JPH0422411Y2 - - Google Patents
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- JPH0422411Y2 JPH0422411Y2 JP1984162191U JP16219184U JPH0422411Y2 JP H0422411 Y2 JPH0422411 Y2 JP H0422411Y2 JP 1984162191 U JP1984162191 U JP 1984162191U JP 16219184 U JP16219184 U JP 16219184U JP H0422411 Y2 JPH0422411 Y2 JP H0422411Y2
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- Japan
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- cleaning
- cleaned
- tank
- carrier
- objects
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Landscapes
- Cleaning In General (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本考案は、デイスク形の被洗浄物を洗浄するの
に使用される多槽式洗浄装置の改良に関するもの
である。
に使用される多槽式洗浄装置の改良に関するもの
である。
[従来の技術]
例えばコンピユータのメモリ基板として使用さ
れるアルミニウム製デイスクを洗浄する場合、一
般に、有機溶剤や水を使用して超音波洗浄、冷液
洗浄、蒸気洗浄等を順次行う多槽式の洗浄装置が
使用されている。ところが、ラツピングまたはポ
リツシングの終了したデイスクを洗浄する場合に
は、まずそれをブラシ洗浄することによつて付着
したごみや研摩剤などを除去し、そのあとで上記
多槽式洗浄装置によつて仕上げ洗浄するのが望ま
しい。
れるアルミニウム製デイスクを洗浄する場合、一
般に、有機溶剤や水を使用して超音波洗浄、冷液
洗浄、蒸気洗浄等を順次行う多槽式の洗浄装置が
使用されている。ところが、ラツピングまたはポ
リツシングの終了したデイスクを洗浄する場合に
は、まずそれをブラシ洗浄することによつて付着
したごみや研摩剤などを除去し、そのあとで上記
多槽式洗浄装置によつて仕上げ洗浄するのが望ま
しい。
しかしながら、上記従来の洗浄装置において
は、このようなブラシ洗浄と有機溶剤や水による
仕上げ洗浄とを同時に行うことは不可能であり、
そのため、一旦デイスクを別のブラシを備えたス
クラバ洗浄装置で処理したあと、それを上記多槽
式の洗浄装置で仕上げ洗浄するようにしていた
が、デイスクを一つの洗浄ラインで連続的に処理
するのが困難であるため非常に手間がかかり、し
かも、従来のスクラバ洗浄装置がデイスクを1枚
づつしか処理できなかつたため、洗浄が非常に非
能率的且つ非量産的であつた。
は、このようなブラシ洗浄と有機溶剤や水による
仕上げ洗浄とを同時に行うことは不可能であり、
そのため、一旦デイスクを別のブラシを備えたス
クラバ洗浄装置で処理したあと、それを上記多槽
式の洗浄装置で仕上げ洗浄するようにしていた
が、デイスクを一つの洗浄ラインで連続的に処理
するのが困難であるため非常に手間がかかり、し
かも、従来のスクラバ洗浄装置がデイスクを1枚
づつしか処理できなかつたため、洗浄が非常に非
能率的且つ非量産的であつた。
[考案が解決しようとする問題点]
本考案は、上記従来の欠点を鑑み、多槽式洗浄
装置を、スクラバ洗浄機能を有するものとして構
成すると共に、多数枚のデイスク形被洗浄物を同
時に処理できるように構成することを技術的課題
とする。
装置を、スクラバ洗浄機能を有するものとして構
成すると共に、多数枚のデイスク形被洗浄物を同
時に処理できるように構成することを技術的課題
とする。
[問題点を解決するための手段]
上記課題を解決するため、本考案の多槽式洗浄
