JPH04233125A - Getter-strip - Google Patents

Abstract

PURPOSE: To provide a getter strip structure with increased getter capacity by increasing the filling amount of getter powder per unit surface area. CONSTITUTION: A getter strip structure contains pressed getter powder in and on an open net structure carrier strip. The getter powder particles form a coagulated material having strength caused by the intertwinement of the getter particles and the support of the coagulated material by net structure. The getter strip structure is manufactured by continuously rolling the getter powder in and on the net structure carrier strip by gravity powder supply and with a cylindrical rolling machine.

Description

【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention]

【０００１】0001

【発明の分野】本発明は、ストリップ状のゲッタの構造
およびその製造技術に関する。ゲッタ・ストリップは、
たとえば高輝度ランプなどの各種の真空管または不活性
ガス充填装置から、残留ガスを除去するために広く使用
されている。このゲッタは、たとえば　Ｈ２　、　Ｏ２
　、　Ｈ２　Ｏ　、ＣＯ、ＣＯ２　等の活性気体分子の
強力な化学吸着により作用し、その結果、ゲッタされる
雰囲気から、それらを除去するものである。FIELD OF THE INVENTION The present invention relates to the structure of a strip-shaped getter and its manufacturing technology. Getta strip is
It is widely used to remove residual gas from various vacuum tubes or inert gas filling devices, such as high-intensity lamps. This getter is, for example, H2, O2
, H2O, CO, CO2, etc., and thus remove them from the atmosphere where they are gettered.

【０００２】最も実用的なストリップ・ゲッタは、良好
なゲッタ速度および容量のために、相応な高表面積をも
たらすような方法において、不活性担体ストリップの表
面に、活性金属粉末を付着させることから成り立ってい
る。活性粉末は、Ｚｒ、Ｔｉ、Ｃｒ、Ｂａ、Ｃａ、希土
元素、Ｕ　またはＴｈの合金から構成されるのが典型的
であり、なかでもＺｒとの合金が支配的である。Most practical strip getters consist of depositing active metal powders on the surface of an inert carrier strip in such a way as to provide a correspondingly high surface area for good getter speed and capacity. ing. The active powder is typically composed of an alloy of Zr, Ti, Cr, Ba, Ca, rare earth elements, U or Th, with alloys with Zr being predominant.

【０００３】今日用いられている大部分の商業的ゲッタ
・ストリップの製造に利用される方法は、米国特許第３
，６２０，６４５号、第３，６５２，３１７号、第３，
８５６，７０９号および第３，９５７，３０４号中に記
載されている。これらの特許は、機械的プレス技法を説
明しており、それによれば、硬質ゲッタ粒子と軟質基質
との間の硬度を有する中間体を使用することにより、比
較的硬いゲッタ粒子は、より軟らかい基質担体にプレス
されるものである。連続的両面ゲッタ・ストリップの製
造に際して、このプレス作業は、一対の可動ロールを用
いて行われ、これらのロールは、一対の中間体ストリッ
プに対し力を加え、これが順次、ゲッタ粉末からなる２
つの層を単一の基質ストリップの表面にプレスすること
になる。圧延の後、中間体ストリップは、除去かつ廃棄
されて、その両面に埋め込まれた硬質ゲッタ粒子を伴う
基質ストリップが残される。The method utilized to manufacture most commercial getter strips in use today is described in US Pat.
, No. 620,645, No. 3,652,317, No. 3,
No. 856,709 and No. 3,957,304. These patents describe a mechanical pressing technique according to which, by using an intermediate having a hardness between hard getter particles and a soft substrate, relatively hard getter particles are pressed into a softer substrate. It is pressed onto a carrier. In the production of continuous double-sided getter strips, this pressing operation is carried out using a pair of moving rolls that exert a force on a pair of intermediate strips, which in turn press two layers of getter powder together.
Two layers will be pressed onto the surface of a single substrate strip. After rolling, the intermediate strip is removed and discarded, leaving a substrate strip with hard getter particles embedded on both sides thereof.

【０００４】上記の商業的に確立された製造方法により
得られたゲッタ・ストリップ製品は、ある種の望ましく
ない特徴を有している。何よりもまず、得られたストリ
ップ製品は、それぞれの表面上に活性ゲッタからなる薄
い層を有するだけであり、典型的なものは、わずかに二
、三個の粒径厚さを有するに過ぎない。それは、数多く
の粒子を、基質に対し直接に物理的に常温結合させると
いう必要性の故である。このゲッタ層は、殆ど二次元の
性質を示す。長さまたは単位表面積当たりのゲッタ装入
単位を増加させて、より一層三次元的なゲッタ構造を製
造することによって、ゲッタ容量を最大とすることが有
利である。第二に、前述の製造方法は、加工のために、
相対的な基質−ゲッタ−中間体硬度の重要な連鎖に依存
している。これらの連鎖は、材料と、使用可能な添加物
であって、時には一層大きな比表面積を達成してゲッタ
容量を増加させるために、軟質および硬質ゲッタ粉末の
ブレンドを必要とするものとの組合せを制限するもので
ある。第三に、ゲッタ粉末バンド、すなわち基質ストリ
ップおよび中間体ストリップの相対的な配置は、複合供
給材料がロールを通過する前、もしくは製造物が均一に
ならない前に、精確な制御によって行わねばならない。 第四に、上述の方法において使用される中間体ストリッ
プは、明らかに一度しか利用されず、不経済に廃棄され
ている。Getter strip products obtained by the commercially established manufacturing methods described above have certain undesirable characteristics. First and foremost, the resulting strip product has only a thin layer of active getter on each surface, typically only a few grain sizes thick. . This is due to the need for direct physical cold bonding of large numbers of particles to the substrate. This getter layer exhibits an almost two-dimensional nature. It is advantageous to maximize getter capacity by increasing the getter loading per unit length or surface area to produce a more three-dimensional getter structure. Second, the aforementioned manufacturing method requires, for processing,
It relies on a critical chain of relative substrate-getter-intermediate hardness. These chains combine materials with available additives, sometimes requiring a blend of soft and hard getter powders to achieve a higher specific surface area and increase getter capacity. It is a restriction. Third, the relative positioning of the getter powder band, ie, the substrate strip and the intermediate strip, must be done with precise control before the composite feed passes through the rolls or the product is not homogeneous. Fourthly, the intermediate strip used in the above-described method is apparently used only once and is uneconomically disposed of.

【０００５】[0005]

【発明の目的】本発明は、数多くの前述の欠点を、排除
するものである。改良されたゲッタ・ストリップが提供
されるが、これはゲッタ粉末を、開放網状組織を備えた
予め形成されたストリップの開口部内にプレスすること
によって、製造されるものであり、前記の網状組織は、
それ自体および網状組織ストリップにより支持された、
プレスされたゲッタ粉末の三次元的凝結をもたらす。OBJECTS OF THE INVENTION The present invention obviates many of the aforementioned drawbacks. An improved getter strip is provided, which is manufactured by pressing getter powder into the openings of a preformed strip with an open network, said network comprising: ,
itself and supported by a mesh strip,
This results in three-dimensional agglomeration of the pressed getter powder.

