JPH04195043A - 感光性組成物及びこれを用いたソルダレジストの形成された印刷配線板の製造法 - Google Patents
感光性組成物及びこれを用いたソルダレジストの形成された印刷配線板の製造法Info
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Landscapes
- Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)
- Non-Metallic Protective Coatings For Printed Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、感光性組成物及びこれを用いたソルダレジス
トの形成された印刷配線板の製造法に関する。
トの形成された印刷配線板の製造法に関する。
印刷配線板には、絶縁層と導体パターン層とが交互に積
層され、通常、はんだ付は時の導体間のはんだブリッジ
の防止又は導体パターンの永久保護のために、その最外
層の導体パターン層上にフルダレシストが形成される。
層され、通常、はんだ付は時の導体間のはんだブリッジ
の防止又は導体パターンの永久保護のために、その最外
層の導体パターン層上にフルダレシストが形成される。
近年、このソルダレジストの形成は、精密度の向上、作
業性の向上などの目的で、スクリーン印刷法に変わって
感光性樹脂を用いたフォトプリント(写真焼き付け)法
で行われるようになってきている。
業性の向上などの目的で、スクリーン印刷法に変わって
感光性樹脂を用いたフォトプリント(写真焼き付け)法
で行われるようになってきている。
感光性組成物を用いてソルダレジストを有する印刷配線
板を製造するには、銅張り積層体にエツチング又はめっ
き法により導体パターンを作製して多層印刷配線板ある
いは両面印刷配線板を製造し、この片面又は両面に感光
性組成物層を設け、所定の条件で感光し、現像する方法
が行なわれている。例えば、両面印刷配線板は、まぞ、
中心層である絶縁層の両面に導体パターンを有する印刷
配線板であり、その両面にソルダマスクを形成する場合
には、印刷配線板の両面全面に感光性組成物が塗布され
、次に、ネガを通して垂直に入射する光で選択的に露光
し、さらに感光性組成物の非露光部を現像することによ
って、露光に対応したパターン、即ち、ソルダレジスト
が印刷配線板の両面に形成される。
板を製造するには、銅張り積層体にエツチング又はめっ
き法により導体パターンを作製して多層印刷配線板ある
いは両面印刷配線板を製造し、この片面又は両面に感光
性組成物層を設け、所定の条件で感光し、現像する方法
が行なわれている。例えば、両面印刷配線板は、まぞ、
中心層である絶縁層の両面に導体パターンを有する印刷
配線板であり、その両面にソルダマスクを形成する場合
には、印刷配線板の両面全面に感光性組成物が塗布され
、次に、ネガを通して垂直に入射する光で選択的に露光
し、さらに感光性組成物の非露光部を現像することによ
って、露光に対応したパターン、即ち、ソルダレジスト
が印刷配線板の両面に形成される。
形成されるソルダレジストのエツジ形状は、シャープな
ものであることが必要である。このエツジ形状がシャー
プでないと、はんだ付けの際に、はんだの導体への付着
が不十分であったり、はんだ付着の必要のないエツジ部
分にはんだ付着が起こってしまう。
ものであることが必要である。このエツジ形状がシャー
プでないと、はんだ付けの際に、はんだの導体への付着
が不十分であったり、はんだ付着の必要のないエツジ部
分にはんだ付着が起こってしまう。
ソルダレジストのエツジ形状をシャープで良好なものと
するためには、解像性の良好な感光性組成物を用い、露
光時にネガと感光性樹脂を十分に密着させ、露光光線を
直角に照射することが必要であるが、印刷配線板が露光
光線を透過させてしまうために、両面から露光すると互
いに反対面の感光性組成物も露光してしまい、露光した
くない部分まで光反応を起こし、結果として裏かぶりに
よる現像残り又はエツジ部形状のシャープさ不足が生じ
る。この現象を避けるために、感光性組成物の塗工・露
光・現象を片面ずつ行う方法が考えられるが、両面同時
露光に比較して作業が2倍となり、製造コストが上昇し
、さらに最初に現像まで終了した面上のソルダレジスト
が再び片面の塗工・露光・現象の際に本来不必要な工程
にさらされて、ソルダレジストの剥離など、種々の品質
の低下が発生するという問題点がある。
するためには、解像性の良好な感光性組成物を用い、露
光時にネガと感光性樹脂を十分に密着させ、露光光線を
直角に照射することが必要であるが、印刷配線板が露光
光線を透過させてしまうために、両面から露光すると互
いに反対面の感光性組成物も露光してしまい、露光した
くない部分まで光反応を起こし、結果として裏かぶりに
よる現像残り又はエツジ部形状のシャープさ不足が生じ
る。この現象を避けるために、感光性組成物の塗工・露
光・現象を片面ずつ行う方法が考えられるが、両面同時
露光に比較して作業が2倍となり、製造コストが上昇し
、さらに最初に現像まで終了した面上のソルダレジスト
が再び片面の塗工・露光・現象の際に本来不必要な工程
にさらされて、ソルダレジストの剥離など、種々の品質
の低下が発生するという問題点がある。
本発明の目的は、前記従来技術の問題点を解決し、解像
性に優れ、裏かぶりによる現像残りがなく、かつエツジ
形状のシャープなソルダレジストを形成しうる感光性組
成物及びこれを用いて印刷配線板の両面に同時に形成さ
せることができる印刷配線板の製造法を提供することに
ある。
性に優れ、裏かぶりによる現像残りがなく、かつエツジ
形状のシャープなソルダレジストを形成しうる感光性組
成物及びこれを用いて印刷配線板の両面に同時に形成さ
せることができる印刷配線板の製造法を提供することに
ある。
本発明者らは、種々検討した結果、露光機の光源である
高圧水銀灯の発光スペクトルのうち405nm及び43
5nmの発光スペクトルを吸収し、かつ光架橋反応を生
じる化合物を含む感光性組成物の層を、印刷配線板の両
