JP2975708B2 - Quality control system - Google Patents
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Description
【０００１】〔発明の目的〕[Object of the invention]
【産業上の利用分野】本発明は半導体装置等の生産ライ
ンにおける品質管理システムに関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a quality control system in a production line for semiconductor devices and the like.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、生産ライン、例えば半導体装置の
生産ラインにおいては、その製品を水準以上の品質に維
持するために計算機ネットワークからなる品質管理シス
テムが組入れられる。この半導体装置の生産ライン及び
その品質管理システムは、一般に、図６に示すように構
成されている。2. Description of the Related Art Conventionally, in a production line, for example, a semiconductor device production line, a quality control system including a computer network is incorporated in order to maintain the quality of a product at a level higher than a standard. This semiconductor device production line and its quality control system are generally configured as shown in FIG.
【０００３】この図において、まず、生産ラインはウェ
ーハ製造からウェーハ処理までの前工程Ｐ1 と、前工程
Ｐ1 直後のウェーハを検査するウェーハテスト工程Ｔ1
と、組立て工程から以降の後工程Ｐ2 と、後工程Ｐ2 直
後の製品テスト工程Ｔ2 とからなっている。In FIG. 1, a production line includes a preprocess P1 from wafer production to wafer processing and a wafer test process T1 for inspecting a wafer immediately after the preprocess P1.
And a post-process P2 following the assembly process, and a product test process T2 immediately after the post-process P2.
【０００４】１P1，１P1，…は前工程Ｐ1 に設置されて
いる各種処理装置や検査装置等の製造装置、２P1，２P
1，…は同工程Ｐ1 の製造装置１P1，１P1，…の管理を
行う製造装置管理用計算機、１P2，１P2，…は後工程Ｐ
2 に設置されている各種処理装置、組立て装置、検査装
置等の製造装置、２P2は後工程Ｐ2 の製造装置１P2，１
P2，…を管理する製造装置管理用計算機、３T1，３T1，
…はテスト工程Ｔ1 に設置されているテスタ、４T1はテ
スタ３T1，３T1，…からのデータを解析するウェーハテ
スト用計算機、３T2，３T2，…はテスト工程Ｔ2 に設置
されているテスタ、４T2はテスタ３T2，３T2，…からの
データを解析する製品テスト用計算機、５は生産管理用
計算機である。1P1, 1P1,... Are manufacturing devices such as various processing devices and inspection devices installed in the preceding process P1, and 2P1, 2P.
.. Are production equipment management computers that manage the production equipment 1P1, 1P1,... In the same process P1, and 1P2, 1P2,.
2, manufacturing equipment such as various processing equipment, assembling equipment, and inspection equipment, and 2P2 are manufacturing equipment 1P2, 1 in the post-process P2.
Manufacturing equipment management computer that manages P2, 3T1, 3T1,
… Is a tester installed in the test process T1, 4T1 is a wafer test computer that analyzes data from the testers 3T1, 3T1,..., 3T2, 3T2,… is a tester installed in the test process T2, and 4T2 is a tester. A computer for product test, which analyzes data from 3T2, 3T2,..., 5 is a computer for production management.
【０００５】各工程Ｐ1 ，Ｐ2 ，Ｔ1 ，Ｔ2 における製
造装置１P1，１P2やテスタ３T1，３T2のスケジューリン
グは、生産管理用計算機５の指令によって各製造装置管
理用計算機２P1，２P2，４T1，４T2を通じて統括的に管
理され、各工程Ｐ1 ，Ｐ2 ，Ｔ1 ，Ｔ2 で所定の作業が
行われ、全ラインを通して各種ＬＳＩ等の半導体装置が
製造される。The scheduling of the manufacturing apparatuses 1P1 and 1P2 and the testers 3T1 and 3T2 in each of the processes P1, P2, T1, and T2 is controlled by the manufacturing apparatus management computers 2P1, 2P2, 4T1, and 4T2 according to instructions from the production management computer 5. A predetermined operation is performed in each of the processes P1, P2, T1, and T2, and semiconductor devices such as various LSIs are manufactured through all the lines.
【０００６】６はこのようなラインで生産される製品の
品質管理用計算機である。この品質管理用計算機６は品
質管理用データベース７を持ち、この品質管理用データ
ベース７に基づいて各種レポートの作成や分析・統計処
理を行うようになっている。品質管理用データベース７
は各工程Ｐ1 ，Ｐ2 ，Ｔ1，Ｔ2 の製造装置管理用ある
いはテスト用計算機２P1，２P2，４T1，４T2から上がっ
てくるデータにより構成されたものである。Reference numeral 6 denotes a computer for quality control of products manufactured in such a line. The quality control computer 6 has a quality control database 7, and various reports are created and analysis / statistical processing is performed based on the quality control database 7. Quality control database 7
Is composed of data coming from the manufacturing equipment management or test computers 2P1, 2P2, 4T1, and 4T2 in the respective processes P1, P2, T1, and T2.