【０００６】従って、本発明の目的は、ゲッタ粉末を、
単体構造の基質の表面に常温プレスすることによって達
成可能であるよりも、より高いゲッタの装入量を達成す
るゲッタ・ストリップを提供することである。[0006] Therefore, the object of the present invention is to prepare getter powder by
It is an object of the present invention to provide a getter strip that achieves a higher getter loading than is achievable by cold pressing onto the surface of a monolithic substrate.

【０００７】本発明の他の目的は、軟質基質単体とゲッ
タ粒子との結合および絡み合いによって得られるよりも
、むしろゲッタ粒子同士のそれらにより得られる、プレ
スしたゲッタ粉末のより大きな密着性を有するゲッタ・
ストリップを提供することである。Another object of the present invention is to provide a getter with greater adhesion of the pressed getter powder resulting from the bonding and entanglement of the getter particles with the soft substrate alone, rather than from the bonding and entanglement of the getter particles with each other.・
It is to provide strips.

【０００８】本発明の更に他の目的は、ゲッタ粉末の重
力供給およびステップ・ロールを用い、予め形成した網
状組織ストリップ内およびその上に、前記ゲッタ粉末を
直接かつ垂直圧延することによって、ゲッタ・ストリッ
プを製造する便利な方法を提供することである。Yet another object of the present invention is to obtain a getter powder by directly and vertically rolling said getter powder into and onto a preformed network strip using gravity feeding of the getter powder and step rolls. It is an object of the present invention to provide a convenient method of manufacturing strips.

【０００９】本発明の前述およびその他の特徴ならびに
効果を、より完全に理解するために、以下の詳細な説明
および添付図面、また実施例に言及する。For a more complete understanding of these and other features and advantages of the present invention, reference is made to the following detailed description and accompanying drawings, as well as the examples.

【００１０】添付図面において、同一の参照数字は、数
種類の図の全部に亘って相当する部分および／またはシ
ステムを表すものとする。In the accompanying drawings, the same reference numerals refer to corresponding parts and/or systems throughout the several figures.

【００１１】[0011]

【発明の全般的な説明】本発明の新規な特徴は、活性ゲ
ッタの実質的に三次元的な分布を備えたストリップにあ
る。このストリップは、ゲッタ粉末を予め形成した網状
組織ストリップ中およびその上に、圧延またはプレスす
ることによって得られる。その得られた構造は、第１図
の横断面中に示されている。主要な要件は、網状組織ス
トリップ１が、多数の孔または開口２を備えていること
である。ゲッタ・ストリップの製造中に、ゲッタ粉末３
ａ　、３ｂ　および３ｃは、網状組織ストリップの孔（
３ｂ）の外側および中央部の外側（３ｃ）で、網状組織
ストリップの孔（３ａ）内に強制的にプレスされる。得
られた構造は、多孔質ゲッタ粉末３の凝結物であって、
これは担体網状組織１によるだけではなく、またゲッタ
粉末自体の機械的絡み合いとの両者によって、実質的に
保持されている。この種のゲッタ・ストリップの配置は
、従来のストリップ・ゲッタであって、ゲッタ層を単体
構造（孔が設けられていない）基質の表面にプレスする
ことによって調製されたものよりも、高いゲッタ装入量
を達成するものである。更に、網状組織ゲッタ・ストリ
ップの孔を介してのゲッタ粒子の絡み合いは、従来の表
面に付着させたストリップとの対比において、屈曲、振
動、取り扱い等の間におけるゲッタ粒子の破砕に対し、
かなり大きな抵抗性を有する構造をもたらす。実際に、
ゲッタ凝結物は、網状組織担体に対し、機械的に固定ま
たは付着せしめられている。General Description of the Invention A novel feature of the present invention is a strip with a substantially three-dimensional distribution of active getters. This strip is obtained by rolling or pressing getter powder into and onto a preformed network strip. The resulting structure is shown in cross section in FIG. The main requirement is that the mesh strip 1 be provided with a large number of holes or openings 2. During the production of getter strips, getter powder 3
a, 3b and 3c are the pores of the reticular strip (
3b) and the outside of the central part (3c) are forced into the holes (3a) of the mesh strip. The resulting structure is an agglomerate of porous getter powder 3,
This is substantially retained both by the carrier network 1 and also by the mechanical entanglement of the getter powder itself. This type of getter strip arrangement has a higher getter loading than traditional strip getters prepared by pressing a getter layer onto the surface of a monolithic (non-perforated) substrate. This is to achieve the required amount. Additionally, the entanglement of getter particles through the pores of the network getter strips, in contrast to conventional surface-attached strips, is highly susceptible to getter particle fragmentation during bending, vibration, handling, etc.
This results in a structure with significantly greater resistance. actually,
The getter condensate is mechanically fixed or attached to the network carrier.

【００１２】最も実用的な目的に関し、ここにおいて開
示される構造におけるゲッタ・ストリップの製造は、粉
末を網状組織ストリップ中およびその上に、特に本明細
書中で以下に論述すべき圧延手順あるいは漸進ダイス（
ｐｒｏｇｒｅｓｓｉｖｅ　ｄｉｅｓ）　の使用によって
、常温プレスすることにより実用的に達成することが出
来る。この種の凝結物は、殆どの実用的な目的に関し良
好な強度を有しているが、ゲッタ凝結物の強度は、大部
分機械的な粒子の絡み合いに由来し、従って常温プレス
した構造体が、破砕および微粒化に対して完全に抵抗性
を有するものと考えるべきではないことが、特に言及さ
れるべきである。 一層大きな強度および耐微粒化性の付与を望むのならば
、当業者により察知されるであろうように、常温プレス
したストリップを高温で焼結することによって、粒子間
に真正の冶金的結合を促進させることも可能である。 ゲッタ凝結物に対する損傷を最小とするために、この種
の焼結は、真空または不活性ガス雰囲気下で行うべきで
ある。焼結時間および温度は、焼結すべきゲッタ粉末の
組成および粒度に依存する。典型的に、１時間までの時
間および８００−１３００℃の範囲内の温度が、ゲッタ
粉末の焼結にとって充分である。For most practical purposes, the manufacture of getter strips in the structure disclosed herein involves applying the powder into and onto the network strip, particularly through the rolling or gradual rolling procedure discussed herein below. dice(
This can be practically achieved by using progressive dies and pressing at room temperature. Although this type of aggregate has good strength for most practical purposes, the strength of getter aggregates derives mostly from mechanical particle entanglement and therefore cold-pressed structures It should be specifically mentioned that , should not be considered completely resistant to crushing and atomization. If greater strength and atomization resistance are desired, as will be appreciated by those skilled in the art, sintering the cold pressed strip at high temperatures creates a true metallurgical bond between the grains. It is also possible to promote this. To minimize damage to the getter condensate, this type of sintering should be performed under vacuum or an inert gas atmosphere. Sintering time and temperature depend on the composition and particle size of the getter powder to be sintered. Typically, times of up to 1 hour and temperatures in the range of 800-1300°C are sufficient for sintering the getter powder.

