JPH04263952A - インクジェット記録ヘッド - Google Patents
インクジェット記録ヘッドInfo
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- JPH04263952A JPH04263952A JP3024484A JP2448491A JPH04263952A JP H04263952 A JPH04263952 A JP H04263952A JP 3024484 A JP3024484 A JP 3024484A JP 2448491 A JP2448491 A JP 2448491A JP H04263952 A JPH04263952 A JP H04263952A
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Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は主にインクジェット記録
装置に関し、詳しくはインクジェット記録装置のヘッド
の構造に関する。
装置に関し、詳しくはインクジェット記録装置のヘッド
の構造に関する。
【0002】
【従来の技術】従来この種の技術は、特公昭62−26
912や特公昭62−32112に開示されるように、
自由な厚み比率の圧電素子と振動板を用いてインクジェ
ット記録ヘッドを構成し、これを駆動してインク滴を吐
出させて画素を形成し、情報を紙等の媒体に印刷すると
いう形式のものであった。
912や特公昭62−32112に開示されるように、
自由な厚み比率の圧電素子と振動板を用いてインクジェ
ット記録ヘッドを構成し、これを駆動してインク滴を吐
出させて画素を形成し、情報を紙等の媒体に印刷すると
いう形式のものであった。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかし、前述の従来技
術では、圧電素子と振動板の厚み比率を自由に設定して
構成しているので、インク流路に圧力を発生させる為に
、圧電素子に電圧を印加して振動板を湾曲させて撓ませ
る際、曲げ応力の中立軸が圧電素子と振動板の界面に位
置しない事が多い。結果として振動板を撓ませてインク
を吐出させる際の曲げ効率が悪く、高い電圧でインクジ
ェットヘッドを駆動する必要があった。
術では、圧電素子と振動板の厚み比率を自由に設定して
構成しているので、インク流路に圧力を発生させる為に
、圧電素子に電圧を印加して振動板を湾曲させて撓ませ
る際、曲げ応力の中立軸が圧電素子と振動板の界面に位
置しない事が多い。結果として振動板を撓ませてインク
を吐出させる際の曲げ効率が悪く、高い電圧でインクジ
ェットヘッドを駆動する必要があった。
【0004】更に、ヘッドの駆動電圧が高い場合には高
電圧を確保するための回路が記録装置に必要となり、駆
動回路の製作が困難になったり、記録装置の使用者が誤
って回路の一部に接触した場合に、使用者が感電により
大きなショックを受けてしまうといった製品安全上の課
題があった。
電圧を確保するための回路が記録装置に必要となり、駆
動回路の製作が困難になったり、記録装置の使用者が誤
って回路の一部に接触した場合に、使用者が感電により
大きなショックを受けてしまうといった製品安全上の課
題があった。
【0005】本発明はこのような欠点を解決するために
なされたものであり、効率が良く駆動電圧の低いインク
ジェット記録ヘッドを実現するとともに、昇圧回路等の
高電圧回路を必要とせず、駆動回路の作製が容易でかつ
、製品の安全性が確保されるインクジェットヘッドを得
ることを目的とする。
なされたものであり、効率が良く駆動電圧の低いインク
ジェット記録ヘッドを実現するとともに、昇圧回路等の
高電圧回路を必要とせず、駆動回路の作製が容易でかつ
、製品の安全性が確保されるインクジェットヘッドを得
ることを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明のインクジェット
記録ヘッドは、ノズルと、圧力室と、供給口とを有する
溝部よりなるインク流路と、共通インク室とが設けられ
た第1の基板と、該第1の基板のインク流路側表面に接
合された第2の基板と、該第2の基板上に積層されて接
合された振動板と、該振動板の上に積層されて接合され
た圧電素子とからなり、前記振動板の厚みが前記圧電素
子の厚みと略同一であることを特徴とする。
記録ヘッドは、ノズルと、圧力室と、供給口とを有する
溝部よりなるインク流路と、共通インク室とが設けられ
た第1の基板と、該第1の基板のインク流路側表面に接
