JPH04317068A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
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- JPH04317068A JPH04317068A JP8400191A JP8400191A JPH04317068A JP H04317068 A JPH04317068 A JP H04317068A JP 8400191 A JP8400191 A JP 8400191A JP 8400191 A JP8400191 A JP 8400191A JP H04317068 A JPH04317068 A JP H04317068A
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Landscapes
- Photoreceptors In Electrophotography (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、高密度の磁気潜像を形
成するための磁気記録媒体に関するものである。
成するための磁気記録媒体に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、磁気記録媒体は、例えば熱磁気プ
リンタに用いられており、その場合磁気プリンタドラム
に磁気潜像が形成され、これを磁気的に現像して可視像
を得るようにしている（「マグネトグラフィプリンタ」
今村舜仁著、大野信編集、ＣＭＣ「ノンインパクトプリ
ンティング」第１５章Ｐ． １５９〜Ｐ．１６８、１９
８６参照） 。
リンタに用いられており、その場合磁気プリンタドラム
に磁気潜像が形成され、これを磁気的に現像して可視像
を得るようにしている（「マグネトグラフィプリンタ」
今村舜仁著、大野信編集、ＣＭＣ「ノンインパクトプリ
ンティング」第１５章Ｐ． １５９〜Ｐ．１６８、１９
８６参照） 。
【０００３】図２は従来の熱磁気プリンタの印刷プロセ
ス図である。図において、記録用磁気ドラム１は矢印Ａ
方向に回転する。該記録用磁気ドラム１面上には磁気潜
像を形成するための磁気記録媒体であるＣｒＯ２ 薄膜
などが設けられている。印刷プロセスにおいて、まず消
磁手段２が磁気記録媒体を一定方向に磁化する。次に、
磁気記録手段３が所定の磁気潜像を形成し、現像手段４
が磁気潜像上にトナーを付着させることにより、磁気潜
像は可視像化される。ここで、トナーは磁気記録媒体面
上の漏れ磁界による磁力線と磁気記録媒体面とが交差す
る部分に付着し、その結果、磁気潜像は可視像化される
。
ス図である。図において、記録用磁気ドラム１は矢印Ａ
方向に回転する。該記録用磁気ドラム１面上には磁気潜
像を形成するための磁気記録媒体であるＣｒＯ２ 薄膜
などが設けられている。印刷プロセスにおいて、まず消
磁手段２が磁気記録媒体を一定方向に磁化する。次に、
磁気記録手段３が所定の磁気潜像を形成し、現像手段４
が磁気潜像上にトナーを付着させることにより、磁気潜
像は可視像化される。ここで、トナーは磁気記録媒体面
上の漏れ磁界による磁力線と磁気記録媒体面とが交差す
る部分に付着し、その結果、磁気潜像は可視像化される
。
【０００４】その後、転写手段５及び定着手段６は、可
視像を用紙上に転写、定着する。最後にクリーニング手
段７は磁気記録媒体上の残留トナーを除去し、印刷プロ
セスを終了する。ところで、上記磁気記録媒体上に磁気
潜像を記録する方法としてはサーマルヘッドを用いる方