装置は、デイスク形の被洗浄物を洗浄するための
複数の洗浄槽と、上記被洗浄物を収容するための
キヤリヤと、該キヤリヤを各洗浄槽に順次搬送す
るための搬送手段とを備えた多槽式洗浄装置にお
いて、上記キヤリヤを、被洗浄物の外周部が嵌合
する係合溝を所定間隔を備えた複数の支持ローラ
を凹段状に配設することにより、これらの支持ロ
ーラで多数の被洗浄物を竪向きに並んだ状態で支
持可能なものとして構成し、上記複数の洗浄槽の
一部をスクラバ洗浄槽として、該スクラバ洗浄槽
内に、円板形基板の両側面に多数の突起状の摺擦
片を取付けてなる複数のブラシを、互いに所定の
間隔を保つた状態で、キヤリヤに支持された被洗
浄物間に嵌入する洗浄位置と被洗浄物から離間す
る待機位置との間を揺動自在且つ駆動回転自在に
配設すると共に、被洗浄物の外面に当接して該被
洗浄物を駆動回転させる駆動ローラを配設した、
ことを特徴とするものである。
装置は、デイスク形の被洗浄物を洗浄するための
複数の洗浄槽と、上記被洗浄物を収容するための
キヤリヤと、該キヤリヤを各洗浄槽に順次搬送す
るための搬送手段とを備えた多槽式洗浄装置にお
いて、上記キヤリヤを、被洗浄物の外周部が嵌合
する係合溝を所定間隔を備えた複数の支持ローラ
を凹段状に配設することにより、これらの支持ロ
ーラで多数の被洗浄物を竪向きに並んだ状態で支
持可能なものとして構成し、上記複数の洗浄槽の
一部をスクラバ洗浄槽として、該スクラバ洗浄槽
内に、円板形基板の両側面に多数の突起状の摺擦
片を取付けてなる複数のブラシを、互いに所定の
間隔を保つた状態で、キヤリヤに支持された被洗
浄物間に嵌入する洗浄位置と被洗浄物から離間す
る待機位置との間を揺動自在且つ駆動回転自在に
配設すると共に、被洗浄物の外面に当接して該被
洗浄物を駆動回転させる駆動ローラを配設した、
ことを特徴とするものである。
[作用]
キヤリヤに収容された多数の被洗浄物は、搬送
手段によつてキヤリヤと共に各洗浄槽を順次搬送
され、それぞれの洗浄槽において所定の洗浄を施
される。
手段によつてキヤリヤと共に各洗浄槽を順次搬送
され、それぞれの洗浄槽において所定の洗浄を施
される。
特にスクラバ洗浄槽においては、各ブラシが被
洗浄物間に嵌入する洗浄位置に回動し、ブラシ両
面の摺擦片が両側の被洗浄物に摺接して洗浄が行
われるが、突起状の摺擦片が、被洗浄物の側面だ
けでなく、外周面や中心孔の内周面にも摺接する
ため、外周面や内周面の汚れまで確実に洗浄され
る。
洗浄物間に嵌入する洗浄位置に回動し、ブラシ両
面の摺擦片が両側の被洗浄物に摺接して洗浄が行
われるが、突起状の摺擦片が、被洗浄物の側面だ
けでなく、外周面や中心孔の内周面にも摺接する
ため、外周面や内周面の汚れまで確実に洗浄され
る。
[考案の効果]
本考案によれば、多槽式洗浄装置における一部
の洗浄槽をブラシによるスクラバ洗浄槽とし、有
機溶剤や水を用いる他の洗浄槽と共通のキヤリヤ
を使用して、該キヤリヤに収容された多数の被洗
浄物を該スクラバ洗浄槽で同時に洗浄できるよう
に構成したので、従来困難であつたスクラバ洗浄
と有機溶剤や水による仕上げ洗浄等とのライン化
を実現することができる。
の洗浄槽をブラシによるスクラバ洗浄槽とし、有
機溶剤や水を用いる他の洗浄槽と共通のキヤリヤ
を使用して、該キヤリヤに収容された多数の被洗
浄物を該スクラバ洗浄槽で同時に洗浄できるよう
に構成したので、従来困難であつたスクラバ洗浄
と有機溶剤や水による仕上げ洗浄等とのライン化
を実現することができる。
また、上記キヤリヤを、係合溝を備えた複数の
支持ローラで被洗浄物を外周で支持するように構
成すると共に、スクラバ洗浄槽内に、円板形基板
の両側面に多数の突起状の摺擦片を取付けてなる
複数のブラシを設け、これらのブラシを被洗浄物
間に嵌入させて洗浄するように構成したので、ブ
ラシに設けた突起状に摺擦片が、被洗浄物の側面
だけでなく外周面や中心孔の内周面にも確実に摺
接し、これらの外周面や内周面の汚れまできれい
に落すことできる。
支持ローラで被洗浄物を外周で支持するように構
成すると共に、スクラバ洗浄槽内に、円板形基板
