JPH04264420A - 光走査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、回転多面鏡によりレー
ザビームを偏向走査させて光書込みを行なうレーザプリ
ンタ、デジタル複写機等の光走査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、この種の光走査装置では、回転
多面鏡の後にｆθレンズを配設して走査させるが、結像
対象となる被走査媒体面上での走査線に像面湾曲が生じ
てしまい、結像特性の悪い平面走査となる。このような
像面湾曲を補正するため、例えば特開昭５８−５７１０
８号公報によれば、各レンズ系の位置関係を固定せずに
移動可能とすることにより、光学系を複雑・高価にする
ことなく、光学系の結像特性を改善するようにしたもの
が示されている。具体的には、１走査周期内で生ずる平
面走査からのずれをコリメータレンズ、集光レンズ等を
アクチュエータにより光軸方向に移動制御して結像特性
を改善し、平面走査を可能としたものである。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、このような公
報方式によると、精密に設定・維持されなければならな
い光学系に可動部分を持つことになり、振動が発生する
など、悪影響を及ぼすことが考えられる。また、機械的
な可動によるため応答速度が遅く、レーザプリンタ等の
高速機器への適用としては適切とはいい難いものである
。

【０００４】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明では
、レーザ光源から出射されたレーザビームを平行ビーム
に変換するコリメートレンズと、変換された平行ビーム
を主走査方向に収束させる第１のシリンダレンズと、こ
の第１のシリンダレンズのビームウエスト位置に配設さ
れて副走査方向に収束作用を持たせる形状の電極対を有
する電気光学レンズと、この電気光学レンズから出射す
るレーザビームに対して主走査方向に収束作用を持たせ
た第２のシリンダレンズと、この第２のシリンダレンズ
から出射するレーザビームを副走査方向に収束させる第
３のシリンダレンズと、この第３のシリンダレンズから
出射するレーザビームのビームウエスト位置近傍に配設
されて回転駆動される回転多面鏡と、この回転多面鏡に
より偏向される偏向ビームを結像させる結像光学系と、
偏向結像されるレーザビームの走査を受ける被走査媒体
と、一走査周期内で副走査方向のビームウエスト位置を
前記被走査媒体面上に一致させる状態に前記電気光学レ
ンズを駆動制御する制御電源とを設けた。

【０００５】請求項２記載の発明では、請求項１記載の
発明中、第１のシリンダレンズと第２のシリンダレンズ
とを副走査方向に収束作用を持つものとし、電気光学レ
ンズは主走査方向に収束作用を持たせる形状の電極対を
有するものとし、かつ、一走査周期内で主走査方向のビ
ームウエスト位置を被走査媒体面上に一致させる状態に
電気光学レンズを駆動制御する制御電源とした。

【０００６】請求項３記載の発明では、請求項１記載の
発明と請求項２記載の発明とを組合せた構成とした。

【０００７】

【作用】請求項１記載の発明によれば、副走査方向に収
束作用を持つ電気光学レンズを第１のシリンダレンズの
ビームウエスト位置に配設して用い、レーザ光源からの
入射ビームがほぼ２乗分布の屈折率分布領域を通過する
ように第１のシリンダレンズで主走査方向に絞って電気
光学レンズに入射させているので、収差の殆どない焦点
位置可変の電気光学レンズとして機能することになり、
被走査媒体面上での副走査方向の像面湾曲を補正して平
面走査させることができる。この補正動作は、電気光学
レンズに対する制御電源により電気的制御として行なえ
ばよく、応答速度が速いものとなり、１走査線周期内で
十分に補正し得るものとなる。また、電気光学レンズを
用いた固体制御方式の補正によるため、光学系中に機械
的可動部分を要せず、精密に設定される光学系に対する
悪影響もない。

【０００８】請求項２記載の発明によれば、主走査方向
に収束作用を持つ電気光学レンズを第１のシリンダレン
ズのビームウエスト位置に配設して用い、レーザ光源か
らの入射ビームがほぼ２乗分布の屈折率分布領域を通過
するように第１のシリンダレンズで副走査方向に絞って
電気光学レンズに入射させているので、収差の殆どない
焦点位置可変の電気光学レンズとして機能することにな
り、被走査媒体面上での主走査方向の像面湾曲を補正し
て平面走査させることができる。

【０００９】請求項３記載の発明によれば、請求項１記
載の発明と請求項２記載の発明との組合せにより、副走
査方向に収束作用を持つ電気光学レンズと主走査方向に
収束作用を持つ電気光学レンズとを用いて各々の方向の
像面湾曲を独立して補正するので、被走査媒体面上で主
走査方向及び副走査方向の像面湾曲をともに補正して平
面走査させることができる。

【００１０】

【実施例】請求項１記載の発明の一実施例を図１ないし
図４に基づいて説明する。図１が本実施例の基本構成を
示すもので、同図（ａ）が走査面（主走査方向）に平行
に見た平面構成を示し、同図（ｂ）が走査面に垂直な方
向（副走査方向）に見た正面構成を示す。概略的には、
レーザ光源としての半導体レーザ１とコリメートレンズ
２と第１のシリンダレンズ３と電気光学レンズ４と第２
のシリンダレンズ５と第３のシリンダレンズ６と回転多
面鏡７と結像光学系となるトロイダルｆθレンズ８とを
順に配設し、被走査媒体９面上を走査するように構成さ
れている。電気光学レンズ４に対しては制御電源１０が
接続され、図示しない制御系、スイッチング手段により
高周波電圧を選択的に印加し得るように構成されている
。

【００１１】まず、半導体レーザ１は図１（ｂ）中に矢
印で示すように副走査方向に偏波面を持つレーザビーム
１１を発するもので、コリメートレンズ２により平行ビ
ームに変換されて第１のシリンダレンズ３に入射される
。 この第１のシリンダレンズ３は主走査方向に収束作用を
持つもので、電気光学レンズ４はこの第１のシリンダレ
ンズ３から出射されるレーザビームのビームウエスト位
置に配設されている。ここに、電気光学レンズ４は端面
研磨された矩形状の電気光学媒体１２、例えばＰＬＺＴ
電気光学結晶をベースとして、その副走査方向の両面に
光路を挾む状態で一対の電極膜１３ａ，１３ｂによる電
極対１３を設けたものであり、電極対１３には制御電源
１０が接続されている。このような構成により、詳細は
後述するが、副走査方向に収束作用を持つものとなり、
制御電源１０による印加電圧を変えることにより焦点距
離を可変させ得るものである。

【００１２】この電気光学レンズ４の出射側に設けられ
た第２のシリンダレンズ５は主走査方向に収束作用を持
つものであり、電気光学レンズ４から出射したレーザビ
ームを主走査方向に絞って平行ビーム化するものとなる
。第３のシリンダレンズ６は副走査方向に収束作用を持
つもので、この平行ビームを副走査方向に絞るものとな
る。回転多面鏡７はこの第３のシリンダレンズ６から副
走査方向に絞られて出射されるレーザビームのビームウ
エスト近傍に配設されており、回転駆動されることによ
り、このビームを主走査方向に偏向走査させるものとな
る。トロイダルｆθレンズ８は主・副走査方向で焦点距
離の異なる構成のもので、回転多面鏡７により偏向され
るレーザビームを被走査媒体９面上に結像させるもので
ある。このトロイダルｆθレンズ８は副走査方向に関し
ては、回転多面鏡７の反射面と被走査媒体９面とが幾何
光学的にほぼ共役関係となるように配置されており、回
転多面鏡７の面倒れによる走査線の位置ずれを防止でき
るようにされている。

【００１３】このような構成において、まず、電気光学
レンズ４に対して制御電源１０により電圧が印加されて
いない時、又は、一定の直流電圧のみが印加されている
時には（電気光学レンズ４がレンズとして機能しない状
態の時）、被走査媒体９面上での像面湾曲は、図１（ｃ
）に示すように、主走査方向の像面湾曲Ｍと副走査方向
の像面湾曲Ｓとは各々異なった状態となる。この内、本
実施例では像面湾曲のより大きい副走査方向の像面湾曲
Ｓのみを補正しようとするものである（主走査方向の像
面湾曲Ｍは許容値内にあるものとし、かつ、主走査方向
の像面湾曲の補正方式は後述する実施例により説明する
）。