【０００７】すなわち、図７に示すように、品質管理用
計算機６には各工程Ｐ1 ，Ｐ2 ，Ｔ1 ，Ｔ2 からその計
算機２P1，２P2，４T1，４T2の動作により品質管理用デ
ータが送られてくるようになっており、品質管理用計算
機６は、この受信データをリアルタイムでチェックした
り、データベース７の中に登録したのちにデータ処理ソ
フト９によって上記各種処理を行い、その結果を各工程
Ｐ1 ，Ｐ2 ，Ｔ1 ，Ｔ2 にフィードバックするようにな
っている。そのフィードバックデータは各工程Ｐ1 ，Ｐ
2 ，Ｔ1 ，Ｔ2 の製造装置管理用計算機２P1，２P2，４
T1，４T2の働きで処理条件の調整等により品質維持に反
映される。データベース７の構造は、図８に示すよう
に、品種単位にサブデータベース７１〜７Ｍを持ち、各
サブデータベース７１〜７Ｍ内ではロット単位にデータ
を持つ、というＴｒｅｅ構造となっている。なお、ここ
では全ラインを通じてＭ品種の製品を製造している場合
の構造を示している。That is, as shown in FIG. 7, quality control data is sent to the quality control computer 6 from each process P1, P2, T1, T2 by the operation of the computers 2P1, 2P2, 4T1, 4T2. The quality control computer 6 checks the received data in real time, or after registering it in the database 7, performs the above-described various processes by the data processing software 9, and compares the result with each process P 1, Feedback is provided to P2, T1, and T2. The feedback data is stored in each process P1, P
2, T 1, T 2, manufacturing equipment management computers 2 P 1, 2 P 2, 4
The function of T1 and 4T2 is reflected in quality maintenance by adjusting processing conditions. As shown in FIG. 8, the structure of the database 7 has a tree structure in which sub-databases 71 to 7M are provided for each product type, and data is stored for each lot in each of the sub-databases 71 to 7M. Here, the structure in the case where M types of products are manufactured through all the lines is shown.
【０００８】以上のようなシステムにおいて、品質管理
用計算機６は、各工程Ｐ1 ，Ｐ2 ，Ｔ1 ，Ｔ2 から上が
ってくるデータをチェックすることにより、不良品発生
検知等の即時性を必要とされる処理を実行する。これに
より、不良品の発生防止を図っているものである。ま
た、品質管理計算機６は、比較的即時性の要求されな
い、不良品発生率算出、製造装置の性能診断等の統計処
理については、データベース７を使用して行うようにな
っている。その結果は、品質のモニタリング、不良発生
時の原因究明、歩留まり診断、製造装置の保守点検の必
要性判断等に供される。In the above-described system, the quality control computer 6 needs immediateness such as detection of defective products by checking data coming from each process P1, P2, T1, T2. Execute the process. Thereby, the occurrence of defective products is prevented. In addition, the quality control computer 6 uses the database 7 for statistical processing such as calculation of the defective product occurrence rate and diagnosis of the performance of the manufacturing apparatus, which does not require relatively immediateness. The results are used for quality monitoring, investigation of causes when defects occur, yield diagnosis, determination of necessity of maintenance and inspection of manufacturing equipment, and the like.
【０００９】しかしながら、上記従来の品質管理システ
ムは、品質管理データが一括して品質管理用計算機の品
質管理データベースに管理され、品質管理用計算機がシ
ステム全体を集中的に管理するようになっているため、
多数の処理が重なって同時進行となった場合、解析のス
ピードが低下し、即時性の要求される処理に遅れを生ず
るという問題がある。特に、製造工程において、品質管
理データがどの様に変動しているか、を見ることは、工
程管理上、特に不良品発生を未然に防ぐ上で重要な事項
であり、このような事項に支障が出ると、対応に遅れを
生じて不良品多発の虞さえ出てくる。However, in the above-mentioned conventional quality management system, quality management data is collectively managed in a quality management database of a quality management computer, and the quality management computer centrally manages the entire system. For,
When a large number of processes are performed simultaneously and proceed simultaneously, there is a problem that the speed of analysis is reduced and a process that requires immediacy is delayed. In particular, it is important to observe how quality control data fluctuates in the manufacturing process, which is important for process control, especially for preventing defective products from occurring. If it does, the response will be delayed and the risk of defective products will increase.
【００１０】また、品質管理用データベース７が品種別
のＴｒｅｅ構造となっているために、品種をキーにして
の検索は効率的に実行することができるものの、他の項
目、例えば製造装置をキーにして検索する場合、品種数
分だけ同じような検索を繰返し、関係のないデータまで
全てアクセスしなければならず、その分、検索に長時間
を要することとなっている。この点においても、従来の
システムは解析のスピードを低下させることとなってい
る。Further, since the quality management database 7 has a tree structure for each product type, a search can be efficiently performed using a product type as a key. In such a case, the same search is repeated as many times as the number of varieties, and all irrelevant data must be accessed, which requires a long time for the search. Also in this regard, the conventional system reduces the speed of analysis.
【００１１】さらに、品質管理用計算機による集中管理
であるがため、この計算機がダウンすると、データ収集
や解析処理等の品質管理処理が全て痲痺してしまうとい
う問題もある。Furthermore, since the centralized control is performed by the quality control computer, if the computer goes down, there is a problem that all the quality control processes such as data collection and analysis are anesthetized.
