JPH04285845A - 検査装置 - Google Patents
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- JPH04285845A JPH04285845A JP3049920A JP4992091A JPH04285845A JP H04285845 A JPH04285845 A JP H04285845A JP 3049920 A JP3049920 A JP 3049920A JP 4992091 A JP4992091 A JP 4992091A JP H04285845 A JPH04285845 A JP H04285845A
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Landscapes
- Indicating Measured Values (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Time Recorders, Dirve Recorders, Access Control (AREA)
- Image Processing (AREA)
- Image Analysis (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は検査装置に係り、特に製
品の欠陥を検出し、その結果を表示する表示機能を備え
た検査装置に関する。
品の欠陥を検出し、その結果を表示する表示機能を備え
た検査装置に関する。
【0002】製品の検査時に発見される種々の欠陥は、
欠陥の位置、種類だけではなく、欠陥の程度についても
検出されることが従来より望まれている。そして近年、
検査技術の進歩により、欠陥の程度を検出する手段につ
いては序々に確立されつつある。そしてこれに伴い、検
出された欠陥の程度情報を分かりやすくオペレータに表
示する表示手段の開発が急がれている。
欠陥の位置、種類だけではなく、欠陥の程度についても
検出されることが従来より望まれている。そして近年、
検査技術の進歩により、欠陥の程度を検出する手段につ
いては序々に確立されつつある。そしてこれに伴い、検
出された欠陥の程度情報を分かりやすくオペレータに表
示する表示手段の開発が急がれている。
【0003】
【従来の技術】例えばプリント板の配線パターン検査の
ような自動外観検査においては、■正常なパターンと比
較する方法、■設計データと比較する方法、■パターン
の構成のみを捕らえ、有り得ないパターン(短絡、断線
等)を検出する方法、等による検査方法が一般的に実施
されている。これらは、いずれも被検査体の個々の部位
を正常又は欠陥の2値で判断していく方法であり、正常
と欠陥のどちらにも属さないという状態は検出されなか
った。このため検査結果は、被検査体の全体形状におい
て欠陥の位置を表すことによって表示されていた。
ような自動外観検査においては、■正常なパターンと比
較する方法、■設計データと比較する方法、■パターン
の構成のみを捕らえ、有り得ないパターン(短絡、断線
等)を検出する方法、等による検査方法が一般的に実施
されている。これらは、いずれも被検査体の個々の部位
を正常又は欠陥の2値で判断していく方法であり、正常
と欠陥のどちらにも属さないという状態は検出されなか
った。このため検査結果は、被検査体の全体形状におい
て欠陥の位置を表すことによって表示されていた。
【0004】また、被検査体の種類によっては、これに
欠陥の種類(短絡、断線、部品の位置ずれ等)が情報と
して加えられて表示される場合もあった。
欠陥の種類(短絡、断線、部品の位置ずれ等)が情報と
して加えられて表示される場合もあった。
【0005】具体的な表示方法としては、■紙に欠陥部
のマップをマークし印刷する。■ディスプレイに欠陥部
のマップを表示する。■紙に穴をあける。等が従来実施
されていた。
のマップをマークし印刷する。■ディスプレイに欠陥部
のマップを表示する。■紙に穴をあける。等が従来実施
されていた。
【0006】このように、従来の検査装置における検査
結果の表示は、被検査体の全体形状における欠陥の位置
を表示するか、欠陥の位置と種類とを表示しているに過
ぎなかった。
結果の表示は、被検査体の全体形状における欠陥の位置
を表示するか、欠陥の位置と種類とを表示しているに過
ぎなかった。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】一般に、被検査体と完
