JP2720395B2 - 封入ガス分析装置 - Google Patents
封入ガス分析装置Info
- Publication number
- JP2720395B2 JP2720395B2 JP63229782A JP22978288A JP2720395B2 JP 2720395 B2 JP2720395 B2 JP 2720395B2 JP 63229782 A JP63229782 A JP 63229782A JP 22978288 A JP22978288 A JP 22978288A JP 2720395 B2 JP2720395 B2 JP 2720395B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- valve
- reservoir chamber
- gas reservoir
- chamber
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、ランプなどの破壊可能な封体に封入された
ガスの分析装置に関するものである。
ガスの分析装置に関するものである。
白熱電球や放電灯などのランプは、そのガラス封体内
に不活性ガスやハロゲンガスなどの各種のガスが封入さ
れているが、所定のランプ特性を発揮させるためには、
これらのガスは所定量だけ正確に封入する必要がある。
従って、製造されたランプのロットから供試ランプをサ
ンプリングし、その封入ガスを分析して点検する必要が
生じる。
に不活性ガスやハロゲンガスなどの各種のガスが封入さ
れているが、所定のランプ特性を発揮させるためには、
これらのガスは所定量だけ正確に封入する必要がある。
従って、製造されたランプのロットから供試ランプをサ
ンプリングし、その封入ガスを分析して点検する必要が
生じる。
ところで従来の分析装置は、例えば、真空計が取り付
けられたガスリザーバー室を真空に排気し、このガスリ
ザーバー室内で封体を破壊してガス圧を測定し、その後
ヘリウムなどのキャリアーガスをガスリザーバー室に導
入して2000トール程度の設定圧にし、この混合ガスをガ
スクロマトグラフィーGCへ導入し、GCでガス成分を分離
後、質量分析計MSへガスを導入し、分析していた。従っ
て、先ず、キャリアーガスをガスリザーバー室に導入し
て数十トール程度の封入ガスを拡散させて均一に混合
し、設定圧にするのに10分間程度の時間を要していた。
また、ガスリザーバー室内で封体を破壊するため、ガス
リザーバー室から破壊された封体を取り出す作業が煩雑
であり、手間を要していた。
けられたガスリザーバー室を真空に排気し、このガスリ
ザーバー室内で封体を破壊してガス圧を測定し、その後
ヘリウムなどのキャリアーガスをガスリザーバー室に導
入して2000トール程度の設定圧にし、この混合ガスをガ
スクロマトグラフィーGCへ導入し、GCでガス成分を分離
後、質量分析計MSへガスを導入し、分析していた。従っ
て、先ず、キャリアーガスをガスリザーバー室に導入し
て数十トール程度の封入ガスを拡散させて均一に混合
し、設定圧にするのに10分間程度の時間を要していた。
また、ガスリザーバー室内で封体を破壊するため、ガス
リザーバー室から破壊された封体を取り出す作業が煩雑
であり、手間を要していた。
そこで本発明は、短時間で、かつ簡単にランプなどの
封入ガスのガス圧とガス成分を同時に正確に分析できる
装置を提供することを目的とするものである。
封入ガスのガス圧とガス成分を同時に正確に分析できる
装置を提供することを目的とするものである。
本発明の封入ガス分析装置は、隔膜真空計が取り付け
られたガスリザーバー室とカセット式の封体破壊室が、
ガスリザーバー室側の第１バルブと封体破壊室側のＯリ
ングシールを介して着脱可能に連結されるとともに、第
１バルブとＯリングシールの間にて分岐した経路が第６
バルブを介して、ターボモレキュラーポンプとロータリ
ーポンプからなる真空ポンプのターボモレキュラーポン
プに連結されており、 ガスリザーバー室は第４バルブとオリフィスを介して
質量分析計に連結されるとともに第２バルブを介してタ
ーボモレキュラーポンプに連結され、更に、ガスリザー
バー室は、外部制御により自動開閉する空圧式自動バル
ブを介した経路にてもロータリーポンプに連結されたこ
とを特徴とするものである。
られたガスリザーバー室とカセット式の封体破壊室が、
ガスリザーバー室側の第１バルブと封体破壊室側のＯリ
ングシールを介して着脱可能に連結されるとともに、第
１バルブとＯリングシールの間にて分岐した経路が第６
バルブを介して、ターボモレキュラーポンプとロータリ
ーポンプからなる真空ポンプのターボモレキュラーポン