【００１２】[0012]
【発明が解決しようとする課題】以上のように従来の品
質管理システムにあっては、システム全体を品質管理用
計算機により集中的に管理し、また品質管理用データベ
ースがＴｒｅｅ構造となっているために、処理スピード
の低下を招くとともに、管理自体の痲痺を生ずる虞があ
る。As described above, in the conventional quality management system, the entire system is centrally managed by a quality management computer, and the quality management database has a tree structure. In addition, the processing speed may be reduced, and the management itself may be numb.
【００１３】本発明は上記従来技術の有する問題点に鑑
みてなされたもので、その目的とするところは、処理ス
ピードの向上を達成することができるとともに、障害時
にも全体が停止することがなく管理の麻痺状態を極力避
けることができる品質管理システムを提供することにあ
る。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-mentioned problems of the prior art. It is an object of the present invention to achieve an improvement in processing speed and prevent the entire system from stopping even in the event of a failure. It is an object of the present invention to provide a quality control system capable of avoiding paralysis of management as much as possible.
【００１４】〔発明の構成〕[Configuration of the Invention]
【課題を解決するための手段】本発明の品質管理システ
ムは、ネットワーク化された分散処理システムとして構
成され、複数の工程を有する製造プロセスの品質を管理
する品質管理システムであって、前記製造プロセスを構
成する各工程毎に設けられて、複数の製造装置をリアル
タイムに制御するとともに、各種プロセスデータを生成
する製造装置管理用計算機と、前記製造プロセスを構成
する各工程毎に設けられて、前記製造装置管理用計算機
から前記プロセスデータを受信し、このプロセスデータ
から品質管理用の工程内データベースを作成する工程内
管理用計算機と、テスタ装置からのテストデータを受信
し、そのテストデータをチェックするとともに、このテ
ストデータからテスト工程データベースを作成するテス
ト管理用計算機と、前記各工程の工程内管理用計算機と
前記テスト管理用計算機とを統合するために設けられ
て、前記各工程毎に設けられた前記工程内管理用計算機
の前記工程内データベースと前記テスト管理用計算機の
前記テスト工程データベースとからある任意の時点で必
要なデータを取り込んで、統合データベースを作成する
とともに、この統合データベースを用いて解析を行って
その解析結果を各工程にフィードバックする統合計算機
と、を備えるとともに、前記各工程内管理用計算機は、
それぞれ、異常検知用のチェック管理データを格納する
スペックマスタと、前記プロセスデータのうちの品質デ
ータと、前記スペックマスタの前記チェック管理データ
とを比較し、異常がないかどうかをチェックするチェッ
ク手段と、前記チェック手段によるチェックの結果、異
常があった場合にはそのプロセスデータを生成した前記
製造装置管理用計算機にその旨を通知する通知手段と、
を備えていることを特徴とする。According to the present invention, there is provided a quality management system configured as a networked distributed processing system for managing the quality of a manufacturing process having a plurality of steps. Is provided for each step constituting, and controls a plurality of manufacturing apparatuses in real time, and a manufacturing apparatus management computer for generating various process data, and provided for each step constituting the manufacturing process, Receives the process data from the manufacturing equipment management computer, receives an in-process management computer that creates an in-process database for quality management from the process data, and receives test data from the tester device and checks the test data. Along with a test management computer that creates a test process database from this test data. The in-process database and the test management computer of the in-process management computer provided for integrating the in-process management computer and the test management computer of each process, provided for each process. An integrated computer that captures necessary data at a given point in time from the test process database and creates an integrated database, performs an analysis using the integrated database, and feeds back the analysis result to each process. In addition to the above, the in-process management computer,
A specification master for storing check management data for abnormality detection, and quality data of the process data, and a check unit for comparing the check management data of the specification master to check whether there is any abnormality. A notification unit for notifying the manufacturing apparatus management computer that has generated the process data, if any, as a result of the check by the check unit,
It is characterized by having.
【００１５】[0015]
【作用】本発明によれば、各工程にある複数の製造装置
に接続する製造装置管理用計算機を各工程毎に設け、こ
れら製造装置管理用計算機から各種プロセスを受信する
工程内管理用計算機を各工程毎に設け、これら各工程内
管理用計算機で各工程内の処理を行うようにすることに
より、各工程における処理スピードが向上するととも
に、この各工程内の処理に使用するデータを工程内デー
タベースとして手元に置き、これを各工程専用の工程内
管理用計算機で任意にアクセスし使用するようにするこ
とで、各工程内処理がよりスムースになり、総じて即時
性が向上することとなる。According to the present invention, a computer for manufacturing apparatus management connected to a plurality of manufacturing apparatuses in each step is provided for each step, and a computer for in-process management for receiving various processes from the computer for manufacturing apparatus management is provided. By providing for each process and performing the process in each process by the computer for managing each process, the processing speed in each process is improved, and the data used for the process in each process is stored in the process. By keeping the database at hand and accessing and using it arbitrarily by the in-process management computer dedicated to each process, the process in each process becomes smoother, and the immediacy is generally improved.