合された第2の基板と、該第2の基板上に積層されて接
合された振動板と、該振動板の上に積層されて接合され
た圧電素子とからなり、前記振動板の厚みが前記圧電素
子の厚みと略同一であることを特徴とする。
【0007】更に、圧電素子及び振動板の厚みが供に5
0μm以下であることを特徴とする。
0μm以下であることを特徴とする。
【0008】
【作用】本発明の上記の構成によれば、圧電素子に駆動
電圧パルスを印加することにより、振動板が曲げられて
撓み、第2の基板によりインクが封入された第1の基板
のインク流路の内容積が増加して、インク流路の圧力室
に供給口よりインクを供給し、駆動電圧パルスの解除に
よりインク滴をノズルより吐出させて画素を形成し、記
録媒体上に情報の印刷を行なうものである。
電圧パルスを印加することにより、振動板が曲げられて
撓み、第2の基板によりインクが封入された第1の基板
のインク流路の内容積が増加して、インク流路の圧力室
に供給口よりインクを供給し、駆動電圧パルスの解除に
よりインク滴をノズルより吐出させて画素を形成し、記
録媒体上に情報の印刷を行なうものである。
【0009】
【実施例】以下に本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。いずれの図面も同一符号は同一の構成要素を示す
。
する。いずれの図面も同一符号は同一の構成要素を示す
。
【0010】図1は本発明の実施例におけるインクジェ
ット記録ヘッドの構成を説明する断面図である。1は第
1の基板でノズル5、圧力室6、供給口7を有するイン
ク流路と共通インク室8とインク供給管9が形成されて
ある。第1の基板1はポリカーボネイトやポリサルフォ
ン等の樹脂よりなる。2は第2の基板であり第1の基板
1のインク流路側の表面に溶着されてあり、インク流路
及び共通インク室8にインクを封入している。3は振動
板であり、りん青銅やステンレス等の金属やほう硅酸ガ
ラス等のセラミクスに導電性のITO膜を蒸着したもの
よりなり、第2基板2上のインク流路上方部表面に接着
層11aを介して接着されている。振動板3がインク流
路にインクを封入する機能を有する場合は、第2の基板
2は廃止が可能であり、振動板3は直に第1の基板1に
接合されて構成する事が可能である。4は圧電素子であ
り、チタン酸バリウムやジルコン酸鉛よりなり、焼結さ
れて、表面に金属の電極を付与されて、高電界で分極処
理されており、厚み方向に電圧を印加することにより電
荷を保持して長さ方向に収縮する性質を有する。圧電素
子4は接着層11bを介して振動板3上のインク流路の
圧力室6上部位置に接着されている。20及び21はそ
れぞれ+側,−側電極であり各々圧電素子4と振動板3
に結線されている。これら電極に電圧を印加することに
より圧電素子4は長さ方向に収縮しようとするが、上述
のように振動板3に拘束されるように構成されているの
で、曲げモーメントが作用して圧電素子4と振動板3は
撓む。図中ta,tbはそれぞれ振動板3、圧電素子4
の厚みを表している。振動板3及び圧電素子4はそれぞ
れ厚みが等しくta=tbとなるように構成されている
。本実施例では第2の基板2、振動板3、圧電素子4の
厚みは順に200,50,50μmとしている。圧電素
子4の厚みを薄くした場合、圧電素子4内部に生ずる電
界は厚い場合よりも大きくなるので、同一の電界を生じ
させて駆動する場合には、圧電素子4の厚みに反比例し
てより低い電圧で駆動することが可能となる。
ット記録ヘッドの構成を説明する断面図である。1は第
1の基板でノズル5、圧力室6、供給口7を有するイン
ク流路と共通インク室8とインク供給管9が形成されて
ある。第1の基板1はポリカーボネイトやポリサルフォ
ン等の樹脂よりなる。2は第2の基板であり第1の基板
1のインク流路側の表面に溶着されてあり、インク流路
及び共通インク室8にインクを封入している。3は振動
板であり、りん青銅やステンレス等の金属やほう硅酸ガ
ラス等のセラミクスに導電性のITO膜を蒸着したもの
よりなり、第2基板2上のインク流路上方部表面に接着
層11aを介して接着されている。振動板3がインク流
路にインクを封入する機能を有する場合は、第2の基板
2は廃止が可能であり、振動板3は直に第1の基板1に
接合されて構成する事が可能である。4は圧電素子であ
り、チタン酸バリウムやジルコン酸鉛よりなり、焼結さ
れて、表面に金属の電極を付与されて、高電界で分極処
理されており、厚み方向に電圧を印加することにより電
荷を保持して長さ方向に収縮する性質を有する。圧電素
子4は接着層11bを介して振動板3上のインク流路の
圧力室6上部位置に接着されている。20及び21はそ
