JPH04203529A - Sealing device - Google Patents
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- JPH04203529A JPH04203529A JP2334760A JP33476090A JPH04203529A JP H04203529 A JPH04203529 A JP H04203529A JP 2334760 A JP2334760 A JP 2334760A JP 33476090 A JP33476090 A JP 33476090A JP H04203529 A JPH04203529 A JP H04203529A
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Landscapes
- Sealing Using Fluids, Sealing Without Contact, And Removal Of Oil (AREA)
- Sealing Of Bearings (AREA)
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
この発明は、シール装置に関し、特に、クリーンロボッ
ト等に好適なシール装置に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Field of Industrial Application) The present invention relates to a sealing device, and particularly to a sealing device suitable for clean robots and the like.
（従来の技術）
従来より、この種のクリーンルームで使用されるクリー
ンロボットとして、軸受等の摺動部からの発塵を防ぐシ
ール構造が簡易となる等の利点があることから、例えば
「自動化技術Ｊ （Ｖｏｌ、１９ Ｎｏ、８１９８７
）等の刊行物に示されているような回転アーム型のもの
が広く採用されている。このクリーンロボットは、第６
図に示すように、ベース３１上に配置されたドラム３２
と、このドラム３２の上部に第１関節３３を介（７て支
持された第１アーム３４と、該第１アーム３４の先端に
第２関節３５を介して支持された第２アーム３６と、該
第２アーム３６の先端に第３関節３７を介して支持され
、先端にフィンガ３９を有する第３アーム３８とを備え
ている。そして、ステッピングモータ４０により各アー
ム３４．３６．３８を関節３３゜３５、．３７回りに回
動させることにより、フィンガ３９を回動運動ないし直
線運動させるようになっている。(Conventional technology) Conventionally, clean robots used in this type of clean room have advantages such as a simple seal structure that prevents dust from being generated from sliding parts such as bearings. J (Vol, 19 No, 81987
) and other publications have widely adopted rotating arm types. This clean robot is the 6th
As shown in the figure, a drum 32 placed on a base 31
A first arm 34 is supported on the upper part of the drum 32 via a first joint 33 (7), and a second arm 36 is supported at the tip of the first arm 34 via a second joint 35. A third arm 38 is supported at the tip of the second arm 36 via a third joint 37 and has a finger 39 at the tip.The stepping motor 40 moves each arm 34, 36, 38 to the joint 33 By rotating the finger 39 around .35 and .37, the finger 39 is rotated or linearly moved.
すなわち、フィンガ３９に半径方向の直線運動を行わせ
るときには、第７図（ａ）〜（ｃ）に示す如く、第１及
び第２アーム３４．３６の回動により第３アーム３８を
長さ方向に移動させ、角度方向の回動運動を行わせると
きには、同図（ｄ）〜（ｆ）に示すように、第１及び第
２アーム３４゜３６の回動に加えて第３アーム３８の回
動を行わせる。That is, when the finger 39 is caused to perform a linear movement in the radial direction, the third arm 38 is moved in the longitudinal direction by the rotation of the first and second arms 34 and 36, as shown in FIGS. When the third arm 38 is rotated in addition to the rotation of the first and second arms 34°36, as shown in FIGS. make the movement take place.
上記各関節３３，３５．３７には磁性体シール構造が採
用されている。この磁性体シール構造は、第８図に示す
ように、軸支持部材としてのハウジング４１の内周に環
状の磁石４２が固定され、この磁石４２の両側にそれぞ
れリング状のポールピース４３，４Ｂが取り付けられて
いる。この各ポールピース４３の中心部には磁石４２の
内径よりも大きい中心孔４３ａが形成され、この中心孔
４３ａに軸４４が微小間隙をあけて挿通されている。Each of the joints 33, 35, and 37 has a magnetic seal structure. As shown in FIG. 8, in this magnetic seal structure, an annular magnet 42 is fixed to the inner periphery of a housing 41 serving as a shaft support member, and ring-shaped pole pieces 43 and 4B are provided on both sides of the magnet 42, respectively. attached. A center hole 43a larger than the inner diameter of the magnet 42 is formed in the center of each pole piece 43, and a shaft 44 is inserted through the center hole 43a with a small gap.
この各ポールピース４３と軸４４との間の微小間隙には
磁性流体が充填され、この磁性流体はポールピース４３
による磁力により間隙に保持されている。The minute gap between each pole piece 43 and the shaft 44 is filled with magnetic fluid, and this magnetic fluid
It is held in the gap by the magnetic force.
