JPH04239160A - 樹脂封止型電子部品の製造方法 - Google Patents
樹脂封止型電子部品の製造方法Info
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はダイオード、トランジス
タ、IC等の樹脂封止型電子部品の製造方法に関する。
タ、IC等の樹脂封止型電子部品の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】半導体
素子をこの支持板と共に樹脂封止体で封止した樹脂封止
型半導体装置は周知である。この種の半導体装置におい
て、樹脂封止体と支持板の界面を通じて半導体素子の載
置された領域に水分等の不純物(異物)が侵入すると、
半導体装置の特性が低下する。そこで、本願発明者は、
半導体素子の載置された領域を囲む溝を支持板に設ける
試みをした。これにより、不純物の侵入を溝によって抑
制することができ、半導体装置の特性低下をそれなりに
防止することができた。しかしながら、今日、半導体装
置の高機能化等のためにチップ(半導体素子)の大型化
が進んでいる。このため、チップを支持板に固着する半
田が溝に流れ込むことがあり、溝の不純物侵入防止効果
が低減することがあった。
素子をこの支持板と共に樹脂封止体で封止した樹脂封止
型半導体装置は周知である。この種の半導体装置におい
て、樹脂封止体と支持板の界面を通じて半導体素子の載
置された領域に水分等の不純物(異物)が侵入すると、
半導体装置の特性が低下する。そこで、本願発明者は、
半導体素子の載置された領域を囲む溝を支持板に設ける
試みをした。これにより、不純物の侵入を溝によって抑
制することができ、半導体装置の特性低下をそれなりに
防止することができた。しかしながら、今日、半導体装
置の高機能化等のためにチップ(半導体素子)の大型化
が進んでいる。このため、チップを支持板に固着する半
田が溝に流れ込むことがあり、溝の不純物侵入防止効果
が低減することがあった。
【0003】そこで、本発明はろう材の不要な流れを防
ぐことができる電子部品の製造方法を提供することを目
的とする。
ぐことができる電子部品の製造方法を提供することを目
的とする。
【0004】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明は、凹部と該凹部を実質的に包囲する溝とを有
し、前記凹部の底面に電子素子をスクラブしてろう接す
るためのスクラブ領域を有し、前記凹部の底面は前記ス
クラブ領域よりも大きい面積を有している導電性支持板
を用意する工程と、前記凹部の底面にろう材を供給し、
前記ろう材の上に前記電子素子を載置し、前記スクラブ
領域内において前記電子素子を前記ろう材を介してスク
ラブすることによって前記電子素子を前記スクラブ領域
内にろう付けする工程と、前記電子素子、前記凹部及び
前記溝を含むように前記支持板を被覆する樹脂封止体を
設ける工程とを有することを特徴とする樹脂封止型電子
部品の製造方法に係わるものである。
の本発明は、凹部と該凹部を実質的に包囲する溝とを有
し、前記凹部の底面に電子素子をスクラブしてろう接す
るためのスクラブ領域を有し、前記凹部の底面は前記ス
クラブ領域よりも大きい面積を有している導電性支持板
を用意する工程と、前記凹部の底面にろう材を供給し、
前記ろう材の上に前記電子素子を載置し、前記スクラブ
領域内において前記電子素子を前記ろう材を介してスク
ラブすることによって前記電子素子を前記スクラブ領域
内にろう付けする工程と、前記電子素子、前記凹部及び
前記溝を含むように前記支持板を被覆する樹脂封止体を
設ける工程とを有することを特徴とする樹脂封止型電子
部品の製造方法に係わるものである。
【0005】
【作用】本発明によれば、電子素子が支持板の凹部底面
に配設されたスクラブ領域内にろう付けされる。スクラ
ブ領域は凹部の底面積よりも小さく設定されており、電
子素子は凹部の壁面に当接しないスクラブ運動(スクラ
ブ運動)を伴ってこの領域にろう付けされる。したがっ
て、ろう材が凹部の外側に流れ出すことが有効に抑制さ
れる。このため、凹部の外側に形成された溝にろう材が
流れ込み難く、溝は異物侵入防止の効果を有効に発揮す
る。
に配設されたスクラブ領域内にろう付けされる。スクラ
ブ領域は凹部の底面積よりも小さく設定されており、電
子素子は凹部の壁面に当接しないスクラブ運動(スクラ
ブ運動)を伴ってこの領域にろう付けされる。したがっ
て、ろう材が凹部の外側に流れ出すことが有効に抑制さ
れる。このため、凹部の外側に形成された溝にろう材が
流れ込み難く、溝は異物侵入防止の効果を有効に発揮す
る。
【0006】
【実施例】次に、図1〜図4を参照して本発明の一実施
例に係わる樹脂封止型半導体装置の製造方法を説明する
。
例に係わる樹脂封止型半導体装置の製造方法を説明する
。
【0007】まず、図2に示すリードフレーム11を用
意する。このリードフレーム11は放熱板を兼ねる比較
的厚い金属製支持板12と、この支持板12の一方の端
部側に配置された比較的薄い板状外部リード13と、支
持板12の他方の端部側に配置された比較的薄い板状支
持リード14と、外部リード13及び支持リード14を
連結する比較的薄い細条15、16、17から構成され
