JPH04198749A - 酸素センサ - Google Patents
酸素センサInfo
- Publication number
- JPH04198749A JPH04198749A JP2325301A JP32530190A JPH04198749A JP H04198749 A JPH04198749 A JP H04198749A JP 2325301 A JP2325301 A JP 2325301A JP 32530190 A JP32530190 A JP 32530190A JP H04198749 A JPH04198749 A JP H04198749A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cover
- sensor element
- platinum
- ceramic
- sealed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 title claims description 21
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 title claims description 21
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 20
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 35
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 claims abstract description 17
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 7
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 3
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 3
- 239000000470 constituent Substances 0.000 claims description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 abstract description 16
- 239000011521 glass Substances 0.000 abstract description 16
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 abstract description 11
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 abstract description 4
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 abstract description 4
- 238000007789 sealing Methods 0.000 abstract description 3
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 abstract description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 abstract description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 8
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 5
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 5
- 239000008188 pellet Substances 0.000 description 5
- 239000007767 bonding agent Substances 0.000 description 4
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- DSVGQVZAZSZEEX-UHFFFAOYSA-N [C].[Pt] Chemical compound [C].[Pt] DSVGQVZAZSZEEX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 2
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N Ethyl urethane Chemical compound CCOC(N)=O JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- -1 oxygen ions Chemical class 0.000 description 1
