JPH04334986A - 磁歪式アクチュエータ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、外部磁界の印加により
磁歪を生じる磁性体を備えた磁歪式アクチュエータの改
良に関する。

【０００２】

【従来の技術】振動や変位発生用のアクチュエータとし
ては、従来からＰＺＴなどの圧電材料を変位発生素子と
なし、この変位発生素子に制御電圧を印加するようにし
た圧電式アクチュエータが知られている。また、スピー
カーの原理を用いた電磁式アクチュエータや磁歪現象を
用いた磁歪式アクチュエータも一般に知られている。

【０００３】ここに、前記振動や変位発生用のアクチュ
エータにおいては、小型で高出力、即ちより大きい変位
量および力が発生できるアクチュエータの開発が望まれ
ている。かかる要求を満たす変位発生素子としては、前
記圧電材料よりも一般に剛性および歪み量が大きい磁歪
を有する磁性体、つまり磁性材料を用いた磁歪式アクチ
ュエータが注目されている。

【０００４】前記磁歪式アクチュエータに用いられる磁
歪材料としては、従来よりＮｉ系合金、Ｆｅ−Ａｌ系合
金、フェライト系合金が主に用いられている。また、最
近では、前記磁歪材料に比べて１桁以上大きな変位が発
生可能な希土類金属−遷移金属系超磁歪合金も報告され
ている。前記磁歪式アクチュエータは、一般に前記磁歪
材料に制御磁界を印加する手段を備えた構成になってい
る。前記磁界印加手段としては、制御電流の供給で容易
に磁界を制御することが可能な電磁石などの磁気回路が
主に用いられている。

【０００５】そこで出願人は、特願平２−８３２２０号
、特願平２−４０９２８号、特願平２−４０９２９号及
び特願平２−４０９３０の４件の出願に基づく優先権主
張を伴う出願（出願日、平成３年２月１９日、整理番号
Ａ００９１０１２７６）として、図１４及び図１５に示
す磁歪式アクチュエータを提案した、。

【０００６】即ち、図１４に示す磁歪式アクチュエータ
は、片側のみに変位を発生させるタイプのもので、超磁
歪合金からなる棒状の磁性体１の周囲に制御磁界を印加
する空心コイル２を配置するとともに、前記磁性体１の
両端は結合部材３を介して可動ヨーク４及び固定板５に
夫々連結されている。更に、可動ヨーク４を弾性体６を
介して固定板７に連結してこれが不用意に動かないよう
にするとともに、可動ヨーク４に固定板７に設けた貫通
孔７ａを貫通して外部に露出する出力棒８を連結し、こ
の出力棒８により磁性体１の変形（歪み）をアクチュエ
ータ変位として取り出すようにしたものである。ここに
、固定板５には環状溝５ａが設けられているとともに、
ここに永久磁石９が取り付けられ、この永久磁石９によ
って磁性体１に予め磁気バイアスが与えられて初期変位
が付けられている。また、前記磁性体１及び空心コイル
２は円筒状ケース１０及び両固定板５，７内に収納され
、これらと可動ヨーク４によって閉磁気回路が構成され
ている。

【０００７】図１５に示す磁歪式アクチュエータは、両
側に変位を発生させるタイプのもので、上記と異なる点
は、磁性体１の両端に結合部材３を介して可動ヨーク４
を連結するとともに、この各可動ヨーク４に夫々貫通孔
５ａ，７ａを貫通して外部に突出する出力棒８を連結し
、更に可動ヨーク４に設けた環状溝４ａ内に磁気バイア
スを予め与える永久磁石９を取り付けた点にある。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】前記磁歪式アクチュエ
ータにおいて、大きな変位を発生させようとすると、前
記磁歪材料（磁性体）を大きく変位させる必要があり、
このためには、制御電流を増大させて印加磁界を増大さ
せる必要があるが、磁歪材料における磁界強さに対する
変位量には一定の限界があり、超磁歪合金であってもそ
の最大歪み量はせいぜい１／１０００程度である。この
ため、更に大きな変位量を有するようにした磁歪式アク
チュエータの開発が望まれていた。

【０００９】即ち、図１６（ａ）及び（ｂ）は、夫々異
る磁歪材料の印加磁界に対する変位量の関係を示したも
のである。同図より判るように、磁界強さを大きくして
も、それに比例した変位が発生しなくなり、ある一定変
位量以上では頭打ちになるため、大きな変位量になれば
なる程、制御電流の効率が落ちる関係にある。また、こ
のような状態でアクチュエータとして使用して大きな変
位を出そうとすると、非常に大きな制御電流が必要とな
り、消費電力が大きくなるばかりでなく、大きな電源回
路が必要となるため、コスト的にも増大してしまうとい
う問題がある。