法やレーザビーム光照射によって加熱する方法がある。 また、磁気記録媒体の磁化方向を、主として磁気記録媒
体の面に沿う方向にする方法（面内記録法） と磁気記
録媒体の面に対し垂直の方向にする方法 （垂直記録法
） とがあり、高解像度を必要とする場合には垂直記録
法が用いられる。垂直記録用の磁気記録媒体は、希土類
元素と鉄族元素との合金膜、すなわちＲＥ−ＴＭ合金膜
又はＣｏ−Ｃｒ合金膜で形成される。ＲＥ−ＴＭ合金膜
は光磁気記録法を用いた光磁気ディスクに、またＣｏ−
Ｃｒ合金膜は磁気ヘッド記録法を用いた磁気ディスクに
多く用いられている。
視像を用紙上に転写、定着する。最後にクリーニング手
段７は磁気記録媒体上の残留トナーを除去し、印刷プロ
セスを終了する。ところで、上記磁気記録媒体上に磁気
潜像を記録する方法としてはサーマルヘッドを用いる方
法やレーザビーム光照射によって加熱する方法がある。 また、磁気記録媒体の磁化方向を、主として磁気記録媒
体の面に沿う方向にする方法（面内記録法） と磁気記
録媒体の面に対し垂直の方向にする方法 （垂直記録法
） とがあり、高解像度を必要とする場合には垂直記録
法が用いられる。垂直記録用の磁気記録媒体は、希土類
元素と鉄族元素との合金膜、すなわちＲＥ−ＴＭ合金膜
又はＣｏ−Ｃｒ合金膜で形成される。ＲＥ−ＴＭ合金膜
は光磁気記録法を用いた光磁気ディスクに、またＣｏ−
Ｃｒ合金膜は磁気ヘッド記録法を用いた磁気ディスクに
多く用いられている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記構
成の磁気記録媒体において、Ｃｏ−Ｃｒ合金膜で形成し
た場合はキュリー温度が高いため熱磁気記録が困難とな
り、ＲＥ−ＴＭ合金膜で形成した場合は残留磁束密度が
小さいため、磁性体であるトナーの付着力が不十分とな
る。
成の磁気記録媒体において、Ｃｏ−Ｃｒ合金膜で形成し
た場合はキュリー温度が高いため熱磁気記録が困難とな
り、ＲＥ−ＴＭ合金膜で形成した場合は残留磁束密度が
小さいため、磁性体であるトナーの付着力が不十分とな
る。
【０００６】このように、垂直記録用の垂直磁化膜を使
用した熱磁気プリンタは、原理的には記録の安定性が高
く、高解像度を得ることができ、しかも低消費電力で作
動させることができるが、垂直磁化膜として有効な磁気
記録媒体がない。本発明は、上記従来の磁気記録媒体の
問題点を解決して、残留磁束密度が十分に高く、保磁力
が十分大きく、しかもキュリー温度が低く、高密度の熱
磁気記録を行うことができる垂直記録用の磁気記録媒体
を提供することを目的とする。
用した熱磁気プリンタは、原理的には記録の安定性が高
く、高解像度を得ることができ、しかも低消費電力で作
動させることができるが、垂直磁化膜として有効な磁気
記録媒体がない。本発明は、上記従来の磁気記録媒体の
問題点を解決して、残留磁束密度が十分に高く、保磁力
が十分大きく、しかもキュリー温度が低く、高密度の熱
磁気記録を行うことができる垂直記録用の磁気記録媒体
を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】そのために、本発明の磁
気記録媒体においては、基板の上に垂直磁化膜を形成し
ており、該垂直磁化膜は、極薄状態のＣｏ−Ｐｄ合金薄
膜と非磁性薄膜を交互に積層して成る積層膜で構成され
、Ｘを原子％とした時、組成式ＣｏＸ Ｐｄ１００−Ｘ
で示されるものとする。この時、組成範囲は１０≦Ｘ
≦５０となるように設定される。
気記録媒体においては、基板の上に垂直磁化膜を形成し
ており、該垂直磁化膜は、極薄状態のＣｏ−Ｐｄ合金薄
