JPH04320954A - 自動液管理装置 - Google Patents
自動液管理装置Info
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- JPH04320954A JPH04320954A JP11554291A JP11554291A JPH04320954A JP H04320954 A JPH04320954 A JP H04320954A JP 11554291 A JP11554291 A JP 11554291A JP 11554291 A JP11554291 A JP 11554291A JP H04320954 A JPH04320954 A JP H04320954A
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Landscapes
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、処理液が劣化したか
否かを判定する自動液管理装置に関するものである。
否かを判定する自動液管理装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より、例えば半導体の製造工程等で
用いられるレジスト剥離液（処理液）は自動、手動を問
わず様々な方法で分析、管理されていた。具体的には、
レジスト剥離液を分析するに際しては、該レジスト剥離
液の有効成分である硫酸、過酸化水素を中和滴定、酸化
還元滴定したり、前記レジスト剥離液の吸光度及びその
変化を吸光度計により測定することで、レジスト剥離液
の劣化程度を測定していた。
用いられるレジスト剥離液（処理液）は自動、手動を問
わず様々な方法で分析、管理されていた。具体的には、
レジスト剥離液を分析するに際しては、該レジスト剥離
液の有効成分である硫酸、過酸化水素を中和滴定、酸化
還元滴定したり、前記レジスト剥離液の吸光度及びその
変化を吸光度計により測定することで、レジスト剥離液
の劣化程度を測定していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記のよう
なレジスト剥離液の分析装置においては、該レジスト剥
離液の劣化判定に際して、硫酸と過酸化水素との両方の
濃度を、それぞれ滴定することで求めるようにしており
、これによって前記硫酸と過酸化水素とを滴定するため
の試薬供給系が少なくとも２系統必要であり、これに伴
って構成が複雑化するという不具合があった。すなわち
、前記硫酸あるいは過酸化水素を分析する試薬を貯留す
る貯留部と、該貯留部内の試薬を移送する滴定ポンプと
、該滴定ポンプにより前記試薬を反応セルに案内する流
路とからなる試薬供給系を、硫酸と、過酸化水素とにつ
いてそれぞれ１系統ずつ、合計で少なくとも２系統設け
る必要があり、これによって全体構成が複雑化するとい
う不具合があった。この発明は、上記の事情に鑑みてな
されたものであって、少なくとも２種類の試薬を択一的
に反応セルに供給するようにし、これによって試薬供給
系の構成を簡素化することができる自動液管理装置の提
供を目的とする。
なレジスト剥離液の分析装置においては、該レジスト剥
離液の劣化判定に際して、硫酸と過酸化水素との両方の
濃度を、それぞれ滴定することで求めるようにしており
、これによって前記硫酸と過酸化水素とを滴定するため
の試薬供給系が少なくとも２系統必要であり、これに伴
って構成が複雑化するという不具合があった。すなわち
、前記硫酸あるいは過酸化水素を分析する試薬を貯留す
る貯留部と、該貯留部内の試薬を移送する滴定ポンプと
、該滴定ポンプにより前記試薬を反応セルに案内する流
路とからなる試薬供給系を、硫酸と、過酸化水素とにつ
いてそれぞれ１系統ずつ、合計で少なくとも２系統設け
る必要があり、これによって全体構成が複雑化するとい
う不具合があった。この発明は、上記の事情に鑑みてな
されたものであって、少なくとも２種類の試薬を択一的
に反応セルに供給するようにし、これによって試薬供給
