JPH04313563A - 保護膜剥離装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、基板の表面に密着した
保護膜を剥離する保護膜剥離装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】光カード等の製造に用いられる基板には
、その表面を保護するために樹脂フィルム等の保護膜が
密着しており、その基板を製造工程に投入する際には、
保護膜を剥離する必要がある。

【０００３】従来、保護膜の剥離は全て手作業で行われ
ていた。その手順は、まず、保護膜が密着している基板
の表面を、作業台に貼り付けられた両面粘着テープに押
し付け、次に、前記基板を両面粘着テープから引き離す
。基板を両面粘着テープから引き離すと、両面粘着テー
プの粘着力によって保護膜の一部が基板から剥離する。 そして、剥離した保護膜の一部を手でつまんで、保護膜
全体を基板から引き剥していた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
保護膜剥離作業では以下（１），（２）に記載する問題
点があった。 （１）両面粘着テープの問題 両面粘着テープを用いて保護膜剥離作業を行っていくと
、両面粘着テープの粘着力が次第に弱くなり、保護膜の
引き起こしが安定して行われなくなる。また、保護膜の
剥離を安定して行うためには両面粘着テープの定期的な
交換が必要となり、両面粘着テープが多く消耗されてい
た。 （２）作業効率の問題 従来の作業は手作業による単純作業であるため、作業時
間が長くなると次第に作業効率が低下し、また、触れて
はいけない部位がある基板や、厚みが薄い基板等の作業
では基板の取扱いが慎重になり、作業効率が上がらなか
った。

【０００５】本発明は上記従来の技術の有する問題点に
鑑みなされたものであり、両面粘着テープを使用しなく
ても安定して、かつ、人手によらずに効率よく保護膜を
剥離できる保護膜剥離装置を提供することを目的とする
。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明の保護膜剥離装置は、少なくとも一表面が、密着
した保護膜で覆われた基板を保持する基板保持手段と、
外周面に軸方向へ延びる多数の突起を有する歯付ローラ
の前記外周面を、前記基板保持手段に保持された基板の
一端部の保護膜上に押圧した状態で回転させ、該回転力
により前記基板の一端部に沿って移動するローラユニッ
トと、前記基板の一端部断面に対向して流体を吹付ける
流体吹付け手段と、前記基板の一端部において、吹付け
られた流体により起き上がった保護膜を把持し、前記基
板の一端部から他端部の方向に移動する保護膜除去手段
とを有することを特徴とする保護膜剥離装置。

【０００７】また、基板を保持した状態で、該基板を基
板保持手段から離間させたのち、前記基板の表裏を反転
させ、再び前記基板保持手段に保持させる基板反転手段
を付加させたものでもよい。

【０００８】

【作用】上記のとおり構成された請求項１に記載の発明
においては、ローラユニットが歯付ローラの外周面を基
板の一端部の保護膜上に押圧させることで、歯付ローラ
の突起を保護膜にくい込ませる。さらに歯付ローラをそ
の軸回りに回転させると、歯付ローラの回転力によって
突起がくい込んだ保護膜には、歯付ローラの回転方向の
力が働きつつ、突起と保護膜との摩擦抵抗による前記力
の反作用で歯付ローラが前記力と反対方向に移動する。 保護膜に前記力が働くと、基板と保護膜との間にすべり
が発生し、保護膜がしわ状に伸びて、基板と保護膜との
間に隙間ができる。

【０００９】そして、流体吹付け手段によって前記隙間
に加圧流体を吹付けると、保護膜の一端部は前記加圧流
体の圧力で、基板から起き上がる。

【００１０】さらに、保護膜除去手段によって前記起き
上がった保護膜の一端部を把持し、前記保護膜除去手段
を前記基板の一端部から他端部の方向に移動させること
で、前記保護膜は前記保護膜除去手段によって引っぱら
れ、基板の表面から剥離する。

【００１１】

【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。 （第１実施例）本発明の保護膜剥離装置の第１実施例に
ついて、図１および図２を用いて説明する。