プに連結されており、 ガスリザーバー室は第４バルブとオリフィスを介して
質量分析計に連結されるとともに第２バルブを介してタ
ーボモレキュラーポンプに連結され、更に、ガスリザー
バー室は、外部制御により自動開閉する空圧式自動バル
ブを介した経路にてもロータリーポンプに連結されたこ
とを特徴とするものである。
すなわち、先ず、Ｏリングシールによりガスリザーバ
ー室に着脱可能に連結された封体破壊室がカセット式で
あるので、供試ランプの交換が極めて容易で、破壊され
た封体の回収に手間を要しないとともに、ガス圧やガス
組成を測定中に次の供試ランプに交換することができ
る。そして、封入ガスは封体破壊室から真空排気された
ガスリザーバー室に瞬時に導かれ、ガス圧が測定され
る。続いてロータリーポンプとガスリザーバー室との間
に配置された空圧式自動バルブを外部制御により自動開
閉させてガスリザーバー室を所定圧力にポンプダウン
し、減圧された封入ガスを質量分析計にオリフィスを通
して直接導くので、キャリヤーガスを必要とせず、封入
ガスとキャリヤーガスを均一に混合する必要がなく、極
めて短時間でガス圧とガス組成を測定することができ
る。また、キャリヤーガスとの均一性の問題もないの
で、正確に測定することができる。
ー室に着脱可能に連結された封体破壊室がカセット式で
あるので、供試ランプの交換が極めて容易で、破壊され
た封体の回収に手間を要しないとともに、ガス圧やガス
組成を測定中に次の供試ランプに交換することができ
る。そして、封入ガスは封体破壊室から真空排気された
ガスリザーバー室に瞬時に導かれ、ガス圧が測定され
る。続いてロータリーポンプとガスリザーバー室との間
に配置された空圧式自動バルブを外部制御により自動開
閉させてガスリザーバー室を所定圧力にポンプダウン
し、減圧された封入ガスを質量分析計にオリフィスを通
して直接導くので、キャリヤーガスを必要とせず、封入
ガスとキャリヤーガスを均一に混合する必要がなく、極
めて短時間でガス圧とガス組成を測定することができ
る。また、キャリヤーガスとの均一性の問題もないの
で、正確に測定することができる。
以下に、図面に示す実施例に基いて本発明を具体的に
説明する。
説明する。
図面は封入ガス分析装置を概念的に示したものである
が、封体破壊室１は、カセット式であり、封体破壊室１
そのものをＯリングシールＳにより装置に着脱すること
ができる。そして、封体破壊室１は第１バルブV1を介し
てガスリザーバー室２に連結され、かつ第６バルブV6を
介してターボモレキュラーポンプTMPに連結されてい
る。
が、封体破壊室１は、カセット式であり、封体破壊室１
そのものをＯリングシールＳにより装置に着脱すること
ができる。そして、封体破壊室１は第１バルブV1を介し
てガスリザーバー室２に連結され、かつ第６バルブV6を
介してターボモレキュラーポンプTMPに連結されてい
る。
不活性ガスやハロゲンガスのボンベからなる標準ガス
供給器５も第５バルブV5を介してガスリザーバー室２に
連結されている。
供給器５も第５バルブV5を介してガスリザーバー室２に
連結されている。
ガスリザーバー室２には、圧力によって内部に配置さ
れた隔膜が変化する隔膜真空計３が取り付けられてお
り、ガスリザーバー室２内のガス圧が測定可能になって
いる。このガスリザーバー室２は、第４バルブV4および
オリフィスO1を介して質量分析計MSに接続され、かつ第
２バルブV2を介してターボモレキュラーポンプTMPに連
結されている。また、ターボモレキュラーポンプTMPと
ロータリーポンプRPは第３バルブV3を介して接続されて
いる。そして、ガスリザーバー室２は、空圧によって開
閉時間が自動的に制御される空圧式自動バルブ４を介し
てロータリーポンプRPに接続されている。
れた隔膜が変化する隔膜真空計３が取り付けられてお
り、ガスリザーバー室２内のガス圧が測定可能になって
いる。このガスリザーバー室２は、第４バルブV4および
オリフィスO1を介して質量分析計MSに接続され、かつ第
２バルブV2を介してターボモレキュラーポンプTMPに連
結されている。また、ターボモレキュラーポンプTMPと
ロータリーポンプRPは第３バルブV3を介して接続されて
いる。そして、ガスリザーバー室２は、空圧によって開
閉時間が自動的に制御される空圧式自動バルブ４を介し
てロータリーポンプRPに接続されている。
しかして、先ず、第５バルブV5を開いて標準ガス供給
器５からガス組成が既知の標準ガスを真空に排気された
ガスリザーバー室２に導き、所定圧力に減圧した後、第
４バルブV4を開いて質量分析計MSに導いて分析を行い、
標準ガスのキャリブレーション値を得ておく。
器５からガス組成が既知の標準ガスを真空に排気された