全正常体との間の差異には大小、即ち程度があるが、従
来の検査方法においては、上記の如く正常又は欠陥の2
値で判断しているため、ある程度以上の差異を欠陥とし
、それ以下の差異を正常として判断している。この場合
、正常と欠陥の境界となる閾値の値によっては、正常で
あるものを欠陥と判断したり、欠陥とすべきものを正常
と判断したりすることが発生し、正確な欠陥の判定がで
きなかった。
全正常体との間の差異には大小、即ち程度があるが、従
来の検査方法においては、上記の如く正常又は欠陥の2
値で判断しているため、ある程度以上の差異を欠陥とし
、それ以下の差異を正常として判断している。この場合
、正常と欠陥の境界となる閾値の値によっては、正常で
あるものを欠陥と判断したり、欠陥とすべきものを正常
と判断したりすることが発生し、正確な欠陥の判定がで
きなかった。
【0008】このため、検査結果を正常、欠陥の2値で
はなく、被検査体と完全正常体との間の差異を多値によ
り検出し、これを欠陥の程度として出力することが必要
とされてきており、近年の検査技術の進歩に伴い、欠陥
の程度の検出手段については序々に確立されてきている
。
はなく、被検査体と完全正常体との間の差異を多値によ
り検出し、これを欠陥の程度として出力することが必要
とされてきており、近年の検査技術の進歩に伴い、欠陥
の程度の検出手段については序々に確立されてきている
。
【0009】しかしながら、従来における上述した3つ
の表示方法では、欠陥の位置、もしくは位置と種類とが
表示されるのみで、大小のある欠陥の程度を表示するこ
とは不可能である。このように欠陥の程度を表示する表
示手段の確立が遅れている。
の表示方法では、欠陥の位置、もしくは位置と種類とが
表示されるのみで、大小のある欠陥の程度を表示するこ
とは不可能である。このように欠陥の程度を表示する表
示手段の確立が遅れている。
【0010】そこで本発明は上記課題に鑑みなされたも
ので、大小のある欠陥の程度を分かりやすく表示するこ
とのできる検査装置を提供することを目的とする。
ので、大小のある欠陥の程度を分かりやすく表示するこ
とのできる検査装置を提供することを目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、被検査体を測定する測定手段と、該測定手
段による測定データから欠陥の程度情報を出力する判定
手段と、該欠陥の程度情報を制御する制御手段と、該欠
陥の程度情報を表示する表示手段とを有する検査装置で
あって、前記表示手段は、欠陥の程度を、マークの色、
又はマークの明るさ、又はマークの形、又はマークの大
きさ、又は数字に対応させて表示する構成である。
に本発明は、被検査体を測定する測定手段と、該測定手
段による測定データから欠陥の程度情報を出力する判定
手段と、該欠陥の程度情報を制御する制御手段と、該欠
陥の程度情報を表示する表示手段とを有する検査装置で
あって、前記表示手段は、欠陥の程度を、マークの色、
又はマークの明るさ、又はマークの形、又はマークの大
きさ、又は数字に対応させて表示する構成である。
【0012】
【作用】欠陥の程度を、マークの色、又はマークの明る
さ、又はマークの形、又はマークの大きさ、又は数字に
対応させて表示することにより、オペレータは表示手段
から欠陥の程度を容易に認識することができる。
さ、又はマークの形、又はマークの大きさ、又は数字に
対応させて表示することにより、オペレータは表示手段
から欠陥の程度を容易に認識することができる。
【0013】
【実施例】図1は本発明になる検査装置の一実施例の全
体の構成図である。
体の構成図である。
【0014】本実施例の検査装置1は、プリント板の配
線パターンの自動検査等に使用される装置であり、同図
に示すように、測定部10、判定部20、制御部30、
表示部であるディスプレイ装置40により構成されてい
る。
線パターンの自動検査等に使用される装置であり、同図
に示すように、測定部10、判定部20、制御部30、
表示部であるディスプレイ装置40により構成されてい
る。
【0015】測定部10は、被検査体であるプリント板
2上の配線パターン3を測定する部分であり、大略、光
源4と、レンズ5と、光電変換器であるCCD(Cha
rge Coupled Device 電荷結合デバ
イス=固体撮像素子)6と、信号処理回路7とによりな
る。配線パターン3の外観情報は、測定データとしてC
CD6において光学信号から電気信号に変換され、その
後、信号処理回路7を介して画像メモリ8に蓄えられる
。
2上の配線パターン3を測定する部分であり、大略、光
源4と、レンズ5と、光電変換器であるCCD(Cha
rge Coupled Device 電荷結合デバ
イス=固体撮像素子)6と、信号処理回路7とによりな
る。配線パターン3の外観情報は、測定データとしてC
CD6において光学信号から電気信号に変換され、その
後、信号処理回路7を介して画像メモリ8に蓄えられる
。
【0016】判定部20は、上記測定データと比較する
基準データが記録された参照辞書21と、程度比較判定
回路22と、種類比較判定回路23とよりなる。
基準データが記録された参照辞書21と、程度比較判定
回路22と、種類比較判定回路23とよりなる。
【0017】程度判定回路22は、測定部10より入力
するプリント板2の測定データと、参照辞書21内の基
準データとを比較して相互の差異の程度、即ち、欠陥の
程度を判定する回路である。種類比較判定回路23は、
同様に測定データと基準データとの差異を検出し、この
差異の特徴から欠陥の種類を判定する回路である。程度
比較判定回路22からは個々の欠陥に対する程度情報2
5、及び位置情報27が出力され、種類比較判定回路2
3からは欠陥の種類情報26が出力される。
するプリント板2の測定データと、参照辞書21内の基
準データとを比較して相互の差異の程度、即ち、欠陥の
程度を判定する回路である。種類比較判定回路23は、
同様に測定データと基準データとの差異を検出し、この
差異の特徴から欠陥の種類を判定する回路である。程度
比較判定回路22からは個々の欠陥に対する程度情報2
5、及び位置情報27が出力され、種類比較判定回路2
3からは欠陥の種類情報26が出力される。
【0018】ここで、欠陥の程度の判定方法について説
明する。例えば位置ずれの欠陥を例とすると、先ず第1
に配線パターン3の配置に関する測定データが程度比較
判定回路22に入力される。ここで参照辞書21内の基
準データは、完全に設計値通りとされた正常値と、この
正常値から大小の偏差を有して設定された複数の比較値
とにより多段階に構成されている。従って、程度比較判
定回路22に入力された測定データは、参照辞書21内
の多段階の基準データと正常値から次々に比較され、測
定データと同等となる比較値が求められる。求められた
比較値の有する偏差は正常値と測定データとの位置ずれ
の程度に等しく、即ちこの場合の欠陥の程度が求められ
る。他の種類の欠陥についても、上記同様、測定データ
と多段階に設定された基準データとを順次比較すること
により欠陥の程度を判定することができる。
明する。例えば位置ずれの欠陥を例とすると、先ず第1
に配線パターン3の配置に関する測定データが程度比較
判定回路22に入力される。ここで参照辞書21内の基
準データは、完全に設計値通りとされた正常値と、この
正常値から大小の偏差を有して設定された複数の比較値
とにより多段階に構成されている。従って、程度比較判
定回路22に入力された測定データは、参照辞書21内
の多段階の基準データと正常値から次々に比較され、測
定データと同等となる比較値が求められる。求められた
比較値の有する偏差は正常値と測定データとの位置ずれ
の程度に等しく、即ちこの場合の欠陥の程度が求められ
る。他の種類の欠陥についても、上記同様、測定データ
と多段階に設定された基準データとを順次比較すること
により欠陥の程度を判定することができる。
【0019】制御部30は、個々の欠陥において判定部
20から出力される程度情報25と、種類情報26と、
位置情報27とを収集し、ディスプレイ装置40に出力
する映像信号を生成する部分である。欠陥の程度情報2
5は、この部分で後述するようにマーク化、又は数字化
されディスプレイ装置40に表示される。ディスプレイ
装置40は、制御部30から出力された映像信号に応じ
て欠陥の情報を表示する。
20から出力される程度情報25と、種類情報26と、
位置情報27とを収集し、ディスプレイ装置40に出力
する映像信号を生成する部分である。欠陥の程度情報2
5は、この部分で後述するようにマーク化、又は数字化
されディスプレイ装置40に表示される。ディスプレイ
装置40は、制御部30から出力された映像信号に応じ
て欠陥の情報を表示する。
【0020】上記判定部20、及び制御部30はコンピ
ュータのCPU(中央演算処理装置)内に構築されてい
る。図2はCPU内での判定部20及び制御部30の基
本的な動作フローを表したフローチャートである。同図
について説明する。
ュータのCPU(中央演算処理装置)内に構築されてい
