JPH04299765A - Quality control system - Google Patents
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- JPH04299765A JPH04299765A JP3064934A JP6493491A JPH04299765A JP H04299765 A JPH04299765 A JP H04299765A JP 3064934 A JP3064934 A JP 3064934A JP 6493491 A JP6493491 A JP 6493491A JP H04299765 A JPH04299765 A JP H04299765A
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- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/02—Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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Abstract
Description
【０００１】〔発明の目的〕[Object of the invention]
【産業上の利用分野】本発明は半導体装置等の生産ライ
ンにおける品質管理システムに関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a quality control system in a production line for semiconductor devices and the like.
【０００２】0002
【従来の技術】従来、生産ライン、例えば半導体装置の
生産ラインにおいては、その製品を水準以上の品質に維
持するために計算機ネットワークからなる品質管理シス
テムが組入れられる。この半導体装置の生産ライン及び
その品質管理システムは、一般に、図６に示すように構
成されている。2. Description of the Related Art Conventionally, a production line, for example, a production line for semiconductor devices, incorporates a quality control system consisting of a computer network in order to maintain the quality of the products above a standard level. This semiconductor device production line and its quality control system are generally configured as shown in FIG.
【０００３】この図において、まず、生産ラインはウェ
ーハ製造からウェーハ処理までの前工程Ｐ１ と、前工
程Ｐ１ 直後のウェーハを検査するウェーハテスト工程
Ｔ１ と、組立て工程から以降の後工程Ｐ２ と、後工
程Ｐ２ 直後の製品テスト工程Ｔ２ とからなっている
。In this figure, first, the production line consists of a pre-process P1 from wafer manufacturing to wafer processing, a wafer test process T1 for inspecting the wafer immediately after the pre-process P1, a post-process P2 from the assembly process, and a post-process P1. It consists of a product test process T2 immediately after process P2.
【０００４】１Ｐ１，１Ｐ１，…は前工程Ｐ１ に設置
されている各種処理装置や検査装置等の製造装置、２Ｐ
１，２Ｐ１，…は同工程Ｐ１ の製造装置１Ｐ１，１Ｐ
１，…の管理を行う製造装置管理用計算機、１Ｐ２，１
Ｐ２，…は後工程Ｐ２ に設置されている各種処理装置
、組立て装置、検査装置等の製造装置、２Ｐ２は後工程
Ｐ２ の製造装置１Ｐ２，１Ｐ２，…を管理する製造装
置管理用計算機、３Ｔ１，３Ｔ１，…はテスト工程Ｔ１
に設置されているテスタ、４Ｔ１はテスタ３Ｔ１，３
Ｔ１，…からのデータを解析するウェーハテスト用計算
機、３Ｔ２，３Ｔ２，…はテスト工程Ｔ２ に設置され
ているテスタ、４Ｔ２はテスタ３Ｔ２，３Ｔ２，…から
のデータを解析する製品テスト用計算機、５は生産管理
用計算機である。1P1, 1P1, ... are manufacturing equipment such as various processing equipment and inspection equipment installed in the pre-process P1, and 2P
1, 2P1, ... are manufacturing equipment 1P1, 1P of the same process P1
Manufacturing equipment management computer that manages 1,..., 1P2,1
P2,... are manufacturing equipment such as various processing equipment, assembly equipment, inspection equipment, etc. installed in the post-process P2, 2P2 is a manufacturing equipment management computer that manages the manufacturing equipment 1P2, 1P2,... in the post-process P2, 3T1, 3T1,... is test process T1
The tester installed in 4T1 is tester 3T1, 3.
3T2, 3T2, . . . are testers installed in the test process T2, 4T2 is a product testing computer that analyzes data from testers 3T2, 3T2, . . . 5 is a production management computer.
【０００５】各工程Ｐ１ ，Ｐ２ ，Ｔ１ ，Ｔ２ に
おける製造装置１Ｐ１，１Ｐ２やテスタ３Ｔ１，３Ｔ２
のスケジューリングは、生産管理用計算機５の指令によ
って各製造装置管理用計算機２Ｐ１，２Ｐ２，４Ｔ１，
４Ｔ２を通じて統括的に管理され、各工程Ｐ１ ，Ｐ２
，Ｔ１ ，Ｔ２ で所定の作業が行われ、全ラインを
通して各種ＬＳＩ等の半導体装置が製造される。Manufacturing equipment 1P1, 1P2 and testers 3T1, 3T2 in each process P1, P2, T1, T2
The scheduling is performed by each manufacturing equipment management computer 2P1, 2P2, 4T1, 2P1, 2P2, 4T1,
Integrated management through 4T2, each process P1, P2
, T1, and T2, and various semiconductor devices such as LSIs are manufactured through the entire line.