ガスリザーバー室２に導き、所定圧力に減圧した後、第
４バルブV4を開いて質量分析計MSに導いて分析を行い、
標準ガスのキャリブレーション値を得ておく。
次に、供試ランプの入った封体破壊室１を装置に装着
し、第６バルブV6を開いて封体破壊室１内を真空に排気
する。そして第１バルブV1を開いて供試ランプを破壊す
ると、封入されていたガスが真空に排気されたガスリザ
ーバー室２にも瞬時に充満し、隔膜真空計３によってガ
ス圧が測定される。
し、第６バルブV6を開いて封体破壊室１内を真空に排気
する。そして第１バルブV1を開いて供試ランプを破壊す
ると、封入されていたガスが真空に排気されたガスリザ
ーバー室２にも瞬時に充満し、隔膜真空計３によってガ
ス圧が測定される。
ガス圧の測定が完了すると空圧式自動バルブ４を外部
制御により自動開閉する。これによって、ロータリーポ
ンプRPの作用でガスリザーバー室２内が数トール程度の
所定圧までポンプダウンする。そして、第４バルブV4を
開くと、ガスリザーバー室２内の封入ガスがオリフィス
O1を通って所定の流量で10-9トール程度に減圧された質
量分析計MSに導かれ、ガス成分が分析される。
制御により自動開閉する。これによって、ロータリーポ
ンプRPの作用でガスリザーバー室２内が数トール程度の
所定圧までポンプダウンする。そして、第４バルブV4を
開くと、ガスリザーバー室２内の封入ガスがオリフィス
O1を通って所定の流量で10-9トール程度に減圧された質
量分析計MSに導かれ、ガス成分が分析される。
一方、ガス圧測定が完了すると第１バルブV1が閉じて
新たな供試ランプの装着が可能な状態になっている。す
なわち、封体破壊室１を装置から取外し、新たな供試ラ
ンプの入った封体破壊室１を装置に装着し、第１バルブ
V1を閉じた状態で第６バルブV6を開き、ガス成分を分析
するのと平行して、封体破壊室１内を次の測定に備えて
真空に排気し、次の測定に直ちに移行することができる
ようになっている。
新たな供試ランプの装着が可能な状態になっている。す
なわち、封体破壊室１を装置から取外し、新たな供試ラ
ンプの入った封体破壊室１を装置に装着し、第１バルブ
V1を閉じた状態で第６バルブV6を開き、ガス成分を分析
するのと平行して、封体破壊室１内を次の測定に備えて
真空に排気し、次の測定に直ちに移行することができる
ようになっている。
このように、先ず、封体破壊室１がカセット式である
ので、取扱いが非常に簡単になる。そして、空圧式自動
バルブ４を自動開閉してガスリザーバー室２内を数トー
ル程度の所定圧までポンプダウンするので、極めて短時
間で減圧でき、この減圧された封入ガスを直ちに質量分
析計MSに導いて分析するので、測定のトータル時間を大
巾に短縮することができる。更には、封入ガスをキャリ
アーガスと混合することなく直後質量分析計MSに導くの
で、キャリアーガスとの均一性が問題にならず、正確な
分析値を得ることができる。
ので、取扱いが非常に簡単になる。そして、空圧式自動
バルブ４を自動開閉してガスリザーバー室２内を数トー
ル程度の所定圧までポンプダウンするので、極めて短時
間で減圧でき、この減圧された封入ガスを直ちに質量分
析計MSに導いて分析するので、測定のトータル時間を大
巾に短縮することができる。更には、封入ガスをキャリ
アーガスと混合することなく直後質量分析計MSに導くの
で、キャリアーガスとの均一性が問題にならず、正確な
分析値を得ることができる。
なお、以上の実施例では、ランプの封入ガスの測定例
を示したが、簡単に破壊可能な封体内に封入されたガス
であれば、ランプ以外にも適用することができる。
を示したが、簡単に破壊可能な封体内に封入されたガス
であれば、ランプ以外にも適用することができる。
以上説明したように、本発明は、封体破壊室をカセッ
ト式とし、また、ガス圧を測定するためのガスリザーバ
ー室内の封入ガスを外部制御により自動開閉する空圧式
自動バルブによって所定圧までポンプダウンし、この減
圧された封入ガスを直ちに質量分析計MSに導いて分析す
るようにしたので、短時間で、かつ簡単にランプなどの
封入ガスのガス圧とガス成分を同時に正確に分析でき
る。
ト式とし、また、ガス圧を測定するためのガスリザーバ
ー室内の封入ガスを外部制御により自動開閉する空圧式
自動バルブによって所定圧までポンプダウンし、この減
圧された封入ガスを直ちに質量分析計MSに導いて分析す
るようにしたので、短時間で、かつ簡単にランプなどの
封入ガスのガス圧とガス成分を同時に正確に分析でき
る。