膜と非磁性薄膜を交互に積層して成る積層膜で構成され
、Ｘを原子％とした時、組成式ＣｏＸ Ｐｄ１００−Ｘ
で示されるものとする。この時、組成範囲は１０≦Ｘ
≦５０となるように設定される。
【０００８】また、上記Ｃｏ−Ｐｄ合金薄膜の膜厚Ｔ１
及び非磁性薄膜の膜厚Ｔ２ の範囲は、いずれも１０
Å〜１０００Åの範囲とされる。
及び非磁性薄膜の膜厚Ｔ２ の範囲は、いずれも１０
Å〜１０００Åの範囲とされる。
【０００９】
【作用】本発明によれば、上記のように基板の上に極薄
状態のＣｏ−Ｐｄ合金薄膜と非磁性薄膜を交互に積層し
て成る積層膜が形成され、該積層膜によって垂直磁化膜
が構成されている。この場合、Ｃｏターゲット及びＰｄ
ターゲットを使用し、基板を高速回転させて各ターゲッ
トを通過させて多元スパッタ法でスパッタリングを行っ
てＣｏ−Ｐｄ合金薄膜を形成し、例えばＰｄターゲット
のみを使用し、非磁性薄膜を形成する。
状態のＣｏ−Ｐｄ合金薄膜と非磁性薄膜を交互に積層し
て成る積層膜が形成され、該積層膜によって垂直磁化膜
が構成されている。この場合、Ｃｏターゲット及びＰｄ
ターゲットを使用し、基板を高速回転させて各ターゲッ
トを通過させて多元スパッタ法でスパッタリングを行っ
てＣｏ−Ｐｄ合金薄膜を形成し、例えばＰｄターゲット
のみを使用し、非磁性薄膜を形成する。
【００１０】そして、上記垂直磁化膜は、Ｘを原子％と
した時、組成式ＣｏＸ Ｐｄ１００−Ｘ で示されるも
のとする。この時、組成範囲は１０≦Ｘ≦５０となるよ
うに設定される。また、上記Ｃｏ−Ｐｄ合金薄膜の膜厚
Ｔ１ 及び非磁性薄膜の膜厚Ｔ２ の範囲は、いずれも
１０Å〜１０００Åの範囲とされる。
した時、組成式ＣｏＸ Ｐｄ１００−Ｘ で示されるも
のとする。この時、組成範囲は１０≦Ｘ≦５０となるよ
うに設定される。また、上記Ｃｏ−Ｐｄ合金薄膜の膜厚
Ｔ１ 及び非磁性薄膜の膜厚Ｔ２ の範囲は、いずれも
１０Å〜１０００Åの範囲とされる。
【００１１】
【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
ながら詳細に説明する。図１は本発明の磁気記録媒体を
示す図であり、図の（Ａ）は磁気記録媒体の断面図、（
Ｂ）は記録用磁気ドラムの断面図である。図において、
１１は磁気記録媒体、８は厚さが数十〜数百ミクロンの
曲折自在なステンレス基板、１０は該ステンレス基板８
の上に形成された厚さが数〜数十ミクロンの積層膜であ
る。該積層膜１０は垂直磁化膜を構成する極薄のＣｏ−
Ｐｄ合金薄膜と非磁性薄膜を構成するＰｄ薄膜を交互に
形成することによって構成されている。
ながら詳細に説明する。図１は本発明の磁気記録媒体を
示す図であり、図の（Ａ）は磁気記録媒体の断面図、（
Ｂ）は記録用磁気ドラムの断面図である。図において、
１１は磁気記録媒体、８は厚さが数十〜数百ミクロンの
曲折自在なステンレス基板、１０は該ステンレス基板８
の上に形成された厚さが数〜数十ミクロンの積層膜であ
る。該積層膜１０は垂直磁化膜を構成する極薄のＣｏ−
Ｐｄ合金薄膜と非磁性薄膜を構成するＰｄ薄膜を交互に
形成することによって構成されている。
【００１２】上記構成の磁気記録媒体１１はシート状に
形成され、記録用磁気ドラム芯材１２上に巻き付けられ
る。図３は本発明の磁気記録媒体の積層膜の拡大図であ
る。図において、８はステンレス基板、１３は非磁性薄
膜を構成するＰｄ薄膜、１４は垂直磁化膜を構成する極
薄のＣｏ−Ｐｄ合金薄膜である。上記Ｐｄ薄膜１３とＣ
ｏ−Ｐｄ合金薄膜１４は交互に積層されて、積層膜１０
を形成している。