（発明が解決しようとする課題）
しかし、このような磁性流体を使ったシール構造では、
磁性流体かある程度蒸発することは避けられ得ない。そ
の場合、シール性能が低下するばかりでなく、蒸発した
磁性流体によりクリーンルームのクリーン度か低下する
虞れがある。(Problem to be solved by the invention) However, in a seal structure using such a magnetic fluid,
It is inevitable that the magnetic fluid will evaporate to some extent. In that case, there is a risk that not only the sealing performance will deteriorate, but also the cleanliness of the clean room will deteriorate due to the evaporated magnetic fluid.
また、上記のような回転アーム型のロボットでは、フィ
ンガ３９の直線運動を、第１及び第２アーム３４．３６
の回動により制御するため、ロボットの作動範囲が狭く
、応答遅れか生じるとともに、アームの設計や制御が複
雑になる問題かある。In addition, in the rotary arm type robot as described above, the linear movement of the finger 39 is controlled by the first and second arms 34, 36.
Since the robot is controlled by the rotation of the arm, the operating range of the robot is narrow, there may be a delay in response, and the arm design and control become complicated.
本発明は斯かる諸点に鑑みてなされたもので、その目的
は、シール部の構造を改良することで、摺動部やシール
部で発生した異物か外部のクリーンルーム等に侵入する
のを有効に防いて、クリーンルーム等のクリーン度が低
下するのを防止しようとすることにある。The present invention has been made in view of the above points, and its purpose is to improve the structure of the seal part to effectively prevent foreign matter generated in the sliding part or the seal part from entering an external clean room, etc. The goal is to prevent the cleanliness of clean rooms, etc. from deteriorating.
また、本発明の他の目的は、このようなシール装置を往
復動アーム型のロボットに適用できるようにして、クリ
ーンロボットの作動範囲を拡大し、かつ応答速度を上昇
できるようにすることにある。Another object of the present invention is to make it possible to apply such a sealing device to a reciprocating arm type robot, thereby expanding the operating range of the clean robot and increasing the response speed. .
（課題を解決するための手段）
上記の目的を達成すべく、請求項（１）の発明では、回
転アーム型又は往復アーム型ロボット等の摺動部に非接
触シールを設けている。(Means for Solving the Problems) In order to achieve the above object, in the invention of claim (1), a non-contact seal is provided on a sliding part of a rotating arm type robot, a reciprocating arm type robot, or the like.
具体的には、この発明では、軸と、該軸を支持する支持
部材と、上記軸と支持部材との間に設けられた軸受と、
上記支持部材において軸受よりも外気側に、内周端を軸
に近接せしめて突設され、軸受との間に空間を形成する
仕切壁と、上記空間にクリーンガスを供給するガス供給
手段とを備えたことを特徴としている。Specifically, in the present invention, a shaft, a support member that supports the shaft, a bearing provided between the shaft and the support member,
A partition wall protruding from the support member closer to the outside air than the bearing with an inner peripheral end close to the shaft and forming a space between the support member and the bearing, and a gas supply means for supplying clean gas to the space. It is characterized by the fact that it is equipped with
また、請求項（２）の発明では、上記空間内に供給され
たクリーンガスがクリーンルーム内等に侵入することな
くそのまま外部に排出されるようにした。Further, in the invention of claim (2), the clean gas supplied into the space is discharged to the outside without entering the clean room or the like.
すなわち、この発明では、仕切壁は、軸受側に位置する
第１仕切壁と、該第１仕切壁に対し軸受と反対側に位置
する第２仕切壁とで構成され、両仕切壁間には空間が形
成され、該空間はガス排気手段に連通していることを特
徴とする。That is, in this invention, the partition wall is composed of a first partition wall located on the bearing side and a second partition wall located on the opposite side of the bearing with respect to the first partition wall, and there is a space between the two partition walls. A space is formed, and the space communicates with the gas exhaust means.