【００１４】図１（ｃ）に示した副走査方向の像面湾曲
Ｓは結像光学系により決まる、固定されたものであるの
で、１走査周期内で副走査方向の像面湾曲Ｓに対応して
電気光学レンズ４の副走査方向の焦点距離を変えること
により補正するようにしたものである。即ち、この補正
は電気光学レンズ４に像面湾曲Ｓに対応した周期の高周
波電圧を制御電源１０によって印加することにより、副
走査方向のビームウエスト位置が常に被走査媒体９面上
に一致させることにより達成される。印加する高周波電
圧の値が大きくなると、電気光学レンズ４の収束機能が
より大きくなり結像光学系との合成レンズとして機能し
、副走査方向のビームウエスト位置が被走査媒体９面付
近で回転多面鏡７側に近づき、逆に、高周波電圧の値が
小さくなると副走査方向のビームウエスト位置が回転多
面鏡７から遠ざかることになる。従って、像面湾曲Ｓの
程度に対応して制御電源１０により印加する高周波電圧
を設定することにより、補正でき、平面走査が可能とな
る。

【００１５】ところで、本実施例で用いた電気光学レン
ズ４の作用について、図２ないし図４を参照して詳細に
説明する。まず、電極膜１３ａ，１３ｂは電気光学媒体
１２の副走査方向と直交する両面の中央に比較的細い電
極幅ｄ、長さＬにて直線短冊形状に形成されたものであ
る。電極膜１３ａ，１３ｂの材料は例えばＡｕが使用さ
れるが、他の導電性材料であってもよい。製法は真空蒸
着法による。電気光学結晶１２には、例えば９．０／６
５／３５なる組成のＰＬＺＴ電気光学結晶が用いられて
いる。

【００１６】まず、電極対１３に電圧を印加しない状態
では電気光学レンズ４はレンズ作用を持たず、入射ビー
ムはそのまま出射される。ついで、電極対１３にＶ１　
を印加すると、電気光学媒体１２中には図２中に破線Ｅ
１で示すような電界分布が生じ、電極部（電極膜１３ａ
，１３ｂ）付近で強く電気光学媒体１２の中心部で弱く
なる。このような電界分布に基づき、ＰＬＺＴ電気光学
結晶の電気光学効果（２次電気光学効果）により結晶中
に屈折率分布が生じる。今、電界の方向及び光ビーム１
の偏光方向をｚ軸方向、光ビーム１の進行方向をｙ軸方
向とし、電界中での屈折率のｚ軸成分をｎＺ　とすると
、

【数１】 ｎＺ　＝ｎ０（１−ｎ０２　Ｒ３３ＥＺ２　／２）　　
………（１）となる。但し、ｎ０　は電界Ｅ＝０におけ
るＰＬＺＴ電気光学結晶の屈折率、Ｒ３３は２次電気光
学定数のマトリックス成分である。

【００１７】（１）式より電界ＥＺ　による屈折率変化
ΔｎＺ　は、

【数２】 ΔｎＺ　＝−ｎ０３　Ｒ３３ＥＺ２　／２　　　　　　
　　………（２）となり、電界強度の２乗に比例する。 そして、電界の強いところが屈折率が小さくなるため、
ＰＬＺＴ電気光学結晶中の電極部付近では屈折率が低く
結晶中の中心付近で高くなる屈折率分布となる。よって
、レンズ作用がｚ軸方向に中心に向かって生ずる。そし
て、このレンズ作用は電極長さＬが長いほど、その効果
の大きいものとなる。

【００１８】よって、ｚ軸方向（副走査方向）に直線偏
光したレーザビーム１１が電気光学媒体１２に入射する
と、電極幅ｄ、長さＬなる大きさの電極対１３に印加さ
れた電圧Ｖ１　によりｚ軸方向（副走査方向）に収束レ
ンズ作用を受けるものとなる。