れぞれ+側,−側電極であり各々圧電素子4と振動板3
に結線されている。これら電極に電圧を印加することに
より圧電素子4は長さ方向に収縮しようとするが、上述
のように振動板3に拘束されるように構成されているの
で、曲げモーメントが作用して圧電素子4と振動板3は
撓む。図中ta,tbはそれぞれ振動板3、圧電素子4
の厚みを表している。振動板3及び圧電素子4はそれぞ
れ厚みが等しくta=tbとなるように構成されている
。本実施例では第2の基板2、振動板3、圧電素子4の
厚みは順に200,50,50μmとしている。圧電素
子4の厚みを薄くした場合、圧電素子4内部に生ずる電
界は厚い場合よりも大きくなるので、同一の電界を生じ
させて駆動する場合には、圧電素子4の厚みに反比例し
てより低い電圧で駆動することが可能となる。
【0011】ノズル5はインク滴の吐出孔である。圧力
室6は、圧電素子4及び振動板3の撓みによってインク
流路内に圧力を生じせしめる。供給口7は、インク流路
へのインクの供給を制限しているオリフィスである。共
通インク室8は複数のインク流路に供給口7で通じてい
て、インク流路へ供給するインクを準備している。供給
管9は、第1の基板1に形成されていて、共通インク室
8に連通してヘッド外部のインクタンク等よりヘッド内
部へインクを導入するための管である。これらインク流
路と共通インク室8には常時インクが満たされた状態と
なっている。100はインク滴である。圧電素子4を電
圧パルスにより駆動制御する事により、圧力室6内部で
圧力変動が生じ、インクは供給口7より流入して供給さ
れ、ノズル5よりインク滴100が吐出される。インク
滴100は通常ノズル5より液柱となって吐出し、吐出
後インクの表面張力により複数のインク滴となり、紙面
等の印刷媒体面に到着して浸透または付着し、画素とし
ての1つの点を印刷する。
室6は、圧電素子4及び振動板3の撓みによってインク
流路内に圧力を生じせしめる。供給口7は、インク流路
へのインクの供給を制限しているオリフィスである。共
通インク室8は複数のインク流路に供給口7で通じてい
て、インク流路へ供給するインクを準備している。供給
管9は、第1の基板1に形成されていて、共通インク室
8に連通してヘッド外部のインクタンク等よりヘッド内
部へインクを導入するための管である。これらインク流
路と共通インク室8には常時インクが満たされた状態と
なっている。100はインク滴である。圧電素子4を電
圧パルスにより駆動制御する事により、圧力室6内部で
圧力変動が生じ、インクは供給口7より流入して供給さ
れ、ノズル5よりインク滴100が吐出される。インク
滴100は通常ノズル5より液柱となって吐出し、吐出
後インクの表面張力により複数のインク滴となり、紙面
等の印刷媒体面に到着して浸透または付着し、画素とし
ての1つの点を印刷する。
【0012】図2は本発明の実施例における平面構成図
である。図2で説明している実施例では同一特性のイン
ク流路が9本第1の基板1上に形成されている。また、
振動板3が図1で説明した第2の基板2の機能を果たし
ているので、図2では第2の基板2は廃止されている。 その他の構成は図1と同様に成されている。5aはダミ
ーノズルであり、共通インク室8に流入した気泡をヘッ
ド外部へ排出するための特別な流路のノズルである。ダ
ミーノズル5を設けることにより気泡によるインク吐出
の不安定が発生する確率を低減し、インクジェットヘッ
ドの信頼性を向上することが可能となる。ダミーノズル
5aの流路はその特性が他のインク流路とは流路抵抗の
みが等しく、他は異なる様に設計されていて、気泡排出
専用の動作時のみ特性が他の流路と一致する様になって
いる。
である。図2で説明している実施例では同一特性のイン
ク流路が9本第1の基板1上に形成されている。また、
振動板3が図1で説明した第2の基板2の機能を果たし
ているので、図2では第2の基板2は廃止されている。 その他の構成は図1と同様に成されている。5aはダミ
ーノズルであり、共通インク室8に流入した気泡をヘッ
ド外部へ排出するための特別な流路のノズルである。ダ
ミーノズル5を設けることにより気泡によるインク吐出
の不安定が発生する確率を低減し、インクジェットヘッ
ドの信頼性を向上することが可能となる。ダミーノズル
5aの流路はその特性が他のインク流路とは流路抵抗の
みが等しく、他は異なる様に設計されていて、気泡排出
専用の動作時のみ特性が他の流路と一致する様になって
いる。
【0013】図3は本発明の実施例における平面構成図
である。図3で説明している実施例では振動板3に複数
のスリット状のブランクが設けられていて、第1の基板