面に形成して露光、現象処理を行うことによって裏かぶ
りによる現像残りがなく、かつエツジ形状のシャープな
ソルダレジストが形成されることを見い出し、本発明を
完成するに到った。
高圧水銀灯の発光スペクトルのうち405nm及び43
5nmの発光スペクトルを吸収し、かつ光架橋反応を生
じる化合物を含む感光性組成物の層を、印刷配線板の両
面に形成して露光、現象処理を行うことによって裏かぶ
りによる現像残りがなく、かつエツジ形状のシャープな
ソルダレジストが形成されることを見い出し、本発明を
完成するに到った。
すなわち、本発明は、(A)少な(とも1個のエチレン
性不飽和基を有する化合物、(B)活性光により遊離ラ
ジカルを生成する増感剤及び/又は増感剤系並びに(C
)裏かふり防止剤として、−船蔵(I) 〔式中、R1及びR2はアルコキシ基を表し、R3は水
素原子、アルキル基又はスルホン酸アルキル基を表す〕
で表される化合物 を含む感光性組成物及び該感光性組成物の層を、導体パ
ターンが形成された印刷配線板上に形成した後、活性光
線で像状に露光し、現像処理することを特徴とするソル
ダレジストの形成された印刷配線板の製造法に関する。
性不飽和基を有する化合物、(B)活性光により遊離ラ
ジカルを生成する増感剤及び/又は増感剤系並びに(C
)裏かふり防止剤として、−船蔵(I) 〔式中、R1及びR2はアルコキシ基を表し、R3は水
素原子、アルキル基又はスルホン酸アルキル基を表す〕
で表される化合物 を含む感光性組成物及び該感光性組成物の層を、導体パ
ターンが形成された印刷配線板上に形成した後、活性光
線で像状に露光し、現像処理することを特徴とするソル
ダレジストの形成された印刷配線板の製造法に関する。
まず、本発明の感光性組成物について説明する。
本発明の感光性組成物は、必須成分(A)として、少な
くとも1個のエチレン性不飽和基を有する化合物を含有
する。該化合物としては、例えば多価アルコールにα、
β−不飽和カルボン酸を付加して得られる化合物、例え
ば、トリメチロールプロパンジ(メタ)アクリレート〔
(メタ)アクリレートは、メタクリレート又はアクリレ
ートを意味する。以下同様)、トリメチロールプロパン
トリ(メタ)アクリレート、テトラメチロールメタント
リ (メタ)アクリレート、テトラメチロールメタンテ
トラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペ
ンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘ
キサ(メタ)アクリレート等、クリシジル基含有化合物
にα、β−不飽和カルポン酸を付加して得られる化合物
、例えば、トリメチロールプロパントリグリシジルエー
テルトリアクリレート、ビスフェノールAジグリシジル
エーテルジ(メタ)アクリレート等、多価カルボン酸、
例えば、無水フタル酸等と水酸基及びエチレン性不飽和
基を有する物質、例えば、β−ヒドロキシエチル(メタ
)アクリレート等とのエステル化物、アクリル酸又はメ
タクリル酸のアルキルエステル、例えば、(メタ)アク
リル酸メチルエステル、(メタ)アクリル酸エチルエス
テル、(メタ)アクリル酸ブチルエステル、(メタ)ア
クリル酸2−エチルヘキシルエステル等、トリメチルへ
キサメチレンジイソシアナート、2価アルコール及び2
価アルコールの(メタ)アクリル酸のモノエステルを反
応させて得られるウレタンジ(メタ)アクリレート化合
物、トリメチルへキサメチレンジイソシアナート、2価
アルコール及び2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレ
ートを反応させて得られるウレタンジ(メタ)アクリレ
ート化合物なども用いることができる。これらの化合物
は2種以上併用してもよい。
くとも1個のエチレン性不飽和基を有する化合物を含有
する。該化合物としては、例えば多価アルコールにα、
β−不飽和カルボン酸を付加して得られる化合物、例え
ば、トリメチロールプロパンジ(メタ)アクリレート〔
(メタ)アクリレートは、メタクリレート又はアクリレ
ートを意味する。以下同様)、トリメチロールプロパン
トリ(メタ)アクリレート、テトラメチロールメタント
リ (メタ)アクリレート、テトラメチロールメタンテ
トラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペ
ンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘ
キサ(メタ)アクリレート等、クリシジル基含有化合物
にα、β−不飽和カルポン酸を付加して得られる化合物
、例えば、トリメチロールプロパントリグリシジルエー
テルトリアクリレート、ビスフェノールAジグリシジル
エーテルジ(メタ)アクリレート等、多価カルボン酸、
例えば、無水フタル酸等と水酸基及びエチレン性不飽和
基を有する物質、例えば、β−ヒドロキシエチル(メタ
)アクリレート等とのエステル化物、アクリル酸又はメ
タクリル酸のアルキルエステル、例えば、(メタ)アク
リル酸メチルエステル、(メタ)アクリル酸エチルエス
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クリル酸2−エチルヘキシルエステル等、トリメチルへ
キサメチレンジイソシアナート、2価アルコール及び2
価アルコールの(メタ)アクリル酸のモノエステルを反
応させて得られるウレタンジ(メタ)アクリレート化合
物、トリメチルへキサメチレンジイソシアナート、2価
アルコール及び2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレ
ートを反応させて得られるウレタンジ(メタ)アクリレ
ート化合物なども用いることができる。これらの化合物
は2種以上併用してもよい。
本発明の感光性組成物は、必須成分(B)として、活性
光により遊離ラジカルを生成する増感剤及び/又は増感
剤系を含有する。該増感剤としては、例えば、2−エチ
ルアントラキノン、2−を−ブチルアントラキノン、オ
クタメチルアントラキノン、1,2−ベンズアントラキ