系の構成を簡素化することができる自動液管理装置の提
供を目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明では、処理液をサンプリングするサンプリ
ング手段と、サンプリングした処理液の有効成分の濃度
を滴定により求める滴定手段とを有し、前記滴定手段を
、前記サンプリングした処理液を貯留する反応セルと、
前記処理液中の有効成分を分析するための試薬を滴下す
ることにより供給する試薬供給系と、前記反応セル内の
電位を検出する電極とから構成し、前記試薬供給系を、
処理液内の第１の有効成分を分析する試薬が貯留された
第１の貯留部と、処理液内の第２の有効成分を分析する
試薬が貯留された第２の貯留部と、前記第１の貯留部に
通じる流路と前記２の貯留部に通じる流路とを反応セル
に通じる流路に選択的に接続する切換弁と、前記第１あ
るいは第２の貯留部内の試薬を前記流路を通じて反応セ
ルに移送し滴下させる滴定ポンプとから構成するように
している。
めに、本発明では、処理液をサンプリングするサンプリ
ング手段と、サンプリングした処理液の有効成分の濃度
を滴定により求める滴定手段とを有し、前記滴定手段を
、前記サンプリングした処理液を貯留する反応セルと、
前記処理液中の有効成分を分析するための試薬を滴下す
ることにより供給する試薬供給系と、前記反応セル内の
電位を検出する電極とから構成し、前記試薬供給系を、
処理液内の第１の有効成分を分析する試薬が貯留された
第１の貯留部と、処理液内の第２の有効成分を分析する
試薬が貯留された第２の貯留部と、前記第１の貯留部に
通じる流路と前記２の貯留部に通じる流路とを反応セル
に通じる流路に選択的に接続する切換弁と、前記第１あ
るいは第２の貯留部内の試薬を前記流路を通じて反応セ
ルに移送し滴下させる滴定ポンプとから構成するように
している。
【０００５】
【作用】本発明によれば、第１の貯留部に通じる流路と
２の貯留部に通じる流路とを、反応セルに通じる流路に
選択的に接続する切換弁を設けたので、該切換弁の切換
動作によって、第１の貯留部に貯留されている、処理液
内の第１の有効成分（過酸化水素）を分析する試薬（過
マンガン酸カリウム）と、第２の貯留部に貯留されてい
る、処理液内の第２の有効成分（硫酸）を分析する試薬
（水酸化ナトリウム）とを択一的に反応セルに供給する
ことができ、これによって、２系統の試薬供給系を必要
としていた従来の自動液管理装置と比較して構成が簡素
化される。
２の貯留部に通じる流路とを、反応セルに通じる流路に
選択的に接続する切換弁を設けたので、該切換弁の切換
動作によって、第１の貯留部に貯留されている、処理液
内の第１の有効成分（過酸化水素）を分析する試薬（過
マンガン酸カリウム）と、第２の貯留部に貯留されてい
る、処理液内の第２の有効成分（硫酸）を分析する試薬
（水酸化ナトリウム）とを択一的に反応セルに供給する
ことができ、これによって、２系統の試薬供給系を必要
としていた従来の自動液管理装置と比較して構成が簡素
化される。
【０００６】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図１及び図２に基
づいて説明する。この発明の一実施例を図１の全体概略
構成図及び図２のフローチャートを参照して説明する。 まず、図１において符号１で示すものはレジスト剥離液
（処理液）が供給される処理液供給経路である。なお、
前記レジスト剥離液には、半導体用シリコンウエハ上の
レジスト（ノボラック樹脂等）を剥離して溶解する過酸
化水素（第１の有効成分）、硫酸（第２の有効成分）等
の成分が含有されている。前記処理液供給経路１の途中
にはレジスト剥離液の流通方向Ｘに沿って、レジスト剥
離液を冷却する冷却器２、未溶解物等の不純物を除去す
るフィルタ３、フォトセル４、六方電磁弁５が順次設け
られている。前記フォトセル４は、前記経路１によって
送られてきたレジスト剥離液をセル（図示略）内に導き
、該レジスト剥離液に一定波長の光線を照射することに
より、当該レジスト剥離液の吸光度を測定するものであ