【０００６】６はこのようなラインで生産される製品の
品質管理用計算機である。この品質管理用計算機６は品
質管理用データベース７を持ち、この品質管理用データ
ベース７に基づいて各種レポートの作成や分析・統計処
理を行うようになっている。品質管理用データベース７
は各工程Ｐ１ ，Ｐ２ ，Ｔ１，Ｔ２ の製造装置管理
用あるいはテスト用計算機２Ｐ１，２Ｐ２，４Ｔ１，４
Ｔ２から上がってくるデータにより構成されたものであ
る。Reference numeral 6 is a computer for quality control of products produced on such a line. This quality control computer 6 has a quality control database 7, and is configured to create various reports and perform analysis and statistical processing based on this quality control database 7. Quality control database 7
is the manufacturing equipment management or testing computer 2P1, 2P2, 4T1, 4 for each process P1, P2, T1, T2.
It is composed of data coming from T2.
【０００７】すなわち、図７に示すように、品質管理用
計算機６には各工程Ｐ１ ，Ｐ２ ，Ｔ１ ，Ｔ２ か
らその計算機２Ｐ１，２Ｐ２，４Ｔ１，４Ｔ２の動作に
より品質管理用データが送られてくるようになっており
、品質管理用計算機６は、この受信データをリアルタイ
ムでチェックしたり、データベース７の中に登録したの
ちにデータ処理ソフト９によって上記各種処理を行い、
その結果を各工程Ｐ１ ，Ｐ２ ，Ｔ１ ，Ｔ２ にフ
ィードバックするようになっている。そのフィードバッ
クデータは各工程Ｐ１ ，Ｐ２ ，Ｔ１ ，Ｔ２ の製
造装置管理用計算機２Ｐ１，２Ｐ２，４Ｔ１，４Ｔ２の
働きで処理条件の調整等により品質維持に反映される。
データベース７の構造は、図８に示すように、品種単位
にサブデータベース７１〜７Ｍを持ち、各サブデータベ
ース７１〜７Ｍ内ではロット単位にデータを持つ、とい
うＴｒｅｅ構造となっている。なお、ここでは全ライン
を通じてＭ品種の製品を製造している場合の構造を示し
ている。That is, as shown in FIG. 7, quality control data is sent to the quality control computer 6 from each process P1, P2, T1, T2 by the operation of the computers 2P1, 2P2, 4T1, 4T2. The quality control computer 6 checks this received data in real time, registers it in the database 7, and then uses the data processing software 9 to perform the various processes described above.
The results are fed back to each process P1, P2, T1, and T2. The feedback data is reflected in quality maintenance by adjustment of processing conditions, etc. by the manufacturing equipment management computers 2P1, 2P2, 4T1, and 4T2 of each process P1, P2, T1, and T2. As shown in FIG. 8, the structure of the database 7 is a tree structure in which sub-databases 71-7M are provided for each product type, and data is provided for each lot within each sub-database 71-7M. Note that here, the structure is shown when M types of products are manufactured throughout the entire line.
【０００８】以上のようなシステムにおいて、品質管理
用計算機６は、各工程Ｐ１ ，Ｐ２ ，Ｔ１ ，Ｔ２
から上がってくるデータをチェックすることにより、不
良品発生検知等の即時性を必要とされる処理を実行する
。これにより、不良品の発生防止を図っているものであ
る。また、品質管理計算機６は、比較的即時性の要求さ
れない、不良品発生率算出、製造装置の性能診断等の統
計処理については、データベース７を使用して行うよう
になっている。その結果は、品質のモニタリング、不良
発生時の原因究明、歩留まり診断、製造装置の保守点検
の必要性判断等に供される。[0008] In the above system, the quality control computer 6 controls each process P1, P2, T1, T2.
By checking the data coming in from the system, processes that require immediacy, such as detecting the occurrence of defective products, can be executed. This is intended to prevent the occurrence of defective products. Furthermore, the quality control computer 6 uses the database 7 to perform statistical processing that does not require relatively immediate processing, such as calculating the incidence of defective products and diagnosing the performance of manufacturing equipment. The results are used for quality monitoring, investigation of causes when defects occur, yield diagnosis, and determination of the necessity of maintenance and inspection of manufacturing equipment.
