JPH0422897A - Ｘ線装置 - Google Patents
Ｘ線装置Info
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- JPH0422897A JPH0422897A JP2126678A JP12667890A JPH0422897A JP H0422897 A JPH0422897 A JP H0422897A JP 2126678 A JP2126678 A JP 2126678A JP 12667890 A JP12667890 A JP 12667890A JP H0422897 A JPH0422897 A JP H0422897A
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- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
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- 238000011069 regeneration method Methods 0.000 description 1
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 1
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はＸ！Ｉを用いた装置の試料搬入搬出装置に関す
る。
る。
従来ＯＸ＠を用イ＊装＋ｔａ、％ｈ）Ｗ３６２−２１９
６５２号公報に記載のように、作業者ｔｘｍから保護す
るため、Ｘ＠発生部、及び、ｘＭ露光部分をＸ線を透過
しない試料室内に設置する。試料室内に試料を搬入また
は搬出する時は、Ｘ線の発生を中止し、試料Ｎ￥Ｃあけ
られたＪＩｔ−開けて試料を出し入れするようになって
いた。
６５２号公報に記載のように、作業者ｔｘｍから保護す
るため、Ｘ＠発生部、及び、ｘＭ露光部分をＸ線を透過
しない試料室内に設置する。試料室内に試料を搬入また
は搬出する時は、Ｘ線の発生を中止し、試料Ｎ￥Ｃあけ
られたＪＩｔ−開けて試料を出し入れするようになって
いた。
ＸｉはＸ＠発主部に数十ＫＶから百数十ＫＶＯ高電圧を
印加して発生させるが、Ｘｉの発生を一時停止した後、
再び、Ｘ１ｌｌを発生されるにはＯｖから一度に数十Ｋ
Ｖから百数十に’ｌ／の印加電圧を加えるのでなく士数
秒から数十秒の時間をかけて印加電圧を上昇させ、目的
の印加電圧にする。従来技術では、試料の搬入搬出時に
毎回ｘ１Ｍ発生を中断、再発生させる必要があるため、
大量の試料を次々に光人支出する装置では、Ｘ線発生中
上後の再発生に要する時間が無視できず、大量の試料を
効率よく処理することができなかった。
印加して発生させるが、Ｘｉの発生を一時停止した後、
再び、Ｘ１ｌｌを発生されるにはＯｖから一度に数十Ｋ
Ｖから百数十に’ｌ／の印加電圧を加えるのでなく士数
秒から数十秒の時間をかけて印加電圧を上昇させ、目的
の印加電圧にする。従来技術では、試料の搬入搬出時に
毎回ｘ１Ｍ発生を中断、再発生させる必要があるため、
大量の試料を次々に光人支出する装置では、Ｘ線発生中
上後の再発生に要する時間が無視できず、大量の試料を
効率よく処理することができなかった。
本発明の目的は、ｘＭ発発生上止再発生に要する時間を
なくし、大量の試料を効率よく処理する方法、および、
その装置を提供することにある。
なくし、大量の試料を効率よく処理する方法、および、
その装置を提供することにある。
〔課題を解決する丸めの手段〕
上記目的を達成するためＫ、本発明は試料室の試料搬入
扉と搬出扉の＃ＫＸ線を遮蔽可能な予備室を設け、予備
室にも試料を搬入搬出する扉を設け、扉を二重にし、試
料交換時にどちらかの扉を閉じる。
扉と搬出扉の＃ＫＸ線を遮蔽可能な予備室を設け、予備
室にも試料を搬入搬出する扉を設け、扉を二重にし、試
料交換時にどちらかの扉を閉じる。
Ｘ線は、常時、発生させておく、試料を搬入する際は、
まず、試料室扉を閉じ、予備室扉を開は試料を予備室に
搬入する。この時点では試料室扉が閉じているのでＸ線
が外部に漏洩することはない。次に１予備室の扉を閉じ
る。予備室の扉が完全に閉じた後、試料室の扉を開ける
