JPH04317574A - 超音波モータ - Google Patents
超音波モータInfo
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- JPH04317574A JPH04317574A JP3082151A JP8215191A JPH04317574A JP H04317574 A JPH04317574 A JP H04317574A JP 3082151 A JP3082151 A JP 3082151A JP 8215191 A JP8215191 A JP 8215191A JP H04317574 A JPH04317574 A JP H04317574A
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- Japan
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- stator
- ultrasonic motor
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- vibrating
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- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims description 6
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 abstract description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 7
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 6
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 5
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 4
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 2
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は超音波モータのステータ
を励振する振動子の振動要素の構成に関するものである
。
を励振する振動子の振動要素の構成に関するものである
。
【0002】
【従来の技術】現在考案されている超音波モータはステ
ータに圧電振動子が添付され、圧電振動子に高周波電圧
を印加することでステータをたわみ振動させ、ステータ
と接するロータの駆動力を得ている。従来技術において
このたわみ振動は、励振される振動の各ノードからノー
ドごと電圧の極性が反転され印加されていた。すなわち
電圧は1/2波長ごと極性が反転され印加されていた。 また進行波タイプの超音波モータは進行波を励振するた
めに、ステータに位置が1/4波長で電圧位相が90°
ずつずれた2つの定在波を合成させている。従来技術に
おいて前記定在波を励振させるために特開昭59−96
881図10(ロ)のように駆動パターンを配列するか
、あるいは特開昭60−183982図4のように2枚
の振動子を貼合わせていた。
ータに圧電振動子が添付され、圧電振動子に高周波電圧
を印加することでステータをたわみ振動させ、ステータ
と接するロータの駆動力を得ている。従来技術において
このたわみ振動は、励振される振動の各ノードからノー
ドごと電圧の極性が反転され印加されていた。すなわち
電圧は1/2波長ごと極性が反転され印加されていた。 また進行波タイプの超音波モータは進行波を励振するた
めに、ステータに位置が1/4波長で電圧位相が90°
ずつずれた2つの定在波を合成させている。従来技術に
おいて前記定在波を励振させるために特開昭59−96
881図10(ロ)のように駆動パターンを配列するか
、あるいは特開昭60−183982図4のように2枚
の振動子を貼合わせていた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】超音波モータは圧電振
動子の伸縮運動をステータのたわみ振動に変え、ステー