【０００９】しかしながら、上記従来の品質管理システ
ムは、品質管理データが一括して品質管理用計算機の品
質管理データベースに管理され、品質管理用計算機がシ
ステム全体を集中的に管理するようになっているため、
多数の処理が重なって同時進行となった場合、解析のス
ピードが低下し、即時性の要求される処理に遅れを生ず
るという問題がある。特に、製造工程において、品質管
理データがどの様に変動しているか、を見ることは、工
程管理上、特に不良品発生を未然に防ぐ上で重要な事項
であり、このような事項に支障が出ると、対応に遅れを
生じて不良品多発の虞さえ出てくる。However, in the conventional quality control system described above, quality control data is collectively managed in a quality control database of a quality control computer, and the quality control computer centrally manages the entire system. For,
When a large number of processes overlap and proceed simultaneously, there is a problem in that the speed of analysis decreases and delays occur in processes that require immediacy. In particular, observing how quality control data changes during the manufacturing process is an important matter for process control, especially for preventing the occurrence of defective products. If such products are released, there may be a delay in response and there is even a risk that many defective products will be produced.
【００１０】また、品質管理用データベース７が品種別
のＴｒｅｅ構造となっているために、品種をキーにして
の検索は効率的に実行することができるものの、他の項
目、例えば製造装置をキーにして検索する場合、品種数
分だけ同じような検索を繰返し、関係のないデータまで
全てアクセスしなければならず、その分、検索に長時間
を要することとなっている。この点においても、従来の
システムは解析のスピードを低下させることとなってい
る。[0010]Also, since the quality control database 7 has a tree structure classified by product type, it is possible to efficiently perform a search using the product type as a key, but other items, such as manufacturing equipment, can be used as a key. When performing a search, the same search must be repeated for each product type and all unrelated data must be accessed, making the search take a long time. In this respect as well, conventional systems reduce the speed of analysis.
【００１１】さらに、品質管理用計算機による集中管理
であるがため、この計算機がダウンすると、データ収集
や解析処理等の品質管理処理が全て痲痺してしまうとい
う問題もある。[0011]Furthermore, because the quality control computer is used for centralized control, if this computer goes down, there is a problem in that all quality control processes such as data collection and analysis processing become paralyzed.
【００１２】0012
【発明が解決しようとする課題】以上のように従来の品
質管理システムにあっては、システム全体を品質管理用
計算機により集中的に管理し、また品質管理用データベ
ースがＴｒｅｅ構造となっているために、処理スピード
の低下を招くとともに、管理自体の痲痺を生ずる虞があ
る。[Problems to be Solved by the Invention] As described above, in conventional quality control systems, the entire system is centrally managed by a quality control computer, and the quality control database has a tree structure. However, there is a risk that the processing speed will be reduced and the management itself will be hampered.
【００１３】本発明は上記従来技術の有する問題点に鑑
みてなされたもので、その目的とするところは、処理ス
ピードの向上を達成することができるとともに、障害時
にも全体が停止することがなく管理の麻痺状態を極力避
けることができる品質管理システムを提供することにあ
る。[0013] The present invention has been made in view of the problems of the prior art described above, and its purpose is to be able to achieve an improvement in processing speed and to prevent the entire system from stopping even in the event of a failure. The objective is to provide a quality control system that can avoid management paralysis as much as possible.
【００１４】〔発明の構成〕[Configuration of the invention]
【課題を解決するための手段】本発明の品質管理システ
ムは、製造プロセスを構成する複数の工程それぞれに対
応して設置され、第１のデータ部と第２のデータ部とを
含む工程内データを発生する工程内データ発生装置と、
上記複数の工程それぞれに対応して設置され、対応する
工程の工程内データ発生装置から出力される工程内デー
タを集めた工程内データベースを保管するとともに、対
応する工程内の管理を行う工程内管理計算機と、この複
数の工程内管理計算機に対するホスト計算機として設置
され、上記複数の工程全ての第１のデータ部を集めた統
合データベースを保管するとともに、かかる複数の工程
の２以上にまたがる管理を行う統合管理計算機とを備え
、品質管理システムをネットワーク化された分散処理シ
ステムとして構成し、データベースも各計算機で分散型
リレーショナルデータベースとして管理するようにした
ものである。[Means for Solving the Problems] The quality control system of the present invention is installed corresponding to each of a plurality of steps constituting a manufacturing process, and includes in-process data including a first data section and a second data section. an in-process data generator that generates
In-process management that is installed corresponding to each of the multiple processes mentioned above, stores an in-process database that collects in-process data output from the in-process data generator of the corresponding process, and manages the corresponding process. It is installed as a host computer for the computer and the plurality of in-process management computers, stores an integrated database that collects the first data part of all of the plurality of processes, and performs management across two or more of the plurality of processes. The quality control system is configured as a networked distributed processing system, and the database is also managed as a distributed relational database on each computer.