【００１６】また、このように分散処理システムとして
構成し、各工程内データを各工程毎に設けられた工程内
データベースで管理し、テストデータをテスト工程に設
けられたテスト工程データベースで管理するようになっ
ているため、例え統合計算機や他の工程内管理用計算機
やテスト管理用計算機に障害が発生しても、即、この製
造プロセス全体についての管理の麻痺となることを防止
することができる。また、統合計算機は、任意のある時
点で、各工程内管理用計算機が形成した工程内データベ
ースと、テスト管理用計算機が形成したテスト工程デー
タベースとを用いて、統合データベースを形成し、この
統合データベースを用いて解析を行い、この解析結果を
各工程にフィードバックする。このため、各工程は他の
工程との絡みで品質管理を行うことができるようにな
り、自工程が他工程にどのような影響を与えるか、ある
いは自工程が他工程からどのような影響を受けている
か、を把握でき、それらに対する適切な対応を取ること
が可能となる。Further, the system is configured as a distributed processing system as described above, in-process data is managed in an in-process database provided for each process, and test data is managed in a test process database provided in a test process. Therefore, even if a failure occurs in the integrated computer, other in-process management computer, or test management computer, it is possible to immediately prevent the management of the entire manufacturing process from being paralyzed. . Further, at any given time, the integrated computer forms an integrated database using the in-process database formed by each in-process management computer and the test process database formed by the test management computer. The analysis is performed using, and the analysis result is fed back to each process. For this reason, each process can perform quality control in connection with other processes, and how the own process affects other processes, or how the own process affects other processes. It is possible to grasp whether or not they have received, and it is possible to take appropriate measures for them.
【００１７】[0017]
【実施例】以下に本発明の実施例について図面を参照し
つつ説明する。図１は本発明の一実施例に係る品質管理
システムの構成を示すものである。ｐ1 〜ｐn は上記と
対応させれば前工程Ｐ1 から後工程Ｐ2 までのプロセス
を構成するものとなる各工程、Ｔは全テストを総括して
示したテスト工程である。なお、以下の説明でｐm は、
工程ｐ1 〜ｐn のうちのいずれか一つを指すこととす
る。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 shows a configuration of a quality management system according to one embodiment of the present invention. p1 to pn correspond to the above and constitute the processes from the preceding process P1 to the succeeding process P2, and T is a test process generally showing all tests. In the following description, pm is
It refers to any one of the steps p1 to pn.
【００１８】まず、１pm，１pm，…は製造工程ｐm に設
置されている各種処理装置、組立て装置、検査装置等の
製造装置、１０pmは各製造工程ｐm における製造装置１
pm，１pm，…の管理を行う製造装置管理用計算機、１１
pm，１１pm，…は製造工程ｐm 専用の工程内管理用計算
機、１２pmは工程内管理用計算機１１pmが保管する工程
内データベース、１３pmは工程内管理用計算機１１pmに
接続されたコンソール、３T ，３T ，…はテスト工程Ｔ
に設置されている各種テスタ、１４T はテスタ３T ，３
T ，…を管理するテスト管理用計算機、１５T はテスト
管理用計算機１４T が保管するテスト工程データベー
ス、１６は生産管理用計算機、１７は統合計算機、１８
統合計算機１７が保管する統合データベース、１９は解
析専用ＥＷＳ（Engineering Work Station）である。First, 1 pm, 1 pm,... Are manufacturing apparatuses such as various processing apparatuses, assembling apparatuses, and inspection apparatuses installed in the manufacturing process pm, and 10 pm is a manufacturing apparatus 1 in each manufacturing process pm.
pm, 1pm,..., a manufacturing equipment management computer, 11
pm, 11pm,... are in-process management computers dedicated to the manufacturing process pm, 12pm is an in-process database stored in the in-process management computer 11pm, 13pm is a console connected to the in-process management computer 11pm, 3T, 3T, ... is the test process T
The testers installed in, 14T are testers 3T, 3
,..., A test process database stored in the test management computer 14T, 16 a production management computer, 17 an integrated computer, 18
An integrated database stored in the integrated computer 17 is an analysis-specific EWS (Engineering Work Station) 19.
【００１９】製造装置管理用計算機１０pmは、図２に示
すように、一つの半導体製品の処理ごとに発生するプロ
セスデータを品質データとして工程内管理用計算機１１
pmに与える。この工程内管理用計算機１１pmは、管理用
データとして、工程内データベース１２pmとスペックマ
スタ２１と装置群マスタ２２とを有する。工程内データ
ベース１２pmは装置群単位で整理された装置群テーブル
１２pmA ，１２pmB ，…からなっており、図３に示すよ
うなフォーマットを有する。この図に示すように、装置
群テーブル１２pmA ，１２pmB ，…は作業実績データ部
と実データ部とから構成されている。作業実績データ部
は検索時の索引となるような項目からなり、ここでは品
種名、工程、ロットＮｏ．、作業時間、装置Ｎｏ．、作
業者、課コードを含んでおり、各製品処理の実績を示す
ものとなる。実データ部は実際に製造装置で扱われたデ
ータからなり、ここでは、温度データ、流量データ、電
圧データ、電流データ、時間データ等を含んでいる。ス
ペックマスタ２１は異常検知用のデータを格納するもの
であり、装置群マスタ２２は工程内データベース１２pm
における装置群ごとの品質データ登録場所を格納するも
のである。As shown in FIG. 2, the manufacturing apparatus management computer 10pm uses process data generated for each processing of one semiconductor product as quality data as in-process management computer 11pm.