形成され、記録用磁気ドラム芯材１２上に巻き付けられ
る。図３は本発明の磁気記録媒体の積層膜の拡大図であ
る。図において、８はステンレス基板、１３は非磁性薄
膜を構成するＰｄ薄膜、１４は垂直磁化膜を構成する極
薄のＣｏ−Ｐｄ合金薄膜である。上記Ｐｄ薄膜１３とＣ
ｏ−Ｐｄ合金薄膜１４は交互に積層されて、積層膜１０
を形成している。
【００１３】上記Ｃｏ−Ｐｄ合金薄膜１４の膜厚Ｔ１
及びＰｄ薄膜１３の膜厚Ｔ２ はいずれも１０〜１００
０Åの範囲で形成され、積層膜１０全体の膜厚Ｔが数〜
数十ミクロンになるようにしてある。図４は本発明の磁
気記録媒体を製造するための高周波スパッタ装置の概略
図である。図の（Ａ）は正面図、（Ｂ）は平面図を示し
ている。
及びＰｄ薄膜１３の膜厚Ｔ２ はいずれも１０〜１００
０Åの範囲で形成され、積層膜１０全体の膜厚Ｔが数〜
数十ミクロンになるようにしてある。図４は本発明の磁
気記録媒体を製造するための高周波スパッタ装置の概略
図である。図の（Ａ）は正面図、（Ｂ）は平面図を示し
ている。
【００１４】図において、２１は回転板２２上に配設さ
れ、多元スパッタ法によって積層膜１０が形成される基
板である。２４は上記基板２１に対向して配設されるＣ
ｏターゲットであり、２５は同様に基板２１に対向して
配設されるＰｄターゲットである。上記Ｃｏターゲット
２４及びＰｄターゲット２５と上記回転板２２との間に
スパッタ用の高周波（ＲＦ） 電源２６， ２７が接続
される。また、Ｃｏターゲット２４とＰｄターゲット２
５間にはしきり板２８が配設される。
れ、多元スパッタ法によって積層膜１０が形成される基
板である。２４は上記基板２１に対向して配設されるＣ
ｏターゲットであり、２５は同様に基板２１に対向して
配設されるＰｄターゲットである。上記Ｃｏターゲット
２４及びＰｄターゲット２５と上記回転板２２との間に
スパッタ用の高周波（ＲＦ） 電源２６， ２７が接続
される。また、Ｃｏターゲット２４とＰｄターゲット２
５間にはしきり板２８が配設される。
【００１５】上記構成の電圧印加型で多元の高周波スパ
ッタ装置においては、回転板２２が高速回転させられ、
Ｃｏターゲット２４とＰｄターゲット２５上を基板２１
が通過すると、該基板２１上にＣｏ−Ｐｄ合金薄膜１４
が形成される。また、Ｐｄ薄膜１３を形成する場合には
、Ｐｄターゲット２５のみに高周波電圧が印加させられ
るようになっている。
ッタ装置においては、回転板２２が高速回転させられ、
Ｃｏターゲット２４とＰｄターゲット２５上を基板２１
が通過すると、該基板２１上にＣｏ−Ｐｄ合金薄膜１４
が形成される。また、Ｐｄ薄膜１３を形成する場合には
、Ｐｄターゲット２５のみに高周波電圧が印加させられ
るようになっている。
【００１６】ここで、スパッタリングの条件は、バック
グラウンド真空度：ＰＢＧ＝２．０×１０−６Ｔｏｒｒ
以下 アルゴンガス圧 ：ＰＡｒ＝３．０×１
０−３Ｔｏｒｒ 投入電力 ：高周波３００
〜７００Ｗ基板回転数 ：ｒ＝
１７０ｒｐｍである。そして、上記Ｃｏ−Ｐｄ合金膜１
４は、ＣｏＸ Ｐｄ１００−Ｘ なる組成式で示され、その組成範囲は、１０≦Ｘ≦５０ である。ただし、Ｘは原子％とする。
グラウンド真空度：ＰＢＧ＝２．０×１０−６Ｔｏｒｒ
以下 アルゴンガス圧 ：ＰＡｒ＝３．０×１
０−３Ｔｏｒｒ 投入電力 ：高周波３００
〜７００Ｗ基板回転数 ：ｒ＝
１７０ｒｐｍである。そして、上記Ｃｏ−Ｐｄ合金膜１
４は、ＣｏＸ Ｐｄ１００−Ｘ なる組成式で示され、その組成範囲は、１０≦Ｘ≦５０ である。ただし、Ｘは原子％とする。
【００１７】また、上述したように、Ｃｏ−Ｐｄ合金薄