（作用）
上記の構成により、請求項（１）の発明では、ガス供給
手段により空間にクリーンガスか供給されると、このガ
スは空間から仕切壁内周端と軸外周との間の間隙を通っ
て排出される。このとき、上記間隙の間隔が小さいため
、該間隙でのガスの流動抵抗が大きくなり、空間内のガ
ス圧が上昇する。(Function) With the above configuration, in the invention of claim (1), when clean gas is supplied to the space by the gas supply means, this gas flows from the space to the gap between the inner circumference of the partition wall and the outer circumference of the shaft. It passes through and is discharged. At this time, since the distance between the gaps is small, the flow resistance of the gas in the gaps increases, and the gas pressure in the space increases.
その結果、軸受で異物が発生してもその異物は空間内の
ガスにより規制され、間隙を越えて外部に出ることがな
く、異物のクリーンルーム等への侵入を防止できる。ま
た、磁性流体によるシール構造ではないので、その蒸発
によるシール性能の低下やクリーン度の低下はない。As a result, even if foreign matter is generated in the bearing, the foreign matter is regulated by the gas in the space, and does not cross the gap to the outside, thereby preventing foreign matter from entering the clean room or the like. Furthermore, since the seal structure is not based on magnetic fluid, there is no deterioration in sealing performance or cleanliness due to evaporation of the magnetic fluid.
また、こうしてクリーンガスによりシールするので、往
復動アーム型のロボットでも使用できることとなる。従
って、クリーンロボットの作動範囲を拡大でき、かつ応
答速度を上昇させることができる。Furthermore, since the seal is sealed with clean gas, it can also be used with reciprocating arm type robots. Therefore, the operating range of the clean robot can be expanded and the response speed can be increased.
請求項（２）の究明では、上記ガス供給手段により空間
に供給された後、間隙を経て排出されるガスは、そのま
まクリーンルーム等へ排出されず、上記空間に隣接する
空間から排気手段により吸引される。このようにすると
、クリーンガスかクリーンルーム等に流出しないので、
クリーンルーム等でのガスの流れか乱されることを防止
できる。In the investigation of claim (2), the gas that is supplied to the space by the gas supply means and then exhausted through the gap is not directly discharged to a clean room or the like, but is sucked by the exhaust means from a space adjacent to the space. Ru. In this way, clean gas will not leak into the clean room, etc.
It can prevent gas flow from being disturbed in clean rooms, etc.
（実施例１） 以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。(Example 1) Embodiments of the present invention will be described below based on the drawings.
第１図は、本発明をクリーンルームに設置される回動ア
ーム型ロボットの関節に適用した実施例１を示し、ロボ
ットは少なくとも第１及び第２の２つのアーム１，２を
有しく第６図参照）、アーム１，２同士は関節３で連結
されている。すなわち、第１図において、第２アーム２
の基端部は第１アーム］の先端部に対し軸４により回動
可能に支持されている。第１アーム〕は本発明でいう支
持部材を構成１〜でおり、その先端部には２股状の支持
部１ａ、ｌｂが上下に対向状に形成され、各支持部１ａ
、ｌｂの対向面には台底円筒状の軸受穴５ａ、５ｂか上
下に対応して形成されている、各軸受穴５ａ、５ｂ内に
は軸４の端部かそれぞれ嵌挿され、該軸４の中央部は第
２了−ム：２の基端部か回転一体に固定されている。軸
、４の各端ｍ′犬軸受穴５ａ、５ｂ内周壁面との間には
それぞれ軸受６，６か嵌合されており、この軸受６．Ｃ
）により軸４つまり第２アーム２基端部を第１７−ム１
先端部に対し回転可能に支持している１、上記軸受穴５
ａ、５ｂの開口部、すなわち上側軸受穴５ａにあっては
下部、下側軸受穴５ｂにあっては上部にはそれぞれ仕切
壁７．７か突設されている。この各仕切壁７は軸受穴５
ａ、５ｂの開口を覆うように軸４の中心側に向かって延
び、その内周端は軸４の外周面と微小間隙８をあけて近
接１２ている。この構造により、軸受穴５ａ、５ｂの内
部には穴５ａ、５ｂの底部に位置する軸受６との間に上
記仕切壁７で略閉塞される空間９か形成されている。こ
の各空間９にはクリーンガス供給通路１０の下流端が開
口され、該通路１０の上流端は、空気や窒素ガス等のク
リーンガスを送給するクリーンガス供給源１１に接続さ
れており、このガス供給源１１及びガス供給通路〕２０
により、空間９にクリーンガスを供給するように１７た
ガス供給手段１２が構成されている。また、このように
クリーンガスを空間９に供給することで、軸受６．６を
クリーンルームに対しシールする非接触式のシールか構
成される。Embodiment 1 FIG. 1 shows a first embodiment in which the present invention is applied to the joints of a rotating arm type robot installed in a clean room. ), the arms 1 and 2 are connected to each other at a joint 3. That is, in FIG. 1, the second arm 2
The proximal end of the first arm is rotatably supported by a shaft 4 relative to the distal end of the first arm. The first arm] constitutes a support member in the present invention, and bifurcated support parts 1a and lb are formed at the distal end thereof in a vertically opposed manner, and each support part 1a
, lb are formed with bottom cylindrical bearing holes 5a, 5b corresponding to the upper and lower sides.The end of the shaft 4 is fitted into each of the bearing holes 5a, 5b, respectively. The central portion of the second arm 4 is rotatably fixed to the base end of the second arm 2. Bearings 6, 6 are fitted between each end of the shaft 4 and the inner circumferential wall surface of the dog bearing holes 5a, 5b, respectively. C
) to connect the shaft 4, that is, the base end of the second arm 2 to the 17th arm 1.