【００１０】更に、図１６に示す通り、磁歪材料は印加
される制御磁界の向きにかかわらず、その材料の性質に
より一方向にしか変形しないという特性を有する。この
ため、このままでは、正または負方向のどちらか一方の
みの駆動変位しか得られないという問題を生ずる。一般
に、振動制御に用いるアクチュエータには、駆動変位と
してある初期変位に対して、正および負方向の両方向変
位が必要であるため、このままでは振動制御用アクチュ
エータとして使用が不可能となるばかりでなく、他の用
途に用いる場合においても、制御方法が大きく制限され
る問題がある。

【００１１】このため、前記図１４及び図１５に示すも
のにおいては、磁歪材料に永久磁石などで磁界バイアス
をかけておき、バイアス磁界量に応じた磁歪材料歪み量
を初期変位として、制御電解により正及び負方向の駆動
変位を発生させるようになされている。

【００１２】しかし、この場合における各方向の変位量
、即ち変位振幅は、磁歪材料の可能な絶対歪み量より必
然的に小さくなるため、駆動変位の発生効率が確実に悪
くなってしまうばかりでなく、印加する磁界バイアスの
ための永久磁石などの設置が必要となるため、装置全体
として構造が複雑となり、かつ重量が重くなってしまう
という問題がある。

【００１３】本発明は上記に鑑み、絶対駆動変位量を増
加させ、しかも正及び負方向の駆動変位発生を容易にす
ることにより、制御性が良くかつ投入パワーの高効率化
を図ったものを提供することを目的とする。

【００１４】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
、本発明に係る請求項１記載の磁歪式アクチュエータは
、磁歪を有する磁性体からなる変位発生手段と、前記変
位発生手段に固定され該変位発生手段の変位方向に移動
可能な可動部材と、前記変位発生手段の周囲に配設され
該変位発生手段に磁界を印加する磁界発生手段と、前記
変位発生手段及び磁界発生手段を収納し閉磁気回路を構
成する磁気回路構成部材とを具備する磁歪式アクチュエ
ータであって、同一の磁歪特性を有する少なくとも２本
以上の棒状の磁性体を連結部材を介して変位方向に直列
に連結して前記変位発生手段を構成するとともに、前記
磁界発生手段で前記各磁性体に独立して磁界を印加する
ようにしたものである。

【００１５】また、請求項２記載の磁歪式アクチュエー
タは、異なる磁歪特性を有する少なくとも２本以上の棒
状の磁性体を連結部材を介して変位方向に直列に連結し
て前記変位発生手段を構成するとともに、前記磁界発生
手段で前記各磁性体に独立して磁界を印加するようにし
ものである。

【００１６】更に、請求項３記載の磁歪式アクチュエー
タは、前記磁界発生手段を、前記変位発生手段の周囲に
配置したそれぞれ独立した空心コイルとこの空心コイル
を流れる電流を制御する制御回路とによって構成し、前
記空心コイルに常に一定の電流を流しておくことによっ
て前記変位発生手段に磁気バイアスを印加するようにし
たものである。

【００１７】

【作用】上記のように構成した請求項１記載の本発明に
よれば、棒状の磁性体単体のみの変位量に比べて、直列
に設置した磁性体の本数倍の駆動変位を得ることができ
るとともに、各磁性体の変位量を各磁界発生手段を介し
て自由に調整することができるので、駆動変位の絶対量
を大きく採って振動制御アクチュエータとしての制御能
力を大幅に向上させることができる。従って、変位発生
能力に余裕が生まれるので、磁性体を最大歪み限界付近
まで使用する必要をなくして、大きな制御磁界を与えな
くても済み消費電力量が少なくて済むので、効率的な使
用が可能となるとともに、駆動電源部も駆動変位能力向
上の割合に比べ小型化を図ることができる。更に、磁歪
材料の大きな歪み部付近での磁界に対する非線形変位特
性の部分を無理に使う必要がないため、電流量を調整す
る制御手段の簡素化が図れ、かつ制御能力を向上させる
ことができる。

