JPH04241205A - 磁気ヘッド - Google Patents
磁気ヘッドInfo
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- JPH04241205A JPH04241205A JP232491A JP232491A JPH04241205A JP H04241205 A JPH04241205 A JP H04241205A JP 232491 A JP232491 A JP 232491A JP 232491 A JP232491 A JP 232491A JP H04241205 A JPH04241205 A JP H04241205A
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Landscapes
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ビデオテープレコーダ
等の磁気記録再生装置において、情報の記録再生等に用
いられる磁気ヘッドに関するものである。
等の磁気記録再生装置において、情報の記録再生等に用
いられる磁気ヘッドに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】磁気記録技術の高密度化に伴って、例え
ばメタルテープ等の高保磁力の磁気記録媒体が主流にな
ってきた現在、磁気ヘッドに使用されるコア材料は高い
飽和磁束密度を有するものが要求されている。
ばメタルテープ等の高保磁力の磁気記録媒体が主流にな
ってきた現在、磁気ヘッドに使用されるコア材料は高い
飽和磁束密度を有するものが要求されている。
【０００３】このような状況の下、磁気ヘッドには、図
９に示すように、ヘッドコアとして高い飽和磁束密度を
有する軟磁性金属からなる軟磁性薄膜２２と、この軟磁
性薄膜２２を支持する基板２１とを有したヘッドチップ
２５が用いられている。
９に示すように、ヘッドコアとして高い飽和磁束密度を
有する軟磁性金属からなる軟磁性薄膜２２と、この軟磁
性薄膜２２を支持する基板２１とを有したヘッドチップ
２５が用いられている。
【０００４】このヘッドチップ２５を用いた磁気ヘッド
は、軟磁性薄膜２２がギャップ２３に対して斜めに形成
されているため、磁気ヘッドをテープに摺動させた際、
偏摩耗に強い。また、軟磁性薄膜２２を支持する基板２
１にフェライト等の酸化物磁性材料を用いた場合、基板
２１と軟磁性薄膜２２との境界がギャップ２３と平行に
なっていると、上記境界の両側で磁気特性が不連続にな
り、これが擬似ギャップとして作用するため、磁気ヘッ
ドの性能に悪影響を与えるが、境界が上記のように斜め
になっていると、この影響も回避できる。
は、軟磁性薄膜２２がギャップ２３に対して斜めに形成
されているため、磁気ヘッドをテープに摺動させた際、
偏摩耗に強い。また、軟磁性薄膜２２を支持する基板２
１にフェライト等の酸化物磁性材料を用いた場合、基板
２１と軟磁性薄膜２２との境界がギャップ２３と平行に
なっていると、上記境界の両側で磁気特性が不連続にな
り、これが擬似ギャップとして作用するため、磁気ヘッ
ドの性能に悪影響を与えるが、境界が上記のように斜め
になっていると、この影響も回避できる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記従来の
構成では、基板２１上に軟磁性薄膜２２を形成する際、
基板２１と軟磁性薄膜２２との反応により軟磁性薄膜２
２が浸食されて、磁気特性が劣化するという問題点を有
している。
構成では、基板２１上に軟磁性薄膜２２を形成する際、
基板２１と軟磁性薄膜２２との反応により軟磁性薄膜２
２が浸食されて、磁気特性が劣化するという問題点を有
している。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の磁気ヘッドは、