【００１３】予め形成した開放網状組織担体ストリップ
１は、多くの形態、たとえば多孔金属ストリップ、膨張
金属ストリップまたは金網スクリーンであって、長いス
トリップ状に細長く切断したものから構成することが出
来る。この種の網状組織ストリップは、ゲッタすべき雰
囲気に対し免疫性を有し、またその中およびその上にプ
レスすべきゲッタ合金と固有に、あるいは採用される如
何なる引き続く焼結処置の間においても、冶金学的に適
合可能である、あらゆる都合のよい金属から構成するこ
とができる。たとえば、この網状組織担体ストリップは
、ステンレス鋼、銅、鉄、鍍金した鉄等から形成可能で
ある。この網状組織ストリップ自体は、相応に可鍛性で
あって、ゲッタ粉末の圧延の間、それをわずかに延長さ
せ、また最終の複合ゲッタ・ストリップ状において、そ
れを可撓性にせしめるべきである。開放網状構造を形成
するための、網状組織ストリップ内に配置された孔また
は開口は、打ち抜き、エッチング、穿孔、切込みまたは
製織によって形成することができる。孔の形状は、円形
、楕円形、正方形、長方形、六角形、またはあらゆる他
の都合のよい形状であってよいが、好ましい実施態様は
、円形である。孔の好ましい分布は、六角形に調整した
配列であるが、直接的およびその他の配列も使用可能で
ある。一般に、孔が小さくなり、そして数が多くなれば
なる程、最終複合凝結体におけるゲッタの付着性は良好
となるが、孔の形成コストも、それにつれて高くなる。 好ましいのは、孔がその直径において、約０．３５乃至
約１．０ｍｍの寸法範囲に及んでいることである。孔に
よって占められる面積は、好ましくは、ゲッタ物質によ
って覆われるべき面積の約１５乃至６０％の範囲に及ん
でいる。許容孔充填密度は、孔の寸法が増大するにつれ
て減少する。好ましくは、孔充填密度は、孔の寸法０．
３５ｍｍについては、１ｃｍ２　あたり１５０乃至６２
５の範囲、そして孔の寸法１．０ｍｍについては、１ｃ
ｍ２　あたり２０乃至８０の範囲に及んでいる。好まし
い担体ストリップの厚さは、約０．０５乃至約０．２５
ｍｍの範囲に及ぶ。高い電気抵抗を有する網状組織スト
リップ（たとえば、ステンレス鋼）は、直接の電気抵抗
加熱によってゲッタを活性化させることができる。The preformed open network carrier strip 1 can be constructed in many forms, such as a perforated metal strip, an expanded metal strip or a wire mesh screen, cut into long strips. This type of network strip is immune to the atmosphere to be gettered and to the getter alloy to be pressed into and onto it, either inherently or during any subsequent sintering procedure employed. It can be constructed from any convenient metallurgically compatible metal. For example, the network carrier strip can be formed from stainless steel, copper, iron, plated iron, and the like. This network strip itself should be suitably malleable, allowing it to be slightly elongated during rolling of the getter powder and making it flexible in the final composite getter strip form. . The holes or openings disposed within the network strip to form the open network can be formed by punching, etching, perforating, cutting or weaving. The shape of the holes may be circular, oval, square, rectangular, hexagonal, or any other convenient shape, but the preferred embodiment is circular. The preferred distribution of pores is a hexagonally arranged arrangement, although direct and other arrangements can also be used. Generally, the smaller and more numerous the pores, the better the getter adhesion in the final composite aggregate, but the higher the cost of forming the pores. Preferably, the holes range in diameter from about 0.35 to about 1.0 mm. The area occupied by the pores preferably ranges from about 15 to 60% of the area to be covered by the getter material. The allowable pore packing density decreases as the pore size increases. Preferably, the pore packing density is 0.0.
For 35mm, 150 to 62 per cm2
5 range and for a hole size of 1.0 mm, 1c
It ranges from 20 to 80 per m2. Preferred carrier strip thicknesses are from about 0.05 to about 0.25
ranges from mm to mm. Reticulated strips with high electrical resistance (eg, stainless steel) can activate getters by direct electrical resistance heating.

【００１４】上記で説明した予め形成された網状組織ス
トリップの実施態様は、単一の穿孔ストリップまたは単
一のストリップに切込みをつけたスクリーンによって代
表されるように、単一の網状組織層を構成する。当業者
において容易に認識し得るように、網状組織ストリップ
は、ゲッタ粉末の付着に先立って、積み重ねることが可
能であり、そして（多層ベースを形成するために）より
厚いゲッタ複合体ストリップを形成するに際して、圧縮
を利用することが出来る。この種の変形は、発明の範囲
内であると考えられるべきである。The preformed mesh strip embodiments described above constitute a single mesh layer, as exemplified by a single perforated strip or a screen cut into a single strip. do. As will be readily appreciated by those skilled in the art, the network strips can be stacked prior to deposition of getter powder and form thicker getter composite strips (to form a multilayer base). In this case, compression can be used. Variations of this type should be considered within the scope of the invention.

【００１５】網状組織ストリップの最も好ましい実施態
様は、六角形配列において分布された、多数の孔をもっ
て穿孔されたシートメタルである。本明細書において以
下で開示される粉末圧延技法と組合わされたこの配列は
、得られたゲッタ・ストリップにおける有用な変更をも
たらすものである。数多くの可能性の他に、網状組織ゲ
ッタ・ストリップ製造物についての二つの実施態様の例
が、図２および図３の平面図中に示されている。これら
両実施態様に関して、通常は存在する若干のゲッタ層３
は、その中に含まれている若干の六角形に調製された穿
孔を示すために、網状組織ストリップ１から除去されて
示されている。図２には、全ての孔が充填され、かつゲ
ッタによって覆われることが意図され、そして両側に幅
の狭いゲッタを含まないマージン４が、ユーザーによっ
てそのストリップをゲッタすべき容積以内の構造体に、
融着、装着またはその他の方法で取付けるために残され
ているものが示されている。図３には、ストリップであ
って、２本の外側の孔の列が、ゲッタで充填されていな
いものが示されており、これは自動製造操業において使
用される機械に、そしてこれを介して連続的なゲッタ・
ストリップの確実な供給を行わせるために、スプロケッ
トとして機能するようにしたものである。The most preferred embodiment of the mesh strip is sheet metal perforated with a large number of holes distributed in a hexagonal array. This arrangement, combined with the powder rolling technique disclosed herein below, results in useful changes in the resulting getter strip. Besides the numerous possibilities, two examples of embodiments for the mesh getter strip manufacture are shown in the plan views of FIGS. 2 and 3. For both of these embodiments, some getter layer 3 is typically present.
is shown removed from the mesh strip 1 to show the number of hexagonally arranged perforations contained therein. In Figure 2, all holes are intended to be filled and covered by getter, and a narrow getter-free margin 4 on both sides is provided by the user to the structure within the volume to which the strip is to be gettered. ,
What remains to be fused, fitted or otherwise attached is shown. FIG. 3 shows a strip in which the two outer rows of holes are not filled with getter, and which can be passed to and through a machine used in an automated manufacturing operation. Continuous getter
It is designed to function as a sprocket to ensure the reliable supply of strips.