る。図2はCPU内での判定部20及び制御部30の基
本的な動作フローを表したフローチャートである。同図
について説明する。
【0021】先ずはじめに、検査体の1つの検査単位に
ついて検査し、欠陥程度Dを求める(S1)。ここでは
、図1に示す判定部20が、上述したように画像メモリ
8からの外観情報と参照辞書21内の基準値とを比較判
定し、欠陥程度Dを例えば0〜1の範囲内の数値として
求める。
ついて検査し、欠陥程度Dを求める(S1)。ここでは
、図1に示す判定部20が、上述したように画像メモリ
8からの外観情報と参照辞書21内の基準値とを比較判
定し、欠陥程度Dを例えば0〜1の範囲内の数値として
求める。
【0022】ステップ1で求められた欠陥程度Dは、次
に欠陥判定値SLと比較される(S2)。ここでは、欠
陥程度Dが微小で問題とならない欠陥については表示を
行わないように、微小欠陥であるかどうかの判断を行っ
ている。これにより微小欠陥は表示されないため、程度
の大きな欠陥がディスプレイ装置40上で目立ち、効率
の良い欠陥の表示を行うことができる。この欠陥判定値
SLは増減可能とされ、これを調節することにより、デ
ィスプレイ装置40上における欠陥表示の感度が変化す
る。
に欠陥判定値SLと比較される(S2)。ここでは、欠
陥程度Dが微小で問題とならない欠陥については表示を
行わないように、微小欠陥であるかどうかの判断を行っ
ている。これにより微小欠陥は表示されないため、程度
の大きな欠陥がディスプレイ装置40上で目立ち、効率
の良い欠陥の表示を行うことができる。この欠陥判定値
SLは増減可能とされ、これを調節することにより、デ
ィスプレイ装置40上における欠陥表示の感度が変化す
る。
【0023】微小欠陥ではないと判断された欠陥程度D
は、次にディスプレイ装置40に表示するための信号に
変換され(S3)、ディスプレイ装置40上に実際に表
示される(S4)。ステップ3では、欠陥程度Dに定数
αをかけ合わせて表示信号Mを出力する。この定数は、
上記の如く0〜1の数値情報である欠陥程度Dを、ディ
スプレイ装置40上に表示する「印」に変換する機能を
有している。即ち、本実施例の定数αがかけ合わされて
出力された表示信号Mは、欠陥程度Dを、例えば「マー
クの大きさ」に変換してディスプレイ装置40上に表示
する映像信号となる。また、別な定数βを選択すれば、
欠陥程度Dを「マークの形」に対応させて表示する映像
信号が得られる。このように、選択する定数を変えるこ
とにより、いろいろな種類の「印」で欠陥を表示するこ
とができる。この「印」の種類については、後で詳述す
ることにする。
は、次にディスプレイ装置40に表示するための信号に
変換され(S3)、ディスプレイ装置40上に実際に表
示される(S4)。ステップ3では、欠陥程度Dに定数
αをかけ合わせて表示信号Mを出力する。この定数は、
上記の如く0〜1の数値情報である欠陥程度Dを、ディ
スプレイ装置40上に表示する「印」に変換する機能を
有している。即ち、本実施例の定数αがかけ合わされて
出力された表示信号Mは、欠陥程度Dを、例えば「マー
クの大きさ」に変換してディスプレイ装置40上に表示
する映像信号となる。また、別な定数βを選択すれば、
欠陥程度Dを「マークの形」に対応させて表示する映像
信号が得られる。このように、選択する定数を変えるこ
とにより、いろいろな種類の「印」で欠陥を表示するこ
とができる。この「印」の種類については、後で詳述す
ることにする。
【0024】次に、次に進む検査単位があるかどうかの
判断が行われる(S5)。次に進む検査単位が無い場合
にはそのまま終了し、ある場合には次の検査単位に進む
(S6)。ステップ2で微小欠陥と判断された場合には
、ステップ3〜5をとばして次の検査単位の検査へ進む
。
判断が行われる(S5)。次に進む検査単位が無い場合
にはそのまま終了し、ある場合には次の検査単位に進む
(S6)。ステップ2で微小欠陥と判断された場合には
、ステップ3〜5をとばして次の検査単位の検査へ進む
。
【0025】このように、検査単位1つづつについて、
微小欠陥の判断、及び欠陥程度Dに対応した映像信号へ
の変換が行われ、ディスプレイ装置40に表示される。 そして全ての検査単位の検査が終了した段階では、検査
体全体の欠陥情報がディスプレイ装置40に表示される
。尚、本実施例では、上記フローチャートのステップ1
の処理は図1に示す判定部20が管轄し、他のステップ
2〜6の処理は制御部30が管轄する。
微小欠陥の判断、及び欠陥程度Dに対応した映像信号へ