【００１８】また、請求項２記載の本発明によれば、正
の方向に変位する磁性体に磁界を印加すれば正の方向に
、負の方向に変位する磁性体に磁界を印加すれば負の方
向に夫々駆動変位するので、両振幅振動制御が可能とな
り、構造物に対する振動制御用アクチュエータとしての
能力を大幅に向上させることができる。しかも、変位発
生手段に永久磁石などの磁界バイアスをかけて初期変位
を与える必要がないため、変位発生手段の変位能力を有
効に利用できるばかりでなく、アクチュエータの軽量化
を図ることができる。

【００１９】更に、請求項３記載の本発明によれば、変
位発生手段に永久磁石などの磁界バイアスをかけて初期
変位を与えることなく、両振幅振動を達成することがで
き、このため、変位発生手段の変位能力を有効に利用で
きるばかりでなく、アクチュエータの軽量化を図ること
ができる。

【００２０】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照して説明
する。

【００２１】図１乃至図３は、片側にのみ変位を取り出
すようにした本発明の第１の実施例を示すもので、同一
の磁歪特性、即ち正の磁歪特性または負の磁歪特性の一
方の磁歪特性を有する（図示では正の磁歪特性を有する
ものを使用した例を示している）２本の棒状の磁性体１
ａ，１ｂを連結部材１１を介してその長手方向（変位方
向）に直列に連結することによって変位発生手段として
の変位発生体１２ａが構成されている。

【００２２】このように、同一磁歪特性を有する２本の
磁性体１ａ，１ｂを連結部材１１を介して連結して変位
発生体１２ａを構成したのは、超磁歪材料等にあっては
、その材料の構成上および製造性の問題から、磁性体単
体としてあまり長いものを製造することが一般に困難で
あるからである。

【００２３】ここに、正の磁歪特性を有するとは、磁界
をかけると正の歪み（磁界方向の伸び）を生じることを
いい、負の磁歪特性を有するとは、磁界をかけると負の
歪み（磁界方向の縮み）を生じることをいう。

【００２４】磁性体材料としては、例えば従来からよく
知られたＮｉ系合金、Ｆｅ−Ａｌ系合金、フェライト系
材料等があるが、振動子等の小型化、高出力化を達成す
る観点から、希土類金属−遷移金属系のラーベス型金属
間化合物からなる超磁歪合金を用いることが望ましい。 かかる超磁歪合金としては、原子比で、Ｒ（Ｆｅ１−ｘ
−ｙ　Ｃｏｘ　Ｍｙ　）ｚ　（但し、式中のＲはイット
ニウムを含む希土類元素から選ばれる少なくとも１種の
元素、ＭはＮｉ、Ｍｎ、Ｍｇ、Ａｌ、Ｇａ、Ｚｎ、Ｖ、
Ｚｒ、Ｈｆ、Ｔｉ、Ｎｂ、Ｃｕ、Ａｇ、Ｓｎ、Ｍｏ、Ｓ
ｉ及びＢから選ばれる少なくとも１種の元素を示し、ｘ
、ｙ、ｚは０≦ｘ≦０．９５、０≦ｙ≦０．６、１．５
≦ｚ≦４．０を示す）を満足する組成を有する合金が挙
げられる。具体的には、正の磁歪特性を有する磁歪材料
として、Ｔｂ−Ｄｙ・Ｆｅ系合金、Ｔｂ−Ｄｙ・Ｆｅ−
Ｍｎ系合金等が例示され、また、負の磁歪特性を有する
磁歪材料として、ＳｍＦｅ２やＥｒＦｅ２　系合金等が
例示される。

【００２５】前記一方の磁性体１ｂの自由端は、固定板
５と結合されて固定されている。また他方の磁性体１ａ
の自由端は、可動部材としての可動ヨーク４と結合され
、この可動ヨーク４には出力棒８が連結されている。 この出力棒８は、アクチュエータの変位として取出され
る部分であり、固定板７の中央に穿設した貫通穴７ａを
貫通して外部に突出している。更に、前記可動ヨーク４
の外周面と円筒状ケース１０の内周面との間には、不用
意な動きを抑えるとともに可動ヨーク４を初期の位置に
戻す役割を果たす弾性体６が介在されている。

【００２６】前記磁性体１ａ，１ｂの周囲には、この各
磁性体１ａ，１ｂにそれぞれ独立した磁界を印加する空
心コイル２ａ，２ｂが配設されているとともに、この各
空心コイル２ａ，２ｂは、夫々独立した駆動電源１３ａ
，１３ｂに接続されて該駆動電源１３ａ，１３ｂにより
独立した電流が供給されるようなされている。更に、空
心コイル２ａ，２ｂに流れる電気量を調節する制御回路
１４が備えられ、これによって磁界発生手段１５ａが構
成されている。