。この時点では、予備室ＯＪｌが閉じているので、やは
シ、Ｘｉが漏洩することはない。次に、予備室の試料を
試料室に移動させる。移動完了後、再び、試料室の扉を
閉じる。装置は試料案内にはいった試料を処理する。
まず、試料室扉を閉じ、予備室扉を開は試料を予備室に
搬入する。この時点では試料室扉が閉じているのでＸ線
が外部に漏洩することはない。次に１予備室の扉を閉じ
る。予備室の扉が完全に閉じた後、試料室の扉を開ける
。この時点では、予備室ＯＪｌが閉じているので、やは
シ、Ｘｉが漏洩することはない。次に、予備室の試料を
試料室に移動させる。移動完了後、再び、試料室の扉を
閉じる。装置は試料案内にはいった試料を処理する。
試料室から試料を搬出する時は、まず、予備室の扉を閉
め、次に１試料室の扉を開け、試料を試料室から予備室
に搬出する０次に、試料室の扉を閉じた後、予備室の扉
を開け、試料を外に搬出する。
め、次に１試料室の扉を開け、試料を試料室から予備室
に搬出する０次に、試料室の扉を閉じた後、予備室の扉
を開け、試料を外に搬出する。
以上の方法によれば、常に、試料室か予備室のどちらか
の扉が閉じているのでＸ線が装置外部に漏洩することは
ない。したがって、Ｘ線を連続して発生させても作業者
は安全に作業ができ、しかも、Ｘ線発生を中止、再発生
させるための時間が不必要となり、大量の試料を連続し
て処理することができる。
の扉が閉じているのでＸ線が装置外部に漏洩することは
ない。したがって、Ｘ線を連続して発生させても作業者
は安全に作業ができ、しかも、Ｘ線発生を中止、再発生
させるための時間が不必要となり、大量の試料を連続し
て処理することができる。
試料の搬入経路と搬出経路を別々にもてば、試料が試料
室にはいって処理を受けているときは試料室Ｊ％は閉じ
ているので予備室の扉を開けてもＸ線は漏洩しない。従
って、試料を処理中ＩＩＣ次の試料を待機させ、予備室
の扉を閉じておき、先の試料の処理が終了したら、試料
室の扉を開け、先の試料を搬出、次の試料を搬入し、試
料の入れかえが終了したら、試料室扉を閉じ次に新たな
試料を処理中に予備室扉を開けて処理済試料を予備室か
ら搬出し、さらに、次の試料を予備室と搬入し予備室扉
を閉じる。先の試料の処理の終了まで待機させる。以上
の動作をくりかえせば、試料の処理中に予備室で処理済
試料の搬出と新しい試料の搬入が行われるので予備室に
、−旦、試料を止めるために要する時間は、多数の試料
を処理する場合、トータルの処理時間に加算されないた
め、効率よく、大量の試料が処理できる。
室にはいって処理を受けているときは試料室Ｊ％は閉じ
ているので予備室の扉を開けてもＸ線は漏洩しない。従
って、試料を処理中ＩＩＣ次の試料を待機させ、予備室
の扉を閉じておき、先の試料の処理が終了したら、試料
室の扉を開け、先の試料を搬出、次の試料を搬入し、試
料の入れかえが終了したら、試料室扉を閉じ次に新たな
試料を処理中に予備室扉を開けて処理済試料を予備室か
ら搬出し、さらに、次の試料を予備室と搬入し予備室扉
を閉じる。先の試料の処理の終了まで待機させる。以上
の動作をくりかえせば、試料の処理中に予備室で処理済
試料の搬出と新しい試料の搬入が行われるので予備室に
、−旦、試料を止めるために要する時間は、多数の試料
を処理する場合、トータルの処理時間に加算されないた
め、効率よく、大量の試料が処理できる。
以下、本発明の一実施例であるはんだ付検査装置を第１
図によシ説明する。図中、１Ｆｉ処理中の試料、２Ｆｉ
ＸＹＯ，ｚ、ｆ−ジ、５はＸ線源、４はイメージインテ
ンシファイア、５ｉｉ？Ｖカメラ、６は画像処理装置、
７は、ｘ！！制御装置、８は試料室、９は試料搬入予備
室、１０は待機中試料、１２は試料室搬出扉、１６は試
料室搬入扉駆動装置、１４は搬入予備室搬入扉、１５は
搬入予備室搬入扉駆動装置、１６は試料搬入装置、１７
は試料ローダ、１８は試料搬入予備室、１９は処理済試
料、２０は試料室搬出扉、２１Ｆｉ試料室搬出扉駆動装
置、２２Ｆｉ予備室搬出扉、２３は予備室搬出扉駆動装
置１２４は試料搬出装置、２５ａ試料アンローダ、２７
は扉シーケンス制御回路、２８は、ステージ制御回路、
２９は、システム制御装置、３０は試料搬入小装置であ
る。
図によシ説明する。図中、１Ｆｉ処理中の試料、２Ｆｉ
ＸＹＯ，ｚ、ｆ−ジ、５はＸ線源、４はイメージインテ
ンシファイア、５ｉｉ？Ｖカメラ、６は画像処理装置、
７は、ｘ！！制御装置、８は試料室、９は試料搬入予備
室、１０は待機中試料、１２は試料室搬出扉、１６は試
料室搬入扉駆動装置、１４は搬入予備室搬入扉、１５は
搬入予備室搬入扉駆動装置、１６は試料搬入装置、１７
は試料ローダ、１８は試料搬入予備室、１９は処理済試
料、２０は試料室搬出扉、２１Ｆｉ試料室搬出扉駆動装
置、２２Ｆｉ予備室搬出扉、２３は予備室搬出扉駆動装
置１２４は試料搬出装置、２５ａ試料アンローダ、２７
は扉シーケンス制御回路、２８は、ステージ制御回路、
２９は、システム制御装置、３０は試料搬入小装置であ
る。
Ｘ４１源３から発生したｘ＃！は試料１を透過し、イメ
ージインテンシファイア４でｘ！！から光に変換され、
さらに、ＴＶ左カメラ電気信号に変換される。試料搬入
小装置ｉ［０、ＸＹＯステージ２の試料下部分は孔がお
いておシ、Ｘ線が透過するようになっている。試料上に
ははんだ付部分がある。
ージインテンシファイア４でｘ！！から光に変換され、
さらに、ＴＶ左カメラ電気信号に変換される。試料搬入
小装置ｉ［０、ＸＹＯステージ２の試料下部分は孔がお
いておシ、Ｘ線が透過するようになっている。試料上に
ははんだ付部分がある。
はんだはＸ線を吸収するのでＴＶ右カメラには、はんだ
付部分が暗く検出される。Ｘ線吸収量ははんだ厚さに依
存するのでＴＶ右カメラで検出された濃淡画像を画像処
理装置６で処理すれば、はんだ行状態の良否の判定検査
ができる。
付部分が暗く検出される。Ｘ線吸収量ははんだ厚さに依
存するのでＴＶ右カメラで検出された濃淡画像を画像処
理装置６で処理すれば、はんだ行状態の良否の判定検査
ができる。
試料１が検査中は、試料室扉１２と２０は閉じている。
試料室１２と２０が閉じている間に、予備室扉１４およ
び２２を開け、検査済試料１９を試料搬出装置２４で予
備室１８から搬出し、試料アンローダ２５に移す。アン
ローダに移動終了したら予備室扉２２を閉じる。試料搬
出中、もう−方の試料搬入予備室９では、試料ローダ１
７から次に検査する試料１０を搬入、試料搬入終了後、
予備室扉１４を閉じる。この時点ではすべての扉が閉じ
ている。試料１の検査が終了し九ら、試料室８の扉１２
と２０を閉じる。検査済試料１をステージ２を図中左端
まで移動し、試料搬入小装置３０により、試料搬出装置
２４上に試料１を試料室８から搬出する。搬出が終了し
たら１ｎ２０を閉じる。搬出が終了したらステージ２を
図中右端に移動させ、新たな試料１０を試料製造装置１
６によシ、試料搬入出装置３０上に移動させる。移動が
終了したら試料室の試料搬入Ｂ１２を閉じる。
び２２を開け、検査済試料１９を試料搬出装置２４で予
備室１８から搬出し、試料アンローダ２５に移す。アン
ローダに移動終了したら予備室扉２２を閉じる。試料搬
出中、もう−方の試料搬入予備室９では、試料ローダ１
７から次に検査する試料１０を搬入、試料搬入終了後、
予備室扉１４を閉じる。この時点ではすべての扉が閉じ
ている。試料１の検査が終了し九ら、試料室８の扉１２
と２０を閉じる。検査済試料１をステージ２を図中左端
まで移動し、試料搬入小装置３０により、試料搬出装置
２４上に試料１を試料室８から搬出する。搬出が終了し
たら１ｎ２０を閉じる。搬出が終了したらステージ２を
図中右端に移動させ、新たな試料１０を試料製造装置１
６によシ、試料搬入出装置３０上に移動させる。移動が
終了したら試料室の試料搬入Ｂ１２を閉じる。
新たな試料が試料室に搬入され九ら、直ちに、新たな試
料の検査を開始する。試料室の二つの扉１２と２０が閉
じたら、予備室扉１４と２２を開ける。
料の検査を開始する。試料室の二つの扉１２と２０が閉
じたら、予備室扉１４と２２を開ける。
次に検査済試料１９を試料搬出装置２４で試料アンロー
ダ２５上に移動させる。移動が終了したら予備室扉２２
を閉じる。一方、試料搬入予備室９では、試料ローダ１
７から新たな試料を試料搬入装置１６上に移動させる。
ダ２５上に移動させる。移動が終了したら予備室扉２２
を閉じる。一方、試料搬入予備室９では、試料ローダ１
７から新たな試料を試料搬入装置１６上に移動させる。
新丸な試料の搬入が完了したら、予備室扉１４を閉じる
。この時点では、再び、すべての扉が閉じている。検査
が処理したう、再び、試料室扉１２と２０を開け、検査