の両側面に多数の突起状の摺擦片を取付けてなる
複数のブラシを設け、これらのブラシを被洗浄物
間に嵌入させて洗浄するように構成したので、ブ
ラシに設けた突起状に摺擦片が、被洗浄物の側面
だけでなく外周面や中心孔の内周面にも確実に摺
接し、これらの外周面や内周面の汚れまできれい
に落すことできる。
[実施例]
以下、本考案の実施例を図面に基づいて詳細に
説明するに、第1図及び第2図において、1はデ
イスク形の被洗浄物を洗浄するための洗浄装置の
機体であつて、該機体1の両端には、コンベヤ2
a,3aを備えた被洗浄物の供給口2と取出口3
とを設け、機体1の内部におけるこれらの供給口
2と取出口3との間には、洗浄方法の異なる複数
の洗浄槽4a〜4fを順次配設している。最も供
給口2側に位置する洗浄槽4aは、洗浄液として
洗剤を使用し、ヒータ5で加熱した洗剤中に被洗
浄物を浸漬揺動させながら超音波洗浄するように
構成したものであり、2番目の洗浄槽4bは、ブ
ラシ6によつて被洗浄物を洗浄するスクラバ洗浄
槽として構成したものである。なお、このスクラ
バ洗浄槽4bの具体的構成については後述する。
説明するに、第1図及び第2図において、1はデ
イスク形の被洗浄物を洗浄するための洗浄装置の
機体であつて、該機体1の両端には、コンベヤ2
a,3aを備えた被洗浄物の供給口2と取出口3
とを設け、機体1の内部におけるこれらの供給口
2と取出口3との間には、洗浄方法の異なる複数
の洗浄槽4a〜4fを順次配設している。最も供
給口2側に位置する洗浄槽4aは、洗浄液として
洗剤を使用し、ヒータ5で加熱した洗剤中に被洗
浄物を浸漬揺動させながら超音波洗浄するように
構成したものであり、2番目の洗浄槽4bは、ブ
ラシ6によつて被洗浄物を洗浄するスクラバ洗浄
槽として構成したものである。なお、このスクラ
バ洗浄槽4bの具体的構成については後述する。
また、3番目の洗浄槽4cは、純水を使用し、
これに被洗浄物を浸漬揺動させることによつてそ
の洗浄を行うものであり、必要に応じて超音波を
使用することもでき、4番目の洗浄槽4dは、有
機溶剤中に被洗浄物を浸漬して揺動させながら超
音波洗浄するものであり、さらに、5番目の洗浄
槽4eは、同様に有機溶剤を使用する浸漬揺動形
の洗浄槽である。そして、6番目の洗浄槽4f
は、有機溶剤の蒸気を使用する蒸気洗浄槽となつ
ている。
これに被洗浄物を浸漬揺動させることによつてそ
の洗浄を行うものであり、必要に応じて超音波を
使用することもでき、4番目の洗浄槽4dは、有
機溶剤中に被洗浄物を浸漬して揺動させながら超
音波洗浄するものであり、さらに、5番目の洗浄
槽4eは、同様に有機溶剤を使用する浸漬揺動形
の洗浄槽である。そして、6番目の洗浄槽4f
は、有機溶剤の蒸気を使用する蒸気洗浄槽となつ
ている。
これらの洗浄槽4a〜4fの数及び配列は、図
示したものに限らず、必要に応じて適宜変更する
ことができる。
示したものに限らず、必要に応じて適宜変更する
ことができる。
デイスク状の被洗浄物を収容するためのキヤリ
ヤ7は、第3図及び第4図に示すように、一対の
側板8,9に下縁にV字状の切欠き10を設けた
方形枠状のキヤリヤ本体8と、多数の係合溝12
を一定間隔で切設した複数の被洗浄物用支持ロー
ラ11,11,……とを有し、これらの支持ロー
ラ11を、キヤリヤ本体8における側板8,9間
に凹段状に位置させて回転自在に架設したもの
で、これらの支持ローラ11,11,……におけ
る係合溝12に被洗浄物13の外周部を竪向きに
係合支持させることにより、多数の被洗浄物13
を一定間隔で同時に収容できるように構成してい
る。
ヤ7は、第3図及び第4図に示すように、一対の
側板8,9に下縁にV字状の切欠き10を設けた
方形枠状のキヤリヤ本体8と、多数の係合溝12
を一定間隔で切設した複数の被洗浄物用支持ロー
ラ11,11,……とを有し、これらの支持ロー
ラ11を、キヤリヤ本体8における側板8,9間
に凹段状に位置させて回転自在に架設したもの
で、これらの支持ローラ11,11,……におけ
る係合溝12に被洗浄物13の外周部を竪向きに
係合支持させることにより、多数の被洗浄物13