【００１２】本実施例の保護膜剥離装置は、光カード用
基板の保護膜剥離装置に適用したものであり、基台１上
には、２つの側板２がそれぞれ間隔をおいて平行に立設
されている。各側板２の内側には、基台１に固定された
シリンダ６のロッドの先端部に支持された、基板保持手
段としての基板固定台４が配置されており、基板固定台
４の下面に設けられた２つのガイド穴には、それぞれ基
台１に突設されたガイド棒７が嵌挿されている。これら
シリンダ６および各ガイド棒７によって、基板固定台４
は基台１と平行を保ちながら上下動する。基板固定台４
の上面には、基板６０を真空吸着するための複数個の吸
着口５が形成されており、各吸着口５には、各吸着口５
ごとに分岐した通路を介して、不図示の第１の真空源が
接続されている。ここで、基板６０の表面および裏面に
は、基板６０を保護するための樹脂フィルム等の保護膜
６１が密着している。

【００１３】各側板２の図示左端部には、各側板２を貫
通した駆動軸１２ａが、各側板２と直交して回転自在に
支持されており、駆動軸１２ａの各側板２の間には、そ
れぞれ間隔をおいて各側板２の付近に２つの駆動ローラ
１２が固定されている。各側板２の図示右端部にも駆動
軸１２ａおよび各駆動ローラ１２と同様に、駆動軸１２
ａと平行に設けられた従動軸１１ａを介して２つの従動
ローラ１１が回転自在に支持されている。各駆動ローラ
１２と各従動ローラ１１との間には、それぞれ基板６０
を搬送するための搬送ベルト１３が張架されており、各
搬送ベルト１３は、駆動軸１２ａに結合された駆動モー
タ１４によってそれぞれ図示矢印Ａ方向に一体的に回転
する。

【００１４】一方、基板固定台４の両側部には、各搬送
ベルト１３が基板固定台４と干渉しないようにするため
に、段差部４ａおよび凹部４ｂが形成されている（図４
参照）。各段差部４ａは、基板固定台４の両側部付近の
上面に形成されており、各段差部４ａの上面は基板固定
台４の上面より、搬送ベルト１３の厚み分だけ低くなっ
ている。基板固定台４が上昇し、その移動範囲の最上端
に達すると、各段差部４ａの上面は、各搬送ベルト１３
の基板搬送面の裏面に接し、基板固定台４の上面と各搬
送ベルト１３の基板搬送面とは同一面上になる。このた
め、基板固定台４がその移動範囲の最上端まで上昇する
と、基板６０は基板固定台４および各搬送ベルト１３に
よって支持される。

【００１５】各側板２の外側面の、基板固定台４の後端
部位すなわち基板搬送方向に対して上流側の部位には、
それぞれ後述する歯付ローラユニット２０の受けとなる
ローラ台１９が一体的に設けられている。各ローラ台１
９の上面の高さおよび各側板２の上面の高さは、各搬送
ベルト１３上の基板６０の上面の高さと同一である。基
板固定台４の前面すなわち基板搬送方向に対して下流側
の面には２つのストッパシリンダ９がそれぞれ間隔をお
いて設けられており、各ストッパシリンダ９のロッドを
上方に突出させることにより、各ロッドが基板６０のス
トッパとなる。ロッドの先端部はロッドを突出させたと
きに搬送ベルト１３の基板搬送面より上方に位置する。 また、基板固定台４の前部の上面には、搬送ベルト１３
により搬送された基板６０の先端部が、基板固定台４の
先端部に達したことを検知するための不図示の光センサ
が埋設されている。

【００１６】基板固定台４の後端面には、流体吹付け手
段としての２つのノズル８が上方に延びて設けられてい
る。各ノズル８はその中間部で基板搬送方向に向かって
鈍角に屈曲し、ノズル８の上端であるノズル口は、基板
固定台４の上面より下方に位置する。各ノズル８の下端
には、各ノズル８ごとに分岐した通路を通って各ノズル
８に空気や不活性ガス等の気体を供給するための不図示
の加圧気体供給手段が接続されている。

【００１７】基台１の、各従動ローラ１１の後方部には
、ガイド板１７が立設されている。ガイド板１７は、ガ
イド板１７の両端部にそれぞれ設けられた２本の脚部１
７ａと、各脚部１７ａをつなぎ、基台１と平行な面を有
する水平部１７ｂとで構成され、水平部１７ｂの下面に
は、歯付ローラユニット２０が、水平部１７ｂの長手方
向に移動自在に設けられている。