ノン、2,3−ビフェニルアントラキノン等の置換又は
非置換の多核キノン類、ジアセチル、ベンジル等のケト
アルドニル化合物、ベンゾイン、ピバロン等のα−ケタ
ルドニルアルコール類及びエーテル類、α−フェニル−
ベンゾイン、α、α−ジェトキシアセトフェニル等のα
−炭化水素置換芳香族アシロイン類、ベンゾフェノン、
4.4’ −ビスジアルキルアミノベンゾフェノン等
の芳香族ケトン類、2−メチルチオキサントン、2,4
−ジエチルチオキサントン、2−クロルチオキサントン
、2−イソプロピルチオキサントン、2−エチルチオキ
サントン等のチオキサントン類が用いられる。これらの
化合物は単独で又は2種以上組合わせて用いられる。
光により遊離ラジカルを生成する増感剤及び/又は増感
剤系を含有する。該増感剤としては、例えば、2−エチ
ルアントラキノン、2−を−ブチルアントラキノン、オ
クタメチルアントラキノン、1,2−ベンズアントラキ
ノン、2,3−ビフェニルアントラキノン等の置換又は
非置換の多核キノン類、ジアセチル、ベンジル等のケト
アルドニル化合物、ベンゾイン、ピバロン等のα−ケタ
ルドニルアルコール類及びエーテル類、α−フェニル−
ベンゾイン、α、α−ジェトキシアセトフェニル等のα
−炭化水素置換芳香族アシロイン類、ベンゾフェノン、
4.4’ −ビスジアルキルアミノベンゾフェノン等
の芳香族ケトン類、2−メチルチオキサントン、2,4
−ジエチルチオキサントン、2−クロルチオキサントン
、2−イソプロピルチオキサントン、2−エチルチオキ
サントン等のチオキサントン類が用いられる。これらの
化合物は単独で又は2種以上組合わせて用いられる。
また、増感剤系としては、2,4.5−)リアリールイ
ミダゾール2量体と2−メチルカプトベンゾキナゾール
、ロイコクリスタルバイオレット、トリス(4−ジエチ
ルアミノ−2−メチルフェニル)メタン等との組合わせ
が用いられる。またいそれ自体で光開始性はないが、前
記化合物と組合わせて用いることにより、全体として光
開始性能のより良好な増感剤系となるような添加剤、例
えば、ベンゾフェノンに対するトリエタノールアミン等
の三級アミンなどを用いることもできる。
ミダゾール2量体と2−メチルカプトベンゾキナゾール
、ロイコクリスタルバイオレット、トリス(4−ジエチ
ルアミノ−2−メチルフェニル)メタン等との組合わせ
が用いられる。またいそれ自体で光開始性はないが、前
記化合物と組合わせて用いることにより、全体として光
開始性能のより良好な増感剤系となるような添加剤、例
えば、ベンゾフェノンに対するトリエタノールアミン等
の三級アミンなどを用いることもできる。
前記増感剤及び/又は増感剤系として好ましいのは、形
成されるソルダレジストの特性の点から、2−メチル−
1−(4−(メチルチオ)フェニルツー2−モルホリノ
プロパノン−1及び4. 4’ −ビス(ジエチルアミ
ノ)ベンゾフェノンの組合わせである。
成されるソルダレジストの特性の点から、2−メチル−
1−(4−(メチルチオ)フェニルツー2−モルホリノ
プロパノン−1及び4. 4’ −ビス(ジエチルアミ
ノ)ベンゾフェノンの組合わせである。
本発明の感光性組成物は、さらに、必須成分(C)とし
て、裏かぶり防止剤である前記一般式(I)で表される
化合物を含有する。一般式(I)におけるアルコキシ基
R1、R2としては、メトキシ基、エトキシ基、プロピ
ルオキシ基、イソプロピルオキシ基、ブチルオキシ基、
5ec−ブチルオキシ基、tert−ブチルオキシ基等
が挙げられる。
て、裏かぶり防止剤である前記一般式(I)で表される
化合物を含有する。一般式(I)におけるアルコキシ基
R1、R2としては、メトキシ基、エトキシ基、プロピ
ルオキシ基、イソプロピルオキシ基、ブチルオキシ基、
5ec−ブチルオキシ基、tert−ブチルオキシ基等
が挙げられる。
一般式(1)におけるアルキル基R1としては、メチル
基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基
、5ec−ブチル基、tert−ブチル基等が挙げられ
る。−船蔵(I)におけるスルホン酸アルキル基のアル
キル基としては、上記のアルキル基があげられる。前記
の一般式(I)で表される化合物としては、例えば、9
,10−ジェトキシアントラセン、2−エチル−9,1
0−ジメトキシアントラセン、9,10−ジメトキシア
ントラセン−2−スルホン酸エチル等が挙げられる。
基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基
、5ec−ブチル基、tert−ブチル基等が挙げられ
る。−船蔵(I)におけるスルホン酸アルキル基のアル
キル基としては、上記のアルキル基があげられる。前記
の一般式(I)で表される化合物としては、例えば、9
,10−ジェトキシアントラセン、2−エチル−9,1
0−ジメトキシアントラセン、9,10−ジメトキシア
ントラセン−2−スルホン酸エチル等が挙げられる。
これらの化合物は、高圧水銀灯の発光スペクトルのうち
405nm及び435nmの発光スペクトルを吸収し、
かつ光架橋反応を生じる化合物であり、これらは1種又
は2種以上併用して使用することができる。
405nm及び435nmの発光スペクトルを吸収し、
かつ光架橋反応を生じる化合物であり、これらは1種又
は2種以上併用して使用することができる。
本発明において、得られる効果の点から必須成分(A)
100重量部に対して必須成分(B)を0、1〜80重
量部及び必須成分(C)を0.01〜30重量部の範囲
で用いることが好ましい。(B)が少なすぎると、感度
が低下し、多すぎると、耐熱性が低下する傾向がある。
100重量部に対して必須成分(B)を0、1〜80重
量部及び必須成分(C)を0.01〜30重量部の範囲
で用いることが好ましい。(B)が少なすぎると、感度
が低下し、多すぎると、耐熱性が低下する傾向がある。
また、(C)が少なすぎると、裏かぶり防止の効果が低
下し、多すぎると、感度、耐熱性が低下する傾向がある
。
下し、多すぎると、感度、耐熱性が低下する傾向がある
。
本発明の感光性組成物は、前記(A)、(B)及び(C