1、第2の基板2、振動板3、圧電素子4の各々の材料
(線膨張係数)の違いによって生ずる温度変化による振
動板3の不要な内部応力の緩和を図っている。図3には
第1の基板1の流路は図示されていないが、流路形状と
配置は図2に説明されるものと同一である。
である。図3で説明している実施例では振動板3に複数
のスリット状のブランクが設けられていて、第1の基板
1、第2の基板2、振動板3、圧電素子4の各々の材料
(線膨張係数)の違いによって生ずる温度変化による振
動板3の不要な内部応力の緩和を図っている。図3には
第1の基板1の流路は図示されていないが、流路形状と
配置は図2に説明されるものと同一である。
【0014】図4及び図5はいずれも本発明の実施例の
断面構成図であり、本発明のインクジェット記録ヘッド
の駆動方法について説明している。これらの図により本
発明のインクジェット記録ヘッドの駆動方法について概
説する。まず、圧電素子4は電荷を保持して収縮してお
り、図4の様に振動板3に拘束されて撓んで圧力室6の
インクを排除している。この時、図中のインク滴100
はまだ吐出していない。次に圧電素子4の電荷を回路を
閉じるなどして放出すると、図5の様に圧電素子4と振
動板3は各々の弾性によって平面に復帰する。この時イ
ンクは供給口7より供給されて圧力室6はインクで満た
される。圧力室6がインクで満たされた時点で圧電素子
4に電圧パルスを印加すると、圧電素子4と振動板3は
再び図4の様に撓んで圧力室6のインクを排除して圧力
を生じ、排除されたインクはノズル5よりインク滴10
0となって吐出される。
断面構成図であり、本発明のインクジェット記録ヘッド
の駆動方法について説明している。これらの図により本
発明のインクジェット記録ヘッドの駆動方法について概
説する。まず、圧電素子4は電荷を保持して収縮してお
り、図4の様に振動板3に拘束されて撓んで圧力室6の
インクを排除している。この時、図中のインク滴100
はまだ吐出していない。次に圧電素子4の電荷を回路を
閉じるなどして放出すると、図5の様に圧電素子4と振
動板3は各々の弾性によって平面に復帰する。この時イ
ンクは供給口7より供給されて圧力室6はインクで満た
される。圧力室6がインクで満たされた時点で圧電素子
4に電圧パルスを印加すると、圧電素子4と振動板3は
再び図4の様に撓んで圧力室6のインクを排除して圧力
を生じ、排除されたインクはノズル5よりインク滴10
0となって吐出される。
【0015】図6は本発明の実施例の別の断面構成図で
ある。図1で説明したように圧電素子4と振動板3の厚
みtb,taはほぼ等しくなるように構成されている。 この様に構成することにより、ヘッドを駆動する時に撓
められるこれら圧電素子4と振動板3の曲げの中立軸が
図中一点鎖線Aで示す位置に来るため、圧電素子4には
圧縮応力のみが作用し、振動板3には引張応力のみが作
用するようになる。これにより圧電素子4、振動板3は
それぞれの部材の中に打ち消し合う力が作用しないため
に、お互いに効率よく曲げられるようになる。また、接
着層11a,11bはそれぞれ10μm以下としている
。この様に本実施例では接着層11a,11bの厚みを
振動板3の1/5以下まで薄くする事により、インクジ
ェット記録ヘッドの効率を高めると同時にヘッド構成全
体の中の影響度を低くして特性のバラツキの低減も図っ
ている。
ある。図1で説明したように圧電素子4と振動板3の厚
みtb,taはほぼ等しくなるように構成されている。 この様に構成することにより、ヘッドを駆動する時に撓
められるこれら圧電素子4と振動板3の曲げの中立軸が
図中一点鎖線Aで示す位置に来るため、圧電素子4には
圧縮応力のみが作用し、振動板3には引張応力のみが作
用するようになる。これにより圧電素子4、振動板3は
それぞれの部材の中に打ち消し合う力が作用しないため
に、お互いに効率よく曲げられるようになる。また、接
着層11a,11bはそれぞれ10μm以下としている
。この様に本実施例では接着層11a,11bの厚みを
振動板3の1/5以下まで薄くする事により、インクジ
ェット記録ヘッドの効率を高めると同時にヘッド構成全
体の中の影響度を低くして特性のバラツキの低減も図っ
ている。
【0016】図7は本発明の実施例における振動板厚み
と単位電圧当りのインク排除体積(電圧感度)の比を有
限要素法による数値計算により算出したグラフである。 電圧感度比は最も高い感度を100%とした場合の感度
の比率であり、電圧感度比が高ければ効率がよく、一定
のインク重量のインク滴を吐出させるために必要とされ
る電圧は低くなる。計算結果に依れば圧電素子4の厚み
50μmに対して最も効率のよい振動板厚みは20〜4
0μmに存在することが分かる。又、90%以上の高い
効率が得られる振動板厚みは15〜55μmの範囲にあ
ることが分かる。実際には第2の基板2、振動板3、圧
電素子4を拘束するための境界条件や、ヤング率やポア
ソン比等の材料定数が微妙に異なったりばらついたりす
るので、最大効率の厚みで利用することは避け、本実施
例では振動板3の厚みを圧電素子4に等しい50μmと
している。この様に本実施例では振動板3の厚みと圧電
素子4の厚みを全く等しく設定しているが、適当な厚み
比率は実際には流路構成や圧力室6の形状によっても微
妙に異なる場合もあるので、厚み比率は厳密に1である
必要はなく、振動板と圧電素子の厚みはほぼ等しい範囲
の中で設定して構成するとよい。つまり、本実施例にお
いて振動板3の厚みを圧電素子4の厚み50μmに対し
て30〜50μmの範囲で設定しても、本発明による作
用・効果に何ら相違するものではない。
と単位電圧当りのインク排除体積(電圧感度)の比を有
限要素法による数値計算により算出したグラフである。 電圧感度比は最も高い感度を100%とした場合の感度
の比率であり、電圧感度比が高ければ効率がよく、一定
のインク重量のインク滴を吐出させるために必要とされ
る電圧は低くなる。計算結果に依れば圧電素子4の厚み
50μmに対して最も効率のよい振動板厚みは20〜4
0μmに存在することが分かる。又、90%以上の高い
効率が得られる振動板厚みは15〜55μmの範囲にあ
ることが分かる。実際には第2の基板2、振動板3、圧
電素子4を拘束するための境界条件や、ヤング率やポア
ソン比等の材料定数が微妙に異なったりばらついたりす
るので、最大効率の厚みで利用することは避け、本実施
例では振動板3の厚みを圧電素子4に等しい50μmと
している。この様に本実施例では振動板3の厚みと圧電
素子4の厚みを全く等しく設定しているが、適当な厚み
比率は実際には流路構成や圧力室6の形状によっても微
妙に異なる場合もあるので、厚み比率は厳密に1である
必要はなく、振動板と圧電素子の厚みはほぼ等しい範囲
の中で設定して構成するとよい。つまり、本実施例にお
いて振動板3の厚みを圧電素子4の厚み50μmに対し
て30〜50μmの範囲で設定しても、本発明による作
用・効果に何ら相違するものではない。
【0017】
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、圧電
素子と振動板の厚みをほぼ等しく設定して構成している
ので、インク流路に圧力を発生させる為に、圧電素子に
電圧を印加して振動板を湾曲させて撓ませる際、曲げ応
力の中立軸が圧電素子と振動板の界面に位置するように
なり、結果として振動板を撓ませてインクを吐出させる
際の曲げ効率が良くなり、低電圧でインクジェットヘッ
ドを駆動する事が可能となる。加えて、ヘッドの駆動電
圧が低くできるので、従来のように高電圧を確保するた
めの回路が記録装置に必要でなくなり、駆動回路の製作
が容易になる。更に、記録装置の使用者が誤って回路の
一部に接触した場合でも、使用者が感電により大きなシ
ョックを受る様なことがなくなり、製品安全上も安全性
が確保され、安全な製品として製造が出来るようになる
等々の効果を有する。
素子と振動板の厚みをほぼ等しく設定して構成している
ので、インク流路に圧力を発生させる為に、圧電素子に
電圧を印加して振動板を湾曲させて撓ませる際、曲げ応
力の中立軸が圧電素子と振動板の界面に位置するように
なり、結果として振動板を撓ませてインクを吐出させる
際の曲げ効率が良くなり、低電圧でインクジェットヘッ
ドを駆動する事が可能となる。加えて、ヘッドの駆動電
圧が低くできるので、従来のように高電圧を確保するた
めの回路が記録装置に必要でなくなり、駆動回路の製作
が容易になる。更に、記録装置の使用者が誤って回路の
一部に接触した場合でも、使用者が感電により大きなシ
ョックを受る様なことがなくなり、製品安全上も安全性
が確保され、安全な製品として製造が出来るようになる
等々の効果を有する。
【図1】本発明の一実施例を示す断面構成図。
【図2】本発明の一実施例を示す平面構成図。
【図3】本発明の一実施例を示す平面構成図。
【図4】本発明の一実施例の駆動動作を示す流路断面図
。
。
【図5】本発明の一実施例の駆動動作を示す流路断面図
。
。
【図6】本発明の一実施例の構成詳細を示す他の流路断
面図。
面図。
【図7】本発明の一実施例の振動板厚みと電圧感度比の
計算結果を示す図。
計算結果を示す図。
1 第1の基板
2 第2の基板
3 振動板
4 圧電素子
5 ノズル