【００１８】また、基台１の、基板固定台４の側方部位
には、それぞれ図示矢印Ａ方向に間隔をおいて２つの支
持台１８が立設されている。各支持台１８上には、ガイ
ド部４１ａおよびスライダ部４１ｂで構成される公知の
ガイド付シリンダ４１が架設されている。ガイド付シリ
ンダ４１は、ガイド部４１ａ内でスライダ部４１ｂに加
圧空気を作用させることで、スライダ部４１ｂがガイド
部４１ａに沿って滑動するもので、本実施例ではスライ
ダ部４１ｂを上方に向けて配置させている。スライダ部
４１ｂの上面には、保護膜除去手段としての保護膜把持
ユニット４０が固着されている。

【００１９】次に、前記歯付ローラユニット２０および
保護膜把持ユニット４０について順を追って詳細に説明
する。

【００２０】まず、歯付ローラユニット２０の構成につ
いて、図３および図４を用いて詳細に説明する。

【００２１】水平部１７ｂの下面には、水平部１７ｂの
長手方向に延び、断面視凸形のローラユニットガイド部
１７ｃが一体的に設けられている。ローラユニットガイ
ド部１７ｃには、ローラユニットスライダ部２１ａが水
平部１７ｂの長手方向に滑動自在に嵌合しており、ロー
ラユニットスライダ部２１ａの下面にはローラ支持板２
１の一端部が一体的に設けられている。ローラ支持板２
１の他端部は、基板固定台４の後端部の上方に延びてい
る。ローラ支持板２１の他端部には、それぞれ間隔をあ
けてローラ支持板２１に貫通した中空円筒状の２つの押
圧ガイド３０が一体的に設けられている。

【００２２】各押圧ガイド３０の中空部には、それぞれ
ガイドピン２９が滑動自在に嵌挿されており、各ガイド
ピン２９の下端部には、下部が開口した矩形状のローラ
カバー２２が一体的に設けられている。ローラ支持板２
１とローラカバー２２との間には、各ガイドピン２９と
平行に、後述する歯付ローラ２３を基板６０に押圧する
ための圧縮コイルばね２７が設けられている。圧縮コイ
ルばね２７には、ローラカバー２２に一体的に設けられ
、ローラ支持板２１を滑動自在に貫通して上方に延びる
ばねガイド２８ガ挿入されている。、ばねガイド２８の
外周面にはねじ溝が形成されており、ばねガイド２８の
上端部には、ローラカバー２２の落下を防止するための
ナットが螺合されている。

【００２３】ローラカバー２２の内面には歯付ローラ２
３が一組の軸受２６を介して回転自在に支持されており
、歯付ローラ２３の軸方向は、基板６０の搬送方向と平
行である。歯付ローラ２３の外周面には全周にわたって
、歯付ローラ２３の軸方向に延びる多数の三角状の突起
２３ａが形成されている。歯付ローラ２３の回転軸は、
カップリング２５を介して、ローラカバー２２に取り付
けられたローラ駆動モータ２４の出力軸に結合しており
、歯付ローラ２３はローラ駆動モータ２４によって回転
される。

【００２４】歯付ローラユニット２０は、通常は一方の
ローラ台１９の上面に位置しており、圧縮コイルばね２
７のばね力によって一方のローラ台１９に押圧されてい
る。ローラ駆動モータ２４によって歯付ローラ２３を回
転させると、歯付ローラユニット２０は、歯付ローラ２
３と、歯付ローラ２３が押圧される面との摩擦力によっ
て、一方のローラ台１９から基板６０の上面を通って他
方のローラ台１９に移動する。

【００２５】ガイド板１７の両端には、それぞれ歯付ロ
ーラユニット２０の移動を停止させるためのローラスト
ッパ３１および歯付ローラユニット２０がガイド板１７
の端部にあることを検知するためのローラ検知センサ３
２が設けられている。

【００２６】ここで、歯付ローラ２３の基板６０への押
圧力は、歯付ローラ２３の押圧によって、基板６０に密
着している保護膜６１が切断されない程度の押圧力であ
る。また、歯付ローラ２３を基板６０に押圧する手段は
圧縮コイルばね２７に限らず、他のばねや加圧流体を利
用したシリンダ等を用いてもよいし、歯付ローラ２３の
上下移動を不可能にし、所定の押圧力となるように予め
基板６０と歯付ローラ２３の位置を設定しておいてもよ
い。