る。そして、このフォトセル４により検出された吸光度
の変化に基づき処理液の劣化度が測定される。
づいて説明する。この発明の一実施例を図１の全体概略
構成図及び図２のフローチャートを参照して説明する。 まず、図１において符号１で示すものはレジスト剥離液
（処理液）が供給される処理液供給経路である。なお、
前記レジスト剥離液には、半導体用シリコンウエハ上の
レジスト（ノボラック樹脂等）を剥離して溶解する過酸
化水素（第１の有効成分）、硫酸（第２の有効成分）等
の成分が含有されている。前記処理液供給経路１の途中
にはレジスト剥離液の流通方向Ｘに沿って、レジスト剥
離液を冷却する冷却器２、未溶解物等の不純物を除去す
るフィルタ３、フォトセル４、六方電磁弁５が順次設け
られている。前記フォトセル４は、前記経路１によって
送られてきたレジスト剥離液をセル（図示略）内に導き
、該レジスト剥離液に一定波長の光線を照射することに
より、当該レジスト剥離液の吸光度を測定するものであ
る。そして、このフォトセル４により検出された吸光度
の変化に基づき処理液の劣化度が測定される。
【０００７】また、前記六方電磁弁５は、（一）通常は
実線で示すように配置されており、前記レジスト剥離液
をループ１０及び経路６・７を通じて処理槽（図示略）
に、経路６・８を通じてドレンタンク９にそれぞれ案内
する、（二）レジスト剥離液中の硫酸、過酸化水素濃度
を測定する際に、点線で示す位置に切り換え、前記実線
の位置に配置されている間にループ１０に一時貯留され
たレジスト剥離液を、純水供給系１１（後述する）を通
じて送られた純水により押し出し、反応セル（後述する
）に案内する。なお、前記ループ１０は、その内部に貯
留されるレジスト剥離液の量が予め設定されている、つ
まり定量のために用いるものである。また、前記経路６
〜８の分岐部に設けられたものは、特に汚れたレジスト
剥離液や、純水に混合されたレジスト剥離液をドレンタ
ンク９に案内するための三方電磁弁１２、前記経路６の
途中に設けられたものはポンプ１３、前記経路８の途中
に設けられたものは、レジスト剥離液のＰＨを測定する
ＰＨ電極１４である。
実線で示すように配置されており、前記レジスト剥離液
をループ１０及び経路６・７を通じて処理槽（図示略）
に、経路６・８を通じてドレンタンク９にそれぞれ案内
する、（二）レジスト剥離液中の硫酸、過酸化水素濃度
を測定する際に、点線で示す位置に切り換え、前記実線
の位置に配置されている間にループ１０に一時貯留され
たレジスト剥離液を、純水供給系１１（後述する）を通
じて送られた純水により押し出し、反応セル（後述する
）に案内する。なお、前記ループ１０は、その内部に貯
留されるレジスト剥離液の量が予め設定されている、つ
まり定量のために用いるものである。また、前記経路６
〜８の分岐部に設けられたものは、特に汚れたレジスト
剥離液や、純水に混合されたレジスト剥離液をドレンタ
ンク９に案内するための三方電磁弁１２、前記経路６の
途中に設けられたものはポンプ１３、前記経路８の途中
に設けられたものは、レジスト剥離液のＰＨを測定する
ＰＨ電極１４である。
【０００８】また、前記純水供給系１１は、純水の供給
経路１５に沿って設けられた二方電磁弁１６、中間トラ
ップ１７、ポンプ１８と、分岐した経路１９に設けられ
て、該純水の供給圧力を一定値以下に保持するリリーフ
弁２０とにより構成されるものである。なお、このリリ
ーフ弁２０により排出された純水は、前記ドレンタンク
９に案内される。一方、前記ループ１０に一時貯留され
た後、純水により押し出されたレジスト剥離液は、経路
２１を通じて滴定手段５０に案内される。この滴定手段
５０は、前記ループ１０によりサンプリングしたレジス
ト剥離液を貯留する反応セル２２と、前記反応セル２２
に対して、レジスト剥離液中の過酸化水素あるいは硫酸
を分析するための試薬を滴下により供給する試薬供給系
２３と、前記反応セル２２内において、前記過酸化水素
あるいは硫酸と試薬との反応度を測定する電極２４とか
ら構成されたものである。なお、前記電極２４は、反応