ている。実際のリードフレームでは、細条15、16、
17の延びる方向(横方向)に複数の支持板12が並設
されて全体として梯子形状となっている。しかしながら
、図2では図面を簡略化して支持板12を1個のみ示す
。
意する。このリードフレーム11は放熱板を兼ねる比較
的厚い金属製支持板12と、この支持板12の一方の端
部側に配置された比較的薄い板状外部リード13と、支
持板12の他方の端部側に配置された比較的薄い板状支
持リード14と、外部リード13及び支持リード14を
連結する比較的薄い細条15、16、17から構成され
ている。実際のリードフレームでは、細条15、16、
17の延びる方向(横方向)に複数の支持板12が並設
されて全体として梯子形状となっている。しかしながら
、図2では図面を簡略化して支持板12を1個のみ示す
。
【0008】支持板12の一方の主面の中央側には図2
に示すように略正方形の平面形状を有する凹部18が形
成されている。凹部18の底面は、チップが載置される
チップ載置予定領域(スクラブ領域)19を凹部18の
壁面から離間した底面中央に有する。凹部18の底面積
はチップ載置予定領域19の面積よりも十分に大きい。 即ち凹部18の一辺はチップのスクラブされる距離より
も大きく設計されている。また、凹部18の深さはチッ
プ載置予定領域19に半田付けされるチップの厚みより
も小さい。
に示すように略正方形の平面形状を有する凹部18が形
成されている。凹部18の底面は、チップが載置される
チップ載置予定領域(スクラブ領域)19を凹部18の
壁面から離間した底面中央に有する。凹部18の底面積
はチップ載置予定領域19の面積よりも十分に大きい。 即ち凹部18の一辺はチップのスクラブされる距離より
も大きく設計されている。また、凹部18の深さはチッ
プ載置予定領域19に半田付けされるチップの厚みより
も小さい。
【0009】支持板12の一方の主面には凹部18を包
囲する2本の環状溝20a、20bが互いに離間して配
設されている。図1に示すように、環状溝20a、20
bはV字状の断面形状を有する。また、凹部18の底面
の外周端にもV字状の環状溝21が形成されている。凹
部18及び環状溝20a、20b、21はリードフレー
ム11を形成するための一連のプレス加工において形成
される。
囲する2本の環状溝20a、20bが互いに離間して配
設されている。図1に示すように、環状溝20a、20
bはV字状の断面形状を有する。また、凹部18の底面
の外周端にもV字状の環状溝21が形成されている。凹
部18及び環状溝20a、20b、21はリードフレー
ム11を形成するための一連のプレス加工において形成
される。
【0010】次に、支持板12にチップを半田付けする
ために、支持板12のチップ載置予定領域19にろう材
としての半田22を加熱溶融状態且つ膜状に広げる。続
いて、図1に示すチップ吸着保持体(以下、コレットと
称する)23を用意して、固着すべき電子素子としての
半導体チップ24をコレット23の空間に対応する壁面
23aに吸着させる。このとき、チップ24の底面はコ
レット23の下面よりも下側に突出する。続いて、図示
のようにチップ載置予定領域19のほぼ中央位置におい
て半田22の上にチップ24を押し付けた後、矢印25
に示す左右方向にチップ24をコレット23と共に直線
往復運動(スクラブ運動)させてチップ24を半田22
で固着する。チップ24のスクラブされる距離即ちコレ
ット23を凹部18の一方の壁面側に移動させたときの
チップ24の一方の側縁の位置Aとコレット23を凹部
18の他方の壁面側に移動させたときのチップ24の他
方の側縁の位置Bとの間隔L1 は、凹部18の一辺の
長さL2よりも小さくなっている。また、チップ24の
下方にある半田22の厚みとコレット23の底面から突
出したチップ24の突出量は、凹部18の深さよりも大
きくなっている。したがって、チップ24をスクラブし
た際に、コレット23及びチップ24が凹部18の壁面
に当接することが確実に防止されている。また、半田2
2の流れは凹部18の側壁で阻止され且つ溝21に収容
される。
ために、支持板12のチップ載置予定領域19にろう材
としての半田22を加熱溶融状態且つ膜状に広げる。続
いて、図1に示すチップ吸着保持体(以下、コレットと
称する)23を用意して、固着すべき電子素子としての
半導体チップ24をコレット23の空間に対応する壁面
23aに吸着させる。このとき、チップ24の底面はコ
レット23の下面よりも下側に突出する。続いて、図示
のようにチップ載置予定領域19のほぼ中央位置におい
て半田22の上にチップ24を押し付けた後、矢印25
に示す左右方向にチップ24をコレット23と共に直線
往復運動(スクラブ運動)させてチップ24を半田22
で固着する。チップ24のスクラブされる距離即ちコレ
ット23を凹部18の一方の壁面側に移動させたときの
チップ24の一方の側縁の位置Aとコレット23を凹部
18の他方の壁面側に移動させたときのチップ24の他
方の側縁の位置Bとの間隔L1 は、凹部18の一辺の
長さL2よりも小さくなっている。また、チップ24の
下方にある半田22の厚みとコレット23の底面から突
出したチップ24の突出量は、凹部18の深さよりも大
きくなっている。したがって、チップ24をスクラブし