- 239000006072 paste Substances 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 1
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
- 239000007784 solid electrolyte Substances 0.000 description 1
- 229910002076 stabilized zirconia Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は各種雰囲気中の酸素濃度の測定に使用される酸
素センサに関する。
素センサに関する。
酸素センサは、センサエレメントの保護のため、通常パ
ッケージ型に構成されている。
ッケージ型に構成されている。
而して、第4図に示すように、センサエレメント1は、
両面に電極2(例えば、白金電極)を形成したイオン伝
導性固体電解質のペレット3(例えば、安定化ジルコニ
アよりなる)に、ガス拡散孔4を中央に有すると共に加
熱用ヒータ5を上面に形成したキャップ6がガス反応室
7を介在して封止材8(例えば、ガラス)により封着さ
れている。
両面に電極2(例えば、白金電極)を形成したイオン伝
導性固体電解質のペレット3(例えば、安定化ジルコニ
アよりなる)に、ガス拡散孔4を中央に有すると共に加
熱用ヒータ5を上面に形成したキャップ6がガス反応室
7を介在して封止材8(例えば、ガラス)により封着さ
れている。
このセンサエレメント1は、画電極2間及び加熱用ヒー
タ5に電圧を印加することにより、所定の温度下のペレ
ット3の酸素ポンピング作用によって酸素イオンをキャ
リアとする電流が電極2間に流れ、ガス拡散孔4を通っ
てガス反応室7に入った酸素分子がペレット3を介して
排出される(矢印は酸素分子の移送方向を示す)。
タ5に電圧を印加することにより、所定の温度下のペレ
ット3の酸素ポンピング作用によって酸素イオンをキャ
リアとする電流が電極2間に流れ、ガス拡散孔4を通っ
てガス反応室7に入った酸素分子がペレット3を介して
排出される(矢印は酸素分子の移送方向を示す)。
このとき、電圧の成る領域で現われる電流のフラット域
、即ち限界電流値と酸素濃度が一対一の関係にあること
から、電極2及び加熱用ヒータ5にリード線(例えば、
白金よりなる)9を通して一定電圧を印加し、そのとき
のペレッ[・3の温度と限界電流値から酸素濃度を測定
するものである。
、即ち限界電流値と酸素濃度が一対一の関係にあること
から、電極2及び加熱用ヒータ5にリード線(例えば、
白金よりなる)9を通して一定電圧を印加し、そのとき
のペレッ[・3の温度と限界電流値から酸素濃度を測定
するものである。
上記のような機能をもつセンサエレメントてあることか
ら、パッケージにはガス交換の機能が必要であり、従来
第5図、第6図に示す構成のものが使用されている。
ら、パッケージにはガス交換の機能が必要であり、従来
第5図、第6図に示す構成のものが使用されている。
第5図は金属ステム10と金属メツシュカバー11とか
らなるもので、金属ステムlOにはり−ドピン12をハ
ーメチックしたガラス13が充填され、リードピン12
に前記センサエレメント1が支持されている。
らなるもので、金属ステムlOにはり−ドピン12をハ
ーメチックしたガラス13が充填され、リードピン12
に前記センサエレメント1が支持されている。
そして、金属ステム10と金属メツシュカバー11との
接合部は機械的なカシメ14によって封−止固着されて
いる。
接合部は機械的なカシメ14によって封−止固着されて
いる。
第6図はリードピン12をハーメチックしたガラスステ
ム15aと焼結多孔性カバー16(例えば、アルミナ等
)とからなるもので、ガラスステム15aと焼結多孔性
カバー16との接合部は低融点のガラス17によって封
止固着されている。
ム15aと焼結多孔性カバー16(例えば、アルミナ等
)とからなるもので、ガラスステム15aと焼結多孔性
カバー16との接合部は低融点のガラス17によって封
止固着されている。
前記の金属ステム10と金属メツシュカバー11とを機
械的なカシメによって封止固着するものにあっては、メ
ツシュ加工とカシメ加工の各作業を要し、製作工程が多
くコスト高を招来するという問題があった。また、カバ
ーをセラミック製とし、このカバーを金属ステムにねじ
込み等で機械的に封止固着するものにあっては、加工工
程による残留歪みの影響を回避できない問題があった。
械的なカシメによって封止固着するものにあっては、メ
ツシュ加工とカシメ加工の各作業を要し、製作工程が多
くコスト高を招来するという問題があった。また、カバ
ーをセラミック製とし、このカバーを金属ステムにねじ
込み等で機械的に封止固着するものにあっては、加工工
程による残留歪みの影響を回避できない問題があった。
さらに、第6図に示す酸素センサにあっては、生産性(
歩留り)を向上させる面でガラスの接合が好ましい方策
であるが、焼結多孔性カバー16にガラスを塗工し、グ
レージング(焼成)する場合、ガラスペーストに含まれ
る有機バインダー(炭化水素等)がセンサエレメント1
の白金線、白金電極に吸着され、この吸着された有機バ