上記の課題を解決するために、基板上に成膜された軟磁
性薄膜によりヘッドコアを形成した磁気ヘッドにおいて
、上記基板と上記軟磁性薄膜との間に基板との反応によ
る軟磁性薄膜の劣化を防止するように劣化防止膜、具体
的には例えば金属Ｃｒ膜が設けられていることを特徴と
している。
上記の課題を解決するために、基板上に成膜された軟磁
性薄膜によりヘッドコアを形成した磁気ヘッドにおいて
、上記基板と上記軟磁性薄膜との間に基板との反応によ
る軟磁性薄膜の劣化を防止するように劣化防止膜、具体
的には例えば金属Ｃｒ膜が設けられていることを特徴と
している。
【０００７】
【作用】上記の構成によれば、基板上に成膜された軟磁
性薄膜によりヘッドコアを形成した磁気ヘッドにおいて
、上記基板と上記軟磁性薄膜との間に基板との反応によ
る軟磁性薄膜の劣化を防止するように劣化防止膜を設け
たので、軟磁性薄膜の成膜時等において、基板との反応
による軟磁性薄膜の浸食等が起こりにくくなり、軟磁性
薄膜の磁気特性の劣化が防止される。これにより、性能
の高い磁気ヘッドが得られる。
性薄膜によりヘッドコアを形成した磁気ヘッドにおいて
、上記基板と上記軟磁性薄膜との間に基板との反応によ
る軟磁性薄膜の劣化を防止するように劣化防止膜を設け
たので、軟磁性薄膜の成膜時等において、基板との反応
による軟磁性薄膜の浸食等が起こりにくくなり、軟磁性
薄膜の磁気特性の劣化が防止される。これにより、性能
の高い磁気ヘッドが得られる。
【０００８】
【実施例】本発明の一実施例について図１ないし図８に
基づいて説明すれば、以下の通りである。
基づいて説明すれば、以下の通りである。
【０００９】本実施例の磁気ヘッドでは、図１の斜視図
に示すように、ヘッドチップ１０が用いられている。
に示すように、ヘッドチップ１０が用いられている。
【００１０】ヘッドチップ１０は、一対の基板１・１と
、基板１上にギャップ１３に対して斜めに成膜された劣
化防止膜１２と、劣化防止膜１２上に成膜された高飽和
磁束密度を有する軟磁性薄膜２とを有しており、前記一
対の基板１・１上の軟磁性薄膜２・２が、ギャップ１３
を有するヘッドコアを形成するように、ギャップ面８に
て対向して接合され、低融点ガラス３により補強された
構成になっている。そして、ギャップ１３と磁気テープ
等の磁気記録媒体とが滑らかに接するように、摺動面１
５は所定の面粗度になるように研磨仕上げが行われてい
る。
、基板１上にギャップ１３に対して斜めに成膜された劣
化防止膜１２と、劣化防止膜１２上に成膜された高飽和
磁束密度を有する軟磁性薄膜２とを有しており、前記一
対の基板１・１上の軟磁性薄膜２・２が、ギャップ１３
を有するヘッドコアを形成するように、ギャップ面８に
て対向して接合され、低融点ガラス３により補強された
構成になっている。そして、ギャップ１３と磁気テープ
等の磁気記録媒体とが滑らかに接するように、摺動面１
５は所定の面粗度になるように研磨仕上げが行われてい
る。
【００１１】また、ヘッドチップ１０には、上記軟磁性
薄膜２・２からなるヘッドコアにヘッドコイル（図示さ
れていない）を巻回するために、図のように、内部巻線
溝６・６からなる内部巻線穴１６と、外部巻線溝７・７
とが形成されている。
薄膜２・２からなるヘッドコアにヘッドコイル（図示さ
れていない）を巻回するために、図のように、内部巻線
溝６・６からなる内部巻線穴１６と、外部巻線溝７・７
とが形成されている。
【００１２】上記劣化防止膜１２には、主に高温下にお
ける基板１と軟磁性薄膜２との反応による軟磁性薄膜２
の浸食等を防止して、軟磁性薄膜２の磁気特性の劣化を
防止するように、例えば金属Ｃｒ膜が用いられるが、基
板１及び軟磁性薄膜２に対して不活性であり、高温下に
おいて安定な非磁性材料であればいかなるものでもかま
わない。
ける基板１と軟磁性薄膜２との反応による軟磁性薄膜２