【００２７】次に、保護膜把持ユニット４０について図
５を用いて説明する。

【００２８】スライダ部４１ｂの上面には、平面視略Ｌ
字状のジョー支持板４２の一端が固着されており、ジョ
ー支持板４２の他端は、基板６０の幅方向すなわち図示
矢印Ａ方向に対して直交する方向において、基板６０の
略中央部に位置する。ジョー支持板４２の他端部の下面
には、図示矢印Ａ方向に延びるピストンロッド４６を有
するジョーシリンダ４５が一体的に設けられているとと
もに、ジョーシリンダ４５と間隔をおいた部位には、固
定ジョー４３が一体的に設けられている。固定ジョーの
下部には、側面から見て図示矢印Ａ方向と反対方向に向
かって下方へ延びる傾斜状のクランプ部４３ａが形成さ
れている。ジョーシリンダ４５と固定ジョー４３とは、
互いに平行な２本のジョーガイド４７によって一体的に
連結されている。各ジョーガイド４７には、固定ジョー
４３のクランプ部４３ａに対向する部位に、前記クラン
プ部４３ａと略同形状のクランプ部４４ａを有する可動
ジョー４４が、滑動自在に設けられいる。固定ジョー４
３の、可動ジョー４４と対向する面には、各ジョーガイ
ド４７と平行にばね穴が形成され、該ばね穴には、可動
ジョー４４を図示右方向に付勢するための圧縮コイルば
ね４８が挿入されている。

【００２９】ジョーシリンダ４５に接続された不図示の
加圧空気源によってジョーシリンダ４５の気室に加圧空
気を導入させると、可動ジョー４４は、ピストンロッド
４６に押され、圧縮コイルばね４８のばね力に抗して図
示矢印Ａ方向に移動し、固定ジョー４３のクランプ部４
３ａと可動ジョー４４のクランプ部４４ａとが当接する
。ジョーシリンダ４５の気室への加圧空気の導入を断つ
と、圧縮コイルばね４８のばね力により可動ジョー４４
が図示右方向に移動し、各クランプ部４３ａ，４４ａに
よるクランプが解除される。

【００３０】保護膜把持ユニット４０の移動方向は、基
板６０の搬送方向と平行でありガイド付シリンダ４１で
駆動され、その移動範囲は、各クランプ部４３ａ，４４
ａによって基板６０の後端部で保護膜６１を把持できる
位置から、そのまま図示矢印Ａ方向に移動して保護膜６
１を基板６０から剥離させる位置までの範囲である。ガ
イド部４１ａの両端には、それぞれスライダ部４１ｂの
移動端ストッパ４９が設けられているとともに、スライ
ダ部４１ｂがガイド部４１ａの端部にあることを検知す
る不図示の移動端検知センサが内蔵されている。

【００３１】図１に戻って、本実施例の保護膜剥離装置
について説明する。保護膜把持ユニット４０が、その移
動範囲の最前部に位置するときの各クランプ部４３ａ，
４４ａの下方には、上部に漏斗状の開口部を有する収納
容器１５が配置されている。収納容器１５の内面には、
収納容器１５の内壁とは間隔をおいて、気体を透過させ
るバケット１６が着脱自在に設けられている。収納容器
１５は不図示の第２の真空源と連通しており、保護膜把
持ユニット４０によって収納容器１５の上方に搬送され
た保護膜６１は、収納容器１５の開口部から吸引され、
バケット１６内に収納される。

【００３２】次に、本実施例の動作について説明する。

【００３３】まず、ストッパシリンダ９のロッドを上方
に突出させておいた状態で、搬送ベルト１３によって基
板６０を図示矢印Ａ方向に搬送する。基板６０の先端が
基板固定台４の先端に達すると、基板６０がストッパシ
リンダ９のロッドに当たり、基板６０の搬送が停止され
るとともに、不図示の光センサによって基板６０が検知
されて駆動モータ１４の回転が停止される。そして、シ
リンダ６によって基板固定台４をその移動範囲の最上端
まで上昇させ、基板固定台４の上面が基板６０の裏面に
接したら、不図示の第１の真空源により各吸着口５を介
して基板６０を基板固定台４の上面に真空吸着する。真
空吸着により基板６０が基板固定台４に保持されたら、
ストッパシリンダ９のロッドを下降させる。