【００１５】[0015]
【作用】本発明によれば、各工程に管理用計算機を置き
、各工程内管理用計算機で各工程内の処理を行うように
することにより、各工程における処理スピードが向上す
るとともに、この各工程内の処理に使用するデータを工
程内データベースとして手元に置き、これを各工程専用
の工程内管理用計算機で任意にアクセスし使用するよう
にすることで、各工程内処理がよりスムースになり、総
じて即時性が向上することとなる。[Operation] According to the present invention, by placing a management computer in each process and having each in-process management computer perform processing within each process, the processing speed in each process is improved, and each By keeping the data used for in-process processing at hand as an in-process database, and accessing and using this data at will using an in-process management computer dedicated to each process, each process can be processed more smoothly. , overall immediacy will be improved.
【００１６】また、このように分散処理システムとして
構成し、各工程内データを各工程で管理するようになっ
ているため、例え統合管理計算機や他の工程内計算機に
障害が発生しても、即、管理の麻痺となることを防止す
ることができる。[0016] Furthermore, since it is configured as a distributed processing system and the data within each process is managed in each process, even if a failure occurs in the integrated management computer or other in-process computers, In other words, it is possible to prevent management from becoming paralyzed.
【００１７】[0017]
【実施例】以下に本発明の実施例について図面を参照し
つつ説明する。図１は本発明の一実施例に係る品質管理
システムの構成を示すものである。ｐ１ 〜ｐｎ は上
記と対応させれば前工程Ｐ１ から後工程Ｐ２ までの
プロセスを構成するものとなる各工程、Ｔは全テストを
総括して示したテスト工程である。なお、以下の説明で
ｐｍ は、工程ｐ１ 〜ｐｎ のうちのいずれか一つを
指すこととする。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Examples of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 shows the configuration of a quality control system according to an embodiment of the present invention. If p1 to pn correspond to the above, each process constitutes the process from the previous process P1 to the subsequent process P2, and T is a test process collectively showing all tests. Note that in the following explanation, pm refers to any one of the steps p1 to pn.
【００１８】まず、１ｐｍ，１ｐｍ，…は製造工程ｐｍ
に設置されている各種処理装置、組立て装置、検査装
置等の製造装置、１０ｐｍは各製造工程ｐｍ における
製造装置１ｐｍ，１ｐｍ，…の管理を行う製造装置管理
用計算機、１１ｐｍ，１１ｐｍ，…は製造工程ｐｍ 専
用の工程内管理用計算機、１２ｐｍは工程内管理用計算
機１１ｐｍが保管する工程内データベース、１３ｐｍは
工程内管理用計算機１１ｐｍに接続されたコンソール、
３Ｔ ，３Ｔ ，…はテスト工程Ｔに設置されている各
種テスタ、１４Ｔ はテスタ３Ｔ ，３Ｔ ，…を管理
するテスト管理用計算機、１５Ｔ はテスト管理用計算
機１４Ｔ が保管するテスト工程データベース、１６は
生産管理用計算機、１７は統合計算機、１８統合計算機
１７が保管する統合データベース、１９は解析専用ＥＷ
Ｓ（Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ Ｗｏｒｋ Ｓｔａｔｉｏ
ｎ）である。First, 1pm, 1pm,... are manufacturing process pm
Manufacturing equipment such as various processing equipment, assembly equipment, and inspection equipment installed in Process pm A dedicated in-process management computer, 12pm is an in-process database stored by the in-process management computer 11pm, 13pm is a console connected to the in-process management computer 11pm,
3T, 3T, ... are various testers installed in the test process T, 14T is a test management computer that manages testers 3T, 3T, ..., 15T is a test process database stored by the test management computer 14T, 16 is a production Management computer, 17 is an integrated computer, 18 is an integrated database stored by the integrated computer 17, and 19 is an EW for analysis.
S (Engineering Work Station)
n).
【００１９】製造装置管理用計算機１０ｐｍは、図２に
示すように、一つの半導体製品の処理ごとに発生するプ
ロセスデータを品質データとして工程内管理用計算機１
１ｐｍに与える。この工程内管理用計算機１１ｐｍは、
管理用データとして、工程内データベース１２ｐｍとス
ペックマスタ２１と装置群マスタ２２とを有する。工程
内データベース１２ｐｍは装置群単位で整理された装置
群テーブル１２ｐｍＡ ，１２ｐｍＢ ，…からなって
おり、図３に示すようなフォーマットを有する。この図
に示すように、装置群テーブル１２ｐｍＡ ，１２ｐｍ
Ｂ ，…は作業実績データ部と実データ部とから構成さ
れている。作業実績データ部は検索時の索引となるよう
な項目からなり、ここでは品種名、工程、ロットＮｏ．
、作業時間、装置Ｎｏ．、作業者、課コードを含んでお
り、各製品処理の実績を示すものとなる。実データ部は
実際に製造装置で扱われたデータからなり、ここでは、
温度データ、流量データ、電圧データ、電流データ、時
間データ等を含んでいる。スペックマスタ２１は異常検
知用のデータを格納するものであり、装置群マスタ２２
は工程内データベース１２ｐｍにおける装置群ごとの品
質データ登録場所を格納するものである。The manufacturing equipment management computer 10pm, as shown in FIG.