1, which rotatably supports the tip, and the bearing hole 5 mentioned above.
Partition walls 7.7 are protruding from the openings a and 5b, that is, the lower part of the upper bearing hole 5a and the upper part of the lower bearing hole 5b. Each partition wall 7 has a bearing hole 5
It extends toward the center of the shaft 4 so as to cover the openings of the shafts 4 and 5b, and its inner peripheral end is in close proximity 12 to the outer peripheral surface of the shaft 4 with a minute gap 8 therebetween. With this structure, a space 9 substantially closed by the partition wall 7 is formed inside the bearing holes 5a, 5b and between the bearing 6 located at the bottom of the holes 5a, 5b. A downstream end of a clean gas supply passage 10 is opened in each space 9, and an upstream end of the passage 10 is connected to a clean gas supply source 11 that supplies clean gas such as air or nitrogen gas. Gas supply source 11 and gas supply passage] 20
Accordingly, a gas supply means 12 is configured to supply clean gas to the space 9. Further, by supplying clean gas to the space 9 in this manner, a non-contact type seal is formed to seal the bearing 6.6 to the clean room.
１７たがっＣ１この実施例では、ロボットの作動中、ガ
ス供給源１］から送給されたクリーンガスはガス供給通
路１０を介して第１アーム１におｉフる各軸受穴５ａ、
５ｂ内の空間９に供給される。In this embodiment, during operation of the robot, the clean gas supplied from the gas supply source 1 passes through the gas supply passage 10 to the first arm 1 through each bearing hole 5a,
It is supplied to the space 9 within 5b.
このクリーンガスは、第１図で矢印にて示す如く、空間
９から仕切壁７の内周端と軸４外周との間の微小間隙８
を通ってクリーンルーム内に排出される。このとき、上
記仕切壁７の内周端と軸４外周との間の間隙８の間隔が
小さいことから、該間隙８を通過する際のガスの抵抗は
大きく、この抵抗により空間９内のガス圧が上昇する。As shown by the arrow in FIG.
and is discharged into the clean room. At this time, since the gap 8 between the inner peripheral end of the partition wall 7 and the outer periphery of the shaft 4 is small, the resistance of the gas when passing through the gap 8 is large, and due to this resistance, the gas in the space 9 Pressure increases.
このため、軸受６を外部のクリーンルームに対しシール
する非接触式シールが構成され、軸受６の摺動部分での
摺動により異物が発生（２ても、その異物は上記空間９
内のガス圧により軸受６側（軸受穴５ａ。For this reason, a non-contact type seal is configured to seal the bearing 6 against the external clean room, and foreign matter is generated due to sliding in the sliding portion of the bearing 6 (even if the foreign matter is
Due to the gas pressure inside the bearing 6 side (bearing hole 5a).
５ｂ奥部）に押し戻され、間隙８を越えて軸受穴５ａ、
５ｂ外部に出ることかなく、よって異物のクリーンルー
ムへの侵入を防止することかできる。5b), and is pushed back to the bearing hole 5a, beyond the gap 8.
5b, without going outside, thus preventing foreign matter from entering the clean room.