の変換が行われ、ディスプレイ装置40に表示される。 そして全ての検査単位の検査が終了した段階では、検査
体全体の欠陥情報がディスプレイ装置40に表示される
。尚、本実施例では、上記フローチャートのステップ1
の処理は図1に示す判定部20が管轄し、他のステップ
2〜6の処理は制御部30が管轄する。
【0026】次に、欠陥情報のディスプレイ装置40へ
の表示方法について説明する。
の表示方法について説明する。
【0027】図3は本発明になる検査結果の表示方法の
一実施例を示す図であり、ディスプレイ装置40に表示
された画面の内容をそのまま図示したものである。
一実施例を示す図であり、ディスプレイ装置40に表示
された画面の内容をそのまま図示したものである。
【0028】画面41に示されている枠46は、被検査
体であるプリント板2の全体形状を示す線である。枠4
6内に表示されている四角形の黄色のマーク42と、緑
色のマーク43と、赤色のマーク44と、青色のマーク
45の4色のマークは欠陥を意味し、夫々プリント板2
上の欠陥のある位置に表示されている。そして4色の色
は、青、緑、黄、赤の順にその欠陥が重大であること、
即ち、欠陥の程度を表している。尚、図示の便宜上、同
図では色を模様に変えて図示している。
体であるプリント板2の全体形状を示す線である。枠4
6内に表示されている四角形の黄色のマーク42と、緑
色のマーク43と、赤色のマーク44と、青色のマーク
45の4色のマークは欠陥を意味し、夫々プリント板2
上の欠陥のある位置に表示されている。そして4色の色
は、青、緑、黄、赤の順にその欠陥が重大であること、
即ち、欠陥の程度を表している。尚、図示の便宜上、同
図では色を模様に変えて図示している。
【0029】枠46の形状、及び各マーク42〜45の
位置は程度比較判定回路22からの欠陥の位置情報27
に対応して表示されており、4色の色は同じく程度比較
判定回路22からの欠陥の程度情報25に対応して彩色
される。
位置は程度比較判定回路22からの欠陥の位置情報27
に対応して表示されており、4色の色は同じく程度比較
判定回路22からの欠陥の程度情報25に対応して彩色
される。
【0030】このように本実施例の画面41では、プリ
ント板2の欠陥の程度をマーク42〜45の色に対応さ
せて表示しており、これにより画面41は、プリント板
2の欠陥の位置と程度を同時に表示することができる。 また、この画面41では、マークの色を更に増やすこと
により欠陥の程度をより細かく表すことができる。
ント板2の欠陥の程度をマーク42〜45の色に対応さ
せて表示しており、これにより画面41は、プリント板
2の欠陥の位置と程度を同時に表示することができる。 また、この画面41では、マークの色を更に増やすこと
により欠陥の程度をより細かく表すことができる。
【0031】また、本実施例ではマークの色によって欠
陥の程度を多段階に分けて表示したが、マークの明るさ
によって表示してもよく、この場合は、欠陥の程度を無
段階に表示でき、しかも欠陥が重大である程明るく表示
するようにすれば、マークと欠陥の程度との対応関係が
色による方法よりも明確となる。
陥の程度を多段階に分けて表示したが、マークの明るさ
によって表示してもよく、この場合は、欠陥の程度を無
段階に表示でき、しかも欠陥が重大である程明るく表示
するようにすれば、マークと欠陥の程度との対応関係が
色による方法よりも明確となる。
【0032】図4は欠陥の程度をマークの形に対応させ
て表示した変形例を示す図である。
て表示した変形例を示す図である。
【0033】図4においては、画面51上に上記同様枠
46が表示され、欠陥の位置に三角形のマーク52と、
円形のマーク53と、四角形のマーク54とが表示され
ている。この例の場合、円形、三角形、四角形の順にそ
の欠陥が重大であること表し、個々のマーク52〜54
は欠陥の程度情報25に対応させて夫々表示されている
。
46が表示され、欠陥の位置に三角形のマーク52と、
円形のマーク53と、四角形のマーク54とが表示され
ている。この例の場合、円形、三角形、四角形の順にそ
の欠陥が重大であること表し、個々のマーク52〜54
は欠陥の程度情報25に対応させて夫々表示されている
。
【0034】このように本変形例の場合、プリント板2
の欠陥の程度をマーク52〜54の形状に対応させて表
示しており、これにより画面51は、プリント板2の欠
陥の位置と程度を同時に表示することができる。
の欠陥の程度をマーク52〜54の形状に対応させて表
示しており、これにより画面51は、プリント板2の欠