た際に、コレット23及びチップ24が凹部18の壁面
に当接することが確実に防止されている。また、半田2
2の流れは凹部18の側壁で阻止され且つ溝21に収容
される。
【0011】図3のように、チップ24が半田22を介
して凹部18のチップ載置予定領域19に固着されたら
、周知のワイヤボンディング法によってチップ24と外
部リード13との間にリード細線26を図2に示すよう
に接続する。続いて、シリコン樹脂等から成る保護樹脂
27をチップ24の上面に滴下して、図3に示すように
チップ24とリード細線26のチップ24への接続部分
側を被覆する。保護樹脂27は凹部18を充填し、その
一部は凹部18よりも外側まで広がるが、溝20aが保
護樹脂27の流れ留めとして機能するから、保護樹脂2
7は溝20aよりも外側には広がらない。
して凹部18のチップ載置予定領域19に固着されたら
、周知のワイヤボンディング法によってチップ24と外
部リード13との間にリード細線26を図2に示すよう
に接続する。続いて、シリコン樹脂等から成る保護樹脂
27をチップ24の上面に滴下して、図3に示すように
チップ24とリード細線26のチップ24への接続部分
側を被覆する。保護樹脂27は凹部18を充填し、その
一部は凹部18よりも外側まで広がるが、溝20aが保
護樹脂27の流れ留めとして機能するから、保護樹脂2
7は溝20aよりも外側には広がらない。
【0012】次に、リードフレーム11とチップ24と
リード細線26から成る組立体を成形用型に配置して、
周知のトランスファモールドを行うことによって、樹脂
封止体28を樹脂成形する。樹脂封止体28は支持板1
2の全面と外部リード13及び支持リード14の一部を
被覆する。最後に、細条15、16、17と支持リード
14を除去することによって、図4に示す樹脂封止型半
導体装置を完成させる。なお、支持リード14の引抜き
破断によって、樹脂封止体28に孔28aが生じるが、
極めて小さいので、ほとんど問題にならない。この孔2
8aは必要に応じて樹脂で埋められる。
リード細線26から成る組立体を成形用型に配置して、
周知のトランスファモールドを行うことによって、樹脂
封止体28を樹脂成形する。樹脂封止体28は支持板1
2の全面と外部リード13及び支持リード14の一部を
被覆する。最後に、細条15、16、17と支持リード
14を除去することによって、図4に示す樹脂封止型半
導体装置を完成させる。なお、支持リード14の引抜き
破断によって、樹脂封止体28に孔28aが生じるが、
極めて小さいので、ほとんど問題にならない。この孔2
8aは必要に応じて樹脂で埋められる。
【0013】本実施例で製作された樹脂封止型半導体装
置によれば、チップ24が凹部18の底面に半田付けさ
れ且つスクラブの距離L1 が凹部18のスクラブ方向
に延びる一辺の長さL2 よりも小さく設定されている
。しかも、スクラブ中にチップ24を凹部18の壁面に
当接させないから、チップ24を支持板12に固着する
ための半田22の凹部18からの流れ出しが有効に防止
されている。また、溝21は半田22の一部を収容する
働きを有するので、チップ24の側面及びコレット23
の側面に対する半田22の付着を有効に防止する。
置によれば、チップ24が凹部18の底面に半田付けさ
れ且つスクラブの距離L1 が凹部18のスクラブ方向
に延びる一辺の長さL2 よりも小さく設定されている
。しかも、スクラブ中にチップ24を凹部18の壁面に
当接させないから、チップ24を支持板12に固着する
ための半田22の凹部18からの流れ出しが有効に防止
されている。また、溝21は半田22の一部を収容する
働きを有するので、チップ24の側面及びコレット23
の側面に対する半田22の付着を有効に防止する。
【0014】また、保護樹脂27の外側への流れ出しも
環状溝20aによって留められている。結果として、異
物侵入防止用の溝20bに半田22や保護樹脂27が入
り込むことが防止され、溝20bによる異物侵入防止効
果が強力に得られる。本実施例で製作された樹脂封止型
半導体装置によれば、長期間使用しても特性低下が許容
されるレベル以下に収まることが確認されている。
環状溝20aによって留められている。結果として、異
物侵入防止用の溝20bに半田22や保護樹脂27が入
り込むことが防止され、溝20bによる異物侵入防止効
果が強力に得られる。本実施例で製作された樹脂封止型
半導体装置によれば、長期間使用しても特性低下が許容
されるレベル以下に収まることが確認されている。
【0015】
【変形例】本発明は上述の実施例に限定されるものでな
く、例えば次の変形が可能なものである。 (1) 溝20aを省くことができる。また溝21を
省くこともできる。 (2) 溝20bを凹部18を完全に包囲するように
形成せずに、非連続部分を有するように形成することが
できる。 (3) スクラブの運動方向は実施例に限られない。 例えば、チップ24の中心点を軸として円運動させても
よい。この場合、凹部18の底面積は少なくともチップ
24の対角線を直径とする円の面積よりも大きくし、且
つスクラブ領域を凹部18の壁面から離間させた中央側
に配設する。
く、例えば次の変形が可能なものである。 (1) 溝20aを省くことができる。また溝21を