6 圧力室
7 供給口
8 共通インク室
Claims (2)
- 【請求項1】 画素の単位となるインク滴を吐出させ
ることにより情報を記録するインクジェット記録装置に
おいて、ノズルと、圧力室と、供給口とを有する溝部よ
りなるインク流路と、共通インク室とが設けられた第1
の基板と、該第1の基板のインク流路側表面に接合され
た第2の基板と、該第2の基板上に積層されて接合され
た振動板と、該振動板の上に積層されて接合された圧電
素子とからなり、前記振動板の厚みが前記圧電素子の厚
みと略同一であることを特徴とするインクジェット記録
ヘッド。 - 【請求項2】 請求項1の圧電素子及び振動板の厚み
が供に50μm以下であることを特徴とする請求項1記
載のインクジェット記録ヘッド。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3024484A JPH04263952A (ja) | 1991-02-19 | 1991-02-19 | インクジェット記録ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3024484A JPH04263952A (ja) | 1991-02-19 | 1991-02-19 | インクジェット記録ヘッド |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04263952A true JPH04263952A (ja) | 1992-09-18 |
Family
ID=12139463
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3024484A Pending JPH04263952A (ja) | 1991-02-19 | 1991-02-19 | インクジェット記録ヘッド |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04263952A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2001035469A1 (fr) * | 1999-11-11 | 2001-05-17 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Dispositif piezo-electrique a film mince |
US6586861B2 (en) | 1998-11-12 | 2003-07-01 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Film bulk acoustic wave device |
JP2006150955A (ja) * | 2004-10-28 | 2006-06-15 | Brother Ind Ltd | 圧電アクチュエータの製造方法、液体移送装置の製造方法、及び、圧電アクチュエータの製造装置 |
JP2009208405A (ja) * | 2008-03-05 | 2009-09-17 | Fuji Xerox Co Ltd | 液滴吐出装置 |
-
1991
- 1991-02-19 JP JP3024484A patent/JPH04263952A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6586861B2 (en) | 1998-11-12 | 2003-07-01 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Film bulk acoustic wave device |
WO2001035469A1 (fr) * | 1999-11-11 | 2001-05-17 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Dispositif piezo-electrique a film mince |
JP2006150955A (ja) * | 2004-10-28 | 2006-06-15 | Brother Ind Ltd | 圧電アクチュエータの製造方法、液体移送装置の製造方法、及び、圧電アクチュエータの製造装置 |
JP2009208405A (ja) * | 2008-03-05 | 2009-09-17 | Fuji Xerox Co Ltd | 液滴吐出装置 |
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