【００３４】次に、ローラ駆動モータ２４によって歯付
ローラ２３を図示矢印Ｂ方向に回転させる。歯付ローラ
２３を回転させると、その回転力によって歯付ローラユ
ニット２０は、各ローラ台１９および基板６０を下方に
押圧しながら一方のローラ台１９から他方のローラ台１
９まで、基板６０の一端部に沿って図示矢印Ｃ方向に移
動する。歯付ローラ２３を、基板６０の表面に押圧しな
がら回転させることで、歯付ローラ２３の突起２３ａは
基板６０の表面の保護膜６１にくい込み、保護膜６１に
は歯付ローラ２３の回転力によって図示矢印Ｃ方向と反
対方向への力が働きつつ、歯付ローラ２３と保護膜６１
との摩擦抵抗による前記力の反作用で歯付ローラ２３が
図示矢印Ｃ方向に移動する。保護膜６１に図示矢印Ｃ方
向と反対方向の力が働くと、保護膜６１と基板６０との
間にすべりが発生し、歯付ローラ２３が通過した跡は、
保護膜６１がしわ状に伸びて保護膜６１と基板６０との
間に隙間が生じ、保護膜６１は基板６０から浮き上がる
。

【００３５】歯付ローラ２３が他方のローラ台１９に達
するとローラユニットスライダ部２１ａがローラストッ
パ３１に当たり、ローラ検知センサ３２によって歯付ロ
ーラユニット２０がその移動端に達したことが検知され
ると、ローラ駆動モータ２４の回転が停止される。

【００３６】歯付ローラユニット２０の移動が終了した
ら、固定ジョー４３と可動ジョー４４を開いた状態で、
保護膜把持ユニット４０を、保護膜把持ユニット４０の
可動範囲の最後端まで移動させる。そして、ノズル８に
よって保護膜６１と基板６０との間の隙間に加圧気体を
吹付けると、加圧気体の勢いで保護膜６１は基板６０の
一端部から剥れ、固定ジョー４３のクランプ面に密着す
る（図５一点鎖線部参照）。次に、ジョーシリンダ４５
に加圧空気を導入して、可動ジョー４４を固定ジョー４
３に当接させることによって、前記固定ジョー４３のク
ランプ面に密着した保護膜６１を把持する。保護膜６１
を把持したまま保護膜把持ユニット４０を図示矢印Ａ方
向へ移動させると、保護膜６１は保護膜把持ユニット４
０によって引っぱられ、基板６０の表面から剥離してい
く。

【００３７】保護膜把持ユニット４０が保護膜把持ユニ
ット４０の移動範囲の最前部に達し、ガイド部４１ａに
内蔵された移動端検知センサによって、保護膜把持ユニ
ット４０が移動範囲の最前部に達したことが検知される
と、ジョーシリンダ４５への加圧空気の導入が断たれ、
固定ジョー４３および可動ジョー４４による保護膜６１
の把持が解除される。それと同時に、収納容器１５に接
続している不図示の第２の真空源を動作させ、保護膜６
１を収納容器１５内に吸引させる。

【００３８】保護膜６１が収納容器１５内に吸引された
ら、基板６０の基板固定台４への真空吸着を解除し、基
板固定台４を下降させる。基板固定台４が下降したら再
び搬送ベルト１３を回転させ、基板６０を図示矢印Ａ方
向に搬送する。

【００３９】上述の一連の動作によって、保護膜６１は
人手を介さずに基板６０の表面から剥離され、作業を大
幅に省力化することができる。 （第２実施例）本発明の保護膜剥離装置の第２実施例に
ついて、図６および図７を用いて説明する。