膜１４の膜厚Ｔ１ 及びＰｄ薄膜１３の膜厚Ｔ２ は、
１０Å≦Ｔ１ ≦１０００Å １０Å≦Ｔ２ ≦１０００Å の範囲となるようにしてある。
膜１４の膜厚Ｔ１ 及びＰｄ薄膜１３の膜厚Ｔ２ は、
１０Å≦Ｔ１ ≦１０００Å １０Å≦Ｔ２ ≦１０００Å の範囲となるようにしてある。
【００１８】次に、上記構成の磁気記録媒体１１を用い
て熱磁気記録を行った結果について説明する。この実験
においては、垂直磁化膜を組成がＣｏ２５Ｐｄ７５で膜
厚Ｔ１ が５００ÅのＣｏ−Ｐｄ合金薄膜１４で構成し
、非磁性薄膜を膜厚Ｔ２ が１００ÅのＰｄ薄膜１３で
構成し、これらＣｏ−Ｐｄ合金薄膜１４とＰｄ薄膜１３
を交互に積層して磁気記録媒体１１を形成した。この磁
気記録媒体１１を評価したところ、保磁力は２０００Ｏ
ｅ程度で残留磁束密度は２５００Ｇａｕｓｓ程度であり
、磁性体であるトナーを吸収するのに十分な磁気力を有
する。また、キュリー温度は２００°Ｃ程度である。
て熱磁気記録を行った結果について説明する。この実験
においては、垂直磁化膜を組成がＣｏ２５Ｐｄ７５で膜
厚Ｔ１ が５００ÅのＣｏ−Ｐｄ合金薄膜１４で構成し
、非磁性薄膜を膜厚Ｔ２ が１００ÅのＰｄ薄膜１３で
構成し、これらＣｏ−Ｐｄ合金薄膜１４とＰｄ薄膜１３
を交互に積層して磁気記録媒体１１を形成した。この磁
気記録媒体１１を評価したところ、保磁力は２０００Ｏ
ｅ程度で残留磁束密度は２５００Ｇａｕｓｓ程度であり
、磁性体であるトナーを吸収するのに十分な磁気力を有
する。また、キュリー温度は２００°Ｃ程度である。
【００１９】次に、上記条件で作成した磁気記録媒体１
１の特性について説明する。図５は基板にＣｏ−Ｐｄ合
金薄膜を形成して成る磁気記録媒体の磁化曲線図、図６
は本発明の第１の実施例を示す磁気記録媒体の磁化曲線
図である。図５及び図６を比較して分かるように、Ｃｏ
−Ｐｄ合金薄膜１４とＰｄ薄膜１３を交互に形成して成
る磁気記録媒体１１においては、角形比が１となり、残
留磁束密度が増加する。
１の特性について説明する。図５は基板にＣｏ−Ｐｄ合
金薄膜を形成して成る磁気記録媒体の磁化曲線図、図６
は本発明の第１の実施例を示す磁気記録媒体の磁化曲線
図である。図５及び図６を比較して分かるように、Ｃｏ
−Ｐｄ合金薄膜１４とＰｄ薄膜１３を交互に形成して成
る磁気記録媒体１１においては、角形比が１となり、残
留磁束密度が増加する。
【００２０】図７はＣｏ−Ｐｄ合金薄膜の膜厚と角形比
との関係図である。図に示すように、Ｃｏ−Ｐｄ合金薄
膜１４が非常に薄い場合には、角形比は１となるが、膜
厚Ｔ１ が１０００Å程度以上になると、角形比は１よ
り小さくなり残留磁束密度が低下してしまう。図８はＣ
ｏの組成を変化させたときの磁気特性図である。ここで
、Ｃｏ−Ｐｄ合金薄膜１４の膜厚Ｔ１ はすべて５００
Åとしてある。
との関係図である。図に示すように、Ｃｏ−Ｐｄ合金薄
膜１４が非常に薄い場合には、角形比は１となるが、膜
厚Ｔ１ が１０００Å程度以上になると、角形比は１よ
り小さくなり残留磁束密度が低下してしまう。図８はＣ
ｏの組成を変化させたときの磁気特性図である。ここで
、Ｃｏ−Ｐｄ合金薄膜１４の膜厚Ｔ１ はすべて５００
Åとしてある。
【００２１】図に示すように、Ｃｏの組成が１０原子％
以下になると、残留磁束密度は１５００Ｇａｕｓｓ以下
となり、高密度の熱磁気記録が困難になる。また、Ｃｏ
の組成が５０原子％以上になると、Ｃｏ−Ｐｄ合金薄膜
１４は面内磁化膜になって垂直記録法を用いた熱磁気記
録が困難になる。図９はＣｏの組成を変化させたときの
キュリー温度変化図である。