【００１６】上記した網状組織ゲッタ・ストリップの好
ましい製造方法は、ゲッタ粉末を開放網状網目構造担体
ストリップ内およびその上に、直接圧延することによっ
て行われる。本発明者は、この製造方法を、図４に示す
装置および方法を利用することによって、成功裡に変形
して実施した。網状組織ストリップ１は、スリット５を
介して二室に区画された粉末用ホッパ６であって、ゲッ
タ粉末３を収容するものに供給される。このホッパの両
室は、注意深く寸法を定めたスロット７を備えており、
これはゲッタ粉末３を重力によって、一定の速度および
充分に定められた幅を有する流れをもって、下方に流下
させるものである。ホッパは、一対のロール８の垂直上
方に装架されている。このロールは、ゲッタ粉末３が、
スロット７から担体ストリップ１とロール表面８、８ａ
　との間に流れる際、それが連続的に圧縮されるために
、図示された方向において回転する。スロット７の寸法
、ロール速度およびロール間隔は、開放網状網目構造担
体ストリップ内で、ゲッタ粉末の連続した圧縮が行われ
るように、また単位長さまたは単位面積あたりの質量の
点から、一定のゲッタ装入が行われるように調整されて
いる。その結果は、自動化された連続的かつ経済的粉末
圧延方法であり、この方法は、図１乃至図３中に示され
た構造を有する凝結ゲッタ・ストリップを製造し、そし
て本発明の重要な特徴を構成するものである。A preferred method of manufacturing the network getter strip described above is carried out by rolling the getter powder directly into and onto the open network carrier strip. The inventors successfully modified and implemented this manufacturing method by utilizing the apparatus and method shown in FIG. The network strip 1 is fed via a slit 5 to a powder hopper 6 which is divided into two chambers and which accommodates the getter powder 3 . Both chambers of this hopper are provided with carefully dimensioned slots 7,
This causes the getter powder 3 to flow downward by gravity with a flow having a constant velocity and a well-defined width. The hopper is mounted vertically above the pair of rolls 8. In this roll, getter powder 3 is
From slot 7 to carrier strip 1 and roll surface 8, 8a
As it flows between it, it rotates in the direction shown because it is continuously compressed. The dimensions of the slot 7, the roll speed and the roll spacing are such that there is a continuous compression of the getter powder within the open network carrier strip and a constant getter powder in terms of mass per unit length or unit area. Arrangements are made for charging to take place. The result is an automated, continuous and economical powder rolling method that produces a set getter strip having the structure shown in FIGS. It constitutes.

【００１７】ゲッタ粉末の圧縮のために使用されるロー
ル８、８ａ　は、金属シートまたはストリップの圧延に
際して広く利用される、従来の常温ロールであればよい
。 摩耗を最小とするために、ロール表面は、圧縮されるべ
きゲッタ粉末よりも、かなり硬くすべきである。表面硬
化処理した鋼ロール、または硬化肉盛合金、窒化チタン
、窒化ホウ素等で被覆されたロールは全て、有利に使用
することができる。図５の部分横断面図において示され
るようなステップ・ロールを使用することによって、圧
縮されたバンドの幅を制御することは、非常に有用であ
る。好ましい実施態様は、ロール８、８ａ　を使用して
おり、これらは小さなステップまたはランド（ｌａｎｄ
ｓ）１０を備えており、それらは網状網目構造ストリッ
プ１上に堆積すべきゲッタ・バンド３と、幅において等
しいものである。作用を説明すると、２本の対向する圧
縮用ロールのランド間を落下するゲッタ粉末のみが、網
状組織ストリップ内およびその上に圧縮されることにな
り、その結果、厳密に均一なゲッタの付着層がもたらさ
れる。 ランドの外に落下する粉末は圧縮されず、そして供給ホ
ッパ内に再循環させるために、ロールの下方で収集され
る。The rolls 8, 8a used for compacting the getter powder may be conventional cold rolls widely used in rolling metal sheets or strips. To minimize wear, the roll surface should be significantly harder than the getter powder to be compacted. Surface-hardened steel rolls or rolls coated with hardfacing alloys, titanium nitride, boron nitride, etc. can all be used advantageously. It is very useful to control the width of the compressed band by using step rolls as shown in the partial cross-sectional view of FIG. The preferred embodiment uses rolls 8, 8a, which have small steps or lands.
s) 10, which are equal in width to the getter band 3 to be deposited on the reticular network strip 1. In operation, only the getter powder falling between the lands of the two opposing compaction rolls will be compacted into and onto the network strip, resulting in a strictly uniform getter deposition layer. is brought about. Powder that falls outside the land is not compacted and is collected below the rolls for recirculation into the feed hopper.