Give at 1pm. This in-process management calculator 11pm is
As management data, it has an in-process database 12pm, a spec master 21, and an equipment group master 22. The in-process database 12pm consists of equipment group tables 12pmA, 12pmB, . . . organized by equipment group, and has a format as shown in FIG. As shown in this figure, the device group table 12pmA, 12pm
B, . . . are composed of a work result data section and an actual data section. The work record data section consists of items that serve as an index when searching, including product name, process, lot number, etc.
, working time, equipment No. , worker, and section codes, and indicates the results of processing each product. The actual data part consists of data actually handled by the manufacturing equipment, and here,
It includes temperature data, flow rate data, voltage data, current data, time data, etc. The spec master 21 stores data for abnormality detection, and the device group master 22
stores the quality data registration location for each device group in the in-process database 12pm.
【００２０】工程管理用計算機１１ｐｍは、データ通信
機能２３により製造装置管理用計算機１０ｐｍからの品
質データをオンラインで受信し、チェック機能２５によ
りその受信品質データ２４とスペックマスタ２３の管理
データとを比較し異常が無いかをチェックする。ここで
、異常があった場合にはデータ通信機能２３により製造
装置管理用計算機１０ｐｍにその旨を通知するとともに
アラームを発生する。The process control computer 11pm receives quality data online from the manufacturing equipment management computer 10pm using the data communication function 23, and compares the received quality data 24 with the management data of the spec master 23 using the check function 25. Check that there are no abnormalities. Here, if there is an abnormality, the data communication function 23 notifies the manufacturing equipment management computer 10pm of the fact and generates an alarm.
【００２１】そのチェック結果において異常が無かった
場合には、装置群マスタ２２を参照してそのチェック済
品質データ２６を装置群テーブル１２ｐｍＡ ，１２ｐ
ｍＢ ，…のうちいずれに登録するかを見出だし、該当
する装置群テーブルにその品質データ２６を登録する。If there is no abnormality in the check result, refer to the equipment group master 22 and store the checked quality data 26 in the equipment group tables 12pmA, 12p.
mB, . . . to be registered, and register the quality data 26 in the corresponding device group table.
【００２２】同時に、品質データ２６のうち作業実績デ
ータ部のみをデータ通信機能２９により統合計算機１７
に向けて送出する。テスト管理用計算機１４Ｔは、工程
内管理用計算機１１ｐｍと略々同様の処理を行うもので
あるが、対象が製造装置ではなくテスト装置となる。各
テスタ３Ｔ からのテストデータをオンラインで受信し
、チェック機能によりそのテストデータをチェックする
。また、そのチェック済品質データをテスタ単位で整理
されたテスタ群テーブルに登録するとともに、その作業
実績データ部のみを統合計算機１７に向けて送信する。At the same time, only the work performance data portion of the quality data 26 is transmitted to the integrated computer 17 by the data communication function 29.
Send it towards. The test management computer 14T performs almost the same processing as the in-process management computer 11pm, but its target is a test device instead of a manufacturing device. Test data from each tester 3T is received online, and the test data is checked using a check function. Further, the checked quality data is registered in a tester group table organized by tester, and only the work performance data part is transmitted to the integrated computer 17.
【００２３】統合計算機１７では、データ通信機能３０
によりシステムバス８から作業実績データを取込み、デ
ータ登録機能３１により統合データベースとなる作業実
績テーブル３２に登録する。また、図示しないが、生産
管理用計算機５から製品の投入、分割、倉入等の生産デ
ータを収集し統合データベースに格納する。[0023] In the integrated computer 17, the data communication function 30
The work record data is fetched from the system bus 8 and registered in the work record table 32, which is an integrated database, by the data registration function 31. Although not shown, production data such as product input, division, and warehousing are collected from the production management computer 5 and stored in the integrated database.
【００２４】解析専用ＥＷＳ１９は、技術者専用端末で
あり、各計算機１１ｐｍ，１４Ｔ ，１７にアクセスし
、それらの管理する各データベース１２ｐｍ，１５Ｔ
，１８を使用して人が任意の処理を行うためのものであ
る。[0024] The analysis-only EWS 19 is a terminal exclusively for engineers, and accesses each computer 11pm, 14T, 17, and each database 12pm, 15T managed by them.
, 18 for a person to perform arbitrary processing.