【００４０】基板固定台７４の側方には、鉛直方向に延
びる公知のガイド付シリンダ８１が設けられている。該
ガイド付シリンダ８１は、第１実施例の保護膜除去手段
に用いられているものと同様の構成であり、ガイド付シ
リンダ８１のスライダ部は歯付ローラユニット８０の方
向を向いて配置されている。ガイド付シリンダ８１のス
ライダ部には、平面視Ｌ字状のロータリーアクチュエー
タ固定板８２を介してロ固着されている。ロータリアク
チュエータ８３の回転軸の先端部には、平行フィンガ８
４がそのクランプ部を水平にして固定されている。平行
フィンガ８４は、基板９０の側端部の、基板９０の搬送
方向に対して中央部を上下方向から把持するものである
。これらガイド付シリンダ８１、ロータリーアクチュエ
ータ固定板８２、ロータリーアクチュエータ８３および
平行フィンガ８４によって基板反転手段を構成する。

【００４１】基板固定台７４の平行フィンガ８４が対向
する側面の、基板搬送方向に対して中央部位には、平行
フィンガ８４のクランプ部が干渉しないための切欠き部
７４ｂが形成されている。また、平行フィンガ８４が対
向する一方の搬送ベルト８３は、平行フィンガ８４によ
る基板９０のつかみしろを確保するため、側板７２とは
離れた位置に張架されている。その他の構成については
第１実施例と同様であるので、その説明は省略する。

【００４２】次に、本実施例の動作について説明する。

【００４３】本実施例の動作において、保護膜９１を基
板９０の表面から剥離し、保護膜９１を不図示の収納容
器内に吸引する動作までは第１実施例と同様であるので
その説明は省略し、保護膜９１の前記収納容器への吸引
以降の動作について説明する。

【００４４】基板９０の表面から剥離された保護膜９１
が前記収納容器内へ吸引されたら、吸着口７５に連通す
る不図示の真空源による吸引を断ち、基板９０の真空吸
着を解除する。そして、平行フィンガ８４によって基板
９０の側部の中央部を把持し、ガイド付シリンダ８１に
よって平行フィンガ８４を上昇させて基板９０を持ち上
げる（図７一点鎖線部参照）。平行フィンガ８４がガイ
ド付シリンダ８１の上端に達したら、ロータリーアクチ
ェータ８３によって平行フィンガ８４を１８０°回転さ
せて、基板９０の表裏を反転させる。基板９０の表裏を
反転させたら、ガイド付シリンダ８１によって平行フィ
ンガ８４を下降させて、基板９０を基板固定台７４の上
面に載せる。そののち、平行フィンガ８４のクランプ部
を開いて基板９０の把持を解除し、前記真空源によって
再び基板９０を基板固定台７４上に真空吸着させる。

【００４５】以上の動作によって、基板９０は、裏面を
上方に向けて基板固定台７４上に固定される。そして、
第１実施例で述べた、基板９０の表面の保護膜９１を剥
離する手順と同様の手順で、基板９０の裏面の保護膜９
１を剥離する。

【００４６】本実施例のように、基板の表裏を反転させ
るための基板反転手段を備えることで、基板の表面およ
び裏面に密着した保護膜を、人手を介さずに連続して剥
離することができる。

【００４７】以上述べた各実施例において、歯付ローラ
の突起の形状は、三角状に限らず、波形等、歯付ローラ
を基板に押圧することによって保護膜を切断しない範囲
で自由に選択できる。

【００４８】また、流体吹付け手段によって吹付けられ
る流体は気体に限らず、基板や保護膜剥離装置に腐食等
の悪影響を与えない流体であれば、液体を用いてもよい
。ただし、その場合は、前記流体を吹付けた後、該流体
を回収する手段を設ける必要がある。

【００４９】

【発明の効果】本発明の保護膜剥離装置は上記のとおり
構成されているので、以下に記載する効果を奏する。

【００５０】請求項１に記載の発明においては、歯付ロ
ーラの外周面を基板の一端部の保護膜上に押圧させた状
態で回転させ、該回転力により前記基板の一端部に沿っ
てローラユニットが移動することで、保護膜の一端部を
基板の一端部から浮き上がらせることができる。また、
流体吹付け手段によって前記基板の一端面に流体を吹付
けることで、前記浮き上がった保護膜が起き上がり、保
護膜を把持しやすくなる。さらに、保護膜除去手段によ
って、前記起き上がった保護膜を把持し、前記保護膜除
去手段を前記基板の一端部から他端部の方向に移動させ
ることで、保護膜を基板表面から完全に除去することが
できる。