セル２２内の電位（酸化還元電位等）を測定する機能を
有するものであり、その測定データ（イ）は図示しない
データ処理装置に供給されるようになっている。
経路１５に沿って設けられた二方電磁弁１６、中間トラ
ップ１７、ポンプ１８と、分岐した経路１９に設けられ
て、該純水の供給圧力を一定値以下に保持するリリーフ
弁２０とにより構成されるものである。なお、このリリ
ーフ弁２０により排出された純水は、前記ドレンタンク
９に案内される。一方、前記ループ１０に一時貯留され
た後、純水により押し出されたレジスト剥離液は、経路
２１を通じて滴定手段５０に案内される。この滴定手段
５０は、前記ループ１０によりサンプリングしたレジス
ト剥離液を貯留する反応セル２２と、前記反応セル２２
に対して、レジスト剥離液中の過酸化水素あるいは硫酸
を分析するための試薬を滴下により供給する試薬供給系
２３と、前記反応セル２２内において、前記過酸化水素
あるいは硫酸と試薬との反応度を測定する電極２４とか
ら構成されたものである。なお、前記電極２４は、反応
セル２２内の電位（酸化還元電位等）を測定する機能を
有するものであり、その測定データ（イ）は図示しない
データ処理装置に供給されるようになっている。
【０００９】また、前記試薬供給系２３は、レジスト剥
離液中の過酸化水素（第１の有効成分）を酸化させる過
マンガン酸カリウム溶液（試薬）が貯留されたフラスコ
２５（第１の貯留部）と、レジスト剥離液中の硫酸（第
２の有効成分）を中和させる水酸化ナトリウム（試薬）
が貯留されたフラスコ２６（第２の貯留部）と、フラス
コ２５に通じる流路２７とフラスコ２６に通じる流路２
８とを、反応セル２２に通じる流路２９に選択的に接続
する三方電磁弁（切換弁）３０と、前記流路２９の途中
に設けられて、前記フラスコ２５あるいは２６内の試薬
を反応セル２２に移送する滴定ポンプ３１とから構成さ
れたものであって、前記滴定ポンプ３１においては、反
応セル２２に対する試薬の滴下量が測定データ（ロ）と
して、図示しないデータ処理装置に供給されるようにな
っている。そして、上記のように構成された滴定手段５
０からは、前記電極２４において測定された電位を示す
測定データ（イ）と、前記定量ポンプ２７の図示しない
流量計において測定された滴下量を示す測定データ（ロ
）とが、データ処理装置（図示略）に送られ、このデー
タ処理装置において、レジスト剥離液中の過酸化水素の
濃度あるいは硫酸の濃度が計算される。すなわち、前記
データ処理装置では、電位が飛躍した点を反応の終点と
して（測定データ（イ）に基づく）、この反応の終点に
おける試薬の滴下量（測定データ（ロ）に基づく）から
、前記レジスト剥離液の過酸化水素の濃度あるいは硫酸
の濃度が算出されるようになっている。
離液中の過酸化水素（第１の有効成分）を酸化させる過
マンガン酸カリウム溶液（試薬）が貯留されたフラスコ
２５（第１の貯留部）と、レジスト剥離液中の硫酸（第
２の有効成分）を中和させる水酸化ナトリウム（試薬）
が貯留されたフラスコ２６（第２の貯留部）と、フラス
コ２５に通じる流路２７とフラスコ２６に通じる流路２
８とを、反応セル２２に通じる流路２９に選択的に接続
する三方電磁弁（切換弁）３０と、前記流路２９の途中
に設けられて、前記フラスコ２５あるいは２６内の試薬
を反応セル２２に移送する滴定ポンプ３１とから構成さ
れたものであって、前記滴定ポンプ３１においては、反
応セル２２に対する試薬の滴下量が測定データ（ロ）と
して、図示しないデータ処理装置に供給されるようにな
っている。そして、上記のように構成された滴定手段５
０からは、前記電極２４において測定された電位を示す
測定データ（イ）と、前記定量ポンプ２７の図示しない
流量計において測定された滴下量を示す測定データ（ロ
）とが、データ処理装置（図示略）に送られ、このデー
タ処理装置において、レジスト剥離液中の過酸化水素の
濃度あるいは硫酸の濃度が計算される。すなわち、前記
データ処理装置では、電位が飛躍した点を反応の終点と
して（測定データ（イ）に基づく）、この反応の終点に