【００２５】以上のシステムにおいて、工程内データベ
ース１２ｐｍと統合データベース１８とは図４に示すよ
うに作業実績データをもってリンクしており、統合計算
機１７が所定の処理にあたって統合データベース１８だ
けでは不十分な場合、また工程内管理用計算機１１ｐｍ
がその工程内データベース１２ｐｍだけでは不十分な場
合には、他のサイトのデータベースを利用できる。３３
ｐｍは各工程内計算機１１ｐｍのデータディクショナリ
、３４は統合計算機１７のデータディクショナリであり
、これらデータディクショナリ３３ｐｍ，３４はデータ
ベース名とデータベースサイト名とからなり、他のサイ
トのデータベースの所在を示すものとなっている。した
がって、工程内計算機１１ｐｍや統合計算機１７が他の
サイトのデータベースを利用する場合、自己のデータデ
ィクショナリ３３ｐｍないしは３４を参照して所望のデ
ータベースの所在を検知し、そこへアクセスをかける。
このデータディクショナリ３３ｐｍ，３４は各データベ
ース名が定義される際に更新される。In the above system, the in-process database 12pm and the integrated database 18 are linked with work performance data as shown in FIG. , and in-process management calculator 11pm
If the in-process database 12pm is insufficient, databases from other sites can be used. 33
pm is a data dictionary of each in-process computer 11pm, 34 is a data dictionary of the integrated computer 17, and these data dictionaries 33pm and 34 consist of a database name and a database site name, and indicate the location of databases at other sites. It has become. Therefore, when the in-process computer 11pm or the integrated computer 17 uses a database at another site, it refers to its own data dictionary 33pm or 34 to detect the location of the desired database and accesses it. The data dictionaries 33pm and 34 are updated when each database name is defined.
【００２６】次に上述したように構成された本システム
の働きについて図５をも参照しつつ説明する。まず、各
半導体製品の処理が行われると、次のような処理がリア
ルタイムで実行される。すなわち、各半導体製品が処理
されると、それごとに製造工程ｐｍ においては製造装
置管理用計算機１０ｐｍから各種プロセスデータが発生
されるため、その工程内管理用計算機１１ｐｍにより上
記したように異常の有無がチェックされ、そのチェック
の結果が当該製造装置管理用計算機１０ｐｍにフィード
バックされ、この製造装置管理用計算機１０ｐｍにより
製造装置１ｐｍにおける処理条件等がリアルタイムに制
御される。Next, the operation of this system configured as described above will be explained with reference to FIG. First, when each semiconductor product is processed, the following processing is executed in real time. That is, when each semiconductor product is processed, various process data are generated from the manufacturing equipment management computer 10pm in each manufacturing process, so the in-process management computer 11pm determines whether or not there is an abnormality as described above. is checked, the result of the check is fed back to the manufacturing equipment management computer 10pm, and the processing conditions and the like in the manufacturing equipment 1pm are controlled in real time by this manufacturing equipment management computer 10pm.
【００２７】また、このデータチェックの後、品質管理
データは工程内データベース１２ｐｍに登録されるとと
もに、その作業実績データ部のみが統合計算機１７に送
られて、この統合計算機１７により統合データベース１
８に登録されることとなる。After this data check, the quality control data is registered in the in-process database 12pm, and only the work performance data part is sent to the integrated computer 17, which then stores it in the integrated database 1.
8 will be registered.
【００２８】テスト工程Ｔにおいても同様に、各半導体
製品の処理が行われると、そのテストに関連するデータ
がテスト管理用計算機１４Ｔ により工程内データベー
ス１５Ｔ に登録されるとともに、その作業実績データ
部のみが統合計算機１７に送られるため、この作業実績
データ部のみが統合計算機１７によって統合データベー
ス１８に登録される。Similarly, in the test process T, when each semiconductor product is processed, data related to the test is registered in the in-process database 15T by the test management computer 14T, and only the work result data section is is sent to the integrated computer 17, so only this work performance data part is registered in the integrated database 18 by the integrated computer 17.
【００２９】このようなリアルタイムの処理以外に、所
定の量のデータが溜まって、或る時点になると品質や歩
留り診断等の各種分析・統計処理や各種レポートの作成
等が行われる。この際には、工程内管理用計算機１１ｐ
ｍ，１４Ｔはその工程内データベース１２ｐｍや他の工
程内データベースを用い、統合計算機１７は統合データ
ベース１８や各工程内データベース１２ｐｍ，１５Ｔ
を用いる。その解析結果は各工程ｐｍ にフィードバッ
クされる。これにより、各工程ｐｍ は他の工程との絡
みで品質管理を行うことができる。つまり、自工程ｐｍ
が他工程にどのような影響を与えるか、あるいは自工
程が他工程からどのような影響を受けているか、を把握
でき、それらに対する適切な対応を取ることが可能とな
る。In addition to such real-time processing, a predetermined amount of data is accumulated and, at a certain point in time, various analyzes and statistical processes such as quality and yield diagnosis, and the creation of various reports are performed. In this case, use the in-process management calculator 11p.
m, 14T uses the in-process database 12pm and other in-process databases, and the integrated computer 17 uses the integrated database 18 and each in-process database 12pm, 15T.