を一定間隔で同時に収容できるように構成してい
る。
なお、上記キヤリヤ7は、径の異なる被洗浄物
(第3図に鎖線で示す)に共用できるようにする
ため、側板9,9に、被洗浄物13の中心に対し
て放射方向に支持ローラ11の取付孔14a,1
4bを複数組設けておき、必要に応じて支持ロー
ラ11の位置を変えるようにすることもできる。
(第3図に鎖線で示す)に共用できるようにする
ため、側板9,9に、被洗浄物13の中心に対し
て放射方向に支持ローラ11の取付孔14a,1
4bを複数組設けておき、必要に応じて支持ロー
ラ11の位置を変えるようにすることもできる。
また、上記スクラバ洗浄槽4bは、第5図及び
第6図に示すように、その内容に上記キヤリヤ7
を支持する支持桟15と、該キヤリヤ7内の被洗
浄物13を洗浄するための多数の円板状のブラシ
6と、上記被洗浄物13を駆動回転するための手
段である駆動ローラ16と、駆動時に被洗浄物1
3の飛出しを防止する抑えローラ17と、ブラシ
6に水を供給するスプレー管18とを備えてい
る。
第6図に示すように、その内容に上記キヤリヤ7
を支持する支持桟15と、該キヤリヤ7内の被洗
浄物13を洗浄するための多数の円板状のブラシ
6と、上記被洗浄物13を駆動回転するための手
段である駆動ローラ16と、駆動時に被洗浄物1
3の飛出しを防止する抑えローラ17と、ブラシ
6に水を供給するスプレー管18とを備えてい
る。
上記ブラシ6は、アルミニウムなどからなる基
板6aの両側面に多数の突起状の摺擦片19を設
け、この摺擦片19を被洗浄物13の側面に摺接
させてその洗浄を行うように構成したもので、該
ブラシ6をブラシ軸20上に一定間隔で多数取付
け、このブラシ軸20を揺動アーム21の先端に
回転自在に取付けると共に、該ブラシ軸20及び
揺動アーム21の基端の揺動軸22をそれぞれ図
示しない駆動源に連結し、この揺動軸22の駆動
によつて、上記ブラシ6を、その一部分が被洗浄
物13,13間の隙間に嵌入して摺擦片19が被
洗浄物13,13の側面に摺接する洗浄位置(第
5図の鎖線位置)と、被洗浄物13から離間する
待機位置(同図の実線位置)の間で揺動させ得る
ように構成している。
板6aの両側面に多数の突起状の摺擦片19を設
け、この摺擦片19を被洗浄物13の側面に摺接
させてその洗浄を行うように構成したもので、該
ブラシ6をブラシ軸20上に一定間隔で多数取付
け、このブラシ軸20を揺動アーム21の先端に
回転自在に取付けると共に、該ブラシ軸20及び
揺動アーム21の基端の揺動軸22をそれぞれ図
示しない駆動源に連結し、この揺動軸22の駆動
によつて、上記ブラシ6を、その一部分が被洗浄
物13,13間の隙間に嵌入して摺擦片19が被
洗浄物13,13の側面に摺接する洗浄位置(第
5図の鎖線位置)と、被洗浄物13から離間する
待機位置(同図の実線位置)の間で揺動させ得る
ように構成している。
上記ブラシ6に設けた摺擦片19は、被洗浄物
13の外周面や中心穴の内面まで確実に洗浄でき
るようにするため、該被洗浄物13の反対面まで
達するような長さに形成しておくのが望ましく、
この場合、隣接するブラシ6,6における摺擦片
19の位相を互いにずらせておけば、摺擦片同士
が接触して変形するのを防止することができる。
また、上記摺擦片19は、それを均一に分布させ
て設けてもよいが、第5図に示すように、複数の
摺擦片19を1グループとし、複数のグループを
一定間隔で設けるようにしてもよい。
13の外周面や中心穴の内面まで確実に洗浄でき
るようにするため、該被洗浄物13の反対面まで
達するような長さに形成しておくのが望ましく、
この場合、隣接するブラシ6,6における摺擦片
19の位相を互いにずらせておけば、摺擦片同士
が接触して変形するのを防止することができる。
また、上記摺擦片19は、それを均一に分布させ
て設けてもよいが、第5図に示すように、複数の
摺擦片19を1グループとし、複数のグループを
一定間隔で設けるようにしてもよい。
なお、上記摺擦片19は、スポンジやポリウレ
タンホームなど、被洗浄物に傷をつけにくい素材
で形成するのが望ましい。
タンホームなど、被洗浄物に傷をつけにくい素材
で形成するのが望ましい。
また、上記駆動ローラ16は、シリンダ23で
ガイド25に沿つて昇降自在のブラケツト24に
回転自在に取付けられ、該ブラケツト24に固定
したモータ26で駆動されるようになつており、
これを、キヤリヤ7における側板9,9の切欠き
10内において被洗浄物13の外周面に当接する
ように配設している。そして、該駆動ローラ16
の表面には、スポンジ等の摩擦部材を被着し、ス
リツプを防いで回転力を確実に被洗浄物13に伝
達できるようにしている。
ガイド25に沿つて昇降自在のブラケツト24に
回転自在に取付けられ、該ブラケツト24に固定
したモータ26で駆動されるようになつており、
これを、キヤリヤ7における側板9,9の切欠き
10内において被洗浄物13の外周面に当接する
ように配設している。そして、該駆動ローラ16
の表面には、スポンジ等の摩擦部材を被着し、ス
リツプを防いで回転力を確実に被洗浄物13に伝
達できるようにしている。
被洗浄物13の飛出しを防止する上記抑えロー
ラ17は、基端部を軸28によつて槽壁に枢支さ
れた抑えアーム27の先端に回転自在に取付けら
れ、リンク29を介して上記軸28に連結された
シリンダ30により、被洗浄物13に当接する抑
え位置(第5図の鎖線位置)と、被洗浄物13か
ら離間する待機位置(同図の実線位置)とに変位
できるようになつており、上記抑えアーム27の
先端には、多数のノズル18aを備えた上記スプ
レー管18を抑えローラ17と平行に取付けてい
る。このスプレー管18は、上記ブラシ軸20に
よつて兼用することもできる。
ラ17は、基端部を軸28によつて槽壁に枢支さ
れた抑えアーム27の先端に回転自在に取付けら
れ、リンク29を介して上記軸28に連結された
シリンダ30により、被洗浄物13に当接する抑
え位置(第5図の鎖線位置)と、被洗浄物13か
ら離間する待機位置(同図の実線位置)とに変位
できるようになつており、上記抑えアーム27の
先端には、多数のノズル18aを備えた上記スプ
レー管18を抑えローラ17と平行に取付けてい
る。このスプレー管18は、上記ブラシ軸20に
よつて兼用することもできる。
図中31,32は、駆動ローラ16及びブラシ
軸20の変位を可能にするため槽壁に設けた長孔
である。これらの長孔30,31は、適宜の手段
で液密にシールするのが望ましい。
軸20の変位を可能にするため槽壁に設けた長孔
である。これらの長孔30,31は、適宜の手段
で液密にシールするのが望ましい。
さらに、上記機体1には、キヤリヤ7を各洗浄
槽4a〜4fに順次搬送するための搬送手段40
が設けられている。この搬送手段40は、第1図
及び第2図に示すように、上記各洗浄槽4a〜4
fが納められた洗浄室41とその背後の駆動室4
2とを区画する隔壁43の開口44を通じて洗浄
室41側に突出する搬送アーム45を備え、該搬
送アーム45の先端にキヤリヤ7のフツク8aに
先端が係合する吊持体46を取付けると共に、搬
送アーム45の基端を、シリンダ47を駆動源と
する公知の昇降機構48及びモータ49を駆動源
とする公知の横送り機構50に連結したものであ
る。
槽4a〜4fに順次搬送するための搬送手段40
が設けられている。この搬送手段40は、第1図
及び第2図に示すように、上記各洗浄槽4a〜4
fが納められた洗浄室41とその背後の駆動室4
2とを区画する隔壁43の開口44を通じて洗浄
室41側に突出する搬送アーム45を備え、該搬
送アーム45の先端にキヤリヤ7のフツク8aに
先端が係合する吊持体46を取付けると共に、搬
送アーム45の基端を、シリンダ47を駆動源と
する公知の昇降機構48及びモータ49を駆動源
とする公知の横送り機構50に連結したものであ
る。
なお、図中51は、洗浄室41の空気を清浄に
保つためのクリーンユニツトである。
保つためのクリーンユニツトである。
上記構成を有する洗浄装置において、多数の被
洗浄物13を収容したキヤリヤ7が供給口2から
コンベヤ2aで洗浄室41内に送り込まれると、
該キヤリヤ7は、搬送アーム45で吊持され、昇
降機構48と横送り機構50との作用によつて各
洗浄槽4a〜4fを順次搬送され、それぞれの洗
浄槽において被洗浄物に所定の洗浄が施される。
そして、洗浄の終了したキヤリヤ7は、被洗浄物
13と共に取出口3から取出される。
洗浄物13を収容したキヤリヤ7が供給口2から
コンベヤ2aで洗浄室41内に送り込まれると、
該キヤリヤ7は、搬送アーム45で吊持され、昇
降機構48と横送り機構50との作用によつて各
洗浄槽4a〜4fを順次搬送され、それぞれの洗
浄槽において被洗浄物に所定の洗浄が施される。
そして、洗浄の終了したキヤリヤ7は、被洗浄物
13と共に取出口3から取出される。
そして、上記スクラバ洗浄槽4bにおいては、
キヤリヤ7が搬送アーム45によつて槽内に搬入
され、支持桟15上に載置されると、揺動軸22
の回転によつてブラシ6が第5図に鎖線で示す洗
浄位置まで変位すると共に、駆動ローラ16及び
抑えローラ17がそれぞれシリンダ23,30の
作動によつて被洗浄物13の外周面に当接する位
置まで変位し、被洗浄物13は、駆動ローラ16
により強制回転されながら同様に回転するブラシ
6によつて洗浄される。
キヤリヤ7が搬送アーム45によつて槽内に搬入
され、支持桟15上に載置されると、揺動軸22
の回転によつてブラシ6が第5図に鎖線で示す洗
浄位置まで変位すると共に、駆動ローラ16及び
抑えローラ17がそれぞれシリンダ23,30の
作動によつて被洗浄物13の外周面に当接する位
置まで変位し、被洗浄物13は、駆動ローラ16
により強制回転されながら同様に回転するブラシ
6によつて洗浄される。
このとき、ブラシ6の突起状摺擦片19が、被
洗浄物13の側面だけでなく外周面や中心穴の内
面にまで接触し、被洗浄物全体がまんべんなく洗
浄されることになる。しかも、摺擦片19を突起
状とすることによつて被洗浄物13との摺動抵抗
が小さくなり、駆動ローラ16による該被洗浄物
13の駆動は容易に行われる。もちろんこの洗浄
時には、上記ブラシ6にスプレー管18を通じて
水が供給されることはいうまでもない。
洗浄物13の側面だけでなく外周面や中心穴の内
面にまで接触し、被洗浄物全体がまんべんなく洗
浄されることになる。しかも、摺擦片19を突起
状とすることによつて被洗浄物13との摺動抵抗
が小さくなり、駆動ローラ16による該被洗浄物
13の駆動は容易に行われる。もちろんこの洗浄
時には、上記ブラシ6にスプレー管18を通じて
水が供給されることはいうまでもない。
上記スクラバ洗浄が終了すると、ブラシ6、駆
動ローラ16及び抑えローラ17がそれぞれ待機
位置に後退し、キヤリヤ7は搬送アーム45によ
つて次の洗浄槽へ搬送される。
動ローラ16及び抑えローラ17がそれぞれ待機
位置に後退し、キヤリヤ7は搬送アーム45によ
つて次の洗浄槽へ搬送される。
第1図及び第2図は本考案の一実施例を示す縦
断正面図及び同側面図、第3図及び第4図はキヤ
リヤの側面図及び同縦断面図、第5図及び第6図
はスクラバ洗浄槽の拡大断面図及び同縦断側面図
である。 4a〜4f……洗浄槽、6……ブラシ、7……
キヤリヤ、11……支持ローラ、12……係合
溝、13……被洗浄物、16……駆動ローラ、4
0……搬送手段。
断正面図及び同側面図、第3図及び第4図はキヤ
リヤの側面図及び同縦断面図、第5図及び第6図
はスクラバ洗浄槽の拡大断面図及び同縦断側面図
である。 4a〜4f……洗浄槽、6……ブラシ、7……
キヤリヤ、11……支持ローラ、12……係合
溝、13……被洗浄物、16……駆動ローラ、4
0……搬送手段。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 デイスク形の被洗浄物を洗浄するための複数の
洗浄槽と、上記被洗浄物を収容するためのキヤリ
ヤと、該キヤリヤを各洗浄槽に順次搬送するため
の搬送手段とを備えた多槽式洗浄装置において、 上記キヤリヤを、被洗浄物の外周部が嵌合する
係合溝を所定間隔で備えた複数の支持ローラを凹
段状に配設することにより、これらの支持ローラ
で多数の被洗浄物を竪向きに並んだ状態で支持可
能なものとして構成し、 上記複数の洗浄槽の一部をスクラバ洗浄槽とし