)成分の他に、線状高分子化合物、熱硬化性化合物及び
熱架橋可能な官能基と重合性ビニル基を有する化合物の
うちの1種以上を含有することができる。
)成分の他に、線状高分子化合物、熱硬化性化合物及び
熱架橋可能な官能基と重合性ビニル基を有する化合物の
うちの1種以上を含有することができる。
線状高分子化合物としては、例えば、特公昭41−15
932号公報に記載されている熱可塑性重合体が使用で
きる。好ましい線状高分子化合物としては、例えば、メ
タクリル酸メチル、アクリル酸エチル、アクリル酸、ス
チレン、2−ヒドロキシエチルメタクリレート、t−ブ
チルアミノエチルメタクリレート、アクリルアミド、ア
クリロニトリル、酢酸ビニル等のビニル系単量体を重合
又は共重合して得られるビニル系高分子化合物、ブタジ
ェン/アクリロニトリル共重合体、ブタジェン/アクリ
ロニトリル/スチレン共重合体等の合成ゴム、線状ポリ
ウレタン化合物、アルコール可溶性ナイロン等がある。
932号公報に記載されている熱可塑性重合体が使用で
きる。好ましい線状高分子化合物としては、例えば、メ
タクリル酸メチル、アクリル酸エチル、アクリル酸、ス
チレン、2−ヒドロキシエチルメタクリレート、t−ブ
チルアミノエチルメタクリレート、アクリルアミド、ア
クリロニトリル、酢酸ビニル等のビニル系単量体を重合
又は共重合して得られるビニル系高分子化合物、ブタジ
ェン/アクリロニトリル共重合体、ブタジェン/アクリ
ロニトリル/スチレン共重合体等の合成ゴム、線状ポリ
ウレタン化合物、アルコール可溶性ナイロン等がある。
これらの線状高分子化合物は2種以上併用して用いても
よい。
よい。
また、本発明の感光性組成物に含有しうる熱硬化性化合
物としては、エポキシ樹脂、メラミン樹脂等が挙げられ
、これらは2種以上併用して用いてもよく、また、前記
線状高分子化合物と併用してもよい。
物としては、エポキシ樹脂、メラミン樹脂等が挙げられ
、これらは2種以上併用して用いてもよく、また、前記
線状高分子化合物と併用してもよい。
さらに、本発明の感光性組成物に含有しうる熱架橋可能
な官能基と重合性ビニル基を共に有する化合物としては
、側鎖にエポキシ基と重合性ビニル基を有するオリゴマ
ーを挙げることができる。
な官能基と重合性ビニル基を共に有する化合物としては
、側鎖にエポキシ基と重合性ビニル基を有するオリゴマ
ーを挙げることができる。
該オリゴマーは、特開昭61−132947号公報、特
開昭60−107785号、特開昭60−107786
号公報等に記載されており、好ましくは、少な(とも2
個のエポキシ基を有する化合物と不飽和カルボン酸とを
、酸当量/エポキシ当量比が0.1〜0.98となる範
囲で付加反応させて得られる不飽和化合物の水酸基にイ
ソシアナートエチルメタクリレートを、イソシアナート
当量/水酸基当量比が0.1〜1.2となる範囲で反応
させて得られるオリゴマーである。
開昭60−107785号、特開昭60−107786
号公報等に記載されており、好ましくは、少な(とも2
個のエポキシ基を有する化合物と不飽和カルボン酸とを
、酸当量/エポキシ当量比が0.1〜0.98となる範
囲で付加反応させて得られる不飽和化合物の水酸基にイ
ソシアナートエチルメタクリレートを、イソシアナート
当量/水酸基当量比が0.1〜1.2となる範囲で反応
させて得られるオリゴマーである。
前記少な(とも2個のエポキシ基を有する化合物として
は、例えば、ビスフェノールAとエピクロルヒドリンと
を反応させて得られるビスフェノールA型エポキシ樹脂
(例えば、シェル化学社製、商品名エピコート812、
エピコート828、エピコー)1001等)、臭素化ビ
スフェノールA型エポキシ樹脂(例えば、東部化成社製
、商品名エビトートYDB−340、YDB−400等
)、ビスフェノールF型エポキシ樹脂(例えば、東部化
成社製、商品名エポトートYDF−170、YDF−1
90等)、ビスフェノール八にアルキレンオキサイドを
付加した後、エピクロルヒドリンを反応させて得られる
エポキシ化合物(例えば、共栄社油脂製、商品名工ポラ
イト3002等)、水添ビスフェノールA型エポキシ樹
脂(例えば、東部化成社製、商品名サントート5T−1
000,5T−3000等)、グリオキザール型エポキ
シ樹脂(例えば、東部化成社製、商品名工ボトートYD
G−414等)、グリシジルアミン型エポキシ樹脂(例
えば、東部化成社製、商品名エポトートYDM−120
、YH−434等)、オルソクレゾールノボラック型エ
ポキシ樹脂(例えば、日本火薬社製、商品名EOCN1
02等)、フェノールノボラック型エポキシ樹脂(例え
ば、東部化成社製、商品名YDPN−638等)、臭素
化フェノールノボラック型エポキシ樹脂(例えば、日本
火薬社製、商品名B R,E N等)、脂環式エポキシ
化合物(例えば、チッソ社製、商品名チッソノックス2
21、チッソノックス201等)、フタル酸等のジカル
ボン酸とエピクロルヒドリンとの反応により得られるグ
リシジルエーテル型エポキシ樹脂(例えば、昭和電工社
製、商品名ショウダイン508、ショウダイン540、
ショウダイン550等)、グリシジルアミン型エポキシ
樹脂(シェル化学社製、商品名エピコート604等)、
トリメチロールプロパンポリグリシジルエーテル等が挙
げられる。
は、例えば、ビスフェノールAとエピクロルヒドリンと
を反応させて得られるビスフェノールA型エポキシ樹脂
(例えば、シェル化学社製、商品名エピコート812、
エピコート828、エピコー)1001等)、臭素化ビ
スフェノールA型エポキシ樹脂(例えば、東部化成社製
、商品名エビトートYDB−340、YDB−400等
)、ビスフェノールF型エポキシ樹脂(例えば、東部化
成社製、商品名エポトートYDF−170、YDF−1
90等)、ビスフェノール八にアルキレンオキサイドを
付加した後、エピクロルヒドリンを反応させて得られる
エポキシ化合物(例えば、共栄社油脂製、商品名工ポラ
イト3002等)、水添ビスフェノールA型エポキシ樹
脂(例えば、東部化成社製、商品名サントート5T−1
000,5T−3000等)、グリオキザール型エポキ
シ樹脂(例えば、東部化成社製、商品名工ボトートYD