図面は分析装置の説明図である。 １……封体破壊室 ２……ガスリザーバー室 ３……隔膜真空計 ４……空圧式自動バルブ ５……標準ガス供給器 MS……質量分析計 V1……第１バルブ V2……第２バルブ V4……第４バルブ V6……第６バルブ Ｏ……オリフィス Ｓ……Ｏリングシール TMP……ターボモレキュラーポンプ RP……ロータリーポンプ
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭60−147645（ＪＰ，Ａ) 実開 昭59−152437（ＪＰ，Ｕ)
Claims (1)
- 【請求項１】隔膜真空計が取り付けられたガスリザーバ
ー室とカセット式の封体破壊室が、該ガスリザーバー室
側の第１バルブと該封体破壊室側のＯリングシールを介
して着脱可能に連結されるとともに、該第１バルブと該
Ｏリングシールの間にて分岐した経路が第６バルブを介
して、ターボモレキュラーポンプとロータリーポンプか
らなる真空ポンプの該ターボモレキュラーポンプに連結
されており、 前記ガスリザーバー室は第４バルブとオリフィスを介し
て質量分析計に連結されるとともに第２バルブを介して
該ターボモレキュラーポンプに連結され、更に、該ガス
リザーバー室は、外部制御により自動開閉する空圧式自
動バルブを介した経路にても該ロータリーポンプに連結
されたことを特徴とする封入ガス分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63229782A JP2720395B2 (ja) | 1988-09-16 | 1988-09-16 | 封入ガス分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63229782A JP2720395B2 (ja) | 1988-09-16 | 1988-09-16 | 封入ガス分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0279352A JPH0279352A (ja) | 1990-03-19 |
| JP2720395B2 true JP2720395B2 (ja) | 1998-03-04 |
Family
ID=16897589
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63229782A Expired - Lifetime JP2720395B2 (ja) | 1988-09-16 | 1988-09-16 | 封入ガス分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2720395B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2576628Y2 (ja) * | 1992-10-12 | 1998-07-16 | 住友電設株式会社 | 床用アウトレット装置 |
| KR20030097051A (ko) * | 2002-06-18 | 2003-12-31 | (주)아트램프 | 램프 제조공정에서의 압력 발생/제어 및 수명 예측 진단장치 |
| KR101070221B1 (ko) * | 2008-12-15 | 2011-10-06 | 한국표준과학연구원 | 발포체 내부의 가스 시료 포집 장치 및 이를 이용한 분석 방법 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59152437U (ja) * | 1983-03-30 | 1984-10-12 | 日本酸素株式会社 | 電球等封入ガス採取装置 |
| JPS60147645A (ja) * | 1984-01-13 | 1985-08-03 | Mitsubishi Electric Corp | 封入ガス分析装置 |
-
1988
- 1988-09-16 JP JP63229782A patent/JP2720395B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0279352A (ja) | 1990-03-19 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071121 Year of fee payment: 10 |
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081121 Year of fee payment: 11 |
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| EXPY | Cancellation because of completion of term |