【００１８】本発明は、粉末状で調製し得る、本質的に
全てのゲッタ原料から、凝結ゲッタ・ストリップを生産
するために、扱い易いものである。これらの原料は、そ
れに限定されるものではないが、他の多くの可能性のな
かでも次の元素、たとえばＺｒ、Ｔｉ、Ｃｒ、Ｂａ、Ｔ
ｈ、Ｖ　、Ｎｂ、Ｔａ、Ｃａおよび希土類元素を包含し
ている。元素ゲッタの他に、その中に混合された元素粉
末を伴い、または伴わないゲッタ粉末または合金、金属
間化合物、および２種類のものの混合物を包含すること
も明らかに本発明の意図された範囲内にある。ゲッタ合
金の例には、それらに限定されるものではないが、あり
ふれていて、かつよく使用される米国出願第１２６、７
５０号中に開示されたゲッタＺｒ−ＡｌまたはＺｒ−Ｖ
　−Ｆｅ−Ｎｉ−Ｍｎ−Ａｌ合金がある。ゲッタ金属間
化合物の例であって、それらに限定されないものには、
米国特許第４，６６８，４２４号中に開示されたＢａＡ
ｌ４　、ＺｒＭｎａ　および希土元素ドープＺｒＮｉお
よびＺｒ２Ｎｉがある。他の可能性のなかでも、合金と
元素粉末との混合物の例には、米国特許第３，９２６，
８３２号中に開示されたＴｉと混合されたＺｒ−Ａｌ合
金がある。他の可能性のなかでも、金属間化合物の元素
粉末との混合物の例には、Ｎｉと混合されたＢａＡｌ４
　、電子真空管工業において広く使用される蒸発可能な
ゲッタ複合体がある。The present invention is easy to handle for producing condensed getter strips from essentially any getter raw material that can be prepared in powder form. These raw materials include, but are not limited to, the following elements, such as Zr, Ti, Cr, Ba, T, among many other possibilities.
h, V, Nb, Ta, Ca and rare earth elements. In addition to elemental getters, it is also clearly within the intended scope of the invention to include getter powders or alloys, with or without elemental powders mixed therein, intermetallic compounds, and mixtures of the two. It is in. Examples of getter alloys include, but are not limited to, the common and commonly used U.S. Application No. 126,7
Getter Zr-Al or Zr-V disclosed in No. 50
-Fe-Ni-Mn-Al alloy. Examples of getter intermetallic compounds include, but are not limited to:
BaA disclosed in U.S. Patent No. 4,668,424
l4, ZrMna and rare earth element doped ZrNi and Zr2Ni. Examples of mixtures of alloys and elemental powders include, among other possibilities, U.S. Pat.
There is a Zr-Al alloy mixed with Ti disclosed in No. 832. Among other possibilities, examples of mixtures of intermetallic compounds with elemental powders include BaAl4 mixed with Ni.
There are vaporizable getter complexes widely used in the electronic vacuum tube industry.

【００１９】本発明に固有の網状網目構造ストリップの
概念を採用することによって、本発明者は、幾何学的ゲ
ッタ表面積について、比ゲッタ装入量（ｓｐｅｃｉｆｉ
ｃ　ｇｅｔｔｅｒ　ｌｏａｄｉｎｇｓ）４０乃至７０ｍ
ｇ／ｃｍ２　を有する凝結網状組織ストリップを生産し
た。当業者には、このようなゲッタ装入量が、商業的に
入手可能で、かつ単体構造（非網状組織）担体ストリッ
プ上の圧延によって製造され、また米国特許第３，６２
０，６４５号、第３，６５２，３１７号、第３，８５６
，７０９号および第３，９７５，３０４号中に記載され
たゲッタ・ストリップのそれより、非常に高いものであ
ることが確認されよう。By adopting the reticular network strip concept inherent in the present invention, the inventors have determined the specific getter loading (speci?
c getter loadings) 40 to 70m
A condensed network strip with g/cm2 was produced. Those skilled in the art will know that such getter charges are commercially available and produced by rolling on monolithic (non-reticulated) carrier strips and as described in U.S. Pat. No. 3,62
No. 0,645, No. 3,652,317, No. 3,856
, 709 and 3,975,304.

【００２０】上記に正確に記述した好ましい実施態様と
共に上記の本発明の全般的な説明は、ここでは以下の実
施例中で変形された態様において示されるものとする。The general description of the invention set forth above together with the preferred embodiments precisely described above shall now be presented in a modified form in the following examples.

【００２１】[0021]

【実施例Ｉ】幅８ｍｍ×厚さ０．１ｍｍ×長さ２３ｍの
ステンレス鋼から成る単一片のストリップを、ダイスに
より該片の全長に亘り、５．５ｍｍ幅のバンドに沿って
多数の孔を打抜き、小孔を設けることにより、開放網状
網目構造ストリップを得た。孔は、直径０．７５ｍｍを
有し、そして六角形の配列において、密度約孔６６個／
ｃｍ２　に打抜かれた。この配置は、被覆されたバンド
の面積について、孔の面積２９．１％に相当する。この
ストリップは、注意深くクリーニングして、ゲッタ粉末
と共に、図４に示したような粉末圧延装置を介して供給
された。使用したゲッタ粉末は、Ａｌ１６重量％で、残
りがＺｒから成る合金を粉砕し、そしてそれをふり分け
して粒度範囲２３０乃至１４０メッシュ（６３乃至１０
６マイクロメートル）とすることにより調製した。ホッ
パからロールへの粉末の流れは、２個のホッパ側のそれ
ぞれについて、０．３３ｇ／秒のオーダーであった。ロ
ール表面は、幅５．５ｍｍの小さなランドを備えていて
、堆積されるゲッタ・バンドの幅を精確に制御した。圧
縮（ランド）表面におけるロールの接線速度は、５．７
ｃｍ／秒であった。 全長２３ｍの片は、単一のロール通路でゲッタ粉末と共
に成功裡にロールプレスされて、図１、図２および図５
中に示されたのと同様な複合ゲッタ・ストリップを得た
が、これは最終ストリップ長さについて約４２ｍｇ／ｃ
ｍのゲッタ装入量を有していた。ゲッタの付着において
完成ストリップの厚さは、約０．３ｍｍであった。得ら
れた製造物は、弾性および限定された塑性屈曲を生ずる
際に、ゲッタ層のフレーキングおよびクラッキングに対
して抵抗性を示した。ＣＯおよび　Ｈ２　ゲッタ特性は
、ＡＳＴＭデジグネーションＦ　７９８−８２中に略述
された、非蒸発性ゲッタに関する標準のＡＳＴＭ試験法
を本質的に利用して推定された。試験長１ｃｍを、上述
の網状組織ゲッタ・ストリップから採取し、そして８４
０℃における真空下で５分間直接抵抗加熱（１９アンペ
ア）することによって活性化し、室温まで冷却し、そし
て圧力３×１０−６トルのＣＯを適用して、図６中に示
すゲッタ「速度対含有量」曲線を得た。ＣＯ曲線が、図
６に示す近飽和を達成した後、同一の試料を８４０℃に
おいて真空下で５分間再活性化し、室温まで冷却し、そ
して対応する　Ｈ２　ゲッタ曲線を決定した。この曲線
もまた、図６中に示す。ゲッタ技術分野の当業者には、
図６中に示されたデータが、ストリップ・ゲッタに関し
て優れた特性を示し、従って本発明の基本的な有用性を
明らかに示していることが、直ちに認識されるであろう
。Example I A single piece of stainless steel strip measuring 8 mm wide x 0.1 mm thick x 23 m long is cut with a die along its entire length along a 5.5 mm wide band with a number of holes. Open reticulated network strips were obtained by punching and providing small holes. The holes have a diameter of 0.75 mm and have a density of approximately 66 holes/hole in a hexagonal array.
Punched into cm2. This arrangement corresponds to a hole area of 29.1% relative to the covered band area. This strip was carefully cleaned and fed with getter powder through a powder mill as shown in Figure 4. The getter powder used was obtained by pulverizing an alloy consisting of 16% by weight Al and the remainder Zr, and then dividing it into particles with a particle size ranging from 230 to 140 mesh (63 to 10% by weight).
6 micrometers). The powder flow from the hopper to the rolls was on the order of 0.33 g/sec for each of the two hopper sides. The roll surface was equipped with small lands of 5.5 mm width to precisely control the width of the getter band deposited. The tangential speed of the roll at the compaction (land) surface is 5.7
cm/sec. A piece with a total length of 23 m was successfully roll pressed with getter powder in a single roll pass to produce Figures 1, 2 and 5.
A composite getter strip similar to that shown in Figure 1 was obtained, which contained about 42 mg/c for the final strip length.
It had a getter charge of m. The thickness of the finished strip upon getter deposition was approximately 0.3 mm. The resulting product exhibited resistance to flaking and cracking of the getter layer while producing elasticity and limited plastic bending. CO and H2 getter properties were estimated essentially utilizing standard ASTM test methods for non-evaporable getters as outlined in ASTM Designation F 798-82. A 1 cm test length was taken from the reticular getter strip described above and 84
Activated by direct resistance heating (19 amps) for 5 minutes under vacuum at 0°C, cooled to room temperature, and applied a pressure of 3 content” curve was obtained. After the CO curve achieved near saturation as shown in Figure 6, the same sample was reactivated at 840 °C under vacuum for 5 min, cooled to room temperature, and the corresponding H2 getter curve was determined. This curve is also shown in FIG. For those skilled in the getter technology,
It will be immediately recognized that the data shown in FIG. 6 shows excellent properties for the strip getter and thus clearly demonstrates the fundamental utility of the present invention.