の浸食等を防止して、軟磁性薄膜２の磁気特性の劣化を
防止するように、例えば金属Ｃｒ膜が用いられるが、基
板１及び軟磁性薄膜２に対して不活性であり、高温下に
おいて安定な非磁性材料であればいかなるものでもかま
わない。
【００１３】上記軟磁性薄膜２には、例えばＦｅ−Ａｌ
−Ｓｉ系合金等の高飽和磁束密度を有する軟磁性材料が
使用される。また、基板１には、感光性結晶化ガラス、
結晶化ガラス、あるいはセラミックス等の非磁性材料あ
るいは軟磁性フェライト等の酸化物磁性材料が使用され
る。
−Ｓｉ系合金等の高飽和磁束密度を有する軟磁性材料が
使用される。また、基板１には、感光性結晶化ガラス、
結晶化ガラス、あるいはセラミックス等の非磁性材料あ
るいは軟磁性フェライト等の酸化物磁性材料が使用され
る。
【００１４】上記の構成において、軟磁性薄膜２・２が
ギャップ１３に対して斜めに形成されているため、摺動
面１５上に磁気テープ等の磁気記録媒体を摺動させた際
、ギャップ１３が偏摩耗を受けにくくため、耐久性に優
れている。
ギャップ１３に対して斜めに形成されているため、摺動
面１５上に磁気テープ等の磁気記録媒体を摺動させた際
、ギャップ１３が偏摩耗を受けにくくため、耐久性に優
れている。
【００１５】また、軟磁性薄膜２を支持する基板１にフ
ェライト等の酸化物磁性材料を用いた場合でも、基板１
と軟磁性薄膜２との境界がギャップ１３と平行でないた
め、上記境界の両側で磁気特性が不連続になりにくく、
磁気ヘッドの性能への悪影響が少ない。
ェライト等の酸化物磁性材料を用いた場合でも、基板１
と軟磁性薄膜２との境界がギャップ１３と平行でないた
め、上記境界の両側で磁気特性が不連続になりにくく、
磁気ヘッドの性能への悪影響が少ない。
【００１６】しかも、本実施例では、基板１と軟磁性薄
膜２との間に基板１との反応による軟磁性薄膜２の劣化
を防止するように劣化防止膜１２を設けたので、軟磁性
薄膜２の成膜時や軟磁性薄膜２・２のギャップ面８での
接合時及び低融点ガラス３による補強時等において、主
に高温下での基板１と軟磁性薄膜２との反応による軟磁
性薄膜２の浸食等が起こりにくくなり、軟磁性薄膜２の
磁気特性の劣化が防止される。これにより、性能の高い
磁気ヘッドを得ることができる。
膜２との間に基板１との反応による軟磁性薄膜２の劣化
を防止するように劣化防止膜１２を設けたので、軟磁性
薄膜２の成膜時や軟磁性薄膜２・２のギャップ面８での
接合時及び低融点ガラス３による補強時等において、主
に高温下での基板１と軟磁性薄膜２との反応による軟磁
性薄膜２の浸食等が起こりにくくなり、軟磁性薄膜２の
磁気特性の劣化が防止される。これにより、性能の高い
磁気ヘッドを得ることができる。
【００１７】上記磁気ヘッドの一製造方法を、図２ない
し図８に基づいて説明すれば、以下のとおりである。
し図８に基づいて説明すれば、以下のとおりである。
【００１８】まず、図２に示すように、基板１の片面に
ほぼＶ字状の溝５を所定のピッチ寸法Ａにて連続して形
成する。
ほぼＶ字状の溝５を所定のピッチ寸法Ａにて連続して形
成する。
【００１９】そして、図３に示すように、上記Ｖ字状の
溝５の一方の壁面上に、スパッタ法等により、劣化防止
膜１２として、例えば金属Ｃｒ膜を５００ｎｍ程度の厚
さに形成する。
溝５の一方の壁面上に、スパッタ法等により、劣化防止
膜１２として、例えば金属Ｃｒ膜を５００ｎｍ程度の厚
さに形成する。
【００２０】続いて、図４に示すように、劣化防止膜１
２を形成した溝壁面上に、所定の膜厚（トラック幅に相
当する寸法）の軟磁性薄膜２、例えばＦｅ−Ａｌ−Ｓｉ
系合金を形成する。
２を形成した溝壁面上に、所定の膜厚（トラック幅に相
当する寸法）の軟磁性薄膜２、例えばＦｅ−Ａｌ−Ｓｉ
系合金を形成する。
【００２１】次に、図５に示すように、溝５に低融点ガ
ラス３を充填する。そして、充填した低融点ガラス３を