Use. The analysis results are fed back to each process PM. Thereby, each process pm can perform quality control in conjunction with other processes. In other words, own process pm
This makes it possible to understand how processes affect other processes, or how one's own process is influenced by other processes, and to take appropriate responses to them.
【００３０】以上のように本実施例によれば、各工程ｐ
ｍ に管理用計算機１１ｐｍを置き、各工程内管理用計
算機で各工程内の処理を行うようにすることにより、各
工程における処理スピードが向上するとともに、この各
工程内の処理に使用するデータを工程内データベースと
して手元に置き、これを各工程専用の工程内管理用計算
機で任意にアクセスし使用するようにすることで、各工
程内処理がよりスムースになり、総じて即時性が向上す
ることとなる。As described above, according to this embodiment, each step p
By placing a management computer 11pm in M and having each in-process management computer perform processing in each process, the processing speed in each process is improved, and the data used for processing in each process is By keeping this at hand as an in-process database and accessing and using it at will with an in-process management computer dedicated to each process, each process becomes smoother and immediacy improves overall. Become.
【００３１】また、このように分散処理システムとして
構成し、各工程内データを各工程で管理するようになっ
ているため、例え統合管理計算機や他の工程内計算機に
障害が発生しても、即、管理の麻痺となることを防止す
ることができる。[0031] Furthermore, since it is configured as a distributed processing system and the data within each process is managed in each process, even if a failure occurs in the integrated management computer or other in-process computers, In other words, it is possible to prevent management from becoming paralyzed.
【００３２】以上、本発明の一実施例について説明した
が、本発明は上記に限定されるものではない。例えば、
上記システムの各工程ｐｍ ，Ｔ内ではデータテーブル
を製造装置単位あるいはテスタ単位で整理したが、生産
ラインの性質上、品種別の方が望ましい場合は品種別に
しても良く、これは任意である。また、各工程内管理用
計算機１１ｐｍ，１４ｐｍにおいて、その工程の環境デ
ータや部品材料データなどをデータベース化しておけば
、製品の品質データとリンクすることができ、これによ
り、より精密な管理が可能となる。Although one embodiment of the present invention has been described above, the present invention is not limited to the above. for example,
In each process pm, T of the above system, data tables are organized by manufacturing equipment or tester, but if it is preferable to categorize by type due to the nature of the production line, it may be done by type, but this is optional. . In addition, by creating a database of environmental data, parts material data, etc. for each process in the in-process management computers 11pm and 14pm, it can be linked to product quality data, which enables more precise management. becomes.
【００３３】[0033]
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、各
工程に管理用計算機を置き、各工程内管理用計算機で各
工程内の処理を行うようにすることにより、各工程にお
ける処理スピードが向上するとともに、この各工程内の
処理に使用するデータを工程内データベースとして手元
に置き、これを各工程専用の工程内管理用計算機で任意
にアクセスし使用するようにすることで、各工程内処理
がよりスムースになり、総じて即時性が向上することと
なる。[Effects of the Invention] As explained above, according to the present invention, a management computer is placed in each process, and each in-process management computer performs processing within each process, thereby increasing the processing speed in each process. By keeping the data used for processing within each process at hand as an in-process database, and allowing it to be accessed and used at will with an in-process management computer dedicated to each process, each process can be improved. Internal processing becomes smoother, and overall immediacy improves.
【００３４】また、このように分散処理システムとして
構成し、各工程内データを各工程で管理するようになっ
ているため、例え統合管理計算機や他の工程内計算機に
障害が発生しても、即、管理の麻痺となることを防止す
ることができる。[0034] Furthermore, since it is configured as a distributed processing system and the data within each process is managed in each process, even if a failure occurs in the integrated management computer or other in-process computers, In other words, it is possible to prevent management from becoming paralyzed.
【図１】本発明の一実施例に係る半導体製造ラインの品
質管理システムのブロック図。FIG. 1 is a block diagram of a quality control system for a semiconductor manufacturing line according to an embodiment of the present invention.
【図２】図１に示すシステムの各計算機の機能ブロック
図。FIG. 2 is a functional block diagram of each computer in the system shown in FIG. 1.