また、こうして磁性流体を使用せずに非接触式シールで
軸受６をシールしているので、磁性流体の蒸発によりシ
ール性能か低下したり、或いは蒸発した磁性流体により
クリーンルーツ・が汚染されたりすることはなく、よっ
てクリーンルームのクリーン度を向上維持することがで
きる。In addition, since the bearing 6 is sealed with a non-contact seal without using magnetic fluid, the sealing performance may deteriorate due to evaporation of the magnetic fluid, or the Clean Roots may be contaminated by the evaporated magnetic fluid. Therefore, the cleanliness of the clean room can be improved and maintained.
（実施例２）
第２図は実施例２を示しく尚、以下の各実施例では、第
１図と同じ部分については同（２符号を付（７てその詳
細な説明は省略する）、この実施例では、各軸受穴５ａ
、５ｂの内部に軸受６が嵌装され、該軸受６の開口側に
はオイルシール又は磁性流体シールからなる接触式シー
ル１３が配置されている。(Example 2) FIG. 2 shows Example 2. In each of the following examples, the same parts as in FIG. In this embodiment, each bearing hole 5a
, 5b is fitted with a bearing 6, and a contact seal 13 made of an oil seal or a magnetic fluid seal is arranged on the opening side of the bearing 6.
この実施例では、各軸受６か非接触シールのみならず接
触式シール１３によってもシールされるので、その分、
空間９に対するクリーンガスの供給量を低減できるとと
もに、仕切壁７の突出長さを短くしたり、或いは仕切壁
７の内周端と軸４との間の間隙８を広げたりすることが
できる利点がある。In this embodiment, each bearing 6 is sealed not only by a non-contact seal but also by a contact seal 13, so that
The advantage is that the amount of clean gas supplied to the space 9 can be reduced, and the protruding length of the partition wall 7 can be shortened, or the gap 8 between the inner peripheral end of the partition wall 7 and the shaft 4 can be widened. There is.
（実施例３）
第３図は実施例３を示し、空間９に供給されたクリーン
ガスをクリーンルームに排出することなく回収するよう
にしたものである。(Embodiment 3) FIG. 3 shows Embodiment 3, in which the clean gas supplied to the space 9 is recovered without being discharged into the clean room.
この実施例では、軸受穴５ａ、５ｂ開口での各仕切壁７
′は、軸受６側つまり軸受穴５ａ、 ５ｂ奥側に位置
する第１仕切壁１５と、該第１仕切壁１５に対し軸受６
と反対側つまり軸受穴５ａ、５ｂ開ロ側に位置する第２
仕切壁１６とで構成され、両仕切壁１５，１６間には仕
切壁７′の内の空間９と同様の空間１７が形成されてい
る。そして、この空間１７にはガス排気手段としてのク
リーンガス排出通路１８の上流端が開口され、該通路１
８の下流端はクリーンルーム外に開放されており、空間
９に供給されたクリーンガスをクリーンルーム外に排出
するようにしている。In this embodiment, each partition wall 7 at the opening of the bearing holes 5a and 5b
' is the first partition wall 15 located on the bearing 6 side, that is, on the back side of the bearing holes 5a and 5b, and the bearing 6 relative to the first partition wall 15.
The second one located on the opposite side, that is, on the open side of the bearing holes 5a and 5b.
A space 17 similar to the space 9 in the partition wall 7' is formed between the partition walls 15 and 16. The upstream end of a clean gas exhaust passage 18 serving as a gas exhaust means is opened in this space 17.
The downstream end of 8 is open to the outside of the clean room, and the clean gas supplied to space 9 is discharged outside of the clean room.
したがって、この実施例では、上記実施例１と同様に、
ガス供給源１１から送給されたクリーンガスはガス供給
通路１０を介して第１アーム１における各軸受穴５ａ、
５ｂ内の空間９に供給されるが、そのとき、上記クリー
ンガスは空間９に供給された後、第１仕切壁１５の内周
と軸４との間の間隙８を経て両仕切壁１５．１６間の空
間１７に排出される。この空間１７にはクリーンガス排
出通路１８が連通し、この通路１８はクリーンルーム外
に開放されているので、上記空間１７内のガスは、その
ままクリーンルームへ排出されず、該空間１７から直接
クリーンルーム外に排出される。その結果、クリーンガ
スがクリーンルームに流出しないので、クリーンルーム
てのガス流の乱れを防止できる。Therefore, in this example, as in Example 1 above,
The clean gas supplied from the gas supply source 11 passes through the gas supply passage 10 to each bearing hole 5a in the first arm 1,
At that time, the clean gas is supplied to the space 9 and then passes through the gap 8 between the inner periphery of the first partition wall 15 and the shaft 4 to both partition walls 15. It is discharged into the space 17 between 16 and 16. A clean gas discharge passage 18 communicates with this space 17, and since this passage 18 is open to the outside of the clean room, the gas in the space 17 is not directly discharged to the clean room, but directly from the space 17 to the outside of the clean room. be discharged. As a result, the clean gas does not flow into the clean room, thereby preventing turbulence in the gas flow in the clean room.