【００２７】このように、各空心コイル２ａ，２ｂに独
立した駆動電源１３ａ，１３ｂで電流を供給するように
したのは、単一の駆動電源では空心コイルが長くなると
磁界が均一にかかりにくくなり、短いのを重ねた方が均
一な磁界をかけるのに有利であることと、それぞれの磁
界量を別々に制御することができ、各磁性体に異る変位
（動き）を与えることができるからである。

【００２８】更に、円筒状ケース１０の内周面の前記連
結部材１１に対応する位置には、仕切板１６が内方に向
けて形成され、これによって、固定板５、円筒状ケース
１０、仕切板１６及び結合部材１１により磁性体１ｂ及
び空心コイル２ｂを収納する閉磁気回路が、また固定板
７、円筒状ケース１０、仕切板１６及び結合部材１１に
より磁性体１ａ及び空心コイル２ａを収納する閉磁気回
路が夫々構成されており、他の部分に磁気が漏れないよ
うなされている。

【００２９】図３は、本実施例における磁界強さに対す
るアクチュエータ全体の駆動変位量の関係を示すグラフ
である。ここに、磁界強さは、それぞれの磁性体１ａ，
１ｂに印加する磁界強さであり、磁歪体単体のものに比
べて２倍の変位量が得られることが判る。また空心コイ
ル２ａ，２ｂによりそれぞれ磁界Ｅ０をかけた場合には
、線形特性範囲として±ａ０　の両振幅振動変位を得る
ことができる。この範囲の変位量は、線形範囲なので電
流量に対して最も効率が良い。

【００３０】即ち、空心コイル２ａ，２ｂに常に磁界が
Ｅ０　となるように電流を流しておくことによって磁性
体１ａ，１ｂに予め磁気バイアスを印加しておき、この
電流を増減させ、±ｅ０　の磁気変動をさせることによ
り、例えば±ａ０　の両振幅制御制御を行うことができ
、これによって、変位発生手段に永久磁石などの磁界バ
イアスをかけて初期変位を与える必要をなくして、変位
発生手段の変位能力を有効に利用できるばかりでなく、
アクチュエータの軽量化を図ることができる。

【００３１】なお、磁性体を独立に変位駆動させる必要
のない場合は同一の電源よりそれぞれの空心コイルに電
流を供給しても良い。

【００３２】このことは、図４に示すように、単一の磁
性体１と空心コイル２を利用した場合も同様である。即
ち、同図において、制御回路１４を介して空心コイル２
に常に一定の電流を駆動電源１３より供給しておくこと
により磁性体１に予め磁気バイアスを印加しておき、制
御回路１４を介して空心コイル２を流れる電流を制御す
ることによって両振幅制御制御を行うことができ、これ
により永久磁石を不要となすことができる。

【００３３】図５乃至図７は、第２の実施例を示すもの
で、上記第１の実施例と異なる点は、同一の磁歪特性を
有する３本の棒状の磁性体１ａ，１ｂ，１ｃを連結部材
１１を介してその長手方向（変位方向）に直列に連結す
ることによって変位発生手段としての変位発生体１２ｂ
を、前記各磁性体１ａ，１ｂ，１ｃの周囲に夫々配置し
た空心コイル２ａ，２ｂ，２ｃと、この各空心コイル２
ａ，２ｂ，２ｃに独立した電流を供給する駆動電源１３
ａ，１３ｂ，１３ｃと制御回路１４により磁界発生手段
１５ｂを夫々構成した点にある。

【００３４】この実施例の場合、図７に示すように、磁
性体単体のものに比べて３倍の変位量が得られることが
判る。

【００３５】なお、磁性体を独立に変位駆動させる必要
がなく、同一の磁界を印加するだけの場合は同一の電源
よりそれぞれの空心コイルに電流を供給しても良い。

【００３６】図８乃至図１０は、両側から変位を取り出
すようにした第３の実施例を示すものである。

【００３７】即ち、正及び負の異なる磁歪特性を有する
２本の棒状磁性体１ｄ，１ｅ（例えば、一方の磁性体１
ｄは正の磁歪特性を有し、他方の磁性体１ｅは負の磁歪
特性を有する）を、円筒状ケース１０の長さ方向ほぼ中
央に設けた仕切板１７を連結部材１１として、その長手
方向（変位方向）に直列に連結することによって変位発
生手段としての変位発生体１２ｃが構成されている。こ
の各磁性体１ｄ，１ｅの自由端には、可動部材としての
可動ヨーク４が結合され、この各可動ヨーク４には、各
固定板７の中央に穿設した貫通穴７ａを貫通して外部に
突出する出力棒８が夫々連結されているとともに、前記
可動ヨーク４の外周面と円筒状ケース１０の内周面との
間には、弾性体６が介在されている。