以下になると、残留磁束密度は１５００Ｇａｕｓｓ以下
となり、高密度の熱磁気記録が困難になる。また、Ｃｏ
の組成が５０原子％以上になると、Ｃｏ−Ｐｄ合金薄膜
１４は面内磁化膜になって垂直記録法を用いた熱磁気記
録が困難になる。図９はＣｏの組成を変化させたときの
キュリー温度変化図である。
【００２２】図に示すように、Ｃｏが増加するとともに
キュリー温度Ｔｃが増加し、Ｃｏが５０原子％以上にな
ると、５００°Ｃ程度以上になり、熱磁気記録が困難に
なる。図１０は本発明の第２の実施例を示す磁気記録媒
体の磁化曲線図、図１１は第２の実施例との比較を行う
ための磁化曲線図である。
キュリー温度Ｔｃが増加し、Ｃｏが５０原子％以上にな
ると、５００°Ｃ程度以上になり、熱磁気記録が困難に
なる。図１０は本発明の第２の実施例を示す磁気記録媒
体の磁化曲線図、図１１は第２の実施例との比較を行う
ための磁化曲線図である。
【００２３】図１０においては、垂直磁化膜を組成がＣ
ｏ２５Ｐｄ７５で膜厚Ｔ１ が１０ÅのＣｏ−Ｐｄ合金
薄膜１４で構成し、非磁性薄膜を膜厚Ｔ２ が１０Åの
Ｐｄ薄膜１３で構成し、これらＣｏ−Ｐｄ合金薄膜１４
とＰｄ薄膜１３を交互に積層して磁気記録媒体１１を形
成した。 また、図１１においては、垂直磁化膜を組成がＣｏ２５
Ｐｄ７５で膜厚Ｔ１ が８．５ÅのＣｏ−Ｐｄ合金薄膜
１４で構成し、非磁性薄膜を膜厚Ｔ２ が８．５ÅのＰ
ｄ薄膜１３で構成し、これらＣｏ−Ｐｄ合金薄膜１４と
Ｐｄ薄膜１３を交互に積層して磁気記録媒体１１を形成
した。
ｏ２５Ｐｄ７５で膜厚Ｔ１ が１０ÅのＣｏ−Ｐｄ合金
薄膜１４で構成し、非磁性薄膜を膜厚Ｔ２ が１０Åの
Ｐｄ薄膜１３で構成し、これらＣｏ−Ｐｄ合金薄膜１４
とＰｄ薄膜１３を交互に積層して磁気記録媒体１１を形
成した。 また、図１１においては、垂直磁化膜を組成がＣｏ２５
Ｐｄ７５で膜厚Ｔ１ が８．５ÅのＣｏ−Ｐｄ合金薄膜
１４で構成し、非磁性薄膜を膜厚Ｔ２ が８．５ÅのＰ
ｄ薄膜１３で構成し、これらＣｏ−Ｐｄ合金薄膜１４と
Ｐｄ薄膜１３を交互に積層して磁気記録媒体１１を形成
した。
【００２４】図１０の場合には角形比は１であるが、図
１１の場合には、非磁性薄膜を介して各Ｃｏ−Ｐｄ合金
薄膜１４間に交換相互作用が働き、角形比は１より小さ
くなって残留磁束密度が減少してしまう。また、上記第
１、第２の実施例においては、非磁性薄膜をＰｄ薄膜１
３で構成し、Ｃｏ−Ｐｄ合金薄膜１４とで積層膜１０を
形成しているが、Ｐｄ薄膜１３をＰｔ薄膜に変えた場合
にも、上記第１の実施例と同じ特性の磁気記録媒体１１
を得ることができる。
１１の場合には、非磁性薄膜を介して各Ｃｏ−Ｐｄ合金
薄膜１４間に交換相互作用が働き、角形比は１より小さ
くなって残留磁束密度が減少してしまう。また、上記第
１、第２の実施例においては、非磁性薄膜をＰｄ薄膜１
３で構成し、Ｃｏ−Ｐｄ合金薄膜１４とで積層膜１０を
形成しているが、Ｐｄ薄膜１３をＰｔ薄膜に変えた場合
にも、上記第１の実施例と同じ特性の磁気記録媒体１１
を得ることができる。
【００２５】なお、本発明は上記実施例に限定されるも
のではなく、本発明の趣旨に基づいて種々変形すること
が可能であり、これらを本発明の範囲から排除するもの
ではない。例えば、上記実施例においては、非磁性薄膜
を形成するためにＰｄやＰｔを使用しているが、そのほ
かにＡｌ，Ｓｉ，Ｔｉ，Ｍｏ，Ａｇ，Ｗ，Ａｕ，Ｒｕ，
Ｒｈ，Ｏｓ，Ｉｒ等の材料を使用してもよい。
のではなく、本発明の趣旨に基づいて種々変形すること
が可能であり、これらを本発明の範囲から排除するもの
ではない。例えば、上記実施例においては、非磁性薄膜