【００１９】今、本実施例による電気光学媒体１２中の
屈折率分布を、有限要素法により求めた結果を図３に示
す。図３は、座標原点０を電気光学媒体１２の中心位置
とし、ｘ＝０ｍｍ（■で示す）、ｘ＝０．２５ｍｍ（■
で示す）、ｘ＝０．５ｍｍ（■で示す）の各位置におけ
るｚ軸方向の屈折率分布をみたものである。但し、ｎ０
　＝２．５、電界強度ＥＺ　＝１０００Ｖ／ｍｍ、電極
幅ｄ＝１．１ｍｍ、電気光学媒体のｚ軸方向厚さを１．
４ｍｍとした。この結果、屈折率分布につき■■■で示
すような曲線分布となったものである。このような屈折
率分布を基に、電極長Ｌ＝８．０ｍｍとした場合の光線
追跡を、ルンゲ・クッタ・ジル法により実行し、収束特
性を検討したところ、電気光学媒体１２に入射したレー
ザビーム１１は■■■の各領域で異なる屈折率分布によ
り各々収束することより、収差を生ずることが判明した
。

【００２０】この点、本実施例では直線偏光したレーザ
ビーム１１をそのまま電気光学レンズ４の電気光学媒体
１２に入射させず、第１のシリンドリカルレンズ３によ
りｘ軸方向（主走査方向）に収束させた収束レーザビー
ム１１としてビームウエスト位置で入射させている。即
ち、図４に示すようにｘ軸方向に扁平状態となった収束
状態のレーザビーム１１として電気光学媒体１２に入射
する。この結果、電気光学媒体１２の中心付近（ｘ＝０
ｍｍ）ほど、そのｚ軸方向全体に渡り屈折率分布が２乗
分布に近づくという、図３に示した屈折率分布に照らし
合わせると、扁平な収束レーザビーム１１は電気光学媒
体１２内でほぼ２乗分布の屈折率を感じて収束されるこ
とになり、収差が改善される。つまり、第１のシリンド
リカルレンズ３により収束させた収束レーザビーム１１
の入射位置ｘと電極幅ｄ１　との関係を適正に設定する
ことにより、収差の少ない収束特性が得られることにな
る。

【００２１】つづいて、請求項２記載の発明の一実施例
を図５ないし図８により説明する。前記実施例で示した
部分と同一部分は同一符号を用いて示す。本実施例は、
主走査方向の像面湾曲の補正を行なうようにしたもので
あり、シリンダレンズ３、電気光学レンズ４に代えて、
副走査方向に収束作用を持たせた第１のシリンダレンズ
１５、副走査方向に収束作用を持たせた電気光学レンズ
１６を配設し、シリンダレンズ５を省略し、シリンダレ
ンズ６を第２のシリンダレンズとしたものである。また
、トロイダルｆθレンズ８に代えて、ｆθレンズ１７と
副走査方向に収束作用を持たせた主走査方向に長いシリ
ンダレンズ１８とが結像光学系として設けられている。 回転多面鏡７の反射面と被走査媒体９面とは、ｆθレン
ズ１７とシリンダレンズ１８とにより副走査方向に対し
て幾何光学的に略共役関係とされ、回転多面鏡７の面倒
れによる走査線位置ずれが防止されている。

【００２２】ここに、前記電気光学レンズ１６は第１の
シリンダレンズ１５から出射されるレーザビームのビー
ムウエスト位置に配設されており、矩形状の電気光学結
晶１９の副走査方向と直交する両面に電極対２０を形成
し、制御電源２１に接続したものである。電極対２０は
図６で後述するように各々の片面において主走査方向に
間隙ｇを持たせて両側に形成した直線短冊状の２つずつ
４片の電極膜２０ａ１，２０ａ２，２０ｂ１，２０ｂ２
　からなる。このような構成により、詳細は後述するが
、主走査方向に収束作用を持つものとなり、制御電源２
１による印加電圧を変えることにより焦点距離を可変さ
せ得るものである。

【００２３】このような構成において、電気光学レンズ
１９がレンズ作用を示さない状態では、被走査媒体９面
上での像面湾曲は、図５（ｃ）に示すように、主走査方
向の像面湾曲Ｍと副走査方向の像面湾曲Ｓとは各々異な
った状態となり、特に、副走査方向の像面湾曲Ｓはほぼ
許容値内に収まるが、主走査方向の像面湾曲Ｍは大きな
ものとなり、補正を要する。そこで、本実施例ではこの
像面湾曲Ｍを電気光学レンズ１９のレンズ作用により補
正しようとするものである。