（実施例４）
第４図及び第５図は実施例４を示し、本発明を往復動型
アクチュエータに適用したものである。(Embodiment 4) FIGS. 4 and 5 show Embodiment 4, in which the present invention is applied to a reciprocating actuator.
すなわち、このアクチュエータ２１は、ベース２２上に
立設された前後２対の支持台２３． ２Ｂ。That is, this actuator 21 is mounted on two pairs of front and rear support stands 23 . 2B.
・・・を有し、対応する各対の支持台２３．２３間には
それぞれ軸４’ 、４’が架設されている。両軸４’
、４’の上方にはテーブル２４が配置され、該テーブル
２４は各軸４′に対しテーブル２４に固定した左右１対
の支持部材２５．２５を介して支持され、この各支持部
材２５と軸４′との間には軸受６′が嵌装されており、
この軸受６′によりテーブル２４が軸４′に対し左右方
向にスライド可能とされている。各軸受６′は例えばニ
ードル軸受、滑り軸受、エアベアリング等で構成される
。また、両軸４’ 、４’間のベース２２上にはりニア
モータ２６が設置されており、このリニアモータ２６に
よりテーブル２４をスライドさせるようにしている。..., and shafts 4', 4' are installed between the corresponding pairs of support stands 23, 23, respectively. Both shafts 4'
, 4' is arranged above the table 24, and the table 24 is supported with respect to each shaft 4' via a pair of left and right support members 25, 25 fixed to the table 24. A bearing 6' is fitted between the
This bearing 6' allows the table 24 to slide in the left and right directions with respect to the shaft 4'. Each bearing 6' is composed of, for example, a needle bearing, a sliding bearing, an air bearing, or the like. Further, a linear motor 26 is installed on the base 22 between the two shafts 4', 4', and the table 24 is slid by this linear motor 26.
上記各支持部材２５の左右両側にはそれぞれ円筒状のシ
ール壁２７．２７が突設され、該各シール壁２７の軸受
６′と反対側開口は上記実施例１と同様の仕切壁７によ
り略閉塞され、該仕切壁７の内周端は軸４′に微小間隙
８をおいて近接配置されている。また、仕切壁７の軸受
６′との間には空間９が形成され、この空間９には図示
しないが上記実施例１と同様のクリーンガス供給通路の
下流端が開口しており、空間９にクリーンガスを供給す
ることで、軸受６′をクリーンルームに対しシールする
非接触式シールが構成されている。Cylindrical seal walls 27 and 27 are protruded from the left and right sides of each of the support members 25, respectively, and the opening on the side opposite to the bearing 6' of each of the seal walls 27 is approximately formed by the partition wall 7 similar to that in the first embodiment. The inner peripheral end of the partition wall 7 is placed close to the shaft 4' with a minute gap 8 therebetween. Further, a space 9 is formed between the partition wall 7 and the bearing 6', and although not shown in this space 9, the downstream end of the clean gas supply passage similar to that in the first embodiment is opened, and the space 9 By supplying clean gas to the bearing 6', a non-contact seal is constructed to seal the bearing 6' from the clean room.
したがって、この実施例においては、リニアモータ２６
の作動によるテーブル２４の駆動中、実施例１と同様に
、ガス供給源から送給されたクリーンガスはガス供給通
路を介してシール壁２７内の空間９に供給され、このク
リーンガスは、図で矢印にて示す如く、空間９から仕切
壁７の内周端と軸４′外周との間の微小間隙８を通って
クリーンルーム内に排出される。このことにより、軸受
６′を外部のクリーンルームに対しシールする非接触式
シールが構成され、軸受６′の摺動部分での摺動により
異物が発生しても、その異物がクリーンルームへ侵入す
るのを防止し、実施例１と同様の作用効果が得られる。Therefore, in this embodiment, the linear motor 26
While the table 24 is being driven by the operation of the table 24, the clean gas supplied from the gas supply source is supplied to the space 9 within the seal wall 27 through the gas supply passage, as in the first embodiment, and this clean gas is As shown by the arrow, the liquid is discharged from the space 9 into the clean room through a minute gap 8 between the inner circumferential end of the partition wall 7 and the outer circumference of the shaft 4'. This constitutes a non-contact seal that seals the bearing 6' against the external clean room, and even if foreign matter is generated due to sliding on the sliding portion of the bearing 6', the foreign matter will not enter the clean room. The same effects as in Example 1 can be obtained.