、図６に示すように、低融点ガラス３の表面と基板１の
頂点とが一致するように低融点ガラス３を平面状に研磨
して、ギャップ面８を形成する。
ラス３を充填する。そして、充填した低融点ガラス３を
、図６に示すように、低融点ガラス３の表面と基板１の
頂点とが一致するように低融点ガラス３を平面状に研磨
して、ギャップ面８を形成する。
【００２２】次いで、図７に示すように、基板１の両側
面に内部巻線溝６と外部巻線溝７とを形成し、さらに、
所定のギャップ１３（図１）長が得られるように、ギャ
ップ面８上にＳｉＯ２ 等の非磁性ギャップ材料からな
るギャップ充填層（図示されていない）を真空蒸着法あ
るいはスパッタ法等により形成して、コアブロック１１
を得る。
面に内部巻線溝６と外部巻線溝７とを形成し、さらに、
所定のギャップ１３（図１）長が得られるように、ギャ
ップ面８上にＳｉＯ２ 等の非磁性ギャップ材料からな
るギャップ充填層（図示されていない）を真空蒸着法あ
るいはスパッタ法等により形成して、コアブロック１１
を得る。
【００２３】この後、図８に示すように、上記の一対の
コアブロック１１・１１のギャップ面８・８を対向させ
て軟磁性薄膜２・２の位置を合わせ、加圧固定を行って
接合し、磁気ヘッドブロック９を形成する。
コアブロック１１・１１のギャップ面８・８を対向させ
て軟磁性薄膜２・２の位置を合わせ、加圧固定を行って
接合し、磁気ヘッドブロック９を形成する。
【００２４】次いで、上記の磁気ヘッドブロック９を同
図に示されている二点鎖線に沿って、所定のピッチ寸法
Ｂで切断して、図１のヘッドチップ１０を得る。
図に示されている二点鎖線に沿って、所定のピッチ寸法
Ｂで切断して、図１のヘッドチップ１０を得る。
【００２５】そして、このヘッドチップ１０をベース板
（図示されていない）に接着固定した後、内部巻線溝６
と外部巻線溝７とを利用して巻線を行ってヘッドコイル
を形成し、磁気テープ等の磁気記録媒体との摺動面１５
をテープ研磨することにより、本実施例の磁気ヘッドが
製造される。
（図示されていない）に接着固定した後、内部巻線溝６
と外部巻線溝７とを利用して巻線を行ってヘッドコイル
を形成し、磁気テープ等の磁気記録媒体との摺動面１５
をテープ研磨することにより、本実施例の磁気ヘッドが
製造される。
【００２６】以上の磁気ヘッドの製造時、基板１と軟磁
性薄膜２との間に基板１との反応による軟磁性薄膜２の
劣化を防止するように劣化防止膜１２を設けたので、主
に高温下での基板１と軟磁性薄膜２との反応による軟磁
性薄膜２の浸食等が起こりにくくなり、軟磁性薄膜２の
磁気特性の劣化が防止される。これにより、性能の高い
磁気ヘッドを得ることができ、磁気ヘッドの製造歩留り
が向上する。
性薄膜２との間に基板１との反応による軟磁性薄膜２の
劣化を防止するように劣化防止膜１２を設けたので、主
に高温下での基板１と軟磁性薄膜２との反応による軟磁
性薄膜２の浸食等が起こりにくくなり、軟磁性薄膜２の
磁気特性の劣化が防止される。これにより、性能の高い
磁気ヘッドを得ることができ、磁気ヘッドの製造歩留り
が向上する。
【００２７】
【発明の効果】本発明の磁気ヘッドは、基板と軟磁性薄
膜との間に基板との反応による軟磁性薄膜の劣化を防止
するように劣化防止膜が設けられているので、軟磁性薄
膜の成膜時等において、基板との反応による軟磁性薄膜
の浸食等が起こりにくくなり、軟磁性薄膜の磁気特性の
劣化が防止される。これにより、性能の高い磁気ヘッド
を得ることができるという効果を奏する。
膜との間に基板との反応による軟磁性薄膜の劣化を防止
するように劣化防止膜が設けられているので、軟磁性薄
膜の成膜時等において、基板との反応による軟磁性薄膜
の浸食等が起こりにくくなり、軟磁性薄膜の磁気特性の
劣化が防止される。これにより、性能の高い磁気ヘッド
を得ることができるという効果を奏する。