インダー中のカーボンか白金と反応して白金カーボンを
生成すると考えられる。その結果、炭化水素が白金と反
応して白金自体を脆化させてしまうという問題があった
。
歩留り)を向上させる面でガラスの接合が好ましい方策
であるが、焼結多孔性カバー16にガラスを塗工し、グ
レージング(焼成)する場合、ガラスペーストに含まれ
る有機バインダー(炭化水素等)がセンサエレメント1
の白金線、白金電極に吸着され、この吸着された有機バ
インダー中のカーボンか白金と反応して白金カーボンを
生成すると考えられる。その結果、炭化水素が白金と反
応して白金自体を脆化させてしまうという問題があった
。
特に、サーマルショックテストを繰り返し行う場合には
、白金表面の脆化が著しく、センサエレメント1のリー
ド線9を破断してしまうことかある。
、白金表面の脆化が著しく、センサエレメント1のリー
ド線9を破断してしまうことかある。
本発明は上記の問題点に鑑みなされたもので、その目的
は、センサエレメントで用いている白金材料を脆化させ
ることなく、製作も容易で安価にして、信頼性のある酸
素センサを提供することにある。
は、センサエレメントで用いている白金材料を脆化させ
ることなく、製作も容易で安価にして、信頼性のある酸
素センサを提供することにある。
本発明は上記の目的を達成するために、構成材料として
少なくとも一部に白金を用いたセンサエレメントを支持
する支持部材とカバーとの接合部を、グレージングした
無機系接合剤により封止固着したことにある。
少なくとも一部に白金を用いたセンサエレメントを支持
する支持部材とカバーとの接合部を、グレージングした
無機系接合剤により封止固着したことにある。
上記の構成を有する本発明においては、無機系接合剤を
塗工した後、グレージング(前焼成)して有機バインダ
ーを除去し、次いて支持部材とカバーを接合するように
したので、センサエレメントの白金材料を脆化させるこ
とがなくなる。
塗工した後、グレージング(前焼成)して有機バインダ
ーを除去し、次いて支持部材とカバーを接合するように
したので、センサエレメントの白金材料を脆化させるこ
とがなくなる。
本発明の実施例を図面を参照して説明する。
なお、従来例と同一部品には同一符号を付すと共に、セ
ンサエレメント1の内部構造は第4図と同一であるので
その説明を省略する。
ンサエレメント1の内部構造は第4図と同一であるので
その説明を省略する。
第1図は第1実施例を示すもので、リードピン12をハ
ーメチックした支持部材としてのセラミックステム15
とセラミック製のカバー20との接合部21を、グレー
ジング(前焼成)したガラスによって封止固着したもの
である。
ーメチックした支持部材としてのセラミックステム15
とセラミック製のカバー20との接合部21を、グレー
ジング(前焼成)したガラスによって封止固着したもの
である。
第1図のカバー20はセラミックステム15に第2図に
示すように封止固着される。即ち、第2図(A)におい
てカバー20の開口端に融点4゜0℃のガラスペースト
18を塗工した後、約420℃、10分間グレージング
を行って上記ガラスペースト18に含まれる有機バイン
ダー(ウレタン、アクリルベース、エポキシ樹脂等の有
機系物質)を分解除去する(同図(A)に示す)。次い
で、同図(C)に示すように、カバー20をセラミック
ステム15の上面に載置して約420”C110分間の
条件にて再度グレージングして接合部21を形成し、接
合を完了した(第1図に示す)。
示すように封止固着される。即ち、第2図(A)におい
てカバー20の開口端に融点4゜0℃のガラスペースト
18を塗工した後、約420℃、10分間グレージング
を行って上記ガラスペースト18に含まれる有機バイン
ダー(ウレタン、アクリルベース、エポキシ樹脂等の有
機系物質)を分解除去する(同図(A)に示す)。次い
で、同図(C)に示すように、カバー20をセラミック
ステム15の上面に載置して約420”C110分間の
条件にて再度グレージングして接合部21を形成し、接
合を完了した(第1図に示す)。
このように本実施例では、ガラスペースト18に含まれ
る有機バインダーをグレージング(前焼成)により除去
した後に、セラミックステム15にカバー20を封止固
着したので、有機バインダーがセンサエレメント1の白
金からなる電極2やリード線9に吸着、反応されること
がなく、これらを脆化させることがなくなる。
る有機バインダーをグレージング(前焼成)により除去
した後に、セラミックステム15にカバー20を封止固
着したので、有機バインダーがセンサエレメント1の白
金からなる電極2やリード線9に吸着、反応されること
がなく、これらを脆化させることがなくなる。
この第1図に示す酸素センサを約1.5Wにて作動させ
、0N(5分)、0FF(2分)を1サイクルとして
10000サイクル時行ってもリード線9は破断するこ
となく、センサの特性が安定していた。
、0N(5分)、0FF(2分)を1サイクルとして
10000サイクル時行ってもリード線9は破断するこ
となく、センサの特性が安定していた。
他方、第6図に示す酸素センサにあっては、4000サ
イクル時にてリード線9の50%が破断していた。