Give to pm. The in-process management computer 11pm has an in-process database 12pm, a specification master 21, and a device group master 22 as management data. The in-process database 12pm includes device group tables 12pmA, 12pmB,... Arranged in units of device groups, and has a format as shown in FIG. As shown in this figure, the device group tables 12pmA, 12pmB,... Are composed of an actual work data section and an actual data section. The work result data section is composed of items that can be used as an index at the time of search. Here, the type name, process, lot No. , Work time, device No. , Workers and section codes, and indicate the performance of each product processing. The actual data section is composed of data actually handled by the manufacturing apparatus, and here includes temperature data, flow rate data, voltage data, current data, time data, and the like. The specification master 21 stores data for abnormality detection, and the device group master 22 stores the in-process database 12pm.
Is stored for each device group.
【００２０】工程管理用計算機１１pmは、データ通信機
能２３により製造装置管理用計算機１０pmからの品質デ
ータをオンラインで受信し、チェック機能２５によりそ
の受信品質データ２４とスペックマスタ２３の管理デー
タとを比較し異常が無いかをチェックする。ここで、異
常があった場合にはデータ通信機能２３により製造装置
管理用計算機１０pmにその旨を通知するとともにアラー
ムを発生する。The process management computer 11pm receives quality data from the manufacturing equipment management computer 10pm on-line by the data communication function 23, and compares the received quality data 24 with the management data of the specification master 23 by the check function 25. Check for any abnormalities. Here, if there is an abnormality, the data communication function 23 notifies the manufacturing apparatus management computer 10pm of the fact and generates an alarm.
【００２１】そのチェック結果において異常が無かった
場合には、装置群マスタ２２を参照してそのチェック済
品質データ２６を装置群テーブル１２pmA ，１２pmB ，
…のうちいずれに登録するかを見出だし、該当する装置
群テーブルにその品質データ２６を登録する。If there is no abnormality in the check result, the checked quality data 26 is referred to the device group master 22 and the device group tables 12pmA, 12pmB,
.. Are registered, and the quality data 26 is registered in the corresponding device group table.
【００２２】同時に、品質データ２６のうち作業実績デ
ータ部のみをデータ通信機能２９により統合計算機１７
に向けて送出する。テスト管理用計算機１４Tは、工程
内管理用計算機１１pmと略々同様の処理を行うものであ
るが、対象が製造装置ではなくテスト装置となる。各テ
スタ３T からのテストデータをオンラインで受信し、チ
ェック機能によりそのテストデータをチェックする。ま
た、そのチェック済品質データをテスタ単位で整理され
たテスタ群テーブルに登録するとともに、その作業実績
データ部のみを統合計算機１７に向けて送信する。At the same time, only the work performance data portion of the quality data 26 is transmitted by the data communication function 29 to the integrated computer 17.
Send to. The test management computer 14T performs substantially the same processing as the in-process management computer 11pm, but targets a test device instead of a manufacturing device. The test data from each tester 3T is received online, and the test data is checked by the check function. In addition, the checked quality data is registered in a tester group table arranged in tester units, and only the work result data portion is transmitted to the integrated computer 17.
【００２３】統合計算機１７では、データ通信機能３０
によりシステムバス８から作業実績データを取込み、デ
ータ登録機能３１により統合データベースとなる作業実
績テーブル３２に登録する。また、図示しないが、生産
管理用計算機５から製品の投入、分割、倉入等の生産デ
ータを収集し統合データベースに格納する。In the integrated computer 17, the data communication function 30
, The work result data is taken from the system bus 8 and registered in the work result table 32 serving as an integrated database by the data registration function 31. Although not shown, production data such as product input, division, storage, etc. is collected from the production management computer 5 and stored in the integrated database.
【００２４】解析専用ＥＷＳ１９は、技術者専用端末で
あり、各計算機１１pm，１４T ，１７にアクセスし、そ
れらの管理する各データベース１２pm，１５T ，１８を
使用して人が任意の処理を行うためのものである。The analysis-specific EWS 19 is an engineer-specific terminal that accesses the computers 11pm, 14T, and 17 and allows a person to perform arbitrary processing using the databases 12pm, 15T, and 18 managed by the computers. Things.
【００２５】以上のシステムにおいて、工程内データベ
ース１２pmと統合データベース１８とは図４に示すよう
に作業実績データをもってリンクしており、統合計算機
１７が所定の処理にあたって統合データベース１８だけ
では不十分な場合、また工程内管理用計算機１１pmがそ
の工程内データベース１２pmだけでは不十分な場合に
は、他のサイトのデータベースを利用できる。３３pmは
各工程内計算機１１pmのデータディクショナリ、３４は
統合計算機１７のデータディクショナリであり、これら
データディクショナリ３３pm，３４はデータベース名と
データベースサイト名とからなり、他のサイトのデータ
ベースの所在を示すものとなっている。したがって、工
程内計算機１１pmや統合計算機１７が他のサイトのデー
タベースを利用する場合、自己のデータディクショナリ
３３pmないしは３４を参照して所望のデータベースの所
在を検知し、そこへアクセスをかける。このデータディ
クショナリ３３pm，３４は各データベース名が定義され
る際に更新される。In the above system, the in-process database 12pm and the integrated database 18 are linked with work result data as shown in FIG. 4, and when the integrated computer 17 is not sufficient for the predetermined processing by the integrated computer 18, If the in-process management computer 11pm is not sufficient with the in-process database 12pm alone, a database at another site can be used. 33pm is a data dictionary of each in-process computer 11pm, 34 is a data dictionary of the integrated computer 17, and these data dictionaries 33pm and 34 are composed of a database name and a database site name, and indicate the location of a database at another site. Has become. Therefore, when the intra-process computer 11pm or the integrated computer 17 uses a database at another site, the in-process computer 11pm or the integrated computer 17 refers to its own data dictionary 33pm or 34 to detect the location of the desired database and access the database. These data dictionaries 33pm and 34 are updated when each database name is defined.