G−414等)、グリシジルアミン型エポキシ樹脂(例
えば、東部化成社製、商品名エポトートYDM−120
、YH−434等)、オルソクレゾールノボラック型エ
ポキシ樹脂(例えば、日本火薬社製、商品名EOCN1
02等)、フェノールノボラック型エポキシ樹脂(例え
ば、東部化成社製、商品名YDPN−638等)、臭素
化フェノールノボラック型エポキシ樹脂(例えば、日本
火薬社製、商品名B R,E N等)、脂環式エポキシ
化合物(例えば、チッソ社製、商品名チッソノックス2
21、チッソノックス201等)、フタル酸等のジカル
ボン酸とエピクロルヒドリンとの反応により得られるグ
リシジルエーテル型エポキシ樹脂(例えば、昭和電工社
製、商品名ショウダイン508、ショウダイン540、
ショウダイン550等)、グリシジルアミン型エポキシ
樹脂(シェル化学社製、商品名エピコート604等)、
トリメチロールプロパンポリグリシジルエーテル等が挙
げられる。
前記不飽和カルボン酸としては、アクリル酸、メタクリ
ル酸、β−フリルアクリル酸、β−スチリルアクリル酸
等が用いられる。
ル酸、β−フリルアクリル酸、β−スチリルアクリル酸
等が用いられる。
熱架橋可能な官能基と重合性ビニル基を共に有する化合
物は、2種以上を併用してもよい。また、前記線状高分
子化合物及び/又は熱硬化性化合物と併用してもよい。
物は、2種以上を併用してもよい。また、前記線状高分
子化合物及び/又は熱硬化性化合物と併用してもよい。
さらに、本発明の感光性組成物には、他の副次的成分が
含まれていてもよい。該副次的成分としては、熱重合防
止剤、染料、顔料、フィラー、塗工性向上剤、消泡剤、
難燃剤、難燃助剤、密着性向上剤、エポキシ樹脂の潜在
性硬化剤等が挙げられる。
含まれていてもよい。該副次的成分としては、熱重合防
止剤、染料、顔料、フィラー、塗工性向上剤、消泡剤、
難燃剤、難燃助剤、密着性向上剤、エポキシ樹脂の潜在
性硬化剤等が挙げられる。
次に、本発明によるソルダレジストの形成された印刷配
線板の製造法を説明する。
線板の製造法を説明する。
上述した感光性組成物を用いて感光層を形成するに際し
ては、例えば、感光性組成物をメチルエチルケトン、メ
チルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテー
ト、シクロヘキサノン等の有機溶剤に溶解させ、この溶
液をデイツプコート法、フローコート法、ロールコート
法、スクリーン印刷法等の常法により、加工保護すべき
基板上に直接塗布し、乾燥させた後、更に基板を反転さ
せて同一工程を行うことにより、基板の両面に各々厚さ
10〜150μmの感光層を容易に形成させることがで
きる。
ては、例えば、感光性組成物をメチルエチルケトン、メ
チルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテー
ト、シクロヘキサノン等の有機溶剤に溶解させ、この溶
液をデイツプコート法、フローコート法、ロールコート
法、スクリーン印刷法等の常法により、加工保護すべき
基板上に直接塗布し、乾燥させた後、更に基板を反転さ
せて同一工程を行うことにより、基板の両面に各々厚さ
10〜150μmの感光層を容易に形成させることがで
きる。
また、前記の感光性組成物の溶液を、例えば、ポリエチ
レンテレフタレートフィルム、ポリイミドフィルム等の
支持体フィルム上にナイフコート法、ロールコート法等
により塗布し、乾燥して得られる感光性エレメントを熱
ロールを用いて基板の両面に同時に加熱加圧積層して感
光層を形成することもできる。この際、基板が導体配線
ラインの形成された印刷配線板等、10μm以上の凹凸
を有する場合には、空気の巻き込みを防ぐため、200
mmHg以下の真空下で積層することが好ましい。この
ための装置としては、例えば、特公昭55−13341
号公報に記載される積層装置が用いられる。なお、活性
光に不透明な支持体フィルムを用いる場合には、露光時
に支持体フィルムを剥離する必要がある。
レンテレフタレートフィルム、ポリイミドフィルム等の
支持体フィルム上にナイフコート法、ロールコート法等
により塗布し、乾燥して得られる感光性エレメントを熱
ロールを用いて基板の両面に同時に加熱加圧積層して感
光層を形成することもできる。この際、基板が導体配線
ラインの形成された印刷配線板等、10μm以上の凹凸
を有する場合には、空気の巻き込みを防ぐため、200
mmHg以下の真空下で積層することが好ましい。この
ための装置としては、例えば、特公昭55−13341
号公報に記載される積層装置が用いられる。なお、活性
光に不透明な支持体フィルムを用いる場合には、露光時
に支持体フィルムを剥離する必要がある。
形成された感光層の露光及び現像は、常法により行われ
る。即ち、光源として超高圧水銀灯、高圧水銀灯等を用
い、感光性樹脂組成物の層上に直接又は支持体フィルム
を介してネガマスクを通して像的に露光する。露光後、
支持体フィルムが残っている場合は支持体フィルムを剥
離した後、現像する。
る。即ち、光源として超高圧水銀灯、高圧水銀灯等を用
い、感光性樹脂組成物の層上に直接又は支持体フィルム
を介してネガマスクを通して像的に露光する。露光後、
支持体フィルムが残っている場合は支持体フィルムを剥
離した後、現像する。
現像処理に用いられる現像液は、露光部にダメージを与
えず、未露光部を選択的に溶出するものであればその種
類については特に制限はない。
えず、未露光部を選択的に溶出するものであればその種
類については特に制限はない。
上記の方法で得られた像的な保護被膜は、通常のエツチ
ング、めっき等のための耐食膜であるが、現像後にさら
に活性光の露光及び80〜200℃での加熱処理を行う
ことにより、さらに優れた特性を有する保護膜を得るこ
とができる。これらの活性光の露光及び加熱処理の順序
は、どちらが先でもよい。
ング、めっき等のための耐食膜であるが、現像後にさら
に活性光の露光及び80〜200℃での加熱処理を行う
ことにより、さらに優れた特性を有する保護膜を得るこ
とができる。これらの活性光の露光及び加熱処理の順序
は、どちらが先でもよい。