また、こう（２てクリーンガスにより軸受６′をシール
するので、往復動アクチュエータ２１をクリーンロボッ
トとしてクリーンルームで使用することかできる。この
ように往復動型クリーンロボットをクリーンルームで使
用することで、該クリーンロボットの作動範囲を拡大で
き、かつ応答速度を上昇させることができるとともに、
その制御や設計を簡単にすることができる。In addition, since the bearing 6' is sealed with clean gas (2), the reciprocating actuator 21 can be used as a clean robot in a clean room. By using the reciprocating clean robot in a clean room in this way, The operating range of the clean robot can be expanded, the response speed can be increased, and
Its control and design can be simplified.
（発明の効果）
以上説明１７たように、請求項（１）の発明によると、
回転アーム型又は往復アーム型ロボ・ソト等の摺動部に
クリーンガスによる非接触シールを設けたことにより、
摺動部の異物がクリーンルーム等に侵入するのを有効に
防止でき、クリーンルームのクリーン度の低下を防止し
てクリーン度を一定に保持することができる。また、ク
リーンルームか汚染されないので、クリーンルームの建
築費や運転費、メンテナンス費等を低減することができ
る。(Effect of the invention) As explained above, according to the invention of claim (1),
By providing a non-contact seal using clean gas on the sliding parts of rotating arm type or reciprocating arm type robots and sotos,
It is possible to effectively prevent foreign matter from the sliding part from entering the clean room, etc., and it is possible to prevent the cleanliness of the clean room from deteriorating and maintain the cleanliness constant. Furthermore, since the clean room is not contaminated, the construction cost, operating cost, maintenance cost, etc. of the clean room can be reduced.
さらに、磁性流体によりシールしないので、その蒸発に
よるシール性能の低下かない。さらに、回転アーム型の
みならず往復動アーム型ロホノトに適用できるので、；
ｑ計及び制御か容易になり、ロボットの作動範囲を拡大
しかつ応答速度を速めることができる。Furthermore, since sealing is not performed using magnetic fluid, there is no reduction in sealing performance due to evaporation of the magnetic fluid. Furthermore, it can be applied not only to the rotating arm type but also to the reciprocating arm type.
Q-metering and control become easier, the robot's operating range can be expanded, and response speed can be increased.
請求項（２）の発明によれば、仕切壁を、軸受側に位置
する第１２仕切壁と、該第１仕切壁に対し軸受と反対側
に位置する第２仕切壁とて構成し、両仕切壁間に、ガス
排気手段に連通ずる空間を形成し。According to the invention of claim (2), the partition wall is constituted by a twelfth partition wall located on the bearing side, and a second partition wall located on the opposite side of the bearing with respect to the first partition wall, and both A space communicating with the gas exhaust means is formed between the partition walls.
゛たので、上記ガス供給手段により空間に供給された後
に間隙を経て排出されるガスかクリーンルーム等に流出
するのを防いで、クリーンルーム等でのガスの流れが乱
されることを防止できる。Therefore, the gas discharged through the gap after being supplied to the space by the gas supply means can be prevented from flowing into the clean room, etc., and the flow of gas in the clean room etc. can be prevented from being disturbed.
第１図は本発明の実施例１を示すロボット関節の要部拡
大断面図である。第２図及び第３図はそれぞれ実施例２
．３を示す第１図相当図である。
第４図及び第５図は実施例４を示し、第４図は往復動型
アクチュエータの正面図、第５図は第４図のＶ−Ｖ線断
面図である。第６図は従来のクリーンロボットの斜視図
、第７図はフィンガの動きを示す説明図、第８図は関節
の一部破断拡大斜視図である。
１・・・第１アーム（支持部材）
２・・第２アーム
４．４′・・・軸
６．６′ ・・・軸受
７．７′ ・・・仕切壁
８・・・間隙
９・・・空間
１２・・・ガス供給源
１５・・・第１仕切壁
１６・・・第２仕切壁
１７・・・空間
１８・・・クリーンガス排出通路（ガス排気手段）２１
・・・往復動型アクチュエータ
２５・・・支持部材
特許出願人 新明和工業株式会社 ギＨｅ
ｒ−；
代 理 人 弁理士 前 １） 弘（ばか］名）Ｊ！第
２図
訪ｄ勺
−・＝ミコ
をシミ。
第 ３ 図
第４図
第５図
第６ 図
第７ 図
第８図FIG. 1 is an enlarged sectional view of a main part of a robot joint showing a first embodiment of the present invention. Figures 2 and 3 are Example 2, respectively.