タの変位をロータに伝えることで駆動力を得ている。ス
テータを励振させたときのたわみの状態をある一ヵ所の
腹の位置に注目してみると円周方向が伸びたときは径方
向は縮み、円周方向が縮んだときは径方向が伸びる運動
をしている。しかし同方向に分極処理された圧電振動子
に電圧を加えても、円周方向と径方向に伸縮の異なる変
位を起こすことは不可能であり、どちらかの変位がたわ
み振動の妨げとなっていた。
動子の伸縮運動をステータのたわみ振動に変え、ステー
タの変位をロータに伝えることで駆動力を得ている。ス
テータを励振させたときのたわみの状態をある一ヵ所の
腹の位置に注目してみると円周方向が伸びたときは径方
向は縮み、円周方向が縮んだときは径方向が伸びる運動
をしている。しかし同方向に分極処理された圧電振動子
に電圧を加えても、円周方向と径方向に伸縮の異なる変
位を起こすことは不可能であり、どちらかの変位がたわ
み振動の妨げとなっていた。
【0004】またモード位置の異なる2つの定在波を励
振させる超音波モータにおいて特開昭59−96881
図10(ロ)の方法には駆動に使用しない無駄になる振
動子が存在していた。さらに電極a、及びbが振動体に
半円上で構成されているため、前記電極aあるいはbが
電圧を印加することにより形成する定在波の励振部と非
励振部は偏って構成されており、定在波の変位分布が不
均一となって任意の位置にノードが形成されなかった。 特開昭60−183982の方法は前述の問題点を改善
した構成だが、2枚の振動子を貼るために部品数が多く
なり、コスト高、あるいは製作のわずらわしさという問
題があった。
振させる超音波モータにおいて特開昭59−96881
図10(ロ)の方法には駆動に使用しない無駄になる振
動子が存在していた。さらに電極a、及びbが振動体に
半円上で構成されているため、前記電極aあるいはbが
電圧を印加することにより形成する定在波の励振部と非
励振部は偏って構成されており、定在波の変位分布が不
均一となって任意の位置にノードが形成されなかった。 特開昭60−183982の方法は前述の問題点を改善
した構成だが、2枚の振動子を貼るために部品数が多く
なり、コスト高、あるいは製作のわずらわしさという問
題があった。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明の超音波モータは
電極パターン及び分極方向で区分される複数の振動要素
から構成される圧電振動子を添付したステータをたわみ
振動させることにより、前記ステータと接し摩擦力によ
って駆動されるロータを有する超音波モータにおいて、
前記振動要素のロータ進行方向の幅を、励起されるたわ
み振動波の1/2波長以下にしたことを特徴とし、さら
に前記超音波モータにおいて、前記ステータにノード位
置が1/4波長ずれた2つの定在波を合成させる際、前
記各々の定在波を励振させるためのそれぞれ複数の振動
要素を交互に配置したことを特徴とする。
電極パターン及び分極方向で区分される複数の振動要素
から構成される圧電振動子を添付したステータをたわみ
振動させることにより、前記ステータと接し摩擦力によ
って駆動されるロータを有する超音波モータにおいて、
前記振動要素のロータ進行方向の幅を、励起されるたわ
み振動波の1/2波長以下にしたことを特徴とし、さら
に前記超音波モータにおいて、前記ステータにノード位
置が1/4波長ずれた2つの定在波を合成させる際、前
記各々の定在波を励振させるためのそれぞれ複数の振動
要素を交互に配置したことを特徴とする。
【0006】
【実施例】図1は本発明の実施例における超音波モータ
の全容を示す断面図である。円環状の振動子(圧電素子
)3を添付したステータ1は地板5に止めネジ6で固定
され、振動要素(電極パターン)12にリード線10を
介して電圧を印加することによって厚み方向の曲げ振動
を誘起している。外部に回転力を取り出すためのピニオ
ン4を装着したロータ2は、前記ステータの円周方向振
動変位を拡大するための複数の凸部11と接するよう、
固定ネジ9で固定された受け7によって位置決めされ、
ステータ1の振動を伝えるための摩擦力を得るためにば
ね8によってステータ1に押し付けられている。
の全容を示す断面図である。円環状の振動子(圧電素子
)3を添付したステータ1は地板5に止めネジ6で固定
され、振動要素(電極パターン)12にリード線10を