本発明における導体パターンが形成された印刷配線板は
、多層印刷配線板でもよい。
、多層印刷配線板でもよい。
以下、本発明を実施例により説明するが、本発明は、こ
れらの実施例に限定されるものではない。
れらの実施例に限定されるものではない。
なお、実施例及び比較例中の部は重量部を示す。
実施例1
(a)ウレタンジアクリレート化合物の合成A トリメ
チルへキサメチレンジイソシアナート 16
80部(16当量)トルエン(溶剤)
1200部ジラウリン酸ジーn−ブチルスズ (触媒) 1部Bl、6−ヘ
キサンジオール 472部(8当量) C2−ヒドロキシエチルアクリレート 928部(8当量) トルエン(溶剤) 88部ヒドロキノ
ン(熱重合防止剤)0.4部D メタノール(停止剤)
32部温度計、撹拌装置、冷却管、窒素ガ
ス導入管及び滴下器の付いた加熱及び冷却可能な容積約
51の反応器に、前記入を加え、撹拌しながら60°C
に昇温した。反応温度を55〜65℃に保ちながら約3
時間で均一にBを滴下した。Bの滴下終了後60°Cの
温度で約2時間保ち、その後、60’Cの温度でCを約
3時間で均一に滴下した。Cの滴下終了後、約5時間か
けて徐々に反応温度を8゜0Cまで昇温した。その後、
温度を60°Cに下げ、Dを加えて約1時間撹拌を続け
た。このようにしてウレタンジアクリレート化合物の溶
液を得た。
チルへキサメチレンジイソシアナート 16
80部(16当量)トルエン(溶剤)
1200部ジラウリン酸ジーn−ブチルスズ (触媒) 1部Bl、6−ヘ
キサンジオール 472部(8当量) C2−ヒドロキシエチルアクリレート 928部(8当量) トルエン(溶剤) 88部ヒドロキノ
ン(熱重合防止剤)0.4部D メタノール(停止剤)
32部温度計、撹拌装置、冷却管、窒素ガ
ス導入管及び滴下器の付いた加熱及び冷却可能な容積約
51の反応器に、前記入を加え、撹拌しながら60°C
に昇温した。反応温度を55〜65℃に保ちながら約3
時間で均一にBを滴下した。Bの滴下終了後60°Cの
温度で約2時間保ち、その後、60’Cの温度でCを約
3時間で均一に滴下した。Cの滴下終了後、約5時間か
けて徐々に反応温度を8゜0Cまで昇温した。その後、
温度を60°Cに下げ、Dを加えて約1時間撹拌を続け
た。このようにしてウレタンジアクリレート化合物の溶
液を得た。
その後、減圧乾燥して粘稠なウレタンジアクリレート化
合物を得た。
合物を得た。
(b)感光性組成物の調製
ウレタンジアクリレート化合物 40部トリメチ
ロールプロパントリアクリレート10部 メタクリル酸メチル・メタクリル酸・ テトラヒドロフルフリルメタクリレート(88/2/2
0重量比)共重合物 (分子量約15万、ガラス転移温度 的95°C) 47部ベンゾフェ
ノン 4部4.4′−ビス(ジ
エチルアミノ) ベンゾフェノン 0.2部9.1
0−ジェトキシアセトラセン 1部p−メトキシフ
ェノール 0.1部クリスタルバイオレッ
ト 0.1部メチルエチルケトン
80部タルク
10部上記の配合で感光性組成物の溶液を調製した
。
ロールプロパントリアクリレート10部 メタクリル酸メチル・メタクリル酸・ テトラヒドロフルフリルメタクリレート(88/2/2
0重量比)共重合物 (分子量約15万、ガラス転移温度 的95°C) 47部ベンゾフェ
ノン 4部4.4′−ビス(ジ
エチルアミノ) ベンゾフェノン 0.2部9.1
0−ジェトキシアセトラセン 1部p−メトキシフ
ェノール 0.1部クリスタルバイオレッ
ト 0.1部メチルエチルケトン
80部タルク
10部上記の配合で感光性組成物の溶液を調製した
。
(c)硬化被膜の形成
導体パターンが形成された印刷配線板の両面に、(b)
で調製した感光性組成物をデイツプコート法により塗布
し、80℃で20分間乾燥した。乾燥後の厚さは約30
μmであった。該感光性組成物の層を形成した導体パタ
ーンが形成された板厚0.6mの印刷配線板の両面にネ
ガフィルムを密着させ、フェニックス3000型露光機
(オーク製作所社製)を使用し、200mJ/cffl
で露光した。
で調製した感光性組成物をデイツプコート法により塗布
し、80℃で20分間乾燥した。乾燥後の厚さは約30
μmであった。該感光性組成物の層を形成した導体パタ
ーンが形成された板厚0.6mの印刷配線板の両面にネ
ガフィルムを密着させ、フェニックス3000型露光機
(オーク製作所社製)を使用し、200mJ/cffl
で露光した。
次に1.1.1−)リクロロエタンを用いて20℃で5
0秒間スプレー現像した。
0秒間スプレー現像した。
上記工程を経た印刷配線板上の硬化被膜を観察したとこ
ろ、現像残りは生じていなかった。さらに、該印刷配線
板を紫外線照射装置(東芝電材社製、定格電圧200V
、定格消費電カフ、2kW、適合ランプH5600L/
2、ランプ本数1本)を用いて2J/cnfO量の紫外
線を照射し、その後、160°Cで20分間加熱処理し
た。このようにして得られた印刷配線板をフラックス処
理した後、260℃に加熱されたはんだ槽に10秒間浸
漬させてエツジ形状のシャープなツルダレシストが形成
された印刷配線板を得た。
ろ、現像残りは生じていなかった。さらに、該印刷配線
板を紫外線照射装置(東芝電材社製、定格電圧200V
、定格消費電カフ、2kW、適合ランプH5600L/
2、ランプ本数1本)を用いて2J/cnfO量の紫外
線を照射し、その後、160°Cで20分間加熱処理し
た。このようにして得られた印刷配線板をフラックス処
理した後、260℃に加熱されたはんだ槽に10秒間浸
漬させてエツジ形状のシャープなツルダレシストが形成
された印刷配線板を得た。
実施例2
実施例1において、感光性組成物に含まれるベンゾフェ
ノン4部を2−メチル−1−(4−(メチルチオ)フェ
ニル〕−2−モルホリノプロパノン−1(チバガイギ社
製、商品名イルガーキュア907)4部に変更して感光
性組成物を調製し、実施例1と同様の処理を行ったとこ
ろ、エツジ形状がシャープで表面光沢の優れたソルダレ
ジストが形成された印刷配線板が得られた。
ノン4部を2−メチル−1−(4−(メチルチオ)フェ
ニル〕−2−モルホリノプロパノン−1(チバガイギ社