【００２２】[0022]

【実施例ＩＩ】出発穿孔担体ストリップにおける孔の寸
法および孔の密度以外は、全てのパラメータと手順を実
施例Ｉと同一にして、別の粉末圧延実験を行った。本実
施例において、孔の直径は０．４５ｍｍ、そして密度は
約孔２４８個／ｃｍ２　であった。この配置は、被覆さ
れたバンドの面積について、孔の面積３９．４％に相当
する。 ロール・結合（ｒｏｌｌ　ｂｏｕｎｄｉｎｇ）の後、得
られた複合ゲッタ・ストリップは、実施例Ｉのそれより
も、実質的に高いゲッタ装入量７０ｍｇ／ｃｍ２　を有
していた。この製造物はまた、定性的に実施例Ｉにおけ
るよりも、より高い微粒化および破砕抵抗を有している
ように思われた。本実施例は、本発明によるゲッタ・ス
トリップのゲッタ装入量および機械的特性を、網状網目
構造担体ストリップの特性を変化させることによって、
有利に変更できることを示している。Example II Another powder rolling experiment was carried out with all parameters and procedures identical to Example I except for the size of the holes and the density of the holes in the starting perforated carrier strip. In this example, the pore diameter was 0.45 mm and the density was approximately 248 pores/cm2. This arrangement corresponds to a hole area of 39.4% relative to the covered band area. After roll bounding, the resulting composite getter strip had a substantially higher getter loading than that of Example I, 70 mg/cm2. This product also appeared to have qualitatively higher atomization and crush resistance than in Example I. This example shows that the getter loading and mechanical properties of a getter strip according to the invention can be improved by varying the properties of the reticulated network carrier strip.
It shows that it can be changed to your advantage.

【００２３】[0023]

【実施例ＩＩＩ】この粉末圧延実験において、穿孔網状
組織ストリップおよび圧延パラメータは、実施例Ｉと同
様に維持した。わずかな差異は、ゲッタ合金組成と粉末
の粒度範囲であった。使用したゲッタ合金は、重量％で
２５．５Ｖ　−３Ｆｅ−１．５Ｎｉ−残部Ｚｒで、ゲッ
タ組成物は、比較的低い活性化温度を必要とし、また米
国特許出願第１２６、７５０号中で開示された水素微粉
砕技法によって粉末に摩砕されるものであった。粉末寸
法範囲は２３０乃至１００メッシュ（６３乃至１３０マ
イクロメートル）であった。ロール・結合の後、ゲッタ
・ストリップは、ゲッタ装入量５１ｍｇ／ｃｍ２　を有
していた。活性化条件が４５０℃で１０分間、また別の
試験片をＣＯおよび　Ｈ２　試験に関して使用したこと
以外、長さ１ｃｍの本製造物に対するゲッタ試験は、実
施例Ｉと同一の方法において行われた。これらの試験の
結果は、グラフによって図７中に示す。良好なゲッタ挙
動が、当業者にとっては明らかであろう。従って、低い
活性化温度のゲッタ粉末と共に使用した場合、本発明の
実用性を立証するものである。Example III In this powder rolling experiment, the perforated network strip and rolling parameters were maintained as in Example I. The slight differences were in getter alloy composition and powder particle size range. The getter alloy used was 25.5V-3Fe-1.5Ni-balance Zr by weight, and the getter composition required a relatively low activation temperature and was disclosed in U.S. Patent Application No. 126,750. It was milled into powder using hydrogen milling techniques. Powder size range was 230 to 100 mesh (63 to 130 micrometers). After rolling and bonding, the getter strip had a getter loading of 51 mg/cm2. Getter testing on a 1 cm length of this product was performed in the same manner as Example I, except that the activation conditions were 450° C. for 10 minutes and separate specimens were used for the CO and H2 tests. The results of these tests are shown graphically in FIG. Good getter behavior will be apparent to those skilled in the art. Therefore, the practicality of the present invention is demonstrated when used with low activation temperature getter powders.

【００２４】ここで例示され、かつ説明された本発明の
具体的な態様は、単に代表的なものであることのみが意
図されていることが、理解されるべきである。開示の明
瞭な教示から逸脱することなく、ある種の変更が、上記
の発明において可能であることが、理解されるべきであ
る。従って論及は、発明の完全な範囲を決定する上記の
特許請求の範囲に対して、為されるべきである。It is to be understood that the specific embodiments of the invention illustrated and described herein are intended to be representative only. It should be understood that certain modifications may be made to the invention described above without departing from the clear teachings of the disclosure. Reference should therefore be made to the following claims which determine the full scope of the invention.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

【図１】孔を開けた網状組織ストリップ内およびその上
に、ゲッタ粉末を圧延することによって調製したゲッタ
・ストリップを示す横断図面である。FIG. 1 is a cross-sectional view showing a getter strip prepared by rolling getter powder into and onto an apertured network strip.

【図２】ゲッタの部分を除去して、ゲッタの範囲に関し
て、網状組織ストリップの穿孔が、どのように配列され
ているかを示している第１図に示されたゲッタ・ストリ
ップを示す平面図である。2 is a plan view of the getter strip shown in FIG. 1 with portions of the getter removed to show how the perforations of the mesh strip are arranged with respect to the extent of the getter; FIG. be.