【００５１】そして、これら歯付ローラ、流体吹付け手
段および保護膜除去手段の一連の動作で保護膜を剥離す
ることで、両面粘着テープを用いずに安定して保護膜を
剥離することができる。さらに、人手によらず保護膜を
剥離するため作業条件によらず、効果よく保護膜を剥離
することができる。

【００５２】請求項２に記載の発明においては、上記効
果の他に、基板を保持した状態で、基板保持手段から離
間させたのち、前記基板の表裏を反転させ、再び前記基
板保持手段に保持させる基板反転手段を備えることによ
って、基板の表面だけでなく基板の裏面に密着している
保護膜も人手によらずに基板から剥離することができる
。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の保護膜剥離装置の第一実施例の一部を
破断した概略側面図である。

【図２】本発明の保護膜剥離装置の第一実施例の一部を
破断した概略平面図である。

【図３】図１に示した歯付ローラユニット付近の一部を
破断した概略正面図である。

【図４】図１に示した歯付ローラユニット付近の一部を
破断した概略側面図である。

【図５】図１に示した保護膜把持ユニット付近の一部を
破断した概略側面図である。

【図６】本発明の保護膜剥離装置の第二実施例の一部を
破断した概略平面図である。

【図７】本発明の保護膜剥離装置の第二実施例の基板反
転手段付近の一部を破断した概略背面図である。

【符号の説明】

１　　　　基台 ２，７２　　　　側板 ４，７４　　　　基板固定台 ４ａ，　　段差部 ４ｂ　　　　凹部 ５，７５　　　　吸着口 ６　　　　シリンダ ７　　　　ガイド棒 ８　　　　ノズル ９　　　　ストッパシリンダ １１　　　　従動ローラ １１ａ　　　　従動軸 １２　　　　駆動ローラ １２ａ　　　　駆動軸 １３，８３　　　　搬送ベルト １４　　　　駆動モータ １５　　　　収納容器 １６　　　　バケット １７　　　　ガイド板 １７ａ　　脚部 １７ｃ　　ローラユニットガイド部 １８　　　　支持台 ２０，８０　　　　歯付ローラユニット２１　　　　ロ
ーラ支持板 ２１ａ　　　　ローラユニットスライダ部２２　　　　
ローラカバー ２３　　　　歯付ローラ ２３ａ　　　　突起 ２４　　　　ローラ駆動モータ ２５　　　　カップリング ２６　　　　軸受 ２７，４８　　　　圧縮コイルばね ２８　　　　ばねガイド ２９　　　　ガイドピン ３０　　　　押圧ガイド ３１　　　　ローラストッパ ３２　　　　ローラ検知センサ ４０　　　　保護把持ユニット ４１　　　　ガイド付シリンダ ４１ａ　　スライダ部 ４１ｂ　　ガイド部 ４２　　　　ジョー支持板 ４３　　　　固定ジョー ４３ａ，４４ａ　　　　クランプ部 ４４　　　　可動ジョー ４５　　　　ジョーシリンダ ４６　　　　ピストンロッド ４７　　　　ジョーガイド ４９　　　　移動端ストッパ ６０，９０　　　　基板 ６１，９１　　　　保護膜 ７４ｂ　　　　切欠き部 ８１　　　　ガイド付シリンダ ８２　　　　ロータリーアクチュエータ固定板８３　　
　　ロータリーアクチュエータ８４　　　　平行フィン
ガ

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　少なくとも一表面が、密着した保護膜
   で覆われた基板を保持する基板保持手段と、外周面に軸
   方向へ延びる多数の突起を有する歯付ローラの前記外周
   面を、前記基板保持手段に保持された基板の一端部の保
   護膜上に押圧した状態で回転させ、該回転力により前記
   基板の一端部に沿って移動するローラユニットと、前記
   基板の一端部断面に対向して流体を吹付ける流体吹付け
   手段と、前記基板の一端部において、吹付けられた流体
   により起き上がった保護膜を把持し、前記基板の一端部
   から他端部の方向に移動する保護膜除去手段とを有する
   ことを特徴とする保護膜剥離装置。
2. 【請求項２】　　基板を保持した状態で、該基板を基板
   保持手段から離間させたのち、前記基板の表裏を反転さ
   せ、再び前記基板保持手段に保持させる基板反転手段を
   請求項１記載の保護膜剥離装置に付加させた保護膜剥離
   装置。