【００２４】図５（ｃ）に示した主走査方向の像面湾曲
Ｍも結像光学系により決まる、固定されたものであるの
で、１走査周期内で主走査方向の像面湾曲Ｍに対応して
電気光学レンズ１６の主走査方向の焦点距離を変えるこ
とにより補正するようにしたものである。即ち、この補
正は電気光学レンズ１６に像面湾曲Ｍに対応した周期の
高周波電圧を制御電源２１によって印加することにより
、主走査方向のビームウエスト位置を常に被走査媒体９
面上に一致させることにより達成される。印加する高周
波電圧の値が大きくなると、電気光学レンズ１６の収束
機能がより大きくなり結像光学系との合成レンズとして
機能し、主走査方向のビームウエスト位置が被走査媒体
９面付近で回転多面鏡７側に近づき、逆に、高周波電圧
の値が小さくなると主走査方向のビームウエスト位置が
回転多面鏡７から遠ざかることになる。従って、像面湾
曲Ｍの程度に対応して制御電源２１により印加する高周
波電圧を設定することにより、補正でき、平面走査が可
能となる。

【００２５】ところで、本実施例で用いた電気光学レン
ズ１６の作用について、図６ないし図８を参照して詳細
に説明する。本例の電気光学レンズ１６にあっても、電
極対２０に電圧が印加されていない状態ではレンズ作用
を持たず、入射ビームはそのまま出射される。ついで、
制御電源２１により電極対２０に電圧Ｖ２　が印加され
ると、その電極形状、配置により、電気光学媒体１９に
は図６に破線Ｅ２　で示すような電界分布が生ずる。こ
の結果、ＰＬＺＴ電気光学結晶の電気光学効果によりｘ
‐ｚ平面でｘ＝０（図６に示す電気光学媒体１９の中心
を原点とする）付近で屈折率が高くなる屈折率分布とな
る。 このような屈折率分布は、（１）式により与えられる。 この結果、レンズ作用がｘ方向に中心に向かって生ずる
。 このようなレンズ作用は電極長が長い程大きくなる。

【００２６】よって、ｚ軸方向（副走査方向）に直線偏
光したレーザビーム１１が電気光学媒体１９に入射する
と、電極対２０に印加された電圧Ｖ２　によりｘ軸方向
（主走査方向）に収束レンズ作用を受ける。

【００２７】今、本実施例による電気光学媒体１９中の
屈折率分布を、有限要素法により求めた結果を図７に示
す。図７は、座標原点０を電気光学媒体１９の中心位置
とし、ｚ＝０ｍｍ（■で示す）、ｚ＝０．３ｍｍ（■で
示す）、ｚ＝０．６ｍｍ（■で示す）の各位置における
ｘ軸方向（主走査方向）の屈折率分布をみたものである
。但し、ｎ０＝２．５、電界強度ＥＺ＝１０００Ｖ／ｍ
ｍ、電極間隙ｇ＝１．５ｍｍ、電気光学媒体１９のｚ軸
方向厚さを１．４ｍｍとした。この結果、屈折率分布に
つき■■■で示すような曲線分布となったものである。 このような屈折率分布を基に、電極長＝８．０ｍｍとし
た場合の光線追跡を、ルンゲ・クッタ・ジル法により実
行し、収束特性を検討したところ、電気光学媒体１９に
入射したレーザビーム１１は■■■の各領域で異なる屈
折率分布により各々収束することより、収差を生ずるこ
とが判明した。

【００２８】この点、本実施例では直線偏光したレーザ
ビーム１１をそのまま電気光学媒体１９に入射させず、
シリンドリカルレンズ１５によりｚ軸方向（副走査方向
）に収束させたレーザビーム１１として入射させている
。即ち、図８に示すようにｚ軸方向に扁平状態となった
レーザビーム１１として電気光学媒体１９に入射する。 この結果、電気光学媒体１９の中心付近（ｚ＝０ｍｍ）
ほど、そのｘ軸方向全体に渡り屈折率分布が２乗分布に
近づくという、図７に示した屈折率分布に照らし合わせ
ると、扁平な収束光ビーム１８は電気光学媒体１９内で
ほぼ２乗分布の屈折率を感じて収束されることになり、
収差が改善される。