製、商品名イルガーキュア907)4部に変更して感光
性組成物を調製し、実施例1と同様の処理を行ったとこ
ろ、エツジ形状がシャープで表面光沢の優れたソルダレ
ジストが形成された印刷配線板が得られた。
比較例1
実施例1(b)で調製した感光性組成物に、9゜10−
ジェトキシアントラセンを加えない以外は実施例1と同
様の感光性組成物を調製し、実施例1 (C)と同様の
処理を行ったところ、印刷配線板の両面に現像残りが生
じていた。さらに現像を行ったが、現像残りは消失しな
かった。
ジェトキシアントラセンを加えない以外は実施例1と同
様の感光性組成物を調製し、実施例1 (C)と同様の
処理を行ったところ、印刷配線板の両面に現像残りが生
じていた。さらに現像を行ったが、現像残りは消失しな
かった。
実施例3
(a)光重合性不飽和化合物の合成
A オルソクレゾールノボラック型
エポキシ樹脂、EOCNI O2
エポキシ当量280) 1095部メチルエ
チルケトン 800部B アクリル酸
69部塩化ベンジルトリメチルアンモ
ニウム 7部 p−メトキシフェノール 3部メチルエチル
ケトン 100部Cイソシアナートエチルメ
タクリレート163部 ジブチル錫ジラウレート0.5部 メチルエチルケトン 100部D メタノー
ル 10部温度計、撹拌装置、冷
却管及び滴下器の付いた加熱及び冷却可能な51の反応
器に、前記Aを加え、撹拌しながら60℃に昇温し、均
一に溶解させた。反応温度を60℃に保ちながら、これ
に約1時間かけてBを滴下した。Bの滴下後、2時間か
けて80℃に昇温し、80℃で約15時間で撹拌を続は
反応系の酸価を1以下にした。次いで温度を60°Cに
低下させ、反応温度を60°Cに保ちながら約3時間か
けて均一にCを滴下した。Cの滴下後、約5時間かけて
徐々に反応温度を80℃まで昇温した後、温度を60℃
に低下させ、Dを加え、約1時間撹拌を続けた。こうし
て不揮発分57重量%のオルソクレゾールノボラック型
エポキシ樹脂/アクリル酸/イソシアナートエチルメタ
クリレート(酸当量/エポキシ当量比=0.2、イソシ
アナート当量/水酸基当量比= 1.1 )系光重合性
不飽和化合物の溶液を得た。
チルケトン 800部B アクリル酸
69部塩化ベンジルトリメチルアンモ
ニウム 7部 p−メトキシフェノール 3部メチルエチル
ケトン 100部Cイソシアナートエチルメ
タクリレート163部 ジブチル錫ジラウレート0.5部 メチルエチルケトン 100部D メタノー
ル 10部温度計、撹拌装置、冷
却管及び滴下器の付いた加熱及び冷却可能な51の反応
器に、前記Aを加え、撹拌しながら60℃に昇温し、均
一に溶解させた。反応温度を60℃に保ちながら、これ
に約1時間かけてBを滴下した。Bの滴下後、2時間か
けて80℃に昇温し、80℃で約15時間で撹拌を続は
反応系の酸価を1以下にした。次いで温度を60°Cに
低下させ、反応温度を60°Cに保ちながら約3時間か
けて均一にCを滴下した。Cの滴下後、約5時間かけて
徐々に反応温度を80℃まで昇温した後、温度を60℃
に低下させ、Dを加え、約1時間撹拌を続けた。こうし
て不揮発分57重量%のオルソクレゾールノボラック型
エポキシ樹脂/アクリル酸/イソシアナートエチルメタ
クリレート(酸当量/エポキシ当量比=0.2、イソシ
アナート当量/水酸基当量比= 1.1 )系光重合性
不飽和化合物の溶液を得た。
(b)感光性組成物の調製
光重合性不飽和化合物の溶液
(不揮発分50部) 88部
ベンゾフェノン 2.0部4.4
′−ビス(ジエチルアミノ) ベンゾフェノン 0.2部2−エ
チル−9,10−ジメトキシ アントラセン 1部ミクロエ
ースP−4(日本タルク社製 超微粒子タルク平均粒径1.5μm) 30部フタロ
シアニングリーン 0.1部モダフロー
0.1部上記の配合物をロー
ルミルで混合分散させて感光性樹脂組成物の溶液を調製
した。
′−ビス(ジエチルアミノ) ベンゾフェノン 0.2部2−エ
チル−9,10−ジメトキシ アントラセン 1部ミクロエ
ースP−4(日本タルク社製 超微粒子タルク平均粒径1.5μm) 30部フタロ
シアニングリーン 0.1部モダフロー
0.1部上記の配合物をロー
ルミルで混合分散させて感光性樹脂組成物の溶液を調製
した。
(c)硬化被膜の形成
(b)で得られた感光性樹脂組成物の溶液を銅張り印刷
配線板上に塗布し、室温で20分間、更に80℃で20
分間、乾燥し、次いで印刷配線板を反転させて同一工程
を行い、導体パターンの形成された板厚0.68の印刷
配線板の両面に各々厚さ40μmの感光層を形成した。
配線板上に塗布し、室温で20分間、更に80℃で20
分間、乾燥し、次いで印刷配線板を反転させて同一工程
を行い、導体パターンの形成された板厚0.68の印刷
配線板の両面に各々厚さ40μmの感光層を形成した。
次いで、ネガマスクを通してフェニックス3000型露
光機を用い、200 mJ/cmで両面同時露光した。
光機を用い、200 mJ/cmで両面同時露光した。
露光後80℃で5分間加熱し、常温で30分放置した後
、1.1.1−トリクロロエタンを用いて20℃で90
秒間スプレー現像した。
、1.1.1−トリクロロエタンを用いて20℃で90
秒間スプレー現像した。
現像後の印刷配線板を観察したところ、現像残りは生じ
ていなかった。さらに、東芝紫外線照射装置を使用し、
IJ/cdで照射した後、150°Cで30分間加熱処
理し、ネガマスクに相応する寸法精度の優れたソルダマ
スクを得た。
ていなかった。さらに、東芝紫外線照射装置を使用し、
IJ/cdで照射した後、150°Cで30分間加熱処
理し、ネガマスクに相応する寸法精度の優れたソルダマ
スクを得た。
このソルダマスクをロジン系フラックスA−226(タ
ムラ化研社製、商品名)を用いて260℃で10秒間は
んだ付は処理し、さらにトリクレンで25℃で10分間
浄化処理した後、MIL−3TD−202E 107部
条件B(−65℃30分間、常温5分以内、125℃3
0分間)で50サイクルの冷熱衝撃試験を行ったが、□
クラックの発生及び被膜の剥がれは認められなかった。
ムラ化研社製、商品名)を用いて260℃で10秒間は