【００２６】次に上述したように構成された本システム
の働きについて図５をも参照しつつ説明する。まず、各
半導体製品の処理が行われると、次のような処理がリア
ルタイムで実行される。すなわち、各半導体製品が処理
されると、それごとに製造工程ｐm においては製造装置
管理用計算機１０pmから各種プロセスデータが発生され
るため、その工程内管理用計算機１１pmにより上記した
ように異常の有無がチェックされ、そのチェックの結果
が当該製造装置管理用計算機１０pmにフィードバックさ
れ、この製造装置管理用計算機１０pmにより製造装置１
pmにおける処理条件等がリアルタイムに制御される。Next, the operation of the present system configured as described above will be described with reference to FIG. First, when processing of each semiconductor product is performed, the following processing is executed in real time. That is, when each semiconductor product is processed, in the manufacturing process pm, various process data are generated from the manufacturing equipment management computer 10pm, and the presence or absence of an abnormality is determined by the in-process management computer 11pm as described above. Is checked, and the result of the check is fed back to the manufacturing apparatus management computer 10pm, and the manufacturing apparatus 1
Processing conditions at pm are controlled in real time.
【００２７】また、このデータチェックの後、品質管理
データは工程内データベース１２pmに登録されるととも
に、その作業実績データ部のみが統合計算機１７に送ら
れて、この統合計算機１７により統合データベース１８
に登録されることとなる。After this data check, the quality control data is registered in the in-process database 12pm, and only the work result data portion is sent to the integrated computer 17, and the integrated computer 17 sends the integrated database 18 to the integrated database 18.
Will be registered.
【００２８】テスト工程Ｔにおいても同様に、各半導体
製品の処理が行われると、そのテストに関連するデータ
がテスト管理用計算機１４T により工程内データベース
１５T に登録されるとともに、その作業実績データ部の
みが統合計算機１７に送られるため、この作業実績デー
タ部のみが統合計算機１７によって統合データベース１
８に登録される。Similarly, in the test process T, when each semiconductor product is processed, data related to the test is registered in the in-process database 15T by the test management computer 14T, and only the work result data portion Is sent to the integrated computer 17, and only the work result data section is integrated by the integrated computer 17 into the integrated database 1.
8 is registered.
【００２９】このようなリアルタイムの処理以外に、所
定の量のデータが溜まって、或る時点になると品質や歩
留り診断等の各種分析・統計処理や各種レポートの作成
等が行われる。この際には、工程内管理用計算機１１p
m，１４Tはその工程内データベース１２pmや他の工程内
データベースを用い、統合計算機１７は統合データベー
ス１８や各工程内データベース１２pm，１５T を用い
る。その解析結果は各工程ｐm にフィードバックされ
る。これにより、各工程ｐm は他の工程との絡みで品質
管理を行うことができる。つまり、自工程ｐm が他工程
にどのような影響を与えるか、あるいは自工程が他工程
からどのような影響を受けているか、を把握でき、それ
らに対する適切な対応を取ることが可能となる。In addition to such real-time processing, a predetermined amount of data is accumulated, and at a certain point in time, various analysis / statistical processing such as quality and yield diagnosis and creation of various reports are performed. At this time, the in-process management computer 11p
m and 14T use the in-process database 12pm and other in-process databases, and the integrated computer 17 uses the integrated database 18 and the in-process databases 12pm and 15T. The analysis result is fed back to each process pm. Thus, each process pm can perform quality control in connection with other processes. In other words, it is possible to grasp how the own process pm affects other processes or how the own process is affected by other processes, and to take appropriate measures against them.
【００３０】以上のように本実施例によれば、各工程ｐ
m に管理用計算機１１pmを置き、各工程内管理用計算機
で各工程内の処理を行うようにすることにより、各工程
における処理スピードが向上するとともに、この各工程
内の処理に使用するデータを工程内データベースとして
手元に置き、これを各工程専用の工程内管理用計算機で
任意にアクセスし使用するようにすることで、各工程内
処理がよりスムースになり、総じて即時性が向上するこ
ととなる。As described above, according to this embodiment, each step p
By setting the management computer 11pm in m and performing the processing in each process by the management computer in each process, the processing speed in each process is improved, and the data used for the processing in each process is reduced. By keeping it as an in-process database and accessing and using it arbitrarily with the in-process management computer dedicated to each process, each in-process process becomes smoother and overall immediacy is improved. Become.
【００３１】また、このように分散処理システムとして
構成し、各工程内データを各工程で管理するようになっ
ているため、例え統合管理計算機や他の工程内計算機に
障害が発生しても、即、管理の麻痺となることを防止す
ることができる。Further, since the system is configured as a distributed processing system and data in each process is managed in each process, even if a failure occurs in the integrated management computer or another computer in the process, Immediately, the paralysis of management can be prevented.