イクル時にてリード線9の50%が破断していた。
第3図は第2実施例を示すもので、前記第1実施例と同
一の部分には同一の符号を付して説明する。本実施例で
はセラミックステム15に凹溝22を形成し、この凹溝
22に同図(A)に示すようにガラスペースト18を塗
工した後に、グレージングを行って有機バインダーを除
去しく同図(B)に示す)、次いてリードピン12にリ
ード線9を介してセンサエレメント1を固定した後、カ
バー20をセラミックステム15の凹溝22に嵌着し、
再度グレージングして接合部21を形成し、接合を完了
した(同図(C)に示す)。
一の部分には同一の符号を付して説明する。本実施例で
はセラミックステム15に凹溝22を形成し、この凹溝
22に同図(A)に示すようにガラスペースト18を塗
工した後に、グレージングを行って有機バインダーを除
去しく同図(B)に示す)、次いてリードピン12にリ
ード線9を介してセンサエレメント1を固定した後、カ
バー20をセラミックステム15の凹溝22に嵌着し、
再度グレージングして接合部21を形成し、接合を完了
した(同図(C)に示す)。
このように本実施例によれば、セラミックステム15に
凹溝22を形成したので、ガラスペースト18を塗工す
る場合、凹溝22に沿って行えばよく、塗工作業か正確
且つ簡略化される。加えて、カバー20をセラミックス
テム15に嵌着する際に、セラミックステム15に対す
るカバー20の位置決めか容易になる。その他の構成及
び作用は前記第1実施例と同一であるのでその説明を省
略する。
凹溝22を形成したので、ガラスペースト18を塗工す
る場合、凹溝22に沿って行えばよく、塗工作業か正確
且つ簡略化される。加えて、カバー20をセラミックス
テム15に嵌着する際に、セラミックステム15に対す
るカバー20の位置決めか容易になる。その他の構成及
び作用は前記第1実施例と同一であるのでその説明を省
略する。
尚、上記各実施例では無機系接合剤としてガラスペース
トを用いたが、本発明はこれに限定することなく、ガラ
ス以外にセラミック系のものでもよく、またペースト状
の他、パウダー状、液状等であってもよい。
トを用いたが、本発明はこれに限定することなく、ガラ
ス以外にセラミック系のものでもよく、またペースト状
の他、パウダー状、液状等であってもよい。
本発明は以上の構成及び作用を有するので、次の効果を
奏する。
奏する。
(a) 支持部材とカバーとの接合部を、グレージン
グした無機系接合剤により封止溶融固着するので、封止
固着する以前に有機バインダーが予め除去されることと
なり、有機バインダー中のハイドロカーボンが白金と吸
着、反応することもなく、センサエレメントで用いてい
る白金材料の脆化を防止することができる。その結果、
安定で信頼性の高い酸素センサを提供することができる
。
グした無機系接合剤により封止溶融固着するので、封止
固着する以前に有機バインダーが予め除去されることと
なり、有機バインダー中のハイドロカーボンが白金と吸
着、反応することもなく、センサエレメントで用いてい
る白金材料の脆化を防止することができる。その結果、
安定で信頼性の高い酸素センサを提供することができる
。
(b) 支持部材とカバーとを機械的なカシメによっ
て封止固着することがないので、製作も容易で量産化が
更に容易となり、安価に酸素センサを提供できる。
て封止固着することがないので、製作も容易で量産化が
更に容易となり、安価に酸素センサを提供できる。
(c) カバーを支持部材にねじ込み等で機械的に封
止固着することもないので、加工工程による残留歪みの
影響が回避でき、その結果、センサの破損が抑えられ、
製品の信頼性を高めることができる。
止固着することもないので、加工工程による残留歪みの
影響が回避でき、その結果、センサの破損が抑えられ、
製品の信頼性を高めることができる。
第1図は本発明に係る酸素センサの第1実施例を示す縦
断面図、 第2図(A)、(B)、(C)は第1図の酸素センサの
加工工程を示す縦断面図、 第3図(A)、(B)、(C)は本発明に係る酸素セン
サの第2実施例における加工工程を示す縦断面図、 第4図はセンサエレメントの縦断面図、第5図は従来例
の酸素センサを示す縦断面図、第6図は他の従来例の酸
素センサを示す縦断面図である。 1・・・センサエレメント、9・・・リード線、12・
・・リードピン、 15・・セラミックステム(支持部材)、18・・・ガ
ラスペースト(無機系接合剤)、20・・・カバー、2
1・・接合部。 出願人代理人 藤 本 博 光第1図 (A)(B) (C) (A)(B) (C) 第3図
断面図、 第2図(A)、(B)、(C)は第1図の酸素センサの
加工工程を示す縦断面図、 第3図(A)、(B)、(C)は本発明に係る酸素セン
サの第2実施例における加工工程を示す縦断面図、 第4図はセンサエレメントの縦断面図、第5図は従来例
の酸素センサを示す縦断面図、第6図は他の従来例の酸
素センサを示す縦断面図である。 1・・・センサエレメント、9・・・リード線、12・
・・リードピン、 15・・セラミックステム(支持部材)、18・・・ガ
ラスペースト(無機系接合剤)、20・・・カバー、2
1・・接合部。 出願人代理人 藤 本 博 光第1図 (A)(B) (C) (A)(B) (C) 第3図