【００２９】さらに、請求項３記載の発明を図９により
説明する。本実施例は、前述した２つの実施例を組合せ
て、像面湾曲Ｍ，Ｓをともに補正し得るようにしたもの
である。具体的には、シリンダレンズ３を第１のシリン
ダレンズ、電気光学レンズ４を第１の電気光学レンズ、
シリンダレンズ５を第２のシリンダレンズ、シリンダレ
ンズ１５を第３のシリンダレンズ、電気光学レンズ１６
を第２の電気光学レンズ、シリンダレンズ６を第４のシ
リンダレンズ、トロイダルｆθレンズ８を結像光学系と
し、さらに、制御電源１０を第１の制御電源、制御電源
２１を第２の制御電源としたものである。

【００３０】本実施例によれば、制御電源１０，２１を
独立して制御することにより、各々前述した実施例に準
じて副走査方向の像面湾曲Ｓと主走査方向の像面湾曲Ｍ
とを各々個別に補正でき、２次元的に結像特性の改善さ
れた平面走査が可能となる。

【００３１】

【発明の効果】本発明は、上述したように構成したので
、請求項１記載の発明によれば、副走査方向に収束作用
を持たせた電気光学レンズを第１のシリンダレンズのビ
ームウエスト位置に配設して用い、レーザ光源からの入
射ビームがほぼ２乗分布の屈折率分布領域を通過するよ
うにこの第１のシリンダレンズで主走査方向に絞って電
気光学レンズに入射させているので、電気光学レンズを
収差の殆どない焦点位置可変のレンズとして機能させる
ことができ、被走査媒体面上での副走査方向の像面湾曲
を補正して平面走査させることができ、このような補正
動作は、電気光学レンズに対する制御電源により電気的
制御として行なえばよく、応答速度が速いものとなり、
１走査線周期内で十分に補正し得るものとなり、かつ、
電気光学レンズを用いた固体制御方式の補正によるため
、光学系中に機械的可動部分を要せず、精密に設定され
る光学系に対する悪影響もないものである。

【００３２】同様に、請求項２記載の発明によれば、主
走査方向に収束作用を持つ電気光学レンズを第１のシリ
ンダレンズのビームウエスト位置に配設して用い、レー
ザ光源からの入射ビームがほぼ２乗分布の屈折率分布領
域を通過するように第１のシリンダレンズで副走査方向
に絞って電気光学レンズに入射させているので、電気光
学レンズを収差の殆どない焦点位置可変のレンズとして
機能させることができ、被走査媒体面上での主走査方向
の像面湾曲を補正して平面走査させることができるもの
である。

【００３３】さらに、請求項３記載の発明によれば、請
求項１記載の発明と請求項２記載の発明との組合せによ
り、副走査方向に収束作用を持つ電気光学レンズと主走
査方向に収束作用を持つ電気光学レンズとを用いて各々
の方向の像面湾曲を独立して補正することができるので
、被走査媒体面上で主走査方向及び副走査方向の像面湾
曲をともに補正して平面走査させることができるもので
ある。

【図面の簡単な説明】

【図１】請求項１記載の発明の一実施例を示し、（ａ）
は平面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）は像面湾曲状態を示
す特性図である。

【図２】電気光学レンズにおける電界分布状態を示す断
面図である。

【図３】電気光学媒体中の位置に応じた屈折率分布を示
す特性図である。

【図４】電気光学媒体に入射するビーム形状を示す側面
図である。

【図５】請求項２記載の発明の一実施例を示し、（ａ）
は平面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）は像面湾曲状態を示
す特性図である。

【図６】電気光学レンズにおける電界分布状態を示す断
面図である。

【図７】電気光学媒体中の位置に応じた屈折率分布を示
す特性図である。

【図８】電気光学媒体に入射するビーム形状を示す側面
図である。

【図９】請求項３記載の発明の一実施例を示し、（ａ）
は平面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）は像面湾曲状態を示
す特性図である。

【符号の説明】

１　　　　　　　　　　レーザ光源 ２　　　　　　　　　　コリメートレンズ３　　　　　
　　　　　シリンダレンズ４　　　　　　　　　　電気
光学レンズ５，６　　　　　　シリンダレンズ ７　　　　　　　　　　回転多面鏡 ８　　　　　　　　　　結像光学系 ９　　　　　　　　　　被走査媒体 １０　　　　　　　　制御電源 １１　　　　　　　　レーザビーム １３　　　　　　　　電極対 １５　　　　　　　　シリンダレンズ １６　　　　　　　　電気光学レンズ １７，１８　　結像光学系 ２０　　　　　　　　電極対 ２１　　　　　　　　制御電源