．． FIG. 3 is a diagram corresponding to FIG. 4 and 5 show a fourth embodiment, FIG. 4 is a front view of the reciprocating actuator, and FIG. 5 is a sectional view taken along the line V-V in FIG. 4. FIG. 6 is a perspective view of a conventional clean robot, FIG. 7 is an explanatory view showing the movement of fingers, and FIG. 8 is an enlarged partially cutaway perspective view of a joint. 1...First arm (support member) 2...Second arm 4.4'...Shaft 6.6'...Bearing 7.7'...Partition wall 8...Gap 9... - Space 12... Gas supply source 15... First partition wall 16... Second partition wall 17... Space 18... Clean gas exhaust passage (gas exhaust means) 21
... Reciprocating actuator 25 ... Supporting member patent applicant ShinMaywa Industries Co., Ltd. GiHe
r-; Agent Patent Attorney 1) Hiroshi (baka) J! Figure 2 visit to Japan = stain on Miko. Figure 3 Figure 4 Figure 5 Figure 6 Figure 7 Figure 8
Claims (2)
部材において軸受よりも外気側に、内周端を軸に近接さ
せて突設され、軸受との間に空間を形成する仕切壁と、 上記空間にクリーンガスを供給するガス供給手段とを備
えたシール装置。(1) A shaft, a support member that supports the shaft, a bearing provided between the shaft and the support member, and an inner peripheral end of the support member that is closer to the shaft than the bearing. A sealing device comprising: a protruding partition wall that forms a space between the bearing and the partition wall; and a gas supply means for supplying clean gas to the space.
１仕切壁に対し軸受と反対側に位置する第２仕切壁とで
構成され、両仕切壁間には空間が形成され、該空間はガ
ス排気手段に連通している請求項（１）記載のシール装
置。(2) The partition wall is composed of a first partition wall located on the bearing side and a second partition wall located on the opposite side of the bearing with respect to the first partition wall, and a space is formed between the two partition walls. 2. The sealing device according to claim 1, wherein the space is in communication with a gas exhaust means.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2334760A JPH04203529A (en) | 1990-11-29 | 1990-11-29 | Sealing device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2334760A JPH04203529A (en) | 1990-11-29 | 1990-11-29 | Sealing device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04203529A true JPH04203529A (en) | 1992-07-24 |
Family
ID=18280926
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2334760A Pending JPH04203529A (en) | 1990-11-29 | 1990-11-29 | Sealing device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04203529A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005053914A1 (en) * | 2003-12-02 | 2005-06-16 | Robert Bosch Gmbh | Rotary shaft feedthrough for a robot arm |
| JP2010164090A (en) * | 2009-01-13 | 2010-07-29 | Jtekt Corp | Sealing device and sealing method for rotating shaft |
| CN108868912A (en) * | 2018-07-04 | 2018-11-23 | 润电能源科学技术有限公司 | A kind of air-tight sealing oil baffle and Turbo-generator Set applied to bearing |
-
1990
- 1990-11-29 JP JP2334760A patent/JPH04203529A/en active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005053914A1 (en) * | 2003-12-02 | 2005-06-16 | Robert Bosch Gmbh | Rotary shaft feedthrough for a robot arm |
| US7549355B2 (en) | 2003-12-02 | 2009-06-23 | Robert Bosch Gmbh | Rotary leadthrough of a robot arm |
| JP2010164090A (en) * | 2009-01-13 | 2010-07-29 | Jtekt Corp | Sealing device and sealing method for rotating shaft |
| CN108868912A (en) * | 2018-07-04 | 2018-11-23 | 润电能源科学技术有限公司 | A kind of air-tight sealing oil baffle and Turbo-generator Set applied to bearing |
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