【００３２】以上、本発明の一実施例について説明した
が、本発明は上記に限定されるものではない。例えば、
上記システムの各工程ｐm ，Ｔ内ではデータテーブルを
製造装置単位あるいはテスタ単位で整理したが、生産ラ
インの性質上、品種別の方が望ましい場合は品種別にし
ても良く、これは任意である。また、各工程内管理用計
算機１１pm，１４pmにおいて、その工程の環境データや
部品材料データなどをデータベース化しておけば、製品
の品質データとリンクすることができ、これにより、よ
り精密な管理が可能となる。Although the embodiment of the present invention has been described above, the present invention is not limited to the above. For example,
In each process pm and T of the above system, the data tables are arranged in units of manufacturing equipment or testers. However, if it is desirable to have different types due to the characteristics of the production line, the data table may be different, and this is optional. . In addition, if the in-process management computers 11pm and 14pm make a database of the environmental data and component material data of the process, they can be linked with the quality data of the product, thereby enabling more precise management. Becomes
【００３３】[0033]
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、各
工程にある複数の製造装置に接続する製造装置管理用計
算機を各工程毎に設け、これら製造装置管理用計算機か
ら各種プロセスを受信する工程内管理用計算機を各工程
毎に設け、各工程内管理用計算機で各工程内の処理を行
うようにすることにより、各工程における処理スピード
が向上するとともに、この各工程内の処理に使用するデ
ータを工程内データベースとして手元に置き、これを各
工程専用の工程内管理用計算機で任意にアクセスし使用
するようにすることで、各工程内処理がよりスムースに
なり、総じて即時性が向上することとなる。As described above, according to the present invention, a computer for managing a manufacturing apparatus connected to a plurality of manufacturing apparatuses in each step is provided for each step, and various processes are received from the computer for managing a manufacturing apparatus. By providing an in-process management computer for each process and performing each process in each process management computer, the processing speed in each process is improved, and the processing in each process is By keeping the data to be used as an in-process database at hand and accessing and using this in the in-process management computer dedicated to each process, each in-process process becomes smoother and generally more immediate. Will be improved.
【００３４】また、このように分散処理システムとして
構成し、各工程内データを各工程毎に設けられた工程内
データベースで管理し、テストデータをテスト工程に設
けられたテスト工程データベースで管理するするように
なっているため、例え統合計算機や他の工程内管理用計
算機やテスト管理用計算機に障害が発生しても、即、こ
の製造プロセス全体についての管理の麻痺となることを
防止することができる。また、統合計算機は、任意のあ
る時点で、各工程内管理用計算機が形成した工程内デー
タベースと、テスト管理用計算機が形成したテスト工程
データベースとを用いて、統合データベースを形成し、
この統合データベースを用いて解析を行い、この解析結
果を各工程にフィードバックする。このため、各工程は
他の工程との絡みで品質管理を行うことができ、自工程
が他工程にどのような影響を与えるか、あるいは自工程
が他工程からどのような影響を受けているか、を把握で
き、それらに対する適切な対応を取ることができる。Further, a distributed processing system is configured as described above, and data in each process is managed by an in-process database provided for each process, and test data is managed by a test process database provided in the test process. Therefore, even if a failure occurs in the integrated computer, other in-process management computer, or test management computer, it is possible to immediately prevent the management of the entire manufacturing process from being paralyzed. it can. Further, at any given time, the integrated computer forms an integrated database using the in-process database formed by each in-process management computer and the test process database formed by the test management computer,
An analysis is performed using this integrated database, and the analysis result is fed back to each process. For this reason, each process can perform quality control in connection with other processes, and how its own process affects other processes or how its own process is affected by other processes Can be grasped and appropriate measures can be taken for them.
【図１】本発明の一実施例に係る半導体製造ラインの品
質管理システムのブロック図。FIG. 1 is a block diagram of a quality control system for a semiconductor manufacturing line according to one embodiment of the present invention.
【図２】図１に示すシステムの各計算機の機能ブロック
図。FIG. 2 is a functional block diagram of each computer of the system shown in FIG. 1;
【図３】図１に示すシステムの品質管理用データベース
を構成するデータのフォーマット図。FIG. 3 is a format diagram of data constituting a quality management database of the system shown in FIG. 1;
【図４】図１に示すシステムの計算機間でのデータベー
スリンク状態説明図。FIG. 4 is an explanatory diagram of a database link state between computers of the system shown in FIG. 1;
【図５】図１に示すシステムにおける各種データの流れ
を示すブロック図。FIG. 5 is a block diagram showing the flow of various data in the system shown in FIG. 1;
【図６】従来の半導体製造ラインの品質管理システムの
ブロック図。FIG. 6 is a block diagram of a conventional quality control system for a semiconductor manufacturing line.