省くこともできる。 (2) 溝20bを凹部18を完全に包囲するように
形成せずに、非連続部分を有するように形成することが
できる。 (3) スクラブの運動方向は実施例に限られない。 例えば、チップ24の中心点を軸として円運動させても
よい。この場合、凹部18の底面積は少なくともチップ
24の対角線を直径とする円の面積よりも大きくし、且
つスクラブ領域を凹部18の壁面から離間させた中央側
に配設する。
【0016】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、ろう材
の不要な流れが防止され、支持板に形成された溝が電子
素子載置領域側への異物侵入を有効に阻止する。従って
長期間にわたって特性低下が生じない樹脂封止型電子部
品を提供することができる。
の不要な流れが防止され、支持板に形成された溝が電子
素子載置領域側への異物侵入を有効に阻止する。従って
長期間にわたって特性低下が生じない樹脂封止型電子部
品を提供することができる。
【図1】本発明の実施例におけるスクラブ状態を図2の
1−1線に相当する部分によって示す断面図である。
1−1線に相当する部分によって示す断面図である。
【図2】リードフレームを示す平面図である。
【図3】保護樹脂による被覆を示す断面図である。
【図4】完成した半導体装置を示す断面図である。
11 リードフレーム
12 支持板
13 外部リード
18 凹部
19 チップ載置予定領域
20a,20b,21 溝
Claims (1)
- 【請求項1】 凹部と該凹部を実質的に包囲する溝と
を有し、前記凹部の底面に電子素子をスクラブしてろう
接するためのスクラブ領域を有し、前記凹部の底面は前
記スクラブ領域よりも大きい面積を有している導電性支
持板を用意する工程と、前記凹部の底面にろう材を供給
し、前記ろう材の上に前記電子素子を載置し、前記スク
ラブ領域内において前記電子素子を前記ろう材を介して
スクラブすることによって前記電子素子を前記スクラブ
領域内にろう付けする工程と、前記電子素子、前記凹部
及び前記溝を含むように前記支持板を被覆する樹脂封止
体を設ける工程とを有することを特徴とする樹脂封止型
電子部品の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3013693A JP2861417B2 (ja) | 1991-01-11 | 1991-01-11 | 樹脂封止型電子部品の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3013693A JP2861417B2 (ja) | 1991-01-11 | 1991-01-11 | 樹脂封止型電子部品の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04239160A true JPH04239160A (ja) | 1992-08-27 |
JP2861417B2 JP2861417B2 (ja) | 1999-02-24 |
Family
ID=11840274
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3013693A Expired - Fee Related JP2861417B2 (ja) | 1991-01-11 | 1991-01-11 | 樹脂封止型電子部品の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2861417B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006156606A (ja) * | 2004-11-29 | 2006-06-15 | Nippon Inter Electronics Corp | 半導体装置の製造方法 |
JP2008053478A (ja) * | 2006-08-25 | 2008-03-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | リードフレームおよびパッケージ部品および半導体装置およびパッケージ部品の製造方法 |
-
1991
- 1991-01-11 JP JP3013693A patent/JP2861417B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006156606A (ja) * | 2004-11-29 | 2006-06-15 | Nippon Inter Electronics Corp | 半導体装置の製造方法 |
JP2008053478A (ja) * | 2006-08-25 | 2008-03-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | リードフレームおよびパッケージ部品および半導体装置およびパッケージ部品の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2861417B2 (ja) | 1999-02-24 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |