JPH04279A - 超音波モータ - Google Patents

超音波モータ

Info

Publication number
JPH04279A
JPH04279A JP2098157A JP9815790A JPH04279A JP H04279 A JPH04279 A JP H04279A JP 2098157 A JP2098157 A JP 2098157A JP 9815790 A JP9815790 A JP 9815790A JP H04279 A JPH04279 A JP H04279A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
gear
micro
oscillator
ultrasonic motor
mover
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2098157A
Other languages
English (en)
Inventor
Akira Enomoto
亮 榎本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ibiden Co Ltd
Original Assignee
Ibiden Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ibiden Co Ltd filed Critical Ibiden Co Ltd
Priority to JP2098157A priority Critical patent/JPH04279A/ja
Publication of JPH04279A publication Critical patent/JPH04279A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、圧電セラミックスからなるランジュバン素子
と移動子からなる超音波モータに関するものである。
(従来の技術) 現在、一般に用いられている電気モータは、電磁作用を
利用して駆動するものであり、その性能は、モータを構
成する磁性材料や伝導材料などの特性に依存するもので
ある。従って、それらの材料の改良により、性能の向上
は、望めるものの、もはや、飛躍的な向上は期待できな
いか、向上はあっても、その程度が微小であるのが寞情
であるこれに対して、最近、新アクチュエータの一翼を
担うものとして、超音波モータが着目されている。超音
波モータは、振動子から出る超音波エネルギーをモータ
の駆動方式とする形式のものである。
このような超音波モータとしては、例えば、研究論文「
超音波駆動モータの試作」 (応用物理51.713<
1982>:指田年生)には、以下のような超音波モー
タが記載されている。
モータの軸線方向と直交する方向に曲げ振動を発生する
圧電振動子の先端に、振動片を固定し、この振動片の先
端には、振動片の軸線方向に対して交差角度θをなす直
線上に一方向に回転する回転中心を位置させたロータを
配設しており、振動片の先端がロータの周縁と接触する
ようになっている。そして、圧電振動子に電源から電圧
を加えることにより、振動片が超音波振動してその先端
が周期的にロータに接触し、振動片とロータとの摩擦力
により、ロータを回転させるものである。
このように構成される超音波モータは、電気モータに比
べると、■)小型軽量化が可能、2)構造が簡単、3)
効率が高い、4)制御性が優れるなどの利点がある。
(発明が解決しようとする問題点) しかしながら、このような超音波モータは、振動するス
テータの移動トルクをロータに伝達する手段が摩擦力に
よっているため、摺動面に摩耗や疲労が生じやすく耐久
性が低く、また効率が低下してしまうなどの問題があっ
た。
(l1題を解決するための手段) 本発明は、超音波振動する弾性振動子に発生したトルク
の移動子への伝達を、接触摩擦ではなく、振動子の先端
に取り付けられた一方向のみに回転するマイクロギアと
、前記マイクロギアと噛み合うギアを移動子に形成して
、双方のギアの噛み合わせによりトルクの伝達を行い、
前述の問題点を解決できる超音波モータに想到した。
本発明は、圧電セラミックスからなるランジュバン素子
と移動子からなる超音波モータであって、前記ランジュ
バン素子は固定され、かつ先端部には、一方向にのみに
回転するマイクロギアを備え、前記移動子の長手方向も
しくは周囲に前記マイクロギアに噛み合うように設けら
れたらギアを備えていることを特徴とする超音波モータ
を提藁する。
(作用) 本発明の超音波モータは、ランジュバン素子からなる振
動子と移動子からなる超音波モータであって、振動子の
先端には、一方向のみに回転するマイクロギアが、また
移動子には、前記マイクロギアと噛み合ったギアが形成
されていることが必要である。
前記ランジュバン素子とは、主に圧電体と金属やセラミ
ンクスなどの弾性体を接合させたものを指し、圧電体の
振幅により弾性体が超音波振動するものである。このよ
うな構造にすると、圧電素子によって、超音波振動する
ランジュバン振動子のトルクが、ギアを介して移動子に
伝達されるため、移動子と振動子の摩擦による摩耗が極
めて少なくなり、前述の問題が、−挙に解決されるから
である。
前記移動子は、いわゆるリニア型あるいは、回転型いず
れでもよい。
前記移動子が、リニア型の場合は、移動子の長手方向に
、また回転型の場合は、前記移動子(ロータ)の円周の
外側、もしくは内側にマイクロギアに噛み合うギアを形
成することが必要である。
また、本発明の振動子の先端の形成されるマイクロギア
は、一方向にのみ回転するため、移動子の移動、あるい
は回転方向は、一方向に限定されてしまう、このため、
2種類の振動子を組み合わせ、それぞれの振動子を必要
に応じて切り換えることにより、移動あるいは回転方向
を制御できる本発明で使用される圧電体は、水晶振動子
やPZT(チタン酸、ジルコン酸鉛)など種々の圧電体
を使用でき、印加する電圧の加振周波数は任意である。
次に実施例を記載し、駆動原理を説明する。
実施例1 本実施例は、リニア型超音波モータに関する。
第1図は、本発明の側面図である。チタン酸ジルコン酸
鉛でできた分極済の圧電体1の側面にアルミニウム製の
棒2を接着して、ランジュバン振動子を形成した。
ついで、この素子の先端に一方向にのみ回転するマイク
ロギア3を取りつけ、このマイクロギア3と噛み合うギ
ア5が形成された移動子4を保持して、超音波モータを
得た。
この超音波モータの駆動原理を以下に説明する圧電体に
交流電圧を印加すると、圧電体は振動し、この振動が、
アルミニウム製の棒2により増幅され、ランジュバン振
動子の先端は大きく振幅する。このランジュバン振動子
の先端に取りつけられているマイクロギア3は、第1図
の矢印(実線)の方向にしか回転しない、振動子が伸び
るとマイクロギア3が変位するが、マイクロギア3は、
ギア5と噛み合っており、また、第1図の矢印方向にし
か回転しないため、マイクロギア3の変位量が、そのま
ま移動子4の変位量となる。また、振動子が縮むとき、
マイクロギア3は変位するが、ギア5と噛み合いながら
、第1図の矢印方向に回転するため、移動子4に対して
は何ら力は加わらない。従って、移動子4は慣性で進行
してい゛るか、静止しているかのいずれかである。
このような振動子の伸縮運動により第1図の破線の方向
に移動子4が運動する。
実施例2 本実施例の超音波モータは、第2図に示す。
第2図は、移動子4の両側に直線状のギアを形成し、そ
れぞれに実施例1と同様のランジュバン振動子とマイク
ロギア3を組み合わせた振動子を設置することにより得
られた超音波モータである。
二の超音波モータには、電磁石Ml、M2が取りつけら
れており、電磁石を作動させると、マイクロギア3は、
ギア5から離れるようになっており、作動させる電磁石
を選ぶことにより移動子4に作用する振動子を選択でき
る。このため、振動子LLを選択した場合、移動子4は
十の方向に、また振動子L2を選択した場合、移動子4
は−の方向に運動するため、移動方向の制御が可能であ
る。
実施例3 本実施例の超音波モータは、第3図に示す。
第3図は、第1図直線型の移動子4の代わりに回転型の
移動子4(ロータ)を使用した例である。
実施例1と同様にランジュバン振動子が伸縮運動を行う
と回転型移動子は、第3図の矢印(破線)の方向に回転
する。
実施例4 本実施例の超音波モータは、第4図に示す。
第4図は、回転型移動子4の円周の内側にギア5を形成
した例である。
実施例1と同様にランジュバン振動子が伸縮振動すると
、回転型移動子4は第4図の矢印(破線)で示した方向
に回転する。
(発明の効果) 本発明の超音波モータは、移動子に対するトルクの伝達
が、ギアを介して行われるため、これまでの摩擦力によ
り伝達する場合に比べて摩耗が少なく、また伝達損失が
少ないため、駆動効率が向上する。
【図面の簡単な説明】
第1図は、リニア型超音波モータ 第2図は、移動方向の制御が可能な超音波モータ 4図は、回転型超音波モータ 圧電体 弾性体(金属棒) マイクロギア 移動子(ロータ) ギア 移動子支持用ギア Ll、  L2 Ml、M2 振動子(ランジュバン振動子と マイクロギアを組み合わせたも の) 電磁石 特許出願1 イビデン株式会社 代表者多賀心一部 NF2図 第3図 第2図 第4A