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　レーザ光源と、このレーザ光源から出
   射されたレーザビームを平行ビームに変換するコリメー
   トレンズと、変換された平行ビームを主走査方向に収束
   させる第１のシリンダレンズと、この第１のシリンダレ
   ンズのビームウエスト位置に配設されて副走査方向に収
   束作用を持たせる形状の電極対を有する電気光学レンズ
   と、この電気光学レンズから出射するレーザビームに対
   して主走査方向に収束作用を持たせた第２のシリンダレ
   ンズと、この第２のシリンダレンズから出射するレーザ
   ビームを副走査方向に収束させる第３のシリンダレンズ
   と、この第３のシリンダレンズから出射するレーザビー
   ムのビームウエスト位置近傍に配設されて回転駆動され
   る回転多面鏡と、この回転多面鏡により偏向される偏向
   ビームを結像させる結像光学系と、偏向結像されるレー
   ザビームの走査を受ける被走査媒体と、一走査周期内で
   副走査方向のビームウエスト位置を前記被走査媒体面上
   に一致させる状態に前記電気光学レンズを駆動制御する
   制御電源とよりなることを特徴とする光走査装置。
2. 【請求項２】　　レーザ光源と、このレーザ光源から出
   射されたレーザビームを平行ビームに変換するコリメー
   トレンズと、変換された平行ビームを副走査方向に収束
   させる第１のシリンダレンズと、この第１のシリンダレ
   ンズのビームウエスト位置に配設されて主走査方向に収
   束作用を持たせる形状の電極対を有する電気光学レンズ
   と、この電気光学レンズから出射するレーザビームに対
   して副走査方向に収束作用を持たせた第２のシリンダレ
   ンズと、この第２のシリンダレンズから出射するレーザ
   ビームのビームウエスト位置近傍に配設されて回転駆動
   される回転多面鏡と、この回転多面鏡により偏向される
   偏向ビームを結像させる結像光学系と、偏向結像される
   レーザビームの走査を受ける被走査媒体と、一走査周期
   内で主走査方向のビームウエスト位置を前記被走査媒体
   面上に一致させる状態に前記電気光学レンズを駆動制御
   する制御電源とよりなることを特徴とする光走査装置。
3. 【請求項３】　　レーザ光源と、このレーザ光源から出
   射されたレーザビームを平行ビームに変換するコリメー
   トレンズと、変換された平行ビームを主走査方向に収束
   させる第１のシリンダレンズと、この第１のシリンダレ
   ンズのビームウエスト位置に配設されて副走査方向に収
   束作用を持たせる形状の電極対を有する第１の電気光学
   レンズと、この第１の電気光学レンズから出射するレー
   ザビームに対して主走査方向に収束作用を持たせた第２
   のシリンダレンズと、この第２のシリンダレンズから出
   射するレーザビームを副走査方向に収束させる第３のシ
   リンダレンズと、この第３のシリンダレンズのビームウ
   エスト位置に配設されて主走査方向に収束作用を持たせ
   る形状の電極対を有する第２の電気光学レンズと、この
   第２の電気光学レンズから出射するレーザビームに対し
   て副走査方向に収束作用を持たせた第４のシリンダレン
   ズと、この第４のシリンダレンズから出射するレーザビ
   ームのビームウエスト位置近傍に配設されて回転駆動さ
   れる回転多面鏡と、この回転多面鏡により偏向される偏
   向ビームを結像させる結像光学系と、偏向結像されるレ
   ーザビームの走査を受ける被走査媒体と、一走査周期内
   で副走査方向のビームウエスト位置を前記被走査媒体面
   上に一致させる状態に前記第１電気光学レンズを駆動制
   御する第１の制御電源と、一走査周期内で主走査方向の
   ビームウエスト位置を前記被走査媒体面上に一致させる
   状態に前記第２の電気光学レンズを駆動制御する第２の
   制御電源とよりなることを特徴とする光走査装置。