陥の位置と程度を同時に表示することができる。
【0035】また、図3に示した実施例の画面41と、
図4に示した変形例の画面51とを結び付けた例も考え
られる。即ち、画面41に示す色の付いた各マーク42
〜45を四角形だけではなく円形や三角形にする。この
ようにすることにより、欠陥の位置、程度の情報だけで
はなく、欠陥についてのもう1つの情報(例えば欠陥の
種類)を更に加えて同時に画面上に表示することができ
る。
図4に示した変形例の画面51とを結び付けた例も考え
られる。即ち、画面41に示す色の付いた各マーク42
〜45を四角形だけではなく円形や三角形にする。この
ようにすることにより、欠陥の位置、程度の情報だけで
はなく、欠陥についてのもう1つの情報(例えば欠陥の
種類)を更に加えて同時に画面上に表示することができ
る。
【0036】図5は欠陥の程度をマークの大きさに対応
させて表示した変形例を示す図である。
させて表示した変形例を示す図である。
【0037】図5においては、画面61上に枠46が示
され、欠陥の位置に大きさの異なる円形のマーク62〜
66が表示されている。この例の場合、欠陥の程度を円
形の大きさの変化により表している。この方法では、マ
ークの明るさによる上記方法と同様、マークは欠陥の程
度を無段階に表示でき、またマークの大きさと欠陥の程
度とが対応するため、欠陥の程度が画面を見ただけで明
確となるという利点がある。
され、欠陥の位置に大きさの異なる円形のマーク62〜
66が表示されている。この例の場合、欠陥の程度を円
形の大きさの変化により表している。この方法では、マ
ークの明るさによる上記方法と同様、マークは欠陥の程
度を無段階に表示でき、またマークの大きさと欠陥の程
度とが対応するため、欠陥の程度が画面を見ただけで明
確となるという利点がある。
【0038】図6に示す画面71は、図5に示す画面6
1のマークの形状を円形から四角形に変えた変形例を示
す。
1のマークの形状を円形から四角形に変えた変形例を示
す。
【0039】ここで、図5、図6に示す画面61,71
においては、欠陥の程度が大きくなると各マークが大き
く表示されるため、欠陥の位置を表す精度が低下してし
まう。そのため、図5中、マーク62、図6中、マーク
72に示すように、2本の線の交点62a,72aを表
示することにより、その交点62a,72aが欠陥の位
置を表し、位置情報の精度低下を防止することができる
。
においては、欠陥の程度が大きくなると各マークが大き
く表示されるため、欠陥の位置を表す精度が低下してし
まう。そのため、図5中、マーク62、図6中、マーク
72に示すように、2本の線の交点62a,72aを表
示することにより、その交点62a,72aが欠陥の位
置を表し、位置情報の精度低下を防止することができる
。
【0040】図7は欠陥の程度を四角柱の高さに対応さ
せて表示した変形例を示す図である。
せて表示した変形例を示す図である。
【0041】本変形例の場合、画面81上の枠82、及
び欠陥とされる四角柱形状のマーク83〜85は共に斜
視図として表され、欠陥の程度は四角柱の高さにより表
されている。また、マーク83〜85の1つの角部83
a〜85aを欠陥の位置に合わせてマーク83〜85を
図示するようにすれば、欠陥の位置情報27も精度良く
表示することができる。
び欠陥とされる四角柱形状のマーク83〜85は共に斜
視図として表され、欠陥の程度は四角柱の高さにより表
されている。また、マーク83〜85の1つの角部83
a〜85aを欠陥の位置に合わせてマーク83〜85を
図示するようにすれば、欠陥の位置情報27も精度良く
表示することができる。
【0042】図8は欠陥の程度を数字に対応させて表示
した変形例を示す図である。
した変形例を示す図である。
【0043】本変形例の画面91では、数字の位置が欠
陥の位置を表し、表示された数字が大きい程その欠陥の
程度が大きいことを意味している。また、同図に示され
るように+マーク92で欠陥の位置を表示し、引き出し
線を使用して数字を表示すれば、欠陥の位置情報27の
表示精度を上げることができる。
陥の位置を表し、表示された数字が大きい程その欠陥の
程度が大きいことを意味している。また、同図に示され
るように+マーク92で欠陥の位置を表示し、引き出し
線を使用して数字を表示すれば、欠陥の位置情報27の
表示精度を上げることができる。
【0044】以上のように本実施例の検査装置1におい
ては、大小を有する欠陥の程度情報25を画面上にマー
ク又は数字に対応させて表示することができるため、オ