済試料の搬出と新たな試料の搬入が行われる。各界は扉
シーケンス制御装置の信号によシ各界の駆動装置１５．
１５． ２１． ２５によりシーケンスどおりに駆動
される。さらに、扉シーケンス制御回路２７、画像処理
装置６、ステージ制御回路２８は、システム制御装置２
９によ）制御され、試料の交換と検査を次々に行う。
。この時点では、再び、すべての扉が閉じている。検査
が処理したう、再び、試料室扉１２と２０を開け、検査
済試料の搬出と新たな試料の搬入が行われる。各界は扉
シーケンス制御装置の信号によシ各界の駆動装置１５．
１５． ２１． ２５によりシーケンスどおりに駆動
される。さらに、扉シーケンス制御回路２７、画像処理
装置６、ステージ制御回路２８は、システム制御装置２
９によ）制御され、試料の交換と検査を次々に行う。
第２図に本発明の他の一実施例を示す。図中、３１ ハ
ＥＲローダ・アンローダ、５２ｄエレベータ、である、
試料１が検査中は試料室扉１２は閉じている。試料室１
２ｆＺ）扉１２が閉じている間に、予備室扉１４を開け
、エレベータ３２を下げ、試料ローダψア／ローダ３１
から新たな試料１０を試料搬入装置１６上に移動させる
。移動完了稜、エレベータ３２を上げ、検査済試料１９
を試料搬出装置２４によシ試料ローダアンローダ５１に
搬出させる。検査済試料の搬出が終了したら、予備室扉
を閉じる。この時点で、試料室扉１２と予備室ｆｉ１４
Ｆｉ両方とも閉じている。検査が終了したら試料室Ｊｊ
ｊ２を開け、ステージ２を図中右端に寄せ、検査済とな
った試料１を試料搬入小装置３０により、予備室内の試
料搬出装置１９上に搬出する。次に、エレベータ３２を
下げ、新たな試料１０を試料搬入装置１６によシ、試料
製造装置３０上に移動させる。新しい試料の移動が完了
したら検査を開始すると共に、試料室＃１２を閉じる。
ＥＲローダ・アンローダ、５２ｄエレベータ、である、
試料１が検査中は試料室扉１２は閉じている。試料室１
２ｆＺ）扉１２が閉じている間に、予備室扉１４を開け
、エレベータ３２を下げ、試料ローダψア／ローダ３１
から新たな試料１０を試料搬入装置１６上に移動させる
。移動完了稜、エレベータ３２を上げ、検査済試料１９
を試料搬出装置２４によシ試料ローダアンローダ５１に
搬出させる。検査済試料の搬出が終了したら、予備室扉
を閉じる。この時点で、試料室扉１２と予備室ｆｉ１４
Ｆｉ両方とも閉じている。検査が終了したら試料室Ｊｊ
ｊ２を開け、ステージ２を図中右端に寄せ、検査済とな
った試料１を試料搬入小装置３０により、予備室内の試
料搬出装置１９上に搬出する。次に、エレベータ３２を
下げ、新たな試料１０を試料搬入装置１６によシ、試料
製造装置３０上に移動させる。新しい試料の移動が完了
したら検査を開始すると共に、試料室＃１２を閉じる。
試料室扉１２が閉じ終ったら、予備室扉を開けて検査済
試料を予備室から試料ローダアンローダへ搬出、エレベ
ータ３２を下げ、前述のように新たな試料を予備室に搬
入、エレベータ５２を上げ、予備室扉を閉め、検査が終
了するまで待機する。
試料を予備室から試料ローダアンローダへ搬出、エレベ
ータ３２を下げ、前述のように新たな試料を予備室に搬
入、エレベータ５２を上げ、予備室扉を閉め、検査が終
了するまで待機する。
以上をくシかえし、次々と試料を検査する。第１図の実
施例では試料搬入口と搬出口が分かれてお夛、試料ロー
ダとアンローダを別々のもの圧するのに向いている。ま
た、他の試料製造装置などと一直線上に並べることがで
きる。
施例では試料搬入口と搬出口が分かれてお夛、試料ロー
ダとアンローダを別々のもの圧するのに向いている。ま
た、他の試料製造装置などと一直線上に並べることがで
きる。
第２図の実施例では試料のローダとアンローダを一つに
しているが、ローダとアンローダを別にし、搬入時と搬
出時にローダとアンローダをいれかえる手段をとれるこ
とは言うまでもない。
しているが、ローダとアンローダを別にし、搬入時と搬
出時にローダとアンローダをいれかえる手段をとれるこ
とは言うまでもない。
本発明とよれば、Ｘ＠を連線して発生したままでよいの
で、ｘ縁の発生中断、再発生に伴う試料処理時間の増加
が防げるので、大量の試料を効率よく処理することがで
きる。
で、ｘ縁の発生中断、再発生に伴う試料処理時間の増加