【００３８】一方、前記磁性体１ｄ，１ｅの周囲には、
この各磁性体１ｄ，１ｅにそれぞれ独立した磁界を印加
する空心コイル２ｄ，２ｅが夫々配設され、この各空心
コイル２ｄ，２ｅは、夫々独立した駆動電源１３ｄ，１
３ｅに接続され，更に空心コイル２ａ，２ｂに流れる電
気量を調節する制御回路１４が備えら、これによって磁
界発生手段１５ｃが構成されている。

【００３９】この実施例の場合、振動制御のように正お
よび負方向に変位させたい場合に使用して最適なもので
、磁界強さに対するアクチュエータ全体の駆動変位量の
関係を示すグラフは、図１０に示すようになる。

【００４０】この場合、正方向に変位させる場合には、
空心コイル２ｄに電流を流すことにより正方向に変位す
る磁性体（例えば磁性体１ｄ）に磁界を発生させ、負方
向に変位する磁性体（同じく磁性体１ｅ）は、空心コイ
ル２ｅの電流量を０として変位を発生させないようにす
る。また、負方向に変位させる場合には、それぞれの空
心コイル２ｄ，２ｅの電流を逆にすることによりこの目
的を達成することができる。

【００４１】この実施例により、片振幅振動範囲を単体
のみの場合に比べて大きくとることができ、また空心コ
イルや永久磁石によって磁界バイアスを与えることを不
必要となすことができる。

【００４２】ここに、図１１及び図１２に示すように、
異なる磁歪特性を有する２本づつ計４本の棒状の磁性体
１ｄ，１ｅ，１ｆ，１ｇ（例えば、磁性体１ｄ，１ｆは
正の磁歪特性を有し、磁性体１ｅ，１ｇは負の磁歪特性
を有する）を使用し、同一磁歪特性を有するものが仕切
板１７を中心に左右に位置するように連結して変位発生
手段としての変位発生体１２ｄを、前記各磁性体１ｄ，
１ｅ，１ｆ，１ｇの周囲に夫々配置した空心コイル２ｄ
，２ｅ，２ｆ，２ｇと、この各空心コイル２ｄ，２ｅ，
２ｆ，２ｇに独立した電流を供給する駆動電源１３ｄ，
１３ｅ，１３ｆ，１３ｇと制御回路１４により磁界発生
手段１５ｄを夫々構成することによって、前記第３の実
施例の２倍の変位を得るようにすることができる。

【００４３】また、この図１１及び図１２に示す実施例
のうち、最側方に位置する１つの磁性体１ｆまたは１ｇ
及びこれに伴う空心コイル１３ｆまたは１３ｇ等の付属
品を取り除くことにより、または空心コイル１３ｆまた
は１３ｇへの供給電流を０にすることにより、図１３（
ａ）または（ｂ）に示すような磁界強さに対するアクチ
ュエータ全体の駆動変位量の関係を得ることができる。

【００４４】即ち同図（ａ）に示すものは、磁性体１ｇ
（磁性体１ｇは、負の磁歪特性を有する）及びその付属
品を取り除いた場合、または空心コイル１３ｇへの供給
電流を０にした場合であり、同図（ｂ）に示すものは、
磁性体１ｆ（磁性体１ｆは、正の磁歪特性を有する）及
びその付属品を取り除いた場合、または空心コイル１３
ｆへの供給電流を０にした場合のものである。

【００４５】

【発明の効果】以上詳述したように、請求項１に係る本
発明によれば、棒状の磁性体単体のみを設置したアクチ
ュエータの駆動変位量に比べて、直列に設置した棒状の
磁性体の本数倍の駆動変位を得ることができるので、駆
動変位の絶対量を大きくとることができ、これによって
振動制御アクチュエータとしての制御能力を大幅に向上
させることができる。従って、変位量に余裕が生まれる
ので、磁歪材料の最大歪み限界付近の能力を使わなくて
も済むようになり、大きな制御電流を不必要とすことが
でき、このため空心コイルに電力を供給する駆動電源部
の小型化を図ることができる。

