得ることができ
る。また、必要以上の加熱をなくすことができるので、
消費電力の低減を図ることができ、極めて経済的な熱式
流量計とすることができる。
れば、管路１内を流れる流体の流量がゼロまたは所定流
量以下である場合には、ヒータ２１による流体の加熱を
小さくし、流量が所定流量より大きい場合には、ヒータ
２１による流体の加熱を大きくする。これにより、流体
の流量がゼロまたは所定流量以下である場合における流
体の加熱のし過ぎを防止することができ、流体の加熱の
し過ぎによる気泡の発生を防止することができる。した
がって、気泡の発生による流量測定精度の低下を防止す
ることができ、極めて良好な測定結果を得ることができ
る。また、必要以上の加熱をなくすことができるので、
消費電力の低減を図ることができ、極めて経済的な熱式
流量計とすることができる。
【００１６】なお、第２の実施例の熱式流量計の高温加
熱回路４４での動作時は、低温加熱回路４５での動作時
と比較して出力が大きくなるので、比較回路４３が比較
データを出力した時点にて、比較設定回路４２が設定値
Ｓ２を新たに設定して比較回路４３へ出力する。そして
、比較回路４３は、新たに設定された設定値Ｓ２と減算
回路４１から出力される出力値Ｓ１との比較判定を行う
ようになっている。また、低温加熱回路４５での動作時
の状態をもって流体の流量出力をゼロとすればゼロカッ
ト機能としても利用することができる。
熱回路４４での動作時は、低温加熱回路４５での動作時
と比較して出力が大きくなるので、比較回路４３が比較
データを出力した時点にて、比較設定回路４２が設定値
Ｓ２を新たに設定して比較回路４３へ出力する。そして
、比較回路４３は、新たに設定された設定値Ｓ２と減算
回路４１から出力される出力値Ｓ１との比較判定を行う
ようになっている。また、低温加熱回路４５での動作時
の状態をもって流体の流量出力をゼロとすればゼロカッ
ト機能としても利用することができる。
【００１７】なお、上記実施例の熱式流量計の具体的な
構成は実施例に限定されない。また、流体が流れている
状態を検出する場合、特に、熱容量の大きな液体が対象
であれば、良好なＳ／Ｎ比を得るために、より大きな熱
量の供給が必要であることは勿論である。
構成は実施例に限定されない。また、流体が流れている
状態を検出する場合、特に、熱容量の大きな液体が対象
であれば、良好なＳ／Ｎ比を得るために、より大きな熱
量の供給が必要であることは勿論である。
【００１８】
【発明の効果】以上、説明したように、本発明の熱式流
量計によれば、下記の効果を得ることができる。
量計によれば、下記の効果を得ることができる。
【００１９】管路内を流れる流体の流量に基づいて、流
体を加熱する加熱部の加熱量を制御することができるの
で、流体の加熱のし過ぎによる気泡の発生を防止するこ
とができる。これにより、気泡の発生による流量測定精
度の低下を防止することができ、極めて良好な測定結果
を得ることができる。また、加熱のし過ぎによる流体の
熱反応あるいは変質を防止することができる。
体を加熱する加熱部の加熱量を制御することができるの
で、流体の加熱のし過ぎによる気泡の発生を防止するこ
とができる。これにより、気泡の発生による流量測定精
度の低下を防止することができ、極めて良好な測定結果
を得ることができる。また、加熱のし過ぎによる流体の
熱反応あるいは変質を防止することができる。
【００２０】また、必要以上の加熱をなくすことができ
るので、消費電力の低減を図ることができ、極めて経済
的な熱式流量計とすることができる。
るので、消費電力の低減を図ることができ、極めて経済
的な熱式流量計とすることができる。
【図１】本発明の熱式流量計の概略構成図である。
【図２】本発明の熱式流量計のセンサ部の概略断面図で
ある。
ある。
【図３】第１の実施例の熱式流量計の機能ブロック図で
ある。
ある。
【図４】管路中を流れる流体の流量と温度差との関係を
説明する図である。
説明する図である。
【図５】第１の実施例の熱式流量計の加熱の制御動作を
説明するフローチャート図である。
説明するフローチャート図である。
【図６】第２の実施例の熱式流量計の構成を説明する機
能ブロック図である。
能ブロック図である。
【図７】管路中にて加熱された流体の温度分布図である
。
。
１ 管路
３，３′ 演算回路部
２１ ヒータ（加熱部）
Claims (1)
- 【請求項１】 流路を構成する管路と、該管路内を流
れる流体を加熱する加熱部と、該加熱部の上流側及び下
流側における前記管路にそれぞれ設けられて前記流体の
温度を検出する温度検出素子と、該温度検出素子の検出
結果に基づいて前記流体の流量を演算する演算回路部と
、該演算回路部に設けられ前記流体の流量に基づいて前
記加熱部の発熱量を制御する制御部とから構成されたこ
とを特徴とする熱式流量計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3004657A JP2930742B2 (ja) | 1991-01-18 | 1991-01-18 | 熱式流量計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3004657A JP2930742B2 (ja) | 1991-01-18 | 1991-01-18 | 熱式流量計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04339218A true JPH04339218A (ja) | 1992-11-26 |
| JP2930742B2 JP2930742B2 (ja) | 1999-08-03 |
Family
ID=11590015
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3004657A Expired - Fee Related JP2930742B2 (ja) | 1991-01-18 | 1991-01-18 | 熱式流量計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2930742B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002533663A (ja) * | 1998-12-22 | 2002-10-08 | ゼンジリオン アクチエンゲゼルシャフト | 質量流量を測定する方法およびセンサ |
| JP2008185468A (ja) * | 2007-01-30 | 2008-08-14 | Toshiba Corp | インリーク流量計測装置およびインリーク流量計測方法 |
| JP2009222345A (ja) * | 2008-03-18 | 2009-10-01 | Nippon Spindle Mfg Co Ltd | 温調装置 |
| JP2014085185A (ja) * | 2012-10-22 | 2014-05-12 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | 固定装置、固定方法、及び流量計測装置 |
| WO2015119139A1 (ja) * | 2014-02-06 | 2015-08-13 | 東京電力株式会社 | 流速計測方法および流速計測システム |
| JP2016212030A (ja) * | 2015-05-13 | 2016-12-15 | 東京電力ホールディングス株式会社 | 計測システム及び方法 |
-
1991
- 1991-01-18 JP JP3004657A patent/JP2930742B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002533663A (ja) * | 1998-12-22 | 2002-10-08 | ゼンジリオン アクチエンゲゼルシャフト | 質量流量を測定する方法およびセンサ |
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| JP2014085185A (ja) * | 2012-10-22 | 2014-05-12 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | 固定装置、固定方法、及び流量計測装置 |
| WO2015119139A1 (ja) * | 2014-02-06 | 2015-08-13 | 東京電力株式会社 | 流速計測方法および流速計測システム |
| JP2015148508A (ja) * | 2014-02-06 | 2015-08-20 | 東京電力株式会社 | 流速計測方法および流速計測システム |
| CN105960577A (zh) * | 2014-02-06 | 2016-09-21 | 东京电力控股株式会社 | 流速测量方法以及流速测量*** |
| JP2016212030A (ja) * | 2015-05-13 | 2016-12-15 | 東京電力ホールディングス株式会社 | 計測システム及び方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2930742B2 (ja) | 1999-08-03 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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