が防げるので、大量の試料を効率よく処理することがで
きる。
第１図は本発明の一実施例の系統図、第２図は本発明の
他の実施例の系統図である。 ３・°・Ｘ巌源、１２，２０・・・試料室扉、９，１８
・・・予備室、８・・・試料室、１４．２２・・・予備
室扉。
他の実施例の系統図である。 ３・°・Ｘ巌源、１２，２０・・・試料室扉、９，１８
・・・予備室、８・・・試料室、１４．２２・・・予備
室扉。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、Ｘ線発生部と、Ｘ線を遮蔽する試料室と、前記試料
室に試料を搬入、搬出するＸ線を遮蔽する扉とを含むＸ
線装置において、 前記試料室の扉の前にＸ線を遮蔽し、かつ、前記試料を
一時保管する場所と、一時保管場所に前記試料を搬入、
搬出し、かつ、Ｘ線を遮蔽する扉と、一時保管場所から
前記試料室へ搬入搬出する手段とを設けたことを特徴と
するＸ線装置。 ２、請求項１において、前記試料室に前記試料の搬入扉
と前記試料の搬出扉とを別々に設け、前記試料搬入扉の
前にＸ線を遮蔽し、かつ、前記試料を一時保管する手段
と、前記試料搬出扉の後にＸ線を遮蔽し、かつ、前記試
料を一時保管する手段とを別々に設けたＸ線装置。 ３、請求項１において、前記試料室への前記搬出扉およ
び前記搬出扉を閉じている間に、前記試料一時保管手段
内に置かれた処理済試料を、前記試料一時保管手段から
搬出し、前記試料一時保管手段に新たに処理すべき試料
を搬出し、前記試料一時保管手段へ装置外から前記試料
を搬入、搬出する扉が閉じている間に、前記試料室の試
料搬入、搬出扉を開け、前記試料一時保管手段へ前記試
料室から処理済試料を搬出し、前記試料一時保管手段か
ら前記試料室へ未処理試料を搬入するＸ線装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2126678A JPH0422897A (ja) | 1990-05-18 | 1990-05-18 | Ｘ線装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2126678A JPH0422897A (ja) | 1990-05-18 | 1990-05-18 | Ｘ線装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0422897A true JPH0422897A (ja) | 1992-01-27 |
Family
ID=14941152
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2126678A Pending JPH0422897A (ja) | 1990-05-18 | 1990-05-18 | Ｘ線装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0422897A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004125646A (ja) * | 2002-10-03 | 2004-04-22 | Ishida Co Ltd | Ｘ線検査装置 |
| WO2007071890A1 (en) * | 2005-12-22 | 2007-06-28 | Eg & G Middle East | Container inspection system |
| KR100775762B1 (ko) * | 2006-06-28 | 2007-11-09 | 한국원자력연구원 | 핫셀 장비 반/출입형 리어 도어 시스템 |
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| JPS59129693A (ja) * | 1983-01-07 | 1984-07-26 | タバイエスペツク株式会社 | 非外気性ガス雰囲気ボツクスの初期ガス置換法 |
-
1990
- 1990-05-18 JP JP2126678A patent/JPH0422897A/ja active Pending
Patent Citations (1)
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