【００４６】また、請求項２に係る本発明によれば、ア
クチュエータとしての駆動変位を簡単に正方向および負
方向に発生させることができるので、両振幅振動制御が
可能となり、振動制御用アクチュエータとしての能力を
大幅に向上させることできる。しかも、両振幅振動に関
して、変位発生手段に永久磁石などや空心コイルに初期
バイアス電流をかけることによって磁界バイアスをかけ
て初期変位を与える必要がないため、使用電力量を抑制
でき変位発生手段の変位能力を有効に利用できアクチュ
エータとしての小型軽量化を図ることができる。

【００４７】更に、請求項３に係る本発明によれば、変
位発生手段に永久磁石などの磁界バイアスをかけて初期
変位を与えことなく、両振幅振動を達成することができ
、これによって、変位発生手段の変位能力を有効に利用
できるとともに、アクチュエータとしての小型軽量化を
図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例を示す断面図。

【図２】同じく、基本原理の説明に付する原理図。

【図３】同じく、制御磁界強さと変位量との関係を示す
グラフ。

【図４】空心コイルによる制御の原理図。

【図５】第２の実施例を示す断面図

【図６】同じく、基本原理の説明に付する原理図。

【図７】同じく、制御磁界強さと変位量との関係を示す
グラフ。

【図８】第３の実施例を示す断面図。

【図９】同じく、基本原理の説明に付する原理図。

【図１０】同じく、制御磁界強さと変位量との関係を示
すグラフ。

【図１１】第４の実施例を示す断面図。

【図１２】同じく、基本原理の説明に付する原理図。

【図１３】異なる制御磁界強さと変位量との関係を示す
グラフ。

【図１４】従来例を示す断面図。

【図１５】他の従来例を示す断面図。

【図１６】従来例の制御磁界強さと変位量との関係を示
すグラフ。

【符号の説明】

１，１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄ，１ｅ，１ｆ，１ｇ　　磁
性体 ２，２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ，２ｅ，２ｆ，２ｇ　　空
心コイル ４　　可動ヨーク（可動部材） １０　　円筒状ケース １１　　連結部材 １２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄ　　変位発生体（変位
発生手段） １３，１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄ，１３ｅ，１３
ｆ，１３ｇ　　駆動電源 １４　　制御回路

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】磁歪を有する磁性体からなる変位発生手段
   と、前記変位発生手段に固定され該変位発生手段の変位
   方向に移動可能な可動部材と、前記変位発生手段の周囲
   に配設され該変位発生手段に磁界を印加する磁界発生手
   段と、前記変位発生手段及び磁界発生手段を収納し閉磁
   気回路を構成する磁気回路構成部材とを具備する磁歪式
   アクチュエータであって、同一の磁歪特性を有する少な
   くとも２本以上の棒状の磁性体を連結部材を介して変位
   方向に直列に連結して前記変位発生手段を構成するとと
   もに、前記磁界発生手段で前記各磁性体に独立して磁界
   を印加するようにしたことを特徴とする磁歪式アクチュ
   エータ。
2. 【請求項２】磁歪を有する磁性体からなる変位発生手段
   と、前記変位発生手段に固定され該変位発生手段の変位
   方向に移動可能な可動部材と、前記変位発生手段の周囲
   に配設され該変位発生手段に磁界を印加する磁界発生手
   段と、前記変位発生手段及び磁界発生手段を収納し閉磁
   気回路を構成する磁気回路構成部材とを具備する磁歪式
   アクチュエータであって、異なる磁歪特性を有する少な
   くとも２本以上の棒状の磁性体を連結部材を介して変位
   方向に直列に連結して前記変位発生手段を構成するとと
   もに、前記磁界発生手段で前記各磁性体に独立して磁界
   を印加するようにしたことを特徴とする磁歪式アクチュ
   エータ。
3. 【請求項３】磁歪を有する磁性体からなる変位発生手段
   と、前記変位発生手段に固定され該変位発生手段の変位
   方向に移動可能な可動部材と、前記変位発生手段の周囲
   に配設され該変位発生手段に磁界を印加する磁界発生手
   段と、前記変位発生手段及び磁界発生手段を収納し閉磁
   気回路を構成する磁気回路構成部材とを具備する磁歪式
   アクチュエータであって、前記磁界発生手段を、前記変
   位発生手段の周囲に配置したそれぞれ独立した空心コイ
   ルとこの空心コイルを流れる電流を制御する制御回路と
   によって構成し、前記空心コイルに常に一定の電流を流
   しておくことによって前記変位発生手段に磁気バイアス
   を印加するようにしたことを特徴とする磁歪式アクチュ
   エータ。