を形成するためにＰｄやＰｔを使用しているが、そのほ
かにＡｌ，Ｓｉ，Ｔｉ，Ｍｏ，Ａｇ，Ｗ，Ａｕ，Ｒｕ，
Ｒｈ，Ｏｓ，Ｉｒ等の材料を使用してもよい。
【００２６】また、上記実施例においては、磁気記録媒
体１１を応用した例として熱磁気プリンタを示している
が、熱及び光の照射によって記録を行う他の記録装置に
も応用することができる。さらに、垂直磁化膜の全膜厚
を数〜数十ミクロンとし、ステンレス基板８の板厚を数
〜数百ミクロンとしているが、これらの厚さは用途に応
じて変化させることができる。
体１１を応用した例として熱磁気プリンタを示している
が、熱及び光の照射によって記録を行う他の記録装置に
も応用することができる。さらに、垂直磁化膜の全膜厚
を数〜数十ミクロンとし、ステンレス基板８の板厚を数
〜数百ミクロンとしているが、これらの厚さは用途に応
じて変化させることができる。
【００２７】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明によ
れば、基板の上に極薄状態のＣｏ−Ｐｄ合金薄膜と非磁
性薄膜を交互に積層して成る積層膜が形成され、該積層
膜によって垂直磁化膜が構成されている。この場合、Ｃ
ｏターゲット及びＰｄターゲットを使用し、基板を高速
回転させて各ターゲットを通過させて多元スパッタ法で
スパッタリングを行ってＣｏ−Ｐｄ合金薄膜を形成し、
例えばＰｄターゲットのみを使用し、非磁性薄膜を形成
する。
れば、基板の上に極薄状態のＣｏ−Ｐｄ合金薄膜と非磁
性薄膜を交互に積層して成る積層膜が形成され、該積層
膜によって垂直磁化膜が構成されている。この場合、Ｃ
ｏターゲット及びＰｄターゲットを使用し、基板を高速
回転させて各ターゲットを通過させて多元スパッタ法で
スパッタリングを行ってＣｏ−Ｐｄ合金薄膜を形成し、
例えばＰｄターゲットのみを使用し、非磁性薄膜を形成
する。
【００２８】したがって、人工格子膜を形成することな
く垂直磁化膜を形成することが可能となるので、製造装
置を簡素化し、かつ製造装置のコストを低減することが
できる。そして、上記垂直磁化膜は、Ｘを原子％とした
時、組成式ＣｏＸ Ｐｄ１００−Ｘ で示されるものと
する。この時、組成範囲は１０≦Ｘ≦５０となるように
設定される。
く垂直磁化膜を形成することが可能となるので、製造装
置を簡素化し、かつ製造装置のコストを低減することが
できる。そして、上記垂直磁化膜は、Ｘを原子％とした
時、組成式ＣｏＸ Ｐｄ１００−Ｘ で示されるものと
する。この時、組成範囲は１０≦Ｘ≦５０となるように
設定される。
【００２９】また、上記Ｃｏ−Ｐｄ合金薄膜の膜厚Ｔ１
及び非磁性薄膜の膜厚Ｔ２ の範囲は、いずれも１０
Å〜１０００Åの範囲とされる。このような組成にする
ことによって、保磁力は２０００Ｏｅ程度の、残留磁束
密度は２５００Ｇａｕｓｓ程度の高い値にすることがで
き、磁性体であるトナーを吸収するのに十分な磁気力を
有することができるとともに、キューリ温度は２００°
Ｃ程度の低い値にすることができる。したがって、垂直
記録法による高い記録密度の熱磁気記録を容易に行うこ
とができるようになる。
及び非磁性薄膜の膜厚Ｔ２ の範囲は、いずれも１０
Å〜１０００Åの範囲とされる。このような組成にする
ことによって、保磁力は２０００Ｏｅ程度の、残留磁束
密度は２５００Ｇａｕｓｓ程度の高い値にすることがで
き、磁性体であるトナーを吸収するのに十分な磁気力を
有することができるとともに、キューリ温度は２００°
Ｃ程度の低い値にすることができる。したがって、垂直
記録法による高い記録密度の熱磁気記録を容易に行うこ