【図１】本発明の磁気ヘッドに用いられるヘッドチップ
の構成を示す斜視図である。
の構成を示す斜視図である。
【図２】図１の磁気ヘッドの製造工程を示すものであり
、Ｖ字状の溝が形成されている基板の斜視図である。
、Ｖ字状の溝が形成されている基板の斜視図である。
【図３】図２のＶ字状の溝の一方の壁面上に劣化防止膜
を形成する工程を示す平面図である。
を形成する工程を示す平面図である。
【図４】図３の劣化防止膜上に軟磁性薄膜を形成する工
程を示す平面図である。
程を示す平面図である。
【図５】図４の軟磁性薄膜上に低融点ガラスを充填する
工程を示す平面図である。
工程を示す平面図である。
【図６】図５の低融点ガラスを平面状に研磨して、ギャ
ップ面８を形成する工程を示す平面図である。
ップ面８を形成する工程を示す平面図である。
【図７】図６の基板の両側面に内部巻線溝と外部巻線溝
とを形成してコアブロックを作製する工程を示す斜視図
である。
とを形成してコアブロックを作製する工程を示す斜視図
である。
【図８】図７のコアブロックを一対合わせて磁気ヘッド
ブロックを形成する工程を示す斜視図である。
ブロックを形成する工程を示す斜視図である。
【図９】従来の磁気ヘッドに用いられるヘッドチップの
構成を示す斜視図である。
構成を示す斜視図である。
１ 基板
２ 軟磁性薄膜
３ 低融点ガラス
１０ ヘッドチップ
１２ 劣化防止膜
１３ ギャップ
Claims (1)
- 【請求項１】基板上に成膜された軟磁性薄膜によりヘッ
ドコアを形成した磁気ヘッドにおいて、上記基板と上記
軟磁性薄膜との間に基板との反応による軟磁性薄膜の劣
化を防止するように劣化防止膜が設けられていることを
特徴とする磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP232491A JPH04241205A (ja) | 1991-01-11 | 1991-01-11 | 磁気ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP232491A JPH04241205A (ja) | 1991-01-11 | 1991-01-11 | 磁気ヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04241205A true JPH04241205A (ja) | 1992-08-28 |
Family
ID=11526140
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP232491A Pending JPH04241205A (ja) | 1991-01-11 | 1991-01-11 | 磁気ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04241205A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5558944A (en) * | 1993-08-10 | 1996-09-24 | Tdk Corporation | Magnetic head and a process for production thereof |
-
1991
- 1991-01-11 JP JP232491A patent/JPH04241205A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5558944A (en) * | 1993-08-10 | 1996-09-24 | Tdk Corporation | Magnetic head and a process for production thereof |
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