ペレータは欠陥の位置、欠陥の種類だけではなく、欠陥
の程度をも画面を見るだけで容易に認識することができ
る。
ては、大小を有する欠陥の程度情報25を画面上にマー
ク又は数字に対応させて表示することができるため、オ
ペレータは欠陥の位置、欠陥の種類だけではなく、欠陥
の程度をも画面を見るだけで容易に認識することができ
る。
【0045】また、検出された欠陥の程度から、この欠
陥を問題とすべきものとするかの判定は、検査の後段階
の処理によって行うことができるため、判定基準を適宜
変化させることが容易にでき、その結果、問題とすべき
欠陥の判定を適正化することができる。
陥を問題とすべきものとするかの判定は、検査の後段階
の処理によって行うことができるため、判定基準を適宜
変化させることが容易にでき、その結果、問題とすべき
欠陥の判定を適正化することができる。
【0046】また、図3乃至図8に示したマーク及び数
字以外にも、例えばローマ字のような文字記号や、その
他の記号等によっても欠陥の程度を表すことができ、こ
の場合も上記同様の効果を得ることができる。また、例
えば、数字を彩色して欠陥の位置に表したり、円形のマ
ークを大きさと明るさを変えて表したりするように、図
3乃至図8に示したマーク及び数字等を複数種組み合わ
せて表示することにより、位置、種類、程度以外の欠陥
に関する情報や、欠陥以外の被検査体の情報をディスプ
レイ装置40上に同時に表示することができ、高度化す
る検査装置の表示手段として十分な機能を発揮すること
ができる。
字以外にも、例えばローマ字のような文字記号や、その
他の記号等によっても欠陥の程度を表すことができ、こ
の場合も上記同様の効果を得ることができる。また、例
えば、数字を彩色して欠陥の位置に表したり、円形のマ
ークを大きさと明るさを変えて表したりするように、図
3乃至図8に示したマーク及び数字等を複数種組み合わ
せて表示することにより、位置、種類、程度以外の欠陥
に関する情報や、欠陥以外の被検査体の情報をディスプ
レイ装置40上に同時に表示することができ、高度化す
る検査装置の表示手段として十分な機能を発揮すること
ができる。
【0047】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、被検査体
の欠陥の程度情報を表示することができ、オペレータは
欠陥の程度を容易に認識することができる。
の欠陥の程度情報を表示することができ、オペレータは
欠陥の程度を容易に認識することができる。
【0048】また、欠陥の程度情報が表示されることに
より、問題とすべき欠陥かどうかを判定する判定基準を
適宜変化させることが容易にでき、問題とすべき欠陥の
判定を適正化することができる。その結果、欠陥品の市
場への流出が防止できると共に、過剰欠陥品が減少し、
被検査体の歩留まり向上に寄与するところが大きい。
より、問題とすべき欠陥かどうかを判定する判定基準を
適宜変化させることが容易にでき、問題とすべき欠陥の
判定を適正化することができる。その結果、欠陥品の市
場への流出が防止できると共に、過剰欠陥品が減少し、
被検査体の歩留まり向上に寄与するところが大きい。
【図1】本発明になる検査装置の一実施例の全体の構成
図である。
図である。
【図2】判定部及び制御部の基本的な動作フローを表し
たフローチャートである。
たフローチャートである。
【図3】本発明になる検査結果の表示方法の一実施例を
示す図であり、ディスプレイ装置に表示された画面の内
容をそのまま図示したものである。
示す図であり、ディスプレイ装置に表示された画面の内
容をそのまま図示したものである。
【図4】欠陥の程度をマークの形に対応させて表示した
変形例を示す図である。
変形例を示す図である。
【図5】欠陥の程度をマークの大きさに対応させて表示
した変形例を示す図である。
した変形例を示す図である。
【図6】欠陥の程度をマークの大きさに対応させて表示
した変形例を示す図である。
した変形例を示す図である。
【図7】欠陥の程度を四角柱の高さに対応させて表示し
た変形例を示す図である。
た変形例を示す図である。
【図8】欠陥の程度を数字に対応させて表示した変形例
を示す図である。
を示す図である。
1 検査装置
2 プリント板
3 配線パターン
10 測定部
20 判定部
21 参照辞書
22 程度比較判定回路
23 種類比較判定回路
30 制御部
40 ディスプレイ装置
41,51,61,71,81,91 画面42〜4
5,52〜54,62〜66,72,83〜85 マ
ーク 46 枠