【図３】図１に示すシステムの品質管理用データベース
を構成するデータのフォーマット図。FIG. 3 is a format diagram of data constituting a quality control database of the system shown in FIG. 1;
【図４】図１に示すシステムの計算機間でのデータベー
スリンク状態説明図。FIG. 4 is an explanatory diagram of a database link state between computers in the system shown in FIG. 1;
【図５】図１に示すシステムにおける各種データの流れ
を示すブロック図。FIG. 5 is a block diagram showing the flow of various data in the system shown in FIG. 1.
【図６】従来の半導体製造ラインの品質管理システムの
ブロック図。FIG. 6 is a block diagram of a conventional quality control system for a semiconductor manufacturing line.
【図７】図６に示すシステムにおける各種データの流れ
を示すブロック図。FIG. 7 is a block diagram showing the flow of various data in the system shown in FIG. 6.
【図８】図６に示すシステムにおけるデータベースの構
造説明図。FIG. 8 is an explanatory diagram of the structure of a database in the system shown in FIG. 6;
【符号の説明】
１ｐ１，…，１ｐｎ 製造装置
１０ｐ１，…，１０ｐｎ 製造装置管理用計算機１
１ｐ１，…，１１ｐｎ 工程内管理用計算機１２ｐ
１，…，１２ｐｎ 工程内データベース３Ｔ
テスタ
１４Ｔ テスト管理用計算機
１５Ｔ テスト工程データベース
１７ 統合計算機
１８ 統合データベース[Explanation of symbols] 1p1,..., 1pn Manufacturing equipment 10p1,..., 10pn Manufacturing equipment management computer 1
1p1,...,11pn In-process management computer 12p
1,...,12pn In-process database 3T
Tester 14T Test management computer 15T Test process database 17 Integrated computer 18 Integrated database
Claims (1)
れに対応して設置され、第１のデータ部と第２のデータ
部とを含む工程内データを発生する工程内データ発生装
置と、前記複数の工程それぞれに対応して設置され、対
応する工程の前記工程内データ発生装置から出力される
前記工程内データを集めた工程内データベースを保管す
るとともに、前記対応する工程内の管理を行う工程内管
理計算機と、該複数の工程内管理計算機に対するホスト
計算機として設置され、前記複数の工程全ての前記第１
のデータ部を集めた統合データベースを保管するととも
に、前記複数の工程の２以上にまたがる管理を行う統合
管理計算機と、を備えている品質管理システム。1. An in-process data generation device that is installed corresponding to each of a plurality of steps constituting a manufacturing process and generates in-process data including a first data section and a second data section; An in-process database that is installed corresponding to each process, stores an in-process database that collects the in-process data output from the in-process data generator of the corresponding process, and manages the corresponding process. A management computer is installed as a host computer for the plurality of in-process management computers, and the first
A quality control system comprising: an integrated management computer that stores an integrated database that collects data parts of the above, and performs management across two or more of the plurality of processes.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6493491A JP2975708B2 (en) | 1991-03-28 | 1991-03-28 | Quality control system |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6493491A JP2975708B2 (en) | 1991-03-28 | 1991-03-28 | Quality control system |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04299765A true JPH04299765A (en) | 1992-10-22 |
| JP2975708B2 JP2975708B2 (en) | 1999-11-10 |
Family
ID=13272358
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6493491A Expired - Lifetime JP2975708B2 (en) | 1991-03-28 | 1991-03-28 | Quality control system |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2975708B2 (en) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0774068A (en) * | 1993-09-02 | 1995-03-17 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Product treating device and method for determining product treatment |
| US6049895A (en) * | 1996-12-09 | 2000-04-11 | Nec Corporation | Failure analyzer with distributed data processing network and method used therein |
| JP2009212409A (en) * | 2008-03-06 | 2009-09-17 | Seiko Epson Corp | Process control system, method for managing process implementation device, method and program for manufacturing semiconductor device |
| JP2010211309A (en) * | 2009-03-06 | 2010-09-24 | Ricoh Co Ltd | Quality information collection analysis system |
| JP2010231672A (en) * | 2009-03-27 | 2010-10-14 | Metawater Co Ltd | Maintenance management system |
-
1991
- 1991-03-28 JP JP6493491A patent/JP2975708B2/en not_active Expired - Lifetime
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|---|---|---|---|---|
| JPH0774068A (en) * | 1993-09-02 | 1995-03-17 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Product treating device and method for determining product treatment |
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| JP2010211309A (en) * | 2009-03-06 | 2010-09-24 | Ricoh Co Ltd | Quality information collection analysis system |
| JP2010231672A (en) * | 2009-03-27 | 2010-10-14 | Metawater Co Ltd | Maintenance management system |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2975708B2 (en) | 1999-11-10 |
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