介して電圧を印加することによって厚み方向の曲げ振動
を誘起している。外部に回転力を取り出すためのピニオ
ン4を装着したロータ2は、前記ステータの円周方向振
動変位を拡大するための複数の凸部11と接するよう、
固定ネジ9で固定された受け7によって位置決めされ、
ステータ1の振動を伝えるための摩擦力を得るためにば
ね8によってステータ1に押し付けられている。
【0007】以上のように構成された超音波モータのス
テータについてその動作を図2を用いてリニア型で説明
する。図2(a)は本発明超音波モータの実施例の構成
断面図である。ステータ1に分割した電極パターン12
を設けた圧電振動子3を貼り付ける。圧電振動子3は同
方向の分極14が施されており、前記電極パターン12
によって振動要素16に区分されている。振動要素A1
6(a)、
テータについてその動作を図2を用いてリニア型で説明
する。図2(a)は本発明超音波モータの実施例の構成
断面図である。ステータ1に分割した電極パターン12
を設けた圧電振動子3を貼り付ける。圧電振動子3は同
方向の分極14が施されており、前記電極パターン12
によって振動要素16に区分されている。振動要素A1
6(a)、
【外1】
16(b)に電極パターン12を介してそれぞれ+、−
の電圧15を印加するとAの部分の振動要素16(a)
は伸び、
の電圧15を印加するとAの部分の振動要素16(a)
は伸び、
【外2】
の部分の振動要素16(b)は縮む。ステータの剛性が
大きく変形しにくいため、ステータ1は図2(b)の実
線のように振動要素16が伸びた部分は振動要素16を
貼り付けた側が山になるようにたわみ、振動要素16が
縮んだ部分は振動要素16を貼り付けた側が谷になるよ
うにたわむ。次にA、
大きく変形しにくいため、ステータ1は図2(b)の実
線のように振動要素16が伸びた部分は振動要素16を
貼り付けた側が山になるようにたわみ、振動要素16が
縮んだ部分は振動要素16を貼り付けた側が谷になるよ
うにたわむ。次にA、
【外3】
に加える電極15を反転して印加すると図2(c)のよ
うにAの振動要素16(a)は縮み、
うにAの振動要素16(a)は縮み、
【外4】
の振動要素16(b)は伸びる。従ってステータ1は破
線のようにたわむ。Aと
線のようにたわむ。Aと
【外5】
に高周波の交流電圧を印加すれば図2(d)のように1
3をノードとする定在波が形成される。本実施例におい
ては、振動要素16が、形成される波長の1/2以下に
構成されている。
3をノードとする定在波が形成される。本実施例におい
ては、振動要素16が、形成される波長の1/2以下に
構成されている。
【0008】図10に図2で説明したステータのたわみ
の状態を斜視図で示す。ステータのたわみをある一ヵ所
の腹の位置に注目してみると矢印で示したように円周方
向が伸びたときは径方向は縮み、円周方向が縮んだとき
は径方向が伸びる運動をしている。しかし同方向に分極
処理された圧電振動子は電圧を加えると円周方向と径方
向に同方向の変位を起こすことになる。従ってどちらか
の変位がたわみ振動の妨げとなっていた。そこで本実施
例超音波モータは、振動要素円周方向の幅を小さくする
ことにより、径方向の伸縮運動により生じるたわみ振動
の妨げとなる円周方向の伸縮運動の影響を小さくした。
の状態を斜視図で示す。ステータのたわみをある一ヵ所
の腹の位置に注目してみると矢印で示したように円周方
向が伸びたときは径方向は縮み、円周方向が縮んだとき
は径方向が伸びる運動をしている。しかし同方向に分極
処理された圧電振動子は電圧を加えると円周方向と径方
向に同方向の変位を起こすことになる。従ってどちらか
の変位がたわみ振動の妨げとなっていた。そこで本実施
例超音波モータは、振動要素円周方向の幅を小さくする
ことにより、径方向の伸縮運動により生じるたわみ振動
の妨げとなる円周方向の伸縮運動の影響を小さくした。
【0009】図3に図2で示した本発明超音波モータの
実施例を回転型モータのステータの平面図で表す。前記
ステータには電極パターン12を設けた圧電振動子3が
添付されている。圧電振動子3は同方向に分極が施され
ており、振動要素は斜線で示す電極パターン12から構
成される。図2のリニア型同様、振動要素Aと
実施例を回転型モータのステータの平面図で表す。前記
ステータには電極パターン12を設けた圧電振動子3が
添付されている。圧電振動子3は同方向に分極が施され