とができるようになる。
【００３０】また、本発明の磁気記録媒体を熱磁気プリ
ンタに使用すると、解像度を高くし、消費電力を低減す
ることができる。
ンタに使用すると、解像度を高くし、消費電力を低減す
ることができる。
【図１】本発明の磁気記録媒体を示す図である。
【図２】従来の熱磁気プリンタの印刷プロセス図である
。
。
【図３】本発明の磁気記録媒体の積層膜の拡大図である
。
。
【図４】本発明の磁気記録媒体を製造するための高周波
スパッタ装置の概略図である。
スパッタ装置の概略図である。
【図５】基板にＣｏ−Ｐｄ合金薄膜を形成して成る磁気
記録媒体の磁化曲線図である。
記録媒体の磁化曲線図である。
【図６】本発明の第１の実施例を示す磁気記録媒体の磁
化曲線図である。
化曲線図である。
【図７】Ｃｏ−Ｐｄ合金薄膜の膜厚と角形比との関係図
である。
である。
【図８】Ｃｏの組成を変化させたときの磁気特性図であ
る。
る。
【図９】Ｃｏの組成を変化させたときのキュリー温度変
化図である。
化図である。
【図１０】本発明の第２の実施例を示す磁気記録媒体の
磁化曲線図である。
磁化曲線図である。
【図１１】第２の実施例との比較を行うための磁化曲線
図である。
図である。
８ ステンレス基板１０
積層膜 １１ 磁気記録媒体 １２ 記録用磁気ドラム芯材１３
Ｐｄ薄膜
積層膜 １１ 磁気記録媒体 １２ 記録用磁気ドラム芯材１３
Ｐｄ薄膜
Claims (3)
- 【請求項１】（ａ）基板と、（ｂ）該基板上に形成され
た垂直磁化膜から成り、（ｃ）該垂直磁化膜は、極薄状
態のＣｏ−Ｐｄ合金薄膜と非磁性薄膜を交互に積層して
成る積層膜で構成されることを特徴とする磁気記録媒体
。 - 【請求項２】 上記Ｃｏ−Ｐｄ合金薄膜は、ＣｏＸ
Ｐｄ１００−Ｘ Ｘ：原子％ なる組成式で示され、その組成範囲が、１０≦Ｘ≦５０ である請求項１記載の磁気記録媒体。 - 【請求項３】 上記Ｃｏ−Ｐｄ合金薄膜の膜厚Ｔ１
及び非磁性薄膜の膜厚Ｔ２ の範囲は、 １０Å≦Ｔ１ ≦１０００Å １０Å≦Ｔ２ ≦１０００Å である請求項１又は２記載の磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8400191A JPH04317068A (ja) | 1991-04-16 | 1991-04-16 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8400191A JPH04317068A (ja) | 1991-04-16 | 1991-04-16 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04317068A true JPH04317068A (ja) | 1992-11-09 |
Family
ID=13818304
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8400191A Withdrawn JPH04317068A (ja) | 1991-04-16 | 1991-04-16 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04317068A (ja) |
-
1991
- 1991-04-16 JP JP8400191A patent/JPH04317068A/ja not_active Withdrawn
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19980711 |