Claims (1)
- 構成材料として少なくとも一部に白金を用いたセンサエ
レメントを支持する支持部材とカバーとの接合部を、グ
レージングした無機系接合剤により封止固着したことを
特徴とする酸素センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2325301A JPH04198749A (ja) | 1990-11-29 | 1990-11-29 | 酸素センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2325301A JPH04198749A (ja) | 1990-11-29 | 1990-11-29 | 酸素センサ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04198749A true JPH04198749A (ja) | 1992-07-20 |
Family
ID=18175289
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2325301A Pending JPH04198749A (ja) | 1990-11-29 | 1990-11-29 | 酸素センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04198749A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010022478A (ja) * | 2008-07-16 | 2010-02-04 | Reiku:Kk | シェードカーテン |
GB2467525B (en) * | 2009-01-30 | 2013-05-01 | Hillarys Blinds Ltd | A Roman blackout blind with masked seams |
-
1990
- 1990-11-29 JP JP2325301A patent/JPH04198749A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010022478A (ja) * | 2008-07-16 | 2010-02-04 | Reiku:Kk | シェードカーテン |
GB2467525B (en) * | 2009-01-30 | 2013-05-01 | Hillarys Blinds Ltd | A Roman blackout blind with masked seams |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2508321B2 (ja) | 圧電アクチュエ―タおよびその製造方法 | |
US5113108A (en) | Hermetically sealed electrostrictive actuator | |
US6437412B1 (en) | Surface acoustic wave device having a package including a conductive cap that is coated with sealing material | |
JP2002535609A (ja) | プラチナ温度センサおよびその製造方法 | |
KR20110093888A (ko) | 센서 소자 및 센서 소자를 조립하는 방법 | |
US4379741A (en) | Oxygen concentration sensor | |
JPH05119015A (ja) | 炭酸ガス検出素子 | |
JPS6015549A (ja) | 抵抗測定フイ−ラ | |
JPH04198749A (ja) | 酸素センサ | |
JPH11223616A (ja) | センサエレメント及びセンサエレメントの製造方法 | |
JP2508234B2 (ja) | 圧電アクチュエ―タおよびその製造方法 | |
JPS58215812A (ja) | 水晶振動子等の密封容器 | |
JPH05283549A (ja) | ガラス封止型セラミック容器の製造方法 | |
JPH0936692A (ja) | 圧電振動子 | |
JP2000188348A (ja) | 気密パッケージ、その製造用構体、その製造用構体の製造方法および気密パッケージの製造方法 | |
JPH03237351A (ja) | 酸素センサ | |
JPS58210560A (ja) | 酸素濃度検出器 | |
JPH0430538Y2 (ja) | ||
JP2818506B2 (ja) | 電子部品収納用パッケージの製造方法 | |
JPH03158753A (ja) | 限界電流式酸素センサ | |
JPH03257880A (ja) | 電歪効果素子 | |
JPH05259527A (ja) | 簡易外装型電歪効果素子 | |
JPH09162689A (ja) | 弾性表面波装置およびその製造方法 | |
JPH0556605B2 (ja) | ||
JPH05206206A (ja) | 電子部品 |