て、該スクラバ洗浄槽内に、円板形基板の両側面
に多数の突起状の摺擦片を取付けてなる複数のブ
ラシを、互いに所定の間隔を保つた状態で、キヤ
リヤに支持された被洗浄物間に嵌入する洗浄位置
と被洗浄物から離間する待機位置との間を揺動自
在且つ駆動回転自在に配設すると共に、被洗浄物
の外面に当接して該被洗浄物を駆動回転させる駆
動ローラとを配設した、 ことを特徴とする多槽式洗浄装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1984162191U JPH0422411Y2 (ja) | 1984-10-26 | 1984-10-26 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1984162191U JPH0422411Y2 (ja) | 1984-10-26 | 1984-10-26 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6176515U JPS6176515U (ja) | 1986-05-23 |
JPH0422411Y2 true JPH0422411Y2 (ja) | 1992-05-22 |
Family
ID=30720079
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1984162191U Expired JPH0422411Y2 (ja) | 1984-10-26 | 1984-10-26 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0422411Y2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20180104282A (ko) * | 2015-09-16 | 2018-09-20 | 타이코 일렉트로닉스 (상하이) 컴퍼니 리미티드 | 세정 시스템 |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62154391A (ja) * | 1985-12-27 | 1987-07-09 | Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd | デイスク群の洗浄装置 |
JPH0640400B2 (ja) * | 1986-06-11 | 1994-05-25 | スピ−ドフアム株式会社 | デイスク洗浄装置 |
JP2817532B2 (ja) * | 1992-08-05 | 1998-10-30 | 日立電子エンジニアリング株式会社 | 超音波洗浄装置 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS618734A (ja) * | 1984-06-21 | 1986-01-16 | Mitsubishi Chem Ind Ltd | ワ−ク洗浄装置 |
-
1984
- 1984-10-26 JP JP1984162191U patent/JPH0422411Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS618734A (ja) * | 1984-06-21 | 1986-01-16 | Mitsubishi Chem Ind Ltd | ワ−ク洗浄装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20180104282A (ko) * | 2015-09-16 | 2018-09-20 | 타이코 일렉트로닉스 (상하이) 컴퍼니 리미티드 | 세정 시스템 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6176515U (ja) | 1986-05-23 |
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