5,52〜54,62〜66,72,83〜85 マ
ーク 46 枠
Claims (1)
- 【請求項1】 被検査体(2)を測定する測定手段(
10)と、該測定手段(10)による測定データから欠
陥の程度情報を出力する判定手段(20)と、該欠陥の
程度情報を制御する制御手段(30)と、該欠陥の程度
情報を表示する表示手段(40)とを有する検査装置で
あって、前記表示手段(40)は、欠陥の程度をマーク
(42〜45)の色、又はマークの明るさ、又はマーク
(52〜54)の形、又はマーク(62〜66,72,
83〜85)の大きさ、又は数字のいずれか、もしくは
組合せに対応させて表示することを特徴とする検査装置
。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3049920A JPH04285845A (ja) | 1991-03-14 | 1991-03-14 | 検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3049920A JPH04285845A (ja) | 1991-03-14 | 1991-03-14 | 検査装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04285845A true JPH04285845A (ja) | 1992-10-09 |
Family
ID=12844452
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3049920A Pending JPH04285845A (ja) | 1991-03-14 | 1991-03-14 | 検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04285845A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0792094A (ja) * | 1993-09-21 | 1995-04-07 | Toshiba Corp | パターン欠陥検査装置 |
WO2001041068A1 (fr) * | 1999-11-29 | 2001-06-07 | Olympus Optical Co., Ltd. | Systeme de detection de defaut |
US6629051B2 (en) | 1999-11-25 | 2003-09-30 | Olympus Optical Co., Ltd. | Defect inspection data processing system |
KR101166843B1 (ko) * | 2005-08-30 | 2012-07-19 | 엘지디스플레이 주식회사 | Lcd 검사 장비 및 lcd 검사 방법 |
-
1991
- 1991-03-14 JP JP3049920A patent/JPH04285845A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0792094A (ja) * | 1993-09-21 | 1995-04-07 | Toshiba Corp | パターン欠陥検査装置 |
US6629051B2 (en) | 1999-11-25 | 2003-09-30 | Olympus Optical Co., Ltd. | Defect inspection data processing system |
WO2001041068A1 (fr) * | 1999-11-29 | 2001-06-07 | Olympus Optical Co., Ltd. | Systeme de detection de defaut |
JPWO2001041068A1 (ja) * | 1999-11-29 | 2004-01-08 | オリンパス光学工業株式会社 | 欠陥検査システム |
US6973209B2 (en) | 1999-11-29 | 2005-12-06 | Olympus Optical Co., Ltd. | Defect inspection system |
KR101166843B1 (ko) * | 2005-08-30 | 2012-07-19 | 엘지디스플레이 주식회사 | Lcd 검사 장비 및 lcd 검사 방법 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20000328 |