【図３】特定の理由によって、網状組織ストリップの穿
孔の外側列が、ゲッタにより充填されないような方法に
おいて調製されたゲッタ・ストリップを示す平面図であ
る。FIG. 3 is a plan view of a getter strip prepared in such a way that, for certain reasons, the outer rows of perforations of the reticular strip are not filled with getter;

【図４】本発明によるゲッタ・ストリップを、製造する
ための粉末供給およびロールの組み立てを示す側立断面
図である。FIG. 4 is a side elevation cross-sectional view showing the powder supply and roll assembly for manufacturing getter strips according to the present invention.

【図５】本発明によるゲッタ・ストリップ、およびそれ
を製造するために使用するステップ・ロールを示す横断
面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view of a getter strip according to the invention and a step roll used to manufacture it;

【図６】本発明の教示およびＺｒとＡｌの合金からなる
ゲッタ粉末を使用することにより調製されたゲッタ・ス
トリップに関する、圧力３×１０−６トルにおけるＣＯ
および　Ｈ２　のゲッタ挙動を示すグラフである。FIG. 6: CO at a pressure of 3×10 Torr for a getter strip prepared by using the teachings of the present invention and a getter powder consisting of an alloy of Zr and Al.
and H2 are graphs showing the getter behavior.

【図７】本発明の教示およびＺｒ、Ｖ　、Ｆｅ、および
Ｎｉの合金からなるゲッタ粉末を使用することにより調
製されたゲッタ・ストリップに関する、圧力３×１０−
６トルにおけるＣＯおよび　Ｈ２　のゲッタ挙動を示す
グラフである。FIG. 7 shows a pressure of 3×10− for a getter strip prepared by using the teachings of the present invention and a getter powder consisting of an alloy of Zr, V, Fe, and Ni;
6 is a graph showing the getter behavior of CO and H2 at 6 Torr.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１　　網状組織担体ストリップ ２　　孔 ３　　多孔質ゲッタ粉末 ４　　マージン ５　　スリット ６　　粉末用ホッパ ７　　スロット ８　　ロール 1. Network tissue carrier strip 2 holes 3 Porous getter powder 4 Margin 5 Slit 6 Powder hopper 7 Slot 8 roll