ており、振動要素は斜線で示す電極パターン12から構
成される。図2のリニア型同様、振動要素Aと
【外6】
に180°位相のずれた高周波電圧を印加するとそれぞ
れの領域が交互に伸縮し、ステータ1にたわみ振動が発
生する。このとき、細線13にノードが形成され、3波
長の定在波が励振される。本発明の実施例における超音
波モータの振動要素は円周方向に60°以下で分割され
ている。これは1波長が120°に対して1/2以下と
いうことになる。以上3波長の振動で説明したが、本発
明の超音波モータは3波長に限定するものではなく、例
えば2波長の場合においては振動要素の円周方向の角度
を1波長180°の1/4以下、すなわち90°以下に
すればよい。
れの領域が交互に伸縮し、ステータ1にたわみ振動が発
生する。このとき、細線13にノードが形成され、3波
長の定在波が励振される。本発明の実施例における超音
波モータの振動要素は円周方向に60°以下で分割され
ている。これは1波長が120°に対して1/2以下と
いうことになる。以上3波長の振動で説明したが、本発
明の超音波モータは3波長に限定するものではなく、例
えば2波長の場合においては振動要素の円周方向の角度
を1波長180°の1/4以下、すなわち90°以下に
すればよい。
【0010】図4に本発明超音波モータのステータの他
の実施例をリニア型で示す。図4(a)は構成断面図で
ある。圧電振動子3は同方向に分極14が施されており
、電極パターン12によって振動要素16が分けられて
おり、ステータ1に貼り付けられている。振動要素16
は等間隔に配置してある。振動要素A16(a)、
の実施例をリニア型で示す。図4(a)は構成断面図で
ある。圧電振動子3は同方向に分極14が施されており
、電極パターン12によって振動要素16が分けられて
おり、ステータ1に貼り付けられている。振動要素16
は等間隔に配置してある。振動要素A16(a)、
【外
7】 16(b)に電圧15をそれぞれ+、−で印加するとA
の部分の振動要素16(a)は伸び、
7】 16(b)に電圧15をそれぞれ+、−で印加するとA
の部分の振動要素16(a)は伸び、
【外8】
の部分の振動要素16(b)は縮む。図2で説明したよ
うにステータ1は図4(b)の実線のようにたわむ。次
に図4(c)のように振動要素A16(a)、
うにステータ1は図4(b)の実線のようにたわむ。次
に図4(c)のように振動要素A16(a)、
【外9】
16(b)に電圧15を反転して印加するとステータ1
は破線のようにたわむ。振動要素Aと
は破線のようにたわむ。振動要素Aと
【外10】
に高周波の交流電圧を印加すれば図4(d)のように1
3をノードとする定在波が形成される。次に振動要素A
、
3をノードとする定在波が形成される。次に振動要素A
、
【外11】
に代わり振動要素B、
【外12】
に+−の交流電圧を印加すると図4(e)のような定在
波が形成される。A
波が形成される。A
【外13】
を励振することにより形成される定在波はお互いに1/
4波長ずれており、2つの定在波を同じ周波数で位相を
90°ずらして励振させると進行波が形成される。
4波長ずれており、2つの定在波を同じ周波数で位相を
90°ずらして励振させると進行波が形成される。
【0011】図5に図4で示した本発明超音波モータの
実施例を回転型モータのステータの平面図で表す。前記
ステータ1には電極パターン12を設けた圧電振動子3
が添付されている。圧電振動子3は同方向に分極が施さ
れ、電極パターン12は30°ごと12分割されている
。従って振動要素は電極パターン12から構成されてい
る。図4で説明したとおり、振動要素Aと
実施例を回転型モータのステータの平面図で表す。前記
ステータ1には電極パターン12を設けた圧電振動子3
が添付されている。圧電振動子3は同方向に分極が施さ
れ、電極パターン12は30°ごと12分割されている
。従って振動要素は電極パターン12から構成されてい
る。図4で説明したとおり、振動要素Aと
【外14】
に180°位相のずれた高周波電圧を印加するとそれぞ
れの領域が交互に伸縮し、ステータ1にたわみ振動が発
生する。このとき、細線13(a)にノードが形成され
る3波長の定在波が励振される。次に振動要素Bと
れの領域が交互に伸縮し、ステータ1にたわみ振動が発
生する。このとき、細線13(a)にノードが形成され
る3波長の定在波が励振される。次に振動要素Bと
【外
15】 に180°位相のずれた高周波電圧を印加すると、ステ
ータ1に破線13(b)にノードが形成される3波長の
定在波が励振される。この2つの定在波は位置がお互い
に1/4波長ずれており、位相を90°ずらして同じ周
波数で高周波の電圧を印加することによりステータ1に
進行波が励振される。以上3波長の振動で説明したが、
本発明の超音波モータは3波長に限定するものではなく
、例えば2波長の場合においては電極パターンを45°
づつ8分割にすればよく、従ってどの波数に対しても1
波長の1/4にすればよい。本実施例における超音波モ
ータで回転位置の検出が必要な場合は、適当な1つの振
動要素を共振周波数追尾のための誘起電圧検出用に使用
すればよい。
15】 に180°位相のずれた高周波電圧を印加すると、ステ
ータ1に破線13(b)にノードが形成される3波長の
定在波が励振される。この2つの定在波は位置がお互い
に1/4波長ずれており、位相を90°ずらして同じ周
波数で高周波の電圧を印加することによりステータ1に
進行波が励振される。以上3波長の振動で説明したが、
本発明の超音波モータは3波長に限定するものではなく
、例えば2波長の場合においては電極パターンを45°
づつ8分割にすればよく、従ってどの波数に対しても1
波長の1/4にすればよい。本実施例における超音波モ
ータで回転位置の検出が必要な場合は、適当な1つの振
動要素を共振周波数追尾のための誘起電圧検出用に使用
すればよい。
【0012】図6に本発明超音波モータのステータの他
の実施例をリニア型で示す。図6(a)は構成断面図で
ある。圧電振動子3は図6(a)のように+−に分極1
4が施されており、この分極14と電極パターン12に
よって振動要素16が分けられ、ステータ1に貼り付け
られている。振動要素16は等間隔に配置してある。振
動要素A16(a)、
の実施例をリニア型で示す。図6(a)は構成断面図で
ある。圧電振動子3は図6(a)のように+−に分極1
4が施されており、この分極14と電極パターン12に
よって振動要素16が分けられ、ステータ1に貼り付け
られている。振動要素16は等間隔に配置してある。振
動要素A16(a)、
【外16】
16(b)にそれぞれに+の電圧を印加するとAの部分
の振動要素16(a)は伸び、
の振動要素16(a)は伸び、
【外17】
の部分の振動要素16(b)は縮む。ステータ1は図6
(b)の実線のようにたわむ。次にA、
(b)の実線のようにたわむ。次にA、
【外18】
に加える電極を反転して−の電圧を印加すると図4(c
)のようにステータ1は破線のようにたわむ。Aと
)のようにステータ1は破線のようにたわむ。Aと
【外
19】 に高周波の交流電圧を印加すれば定在波が形成される。 次にA、
19】 に高周波の交流電圧を印加すれば定在波が形成される。 次にA、
【外20】
に代わりB、
【外21】
同時に+−の交流電圧を印加すると定在波が形成される
。A
。A
【外22】
を励振することにより形成される定在波はお互いに1/
4波長ずれており、それぞれの定在波を同じ周波数で位
相を90°ずらして励振させると進行波が形成される。
4波長ずれており、それぞれの定在波を同じ周波数で位
相を90°ずらして励振させると進行波が形成される。
【0013】図7に図6で示した本発明超音波モータの
実施例を回転型モータで表す。圧電振動子3には表面に
////で表す電極パターン12aと::::で表す電
極パターン12bが設けられており、分極方向はそれぞ
れ+−とされている。圧電振動子3をステータに貼り付
け、電極パターン12aに高周波電圧を印加すると実線
13aで示す位置にノードが形成される2波長の定在波
が励振される。電極パターン12bに高周波電圧を印加
すると破線13bで示す位置にノードが形成される2波
長の定在波が励振される。この2つの定在波はお互いに
位置が1/4波長ずれている。従って電極群a、bに9
0°位相のずれた電圧を印加するとステータに進行波が
励振される。本実施例では導通を2ヶ所とるだけでよい
。
実施例を回転型モータで表す。圧電振動子3には表面に
////で表す電極パターン12aと::::で表す電
極パターン12bが設けられており、分極方向はそれぞ
れ+−とされている。圧電振動子3をステータに貼り付
け、電極パターン12aに高周波電圧を印加すると実線
13aで示す位置にノードが形成される2波長の定在波
が励振される。電極パターン12bに高周波電圧を印加
すると破線13bで示す位置にノードが形成される2波
長の定在波が励振される。この2つの定在波はお互いに
位置が1/4波長ずれている。従って電極群a、bに9
0°位相のずれた電圧を印加するとステータに進行波が
励振される。本実施例では導通を2ヶ所とるだけでよい
。
【0014】図8に図7で示した実施例に検出電極を付
けた場合の実施例を示す。図7で示した電極パターン1
2a、12bをさらにそれぞれ12a′、12″、12
b′、12b″に分割する。分極の方向は図7で示した
実施例と同様である。普段は、12a′、12a″、1
2b′、12b″は駆動電圧が印加されるが、誘起電圧
検出を行うときは12a″、12b″を使用する。
けた場合の実施例を示す。図7で示した電極パターン1
2a、12bをさらにそれぞれ12a′、12″、12
b′、12b″に分割する。分極の方向は図7で示した
実施例と同様である。普段は、12a′、12a″、1
2b′、12b″は駆動電圧が印加されるが、誘起電圧
検出を行うときは12a″、12b″を使用する。
【0015】図9に本発明超音波モータの他の実施例を
示す。本実施例のロータ2にはステータ1に形成される
ノードの位置及び数に対応する突起部17が構成されて
いる。前記突起部はステータ1に形成されている凸部1
1と接し、駆動力を得ると同時に定在波で励振されたス
テータのノードの位置13で停止するように構成されて
いる。このように構成された超音波モータは、通常ステ
ータに進行波を形成させロータを駆動させている。この
ときロータは不定速で回転する。このとき図9に示すよ
うにそれぞれの圧電振動子の振動要素に電圧を印加する
と定在波が形成されロータは停止し位置が決まる。この
定在波の励振を一定の周期で行えば誘起電圧検出機構の
不用なステップ駆動が完成する。
示す。本実施例のロータ2にはステータ1に形成される
ノードの位置及び数に対応する突起部17が構成されて
いる。前記突起部はステータ1に形成されている凸部1
1と接し、駆動力を得ると同時に定在波で励振されたス
テータのノードの位置13で停止するように構成されて
いる。このように構成された超音波モータは、通常ステ
ータに進行波を形成させロータを駆動させている。この
ときロータは不定速で回転する。このとき図9に示すよ
うにそれぞれの圧電振動子の振動要素に電圧を印加する
と定在波が形成されロータは停止し位置が決まる。この
定在波の励振を一定の周期で行えば誘起電圧検出機構の
不用なステップ駆動が完成する。
【0016】
【発明の効果】本発明超音波モータは、振動要素円周方
向の幅を小さくすることにより、径方向の伸縮運動によ
り生じるたわみ振動の妨げとなる円周方向の伸縮運動の
影響を小さくした。またモード位置の異なる2つの定在
波を励振させるためのそれぞれ複数の振動要素を交互に
配置することにより、駆動に使用しない無駄になる振動
子の部分が存在せず、ステータを全体的に均一に駆動し
ているため励振される波が安定して形成される。従って
ロータの回転が安定する。また、1枚の振動子から構成
されているため部品数が少なく、低コスト、製作の容易
化につながる。また進行波と定在波が容易に励振できる
ため、切り替えることによりロータ回転検出機構の不用
な超音波モータが実現できる。
向の幅を小さくすることにより、径方向の伸縮運動によ
り生じるたわみ振動の妨げとなる円周方向の伸縮運動の
影響を小さくした。またモード位置の異なる2つの定在
波を励振させるためのそれぞれ複数の振動要素を交互に
配置することにより、駆動に使用しない無駄になる振動
子の部分が存在せず、ステータを全体的に均一に駆動し
ているため励振される波が安定して形成される。従って
ロータの回転が安定する。また、1枚の振動子から構成
されているため部品数が少なく、低コスト、製作の容易
化につながる。また進行波と定在波が容易に励振できる
ため、切り替えることによりロータ回転検出機構の不用
な超音波モータが実現できる。
【図1】本発明の実施例における超音波モータの全容を
示す断面図。
示す断面図。
【図2】本発明超音波モータの実施例であるリニア型モ
ータの振動子振動要素の構成図。
ータの振動子振動要素の構成図。
【図3】本発明超音波モータの図2における実施例の回
転型モータの振動子振動要素の構成図。
転型モータの振動子振動要素の構成図。
【図4】本発明超音波モータを別の実施例で示したリニ
ア型モータの振動子振動要素の構成図。
ア型モータの振動子振動要素の構成図。
【図5】本発明超音波モータの図4における実施例の回
転型モータの振動子振動要素の構成図。
転型モータの振動子振動要素の構成図。
【図6】本発明超音波モータを別の実施例で示した回転
型モータの振動子振動要素の構成図。
型モータの振動子振動要素の構成図。
【図7】本発明超音波モータの図6における実施例の回
転型モータの振動子振動要素の構成図。
転型モータの振動子振動要素の構成図。
【図8】本発明超音波モータの図7で示した実施例に回
転検出機構を設けたモータの振動子振動要素の構成図。
転検出機構を設けたモータの振動子振動要素の構成図。
【図9】本発明超音波モータの他の実施例を示す平面図
。
。
【図10】直径方向に2つのノードを形成する定在波振
動の斜視図。
動の斜視図。
1 ステータ
2 ロータ
3 圧電振動子
4 ピニオン
5 地板
6 止めネジ
7 受け
8 押圧ばね
9 固定ネジ
10 リード線
11 凸部
12、12a、12b、12a′、12a″、12b′
、12b″ 電極パターン 13 ノード位置 14 圧電振動子分極方向 15 印加電圧極性 16 圧電振動子振動要素 17 ロータ突起部
、12b″ 電極パターン 13 ノード位置 14 圧電振動子分極方向 15 印加電圧極性 16 圧電振動子振動要素 17 ロータ突起部
Claims (2)
- 【請求項1】電極パターン及び分極方向で区分される複
数の振動要素から構成される圧電振動子を添付したステ
ータをたわみ振動させることにより、前記ステータと接
し摩擦力によって駆動されるロータを有する超音波モー
タにおいて、前記振動要素のロータ進行方向の幅を、励
起されるたわみ振動波の1/2波長以下にしたことを特
徴とする超音波モータ。 - 【請求項2】請求項1の超音波モータにおいて、前記ス
テータにノード位置が1/4波長ずれた2つの定在波を
合成させる際、前記各々の定在波を励振させるためのそ
れぞれ複数の振動要素を交互に配置したことを特徴とす
る超音波モータ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3082151A JP3000706B2 (ja) | 1991-04-15 | 1991-04-15 | 超音波モータ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3082151A JP3000706B2 (ja) | 1991-04-15 | 1991-04-15 | 超音波モータ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04317574A true JPH04317574A (ja) | 1992-11-09 |
JP3000706B2 JP3000706B2 (ja) | 2000-01-17 |
Family
ID=13766440
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3082151A Expired - Fee Related JP3000706B2 (ja) | 1991-04-15 | 1991-04-15 | 超音波モータ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3000706B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
IT1246614B (it) | 1991-06-03 | 1994-11-24 | Himont Inc | Procedimento per la polimerizzazione in fase gas delle olefine |
-
1991
- 1991-04-15 JP JP3082151A patent/JP3000706B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3000706B2 (ja) | 2000-01-17 |
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