【図７】図６に示すシステムにおける各種データの流れ
を示すブロック図。FIG. 7 is a block diagram showing the flow of various data in the system shown in FIG. 6;
【図８】図６に示すシステムにおけるデータベースの構
造説明図。FIG. 8 is an explanatory view of the structure of a database in the system shown in FIG. 6;
１p1，…，１ｐn 製造装置 １０p1，…，１０ｐn 製造装置管理用計算機 １１p1，…，１１ｐn 工程内管理用計算機 １２p1，…，１２ｐn 工程内データベース ３T テスタ １４T テスト管理用計算機 １５T テスト工程データベース １７ 統合計算機 １８ 統合データベース 1p1,..., 1pn Manufacturing equipment 10p1,..., 10pn Manufacturing equipment management computer 11p1,..., 11pn In-process management computer 12p1,. Integrated database
Claims (4)
して構成され、複数の工程を有する製造プロセスの品質
を管理する品質管理システムであって、 前記製造プロセスを構成する各工程毎に設けられて、複
数の製造装置をリアルタイムに制御するとともに、各種
プロセスデータを生成する製造装置管理用計算機と、 前記製造プロセスを構成する各工程毎に設けられて、前
記製造装置管理用計算機から前記プロセスデータを受信
し、このプロセスデータから品質管理用の工程内データ
ベースを作成する工程内管理用計算機と、 テスタ装置からのテストデータを受信し、そのテストデ
ータをチェックするとともに、このテストデータからテ
スト工程データベースを作成するテスト管理用計算機
と、 前記各工程の工程内管理用計算機と前記テスト管理用計
算機とを統合するために設けられて、前記各工程毎に設
けられた前記工程内管理用計算機の前記工程内データベ
ースと前記テスト管理用計算機の前記テスト工程データ
ベースとからある任意の時点で必要なデータを取り込ん
で、統合データベースを作成するとともに、この統合デ
ータベースを用いて解析を行ってその解析結果を各工程
にフィードバックする統合計算機と、を備えるとともに、 前記各工程内管理用計算機は、それぞれ、 異常検知用のチェック管理データを格納するスペックマ
スタと、 前記プロセスデータのうちの品質データと、前記スペッ
クマスタの前記チェック管理データとを比較し、異常が
ないかどうかをチェックするチェック手段と、 前記チェック手段によるチェックの結果、異常があった
場合にはそのプロセスデータを生成した前記製造装置管
理用計算機にその旨を通知する通知手段と、 を備えていることを特徴とする品質管理システム。1. A configured as networked distributed processing system, a quality control system for controlling the quality of the manufacturing process having a plurality of steps, provided for each step constituting the manufacturing process, multiple
A computer for controlling the number of manufacturing apparatuses in real time and generating various process data; and a computer provided for each process constituting the manufacturing process, receiving the process data from the computer for managing the manufacturing apparatus. and a process control computer for creating a process in the database for quality control from the process data, receives the test data from the tester device, along with checking the test data of their, the test process database from this test data The computer for test management to be created, and the process of the computer for intra-process management provided for integrating the computer for intra-process management of each process and the computer for test management, and provided for each process. any time from an inner database and the test process database of the test administration computer Capture the necessary data, as well as create a consolidated database, and integrates computer and feeds back the analysis result to each process by performing an analysis using the integrated database, provided with a, each process control computer for the Each is a specification manager that stores check management data for abnormality detection.
And the quality data of the process data and the specifications.
The data is compared with the check management data of
Checking means for checking whether or not there is an abnormality as a result of the check by the checking means
In the case, the manufacturing apparatus pipe that generated the process data
A quality control system comprising: a notifying unit that notifies a management computer of the fact .
で整理された複数の装置群テーブルから構成されてお
り、 前記各工程内管理用計算機は、前記工程内データベース
における装置群ごとの品質データ登録場所を格納する装
置群マスタを備えるとともに、前記装置群マスタを参照
して前記品質データをいずれの装置群デーブルに登録す
るかを見出し、該当する前記装置群テーブルにその品質
データを登録し、これを工程内データベースとする、 ことを特徴とする請求項１に記載の品質管理システム。 2. The in- process database includes a plurality of device group tables arranged in units of device groups, and the in-process management computer stores quality data for each device group in the in-process database. Rutotomoni comprising a device group master for storing registration location, with reference to the previous SL unit group master found either register to any device group Deburu the quality data, registers the quality data to the device group table applicable quality control system according to claim 1, and this is a step in a database, characterized in that.
なり得る項目から構成された作業実績データ部と、実際
に製造装置で扱われたデータから構成された実データ部
とから構成されており、 前記統合計算機は、統合データベースに必要なデータと
して、前記作業実績データ部を取り込む、 ことを特徴とする請求項２に記載の品質管理システム。 3. Each of the device group tables is composed of a work result data portion composed of items that can be an index at the time of retrieval and an actual data portion composed of data actually handled by the manufacturing device. The quality management system according to claim 2 , wherein the integrated computer captures the work result data section as data necessary for an integrated database.
機とは、それぞれ、他の工程内管理用計算機乃至前記統
合計算機におけるデータベースの所在を示すデータディ
クショナリを備えており、 前記各工程内管理用計算機と前記統合計算機とは、必要
に応じて他のデータベースを利用可能に構成されてい
る、 ことを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記
載の品質管理システム。 Wherein said and the process control computer for the integrated computer, respectively, provided with a data dictionary indicating the location of a database in the other-process for the management computer to the integrated computer, the management in each step The quality management system according to any one of claims 1 to 3 , wherein the computer for use and the integrated computer are configured to be able to use another database as needed.
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- 1991-03-28 JP JP6493491A patent/JP2975708B2/en not_active Expired - Lifetime
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