おける試薬の滴下量（測定データ（ロ）に基づく）から
、前記レジスト剥離液の過酸化水素の濃度あるいは硫酸
の濃度が算出されるようになっている。
【００１０】一方、反応セル２２の下部には、測定が終
了する毎に該反応セル２２内のレジスト剥離液を排出す
るための経路４０が設けられ、これら経路４０の途中に
は、フィルタ４１、反応セル２２からの溶液の排出動作
を行うための電磁弁４２、排液ポンプ４３が順次設けら
れている。そして、前記経路４０を通じて排出された溶
液は、前述したドレンタンク９内に送られるようになっ
ている。なお、上記構成において、図１に符号１００で
示す範囲の構成をサンプリング手段とし、符号５０で示
す範囲の構成要素を滴定手段とし、符号６０で示す範囲
の構成要素を排出手段とする。
了する毎に該反応セル２２内のレジスト剥離液を排出す
るための経路４０が設けられ、これら経路４０の途中に
は、フィルタ４１、反応セル２２からの溶液の排出動作
を行うための電磁弁４２、排液ポンプ４３が順次設けら
れている。そして、前記経路４０を通じて排出された溶
液は、前述したドレンタンク９内に送られるようになっ
ている。なお、上記構成において、図１に符号１００で
示す範囲の構成をサンプリング手段とし、符号５０で示
す範囲の構成要素を滴定手段とし、符号６０で示す範囲
の構成要素を排出手段とする。
【００１１】次に、図１に示す自動液管理装置の滴定手
段５０の制御内容について、図２のフローチャートを参
照してステップ毎に説明する。なお、この制御内容は図
示しない制御装置に記憶され、また、該制御装置により
実行されるものである。 《ステップ１》六方電磁弁５を実線で示す位置から点線
で示す位置に切り換えて、ループ１０において定量され
たレジスト剥離液を純水供給系１１を通じて送られた純
水により押し出し、反応セル２２に案内する。 《ステップ２》レジスト剥離液中の過酸化水素濃度を分
析する設定がなされているか否かを判断し、ＹＥＳの場
合にステップ３に進み、また、ＮＯの場合にステップ５
Ａに進む。 《ステップ３》〜《ステップ４》電磁弁３０を操作して
流路２７と流路２９とを接続し、これによってフラスコ
２５内の過マンガン酸カリウム溶液を反応セル２２内に
供給する。
段５０の制御内容について、図２のフローチャートを参
照してステップ毎に説明する。なお、この制御内容は図
示しない制御装置に記憶され、また、該制御装置により
実行されるものである。 《ステップ１》六方電磁弁５を実線で示す位置から点線
で示す位置に切り換えて、ループ１０において定量され
たレジスト剥離液を純水供給系１１を通じて送られた純
水により押し出し、反応セル２２に案内する。 《ステップ２》レジスト剥離液中の過酸化水素濃度を分
析する設定がなされているか否かを判断し、ＹＥＳの場
合にステップ３に進み、また、ＮＯの場合にステップ５
Ａに進む。 《ステップ３》〜《ステップ４》電磁弁３０を操作して
流路２７と流路２９とを接続し、これによってフラスコ
２５内の過マンガン酸カリウム溶液を反応セル２２内に
供給する。
【００１２】《ステップ５Ａ》レジスト剥離液の有効成
分である硫酸の濃度分析する設定がなされている場合に
、次のステップ５Ｂに進む。なお、レジスト剥離液中の
過酸化水素の濃度分析をした後で、硫酸の濃度分析を行
う場合には、反応セル２２にレジスト剥離液を導入する
前の段階で以下のステップを経ることが好ましい（レジ
スト剥離液中の硫酸の濃度分析をした後で、過酸化水素
の濃度分析を行う場合においても、以下のステップを経
ることが好ましい）。すなわち、電磁弁４２を開状態と
し、かつ電磁弁３０により流路２８と流路２９とを接続
した状態で、滴定ポンプ３１及び排液ポンプ４３を一定
時間運転し、経路２９内を、前記フラスコ２６内に貯留
されている硫酸濃度分析用の試薬である水酸化ナトリウ
ムに置換する。この後、電磁弁４２を閉じ、かつ滴定ポ
ンプ３１及び排液ポンプ４３を停止した状態で、反応セ
ル２２内にレジスト剥離液を導入して、以下に示す滴定
を行うと良い。 《ステップ５Ｂ》〜《ステップ５Ｃ》電磁弁３０により
流路２８と流路２９とが接続されている状態で、滴定ポ
ンプ３１によりフラスコ２６内の水酸化ナトリウム溶液
を反応セル２２に供給する。 《ステップ７》データ処理装置に対して、電極２４にお
いて測定された電位を示す測定データ（イ）と、前記定
量ポンプ２７において測定された滴下量を示す測定デー
タ（ロ）とを供給する。
分である硫酸の濃度分析する設定がなされている場合に
、次のステップ５Ｂに進む。なお、レジスト剥離液中の
過酸化水素の濃度分析をした後で、硫酸の濃度分析を行
う場合には、反応セル２２にレジスト剥離液を導入する
前の段階で以下のステップを経ることが好ましい（レジ
スト剥離液中の硫酸の濃度分析をした後で、過酸化水素
の濃度分析を行う場合においても、以下のステップを経
ることが好ましい）。すなわち、電磁弁４２を開状態と
し、かつ電磁弁３０により流路２８と流路２９とを接続
した状態で、滴定ポンプ３１及び排液ポンプ４３を一定
時間運転し、経路２９内を、前記フラスコ２６内に貯留
されている硫酸濃度分析用の試薬である水酸化ナトリウ
ムに置換する。この後、電磁弁４２を閉じ、かつ滴定ポ
ンプ３１及び排液ポンプ４３を停止した状態で、反応セ
ル２２内にレジスト剥離液を導入して、以下に示す滴定
を行うと良い。 《ステップ５Ｂ》〜《ステップ５Ｃ》電磁弁３０により
流路２８と流路２９とが接続されている状態で、滴定ポ
ンプ３１によりフラスコ２６内の水酸化ナトリウム溶液
を反応セル２２に供給する。 《ステップ７》データ処理装置に対して、電極２４にお
いて測定された電位を示す測定データ（イ）と、前記定
量ポンプ２７において測定された滴下量を示す測定デー
タ（ロ）とを供給する。
【００１３】《ステップ８》
データ処理装置に対して、測定データ（イ）・（ロ）に
基づき、レジスト剥離液中の過酸化水素の濃度あるいは
硫酸の濃度を計算させる。すなわち、前記データ処理装
置では、電位が飛躍した点を反応の終点として（測定デ
ータ（イ）に基づく）、この反応の終点における試薬の
滴下量（測定データ（ロ）に基づく）から、前記レジス
ト剥離液の過酸化水素の濃度あるいは硫酸の濃度を算出
する。 《ステップ９》滴定ポンプ３１を停止させて、電磁弁４
２を開状態にし、更に排液ポンプ４３を動作させて、前
記反応セル２２内のレジスト剥離液を排出する。この後
、前記反応セル２２内を、経路３４により供給した純水
により洗浄し、電磁弁４２を閉状態にする。 《ステップ１０》再度、レジスト剥離液の有効成分の濃
度分析を続けるか否かを判断し、ＮＯの場合に次の元の
ステップ１に進み、また、ＹＥＳの場合にこのフローチ
ャートを上記フローチャートのステップ２において、過
酸化水素濃度を検出するか、硫酸濃度を検出するかの設
定は操作者が逐次行うようにするか、例えば交互に自動
的に行うように設定しても良い。
基づき、レジスト剥離液中の過酸化水素の濃度あるいは
硫酸の濃度を計算させる。すなわち、前記データ処理装
置では、電位が飛躍した点を反応の終点として（測定デ
ータ（イ）に基づく）、この反応の終点における試薬の
滴下量（測定データ（ロ）に基づく）から、前記レジス
ト剥離液の過酸化水素の濃度あるいは硫酸の濃度を算出
する。 《ステップ９》滴定ポンプ３１を停止させて、電磁弁４
２を開状態にし、更に排液ポンプ４３を動作させて、前
記反応セル２２内のレジスト剥離液を排出する。この後
、前記反応セル２２内を、経路３４により供給した純水
により洗浄し、電磁弁４２を閉状態にする。 《ステップ１０》再度、レジスト剥離液の有効成分の濃
度分析を続けるか否かを判断し、ＮＯの場合に次の元の
ステップ１に進み、また、ＹＥＳの場合にこのフローチ
ャートを上記フローチャートのステップ２において、過
酸化水素濃度を検出するか、硫酸濃度を検出するかの設
定は操作者が逐次行うようにするか、例えば交互に自動
的に行うように設定しても良い。
【００１４】以上説明したように本実施例に示す自動液
管理装置によれば、フラスコ２５に通じる流路２７とフ
ラスコ２６に通じる流路２８とを、反応セル２２に通じ
る流路２９に選択的に接続する三方電磁弁３０を設けた
ので、該三方電磁弁３０の切換動作によって、フラスコ
２５に貯留されている過酸化水素を分析する試薬（過マ
ンガン酸カリウム）と、フラスコ２６に貯留されている
硫酸を分析する試薬（水酸化ナトリウム）とを択一的に
反応セル２２に供給することができ、これによって、２
系統の試薬供給系を必要としていた従来の自動液管理装
置と比較して構成が簡素化される効果が得られる。
管理装置によれば、フラスコ２５に通じる流路２７とフ
ラスコ２６に通じる流路２８とを、反応セル２２に通じ
る流路２９に選択的に接続する三方電磁弁３０を設けた
ので、該三方電磁弁３０の切換動作によって、フラスコ
２５に貯留されている過酸化水素を分析する試薬（過マ
ンガン酸カリウム）と、フラスコ２６に貯留されている
硫酸を分析する試薬（水酸化ナトリウム）とを択一的に
反応セル２２に供給することができ、これによって、２
系統の試薬供給系を必要としていた従来の自動液管理装
置と比較して構成が簡素化される効果が得られる。
【００１５】なお、本来、過酸化水素と、試薬である過
マンガン酸カリウムとを反応させる場合に、硫酸（過マ
ンガン酸カリウムは酸性下と中性下とでは反応性が異な
るために、必ず酸性状態で滴定する必要がある）を加え
る必要があるが、本実施例に示す自動液管理装置によれ
ば、硫酸ー過酸化水素系のレジスト剥離液を分析するこ
とを前提としているために、過酸化水素の滴定に際して
特に硫酸を添加する工程を省略することができるもので
ある。更に、硫酸が予め含まれていないレジスト剥離液
中の過酸化水素を定量する場合には、試薬である過マン
ガン酸カリウムを純水で溶解するのではなく、硫酸水溶
液で溶解するようにすれば良い。これにより、サンプリ
ングした溶液（処理液）に、硫酸が含有されていない場
合（例えば過酸化水素だけの水溶液）も、定量分析でき
るようになる。また、前記酸化剤としては、過マンガン
酸カリウムに限定されず重クロム酸カリウム等を使用し
ても良い。また、硫酸を中和する中和剤として水酸化ナ
トリウムを使用したが、これに限定されず水酸化カリウ
ム等を使用しても良い。なお、本実施例では、試薬の切
換に電磁弁３０を用い、かつ一つの滴定ポンプ２１によ
り二つの試薬を選択的に供給するようにしたが、２つの
ポンプにより別々に試薬を供給しても良い。
マンガン酸カリウムとを反応させる場合に、硫酸（過マ
ンガン酸カリウムは酸性下と中性下とでは反応性が異な
るために、必ず酸性状態で滴定する必要がある）を加え
る必要があるが、本実施例に示す自動液管理装置によれ
ば、硫酸ー過酸化水素系のレジスト剥離液を分析するこ
とを前提としているために、過酸化水素の滴定に際して
特に硫酸を添加する工程を省略することができるもので
ある。更に、硫酸が予め含まれていないレジスト剥離液
中の過酸化水素を定量する場合には、試薬である過マン
ガン酸カリウムを純水で溶解するのではなく、硫酸水溶
液で溶解するようにすれば良い。これにより、サンプリ
ングした溶液（処理液）に、硫酸が含有されていない場
合（例えば過酸化水素だけの水溶液）も、定量分析でき
るようになる。また、前記酸化剤としては、過マンガン
酸カリウムに限定されず重クロム酸カリウム等を使用し
ても良い。また、硫酸を中和する中和剤として水酸化ナ
トリウムを使用したが、これに限定されず水酸化カリウ
ム等を使用しても良い。なお、本実施例では、試薬の切
換に電磁弁３０を用い、かつ一つの滴定ポンプ２１によ
り二つの試薬を選択的に供給するようにしたが、２つの
ポンプにより別々に試薬を供給しても良い。
【００１６】
【発明の効果】以上の説明から明かなように、本発明に
よれば、第１の貯留部に通じる流路と２の貯留部に通じ
る流路とを、反応セルに通じる流路に選択的に接続する
切換弁を設けたので、該切換弁の切換動作によって、第
１の貯留部に貯留されている、処理液内の第１の有効成
分（過酸化水素）を分析する試薬（過マンガン酸カリウ
ム）と、第２の貯留部に貯留されている、処理液内の第
２の有効成分（硫酸）を分析する試薬（水酸化ナトリウ
ム）とを択一的に反応セルに供給することができ、これ
によって、２系統の試薬供給系を必要としていた従来の
自動液管理装置と比較して構成が簡素化される効果が得
られる。
よれば、第１の貯留部に通じる流路と２の貯留部に通じ
る流路とを、反応セルに通じる流路に選択的に接続する
切換弁を設けたので、該切換弁の切換動作によって、第
１の貯留部に貯留されている、処理液内の第１の有効成
分（過酸化水素）を分析する試薬（過マンガン酸カリウ
ム）と、第２の貯留部に貯留されている、処理液内の第
２の有効成分（硫酸）を分析する試薬（水酸化ナトリウ
ム）とを択一的に反応セルに供給することができ、これ
によって、２系統の試薬供給系を必要としていた従来の
自動液管理装置と比較して構成が簡素化される効果が得
られる。
【図１】自動液管理装置の全体概略構成図。
【図２】自動液管理装置の制御装置の制御内容を示すフ
ローチャート。
ローチャート。
２２ 反応セル
２３ 試薬供給系
２４ 電極
２５ フラスコ（第１の貯留部）
２６ フラスコ（第２の貯留部）
２７ 流路
２８ 流路
２９ 流路
３０ 三方電磁弁（切換弁）
３１ 滴定ポンプ
５０ 滴定手段
１００ サンプリング手段
Claims (1)
- 【請求項１】 処理液をサンプリングするサンプリン
グ手段と、サンプリングした処理液の有効成分の濃度を
滴定により求める滴定手段とを有し、前記滴定手段は、
前記サンプリングした処理液を貯留する反応セルと、前
記処理液中の有効成分を分析するための試薬を滴下する
ことにより供給する試薬供給系と、前記反応セル内の電
位を検出する電極とから構成され、前記試薬供給系は、
処理液内の第１の有効成分を分析する試薬が貯留された
第１の貯留部と、処理液内の第２の有効成分を分析する
試薬が貯留された第２の貯留部と、前記第１の貯留部に
通じる流路と前記２の貯留部に通じる流路とを反応セル
に通じる流路に選択的に接続する切換弁と、前記第１あ
るいは第２の貯留部内の試薬を前記流路を通じて反応セ
ルに移送し滴下させる滴定ポンプとから構成されている
ことを特徴とする自動液管理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11554291A JPH04320954A (ja) | 1991-04-19 | 1991-04-19 | 自動液管理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11554291A JPH04320954A (ja) | 1991-04-19 | 1991-04-19 | 自動液管理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04320954A true JPH04320954A (ja) | 1992-11-11 |
Family
ID=14665116
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11554291A Pending JPH04320954A (ja) | 1991-04-19 | 1991-04-19 | 自動液管理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04320954A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11298046A (ja) * | 1998-03-18 | 1999-10-29 | Trw Inc | 微小光学半導体レンズの製造方法 |
-
1991
- 1991-04-19 JP JP11554291A patent/JPH04320954A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11298046A (ja) * | 1998-03-18 | 1999-10-29 | Trw Inc | 微小光学半導体レンズの製造方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19991109 |