Claims (20)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】　　ゲッタ粉末粒子が、前記ゲッタ粒子の
絡み合いと、網目構造によるゲッタ凝結物の支持との双
方から由来する強度を有する凝結物を形成するように、
開放網状網目構造担体ストリップ内およびその上にプレ
スされたゲッタ粉末を有する複合ストリップ・ゲッタ構
造体。1. The getter powder particles form an aggregate having a strength derived from both the entanglement of the getter particles and the support of the getter aggregate by the network structure.
A composite strip getter structure having getter powder pressed into and onto an open network network carrier strip. 【請求項２】　　重力粉末供給および円筒形圧延機によ
って、ゲッタ粉末を開放網状網目構造担体ストリップ内
およびその上に連続的に圧延することによる請求項１記
載のゲッタ・ストリップ構造体の製造方法。2. A method for manufacturing a getter strip structure according to claim 1, by continuously rolling the getter powder into and onto the open network carrier strip by means of a gravity powder feed and a cylindrical rolling mill. 【請求項３】　　担体ストリップが、多孔金属ストリッ
プから構成される請求項１記載のストリップ・ゲッタ構
造体。3. A strip getter structure according to claim 1, wherein the carrier strip is comprised of a porous metal strip. 【請求項４】　　担体ストリップが、金網スクリーンか
ら構成される請求項１記載のストリップ・ゲッタ構造体
。4. A strip getter structure according to claim 1, wherein the carrier strip is comprised of a wire mesh screen. 【請求項５】　　８００乃至１３００℃で焼結される請
求項１記載のストリップ・ゲッタ構造体。5. The strip getter structure of claim 1, sintered at 800-1300°C. 【請求項６】　　担体ストリップが、ステンレス網から
調製される請求項３記載のストリップ・ゲッタ構造体。6. A strip getter structure according to claim 3, wherein the carrier strip is prepared from stainless steel mesh. 【請求項７】　　ロールが、浮き出したランドであって
、担体ストリップ上に堆積したゲッタ・バンドの所望幅
と等しい幅を有するものを備えている請求項２記載の方
法。7. The method of claim 2, wherein the roll includes raised lands having a width equal to the desired width of the getter band deposited on the carrier strip. 【請求項８】　　電気抵抗加熱によって、活性化可能で
ある請求項１記載のストリップ・ゲッタ構造体。8. The strip getter structure of claim 1, which is activatable by electrical resistance heating. 【請求項９】　　ゲッタ粉末が、１あるいはそれ以上の
Ｔｉ、Ｚｒ、Ｃｒ、Ｖ　、Ｎｂ、Ｔａ、Ｂａ、Ｔｈ、Ｃ
ａ、Ａｌ、Ｎｉ、Ｍｎ、Ｆｅ、および１あるいは以上の
希土類元素からなる一群から選択されるゲッタ組成物を
含んでなる請求項１記載のストリップ・ゲッタ構造体。9. The getter powder contains one or more of Ti, Zr, Cr, V, Nb, Ta, Ba, Th, C
The strip getter structure of claim 1, comprising a getter composition selected from the group consisting of a, Al, Ni, Mn, Fe, and one or more rare earth elements. 【請求項１０】　　元素状態のゲッタ組成物を伴う請求
項９記載のストリップ・ゲッタ構造体。10. The strip getter structure of claim 9 with an elemental getter composition. 【請求項１１】　　合金状態のゲッタ組成物を伴う請求
項９記載のストリップ・ゲッタ構造体。11. The strip getter structure of claim 9 with a getter composition in an alloyed state. 【請求項１２】　　金属間化合物状態のゲッタ組成物を
伴う請求項９記載のストリップ・ゲッタ構造体。12. The strip getter structure of claim 9 with a getter composition in an intermetallic state. 【請求項１３】　　元素状および合金状金属の物理的混
合物であるゲッタ組成物を伴う請求項９記載のストリッ
プ・ゲッタ構造体。13. The strip getter structure of claim 9 with a getter composition that is a physical mixture of elemental and alloyed metals. 【請求項１４】　　元素状および金属間化合物状金属の
物理的混合物であるゲッタ組成物を伴う請求項９記載の
ストリップ・ゲッタ構造体。14. The strip getter structure of claim 9 with a getter composition that is a physical mixture of elemental and intermetallic metals. 【請求項１５】　　ゲッタ粉末粒子が、前記ゲッタ粒子
の絡み合いと、網目構造によるゲッタ凝結物の支持との
双方から由来する強度を有する凝結物を形成するように
、開放網状網目構造担体ストリップ内およびその上にプ
レスされたゲッタ粉末を有し、ゲッタ、粉末は、１ある
いはそれ以上のＴｉ、Ｚｒ、Ｃｒ、Ｖ　、Ｎｂ、Ｔａ、
Ｂａ、Ｔｈ、Ｃａ、Ａｌ、Ｎｉ、Ｍｎ、Ｆｅ、および１
あるいはそれ以上の希土類元素からなる一群から選択さ
れ、ゲッタ粉末組成物は、合金および金属間化合物状金
属の物理的混合物である複合ストリップ・ゲッタ構造体
。15. The getter powder particles are arranged in an open network carrier strip such that the getter powder particles form an agglomerate with strength derived from both the entanglement of the getter particles and the support of the getter agglomerates by the network structure. It has a getter powder pressed thereon, the getter powder being one or more of Ti, Zr, Cr, V, Nb, Ta,
Ba, Th, Ca, Al, Ni, Mn, Fe, and 1
or more rare earth elements, and the getter powder composition is a physical mixture of metals in the form of alloys and intermetallic compounds. 【請求項１６】　　ゲッタ粉末粒子が、前記ゲッタ粒子
の絡み合いと、網目構造によるゲッタ凝結物の支持との
双方から由来する強度を有する凝結物を形成するように
、開放網状網目構造担体ストリップ内およびその上にプ
レスされたゲッタ粉末を有し、ゲッタ粉末は、１あるい
はそれ以上のＴｉ、Ｚｒ、Ｃｒ、Ｖ　、Ｎｂ、Ｔａ、Ｂ
ａ、Ｔｈ、Ｃａ、Ａｌ、Ｎｉ、Ｍｎ、Ｆｅ、および１あ
るいはそれ以上の希土類元素からなる一群から選択され
、ゲッタ粉末組成物は、元素状、合金状および金属間化
合物状金属の物理的混合物である複合ストリップ・ゲッ
タ構造体。16. The getter powder particles are arranged in an open network carrier strip such that the getter powder particles form an agglomerate with strength derived both from the entanglement of the getter particles and from the support of the getter agglomerates by the network structure. It has a getter powder pressed thereon, the getter powder containing one or more of Ti, Zr, Cr, V, Nb, Ta, B
a, Th, Ca, Al, Ni, Mn, Fe, and one or more rare earth elements, the getter powder composition is a physical mixture of elemental, alloyed, and intermetallic metals. A composite strip getter structure that is 【請求項１７】　　１あるいはそれ以上のＴｉ、Ｚｒ、
Ｃｒ、Ｖ　、Ｎｂ、Ｔａ、Ｂａ、Ｔｈ、Ｃａ、Ａｌ、Ｎ
ｉ、Ｍｎ、Ｆｅ、および１あるいはそれ以上の希土類元
素からなる一群からゲッタ粉末を選択する工程と、担体
ストリップを、連続的に圧延機を通過させる工程と、担
体ストリップが圧延機を通過する際、重力フィーダーを
使用して、ゲッタ粉末を担体ストリップに送り出す工程
と、８００℃乃至１３００℃に及び範囲内の温度におい
て、複合構造体を焼結し，それによってゲッタ粉末が、
ゲッタ粒子の絡み合いと、担体ストリップによる支持の
双方とから由来する強度を有する凝結物を構成する工程
とを特徴とする開放網状網目構造担体ストリップ内およ
びその上のゲッタ粉末を含んでなる複合構造体の製造方
法。17. One or more of Ti, Zr,
Cr, V, Nb, Ta, Ba, Th, Ca, Al, N
selecting a getter powder from the group consisting of i, Mn, Fe, and one or more rare earth elements; passing the carrier strip continuously through a rolling mill; and as the carrier strip passes through the rolling mill. , using a gravity feeder to deliver the getter powder onto a carrier strip, and sintering the composite structure at a temperature ranging from 800°C to 1300°C, whereby the getter powder is
A composite structure comprising getter powder in and on an open network carrier strip characterized by forming an aggregate with strength derived from both entanglement of the getter particles and support by the carrier strip. manufacturing method. 【請求項１８】　　一対の対向する円筒形ローラを含ん
でなる圧延機と、ゲッタ粉末のバンドの所望幅に等しい
距離をもって、互いに離間する浮き出したランドを備え
る少なくとも１本のローラとを更に包含することを特徴
とする請求項１７記載の方法。18. A rolling mill comprising a pair of opposing cylindrical rollers and at least one roller with raised lands spaced apart from each other by a distance equal to the desired width of the band of getter powder. 18. The method according to claim 17, characterized in that: 【請求項１９】　　ゲッタ粉末粒子が、前記ゲッタ粒子
の絡み合いと、網目構造によるケッタ凝結物の支持との
双方から由来する強度を有する凝結物を形成するように
、開放網状網目構造担体ストリップ内およびその上にプ
レスされたゲッタ粉末を含んでなり、ゲッタ粉末は、１
あるいはそれ以上のＴｉ、Ｚｒ、Ｃｒ、Ｖ　、Ｎｂ、Ｔ
ａ、Ｂａ、Ｔｈ、Ｃａ、Ａｌ、Ｎｉ、Ｍｎ、Ｆｅ、およ
び１あるいはそれ以上の希土類元素からなる一群から選
択され、ゲッタ粉末組成物が、元素状である複合ストリ
ップ・ゲッタ構造体。19. Getter powder particles are disposed within and within an open network network carrier strip such that the getter powder particles form an aggregate with strength derived from both the entanglement of the getter particles and the support of the getter aggregates by the network structure. comprising getter powder pressed thereon, the getter powder comprising: 1
or more Ti, Zr, Cr, V, Nb, T
A composite strip getter structure wherein the getter powder composition is elemental selected from the group consisting of a, Ba, Th, Ca, Al, Ni, Mn, Fe, and one or more rare earth elements. 【請求項２０】　　ゲッタ粉末粒子が、前記ゲッタ粒子
の絡み合いと、網目構造によるケッタ凝結物の支持との
双方から由来する強度を有する凝結物を形成するように
、開放網状網目構造担体ストリップ内およびその上にプ
レスされたゲッタ粉末を含んでなり、ゲッタ粉末は、１
あるいはそれ以上のＴｉ、Ｚｒ、Ｃｒ、Ｖ　、Ｎｂ、Ｔ
ａ、Ｂａ、Ｔｈ、Ｃａ、Ａｌ、Ｎｉ、Ｍｎ、Ｆｅ、およ
び１あるいはそれ以上の希土類元素からなる一群から選
択され、ゲッタ粉末組成物が、合金状である複合ストリ
ップ・ゲッタ構造体。20. Getter powder particles are disposed within and within an open network network carrier strip such that the getter powder particles form an aggregate with strength derived from both the entanglement of the getter particles and the support of the getter aggregates by the network structure. comprising getter powder pressed thereon, the getter powder comprising: 1
or more Ti, Zr, Cr, V, Nb, T
A composite strip getter structure wherein the getter powder composition is selected from the group consisting of a, Ba, Th, Ca, Al, Ni, Mn, Fe, and one or more rare earth elements and is in the form of an alloy.