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1.  圧電セラミックスからなるランジュバン素子と移動子
    からなる超音波モータであって、前記ランジュバン素子
    は固定され、かつ先端部には一方向にのみ回転するマイ
    クロギアを備え、前記移動子の長手方向もしくは周囲に
    前記マイクロギアに噛み合うよう設けられたギアを備え
    ていることを特徴とする超音波モータ。
JP2098157A 1990-04-12 1990-04-12 超音波モータ Pending JPH04279A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2098157A JPH04279A (ja) 1990-04-12 1990-04-12 超音波モータ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2098157A JPH04279A (ja) 1990-04-12 1990-04-12 超音波モータ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH04279A true JPH04279A (ja) 1992-01-06

Family

ID=14212300

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2098157A Pending JPH04279A (ja) 1990-04-12 1990-04-12 超音波モータ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH04279A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4950311A (en) * 1988-03-07 1990-08-21 White Jr Donald H Heaterless adsorption system for combined purification and fractionation of air

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4950311A (en) * 1988-03-07 1990-08-21 White Jr Donald H Heaterless adsorption system for combined purification and fractionation of air

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5200665A (en) Ultrasonic actuator
EP0308970B1 (en) Piezoelectric motor
KR100443638B1 (ko) 소형 압전/전왜 초음파 리니어모터
JPH0117353B2 (ja)
WO2005083874A1 (en) Small piezoelectric or electrostrictive linear motor
NL8201577A (nl) Piezo-electrische motor.
KR20030076037A (ko) 압전 선형초음파모터
JPH0117354B2 (ja)
KR100991643B1 (ko) 압전 모터 및 그 구동방법
JPS6311073A (ja) 振動波により駆動される振動波モータ
JPH0636673B2 (ja) 駆動装置
JPH04279A (ja) 超音波モータ
KR100661311B1 (ko) 압전 초음파 모터
JPH02159982A (ja) 圧電アクチュエータ
Schaaf Pushy motors
JPH05252767A (ja) 超音波モータ
KR100478516B1 (ko) 비틀림형 압전 가진기를 이용한 정밀 스텝모터
JP2009219280A (ja) 圧電アクチュエータ
JPH04133676A (ja) アクチュエータの駆動方法及びこの駆動方法を実現した超音波アクチュエータ
JPH03118780A (ja) 超音波モータ
JPS61102177A (ja) 表面波駆動モ−タ−
JPH05122955A (ja) 圧電駆動モータ
JPH04331478A (ja) 駆動機構
JPH0241672A (ja) 超音波モータ
JPH06218327A (ja) 超音波振動子および超音波振動子の駆動方法