んだ付は処理し、さらにトリクレンで25℃で10分間
浄化処理した後、MIL−3TD−202E 107部
条件B(−65℃30分間、常温5分以内、125℃3
0分間)で50サイクルの冷熱衝撃試験を行ったが、□
クラックの発生及び被膜の剥がれは認められなかった。
これらの結果から、本発明の感光性組成物を用いて形成
したソルダレジストは、耐冷熱衝撃性に優れ、長期間の
信頼性に優れた印刷配線板が得られることが示された。
したソルダレジストは、耐冷熱衝撃性に優れ、長期間の
信頼性に優れた印刷配線板が得られることが示された。
実施例4
実施例3において、感光性組成物に含まれるベンゾフェ
ノン2部を2−メチル−1(4−(メチルチオ)フェニ
ルシー2−モルホリノプロパノン−1; 2部に変更し
て感光性組成物を調製し、実施例3(c)と同様の処理
を行ったところ、実施例3と同等の特性を示し、エツジ
形状がシャープで、さらに表面光沢の優れたソルダレジ
ストが形成された印刷配線板が得られ、これらは耐冷熱
衝撃性に優れていた。
ノン2部を2−メチル−1(4−(メチルチオ)フェニ
ルシー2−モルホリノプロパノン−1; 2部に変更し
て感光性組成物を調製し、実施例3(c)と同様の処理
を行ったところ、実施例3と同等の特性を示し、エツジ
形状がシャープで、さらに表面光沢の優れたソルダレジ
ストが形成された印刷配線板が得られ、これらは耐冷熱
衝撃性に優れていた。
比較例2
2−エチル−9,10−ジメトキシアントラセンを加え
ない以外は、実施例3(b)と同様にして感光性組成物
を調製し、実施例3(C)と同様の処理を行ったところ
、両面に裏かぶりによる現像残りが生じていた。さらに
現像を行ったが、現像残りは消失しなかった。
ない以外は、実施例3(b)と同様にして感光性組成物
を調製し、実施例3(C)と同様の処理を行ったところ
、両面に裏かぶりによる現像残りが生じていた。さらに
現像を行ったが、現像残りは消失しなかった。
実施例5
実施例3において、感光性組成物に含まれる2−エチル
−9,10−ジメトキシアントラセン1部を9.10−
ジェトキシアントラセン−2−スルホン酸エチル1部に
変更して感光性組成物を調製し、実施例3(c)と同様
の工程で処理したところ、実施例3と同等の特性を示し
、エツジ形状がシャープで、さらに表面光沢の優れたソ
ルダレジストが形成された印刷配線板が得られ、これら
は耐冷熱衝撃性に優れていた。
−9,10−ジメトキシアントラセン1部を9.10−
ジェトキシアントラセン−2−スルホン酸エチル1部に
変更して感光性組成物を調製し、実施例3(c)と同様
の工程で処理したところ、実施例3と同等の特性を示し
、エツジ形状がシャープで、さらに表面光沢の優れたソ
ルダレジストが形成された印刷配線板が得られ、これら
は耐冷熱衝撃性に優れていた。
実施例6
実施例5において、感光性組成物に含まれるベンゾフェ
ノン2部を2−メチル−1−(4−(メチルチオ)フェ
ニルシー2−モルホリノプロパノン−1;2部に変更し
て感光性組成物を調製し、実施例3(C)と同様の工程
で処理したところ、実施例3と同等の特性を示し、エツ
ジ形状がシャープで、さらに表面光沢の優れたソルダレ
ジストが形成された印刷配線板が得られ、これらは耐冷
熱衝撃性に優れていた。
ノン2部を2−メチル−1−(4−(メチルチオ)フェ
ニルシー2−モルホリノプロパノン−1;2部に変更し
て感光性組成物を調製し、実施例3(C)と同様の工程
で処理したところ、実施例3と同等の特性を示し、エツ
ジ形状がシャープで、さらに表面光沢の優れたソルダレ
ジストが形成された印刷配線板が得られ、これらは耐冷
熱衝撃性に優れていた。
本発明の感光性組成物は、解像性に優れ、裏かぶりによ
る現像残りがなく、かつエツジ形状がシャープで良好な
形状のソルダレジストを生じる。
る現像残りがなく、かつエツジ形状がシャープで良好な
形状のソルダレジストを生じる。
したがって、本発明によれば、特に、両面印刷配線板の
両面に感光層を設け、両面同時露光を行なって裏かぶり
による現像残りがな(、エツジ形状がシャープなソルダ
レジストを両面に有する両面印刷配線板を容易に製造す
ることができる。さらに、得られるソルダレジストは、
表面光沢及び耐冷熱衝撃性に優れており、長期間の信頼
性に優れた印刷配線板が得られる。
両面に感光層を設け、両面同時露光を行なって裏かぶり
による現像残りがな(、エツジ形状がシャープなソルダ
レジストを両面に有する両面印刷配線板を容易に製造す
ることができる。さらに、得られるソルダレジストは、
表面光沢及び耐冷熱衝撃性に優れており、長期間の信頼
性に優れた印刷配線板が得られる。
Claims (4)
- 1.(A)少なくとも1個のエチレン性不飽和基を有す
る化合物、 (B)活性光により遊離ラジカルを生成する増感剤及び
/又は増感剤系並びに (C)裏かぶり防止剤として、一般式(I)▲数式、化
学式、表等があります▼ 〔式中、R_1及びR_2はアルコキシ基を表し、R_
3は水素原子、アルキル基又はスルホン酸アルキル基を
表す〕で表される化合物 を含むことを特徴とする感光性組成物。 - 2.(B)活性光により遊離ラジカルを生成する増感剤
及び/又は増感剤系が、2−メチル−1−〔4−(メチ
ルチオ)フェニル〕−2−モルホリノプロパノン−1及
び4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンで
ある請求項1記載の感光性組成物。 - 3.請求項1記載の感光性組成物の層を、導体パターン
が形成された印刷配線板上に形成した後、活性光線で像
状に露光し、現像処理することを特徴とするソルダレジ
ストの形成された印刷配線板の製造法。 - 4.請求項1記載の感光性組成物の層を印刷配線板の両
面に形成し、露光を両面同時に行なう請求項3記載のソ
ルダレジストの形成された印刷配線板の製造法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP32585290A JPH04195043A (ja) | 1990-11-28 | 1990-11-28 | 感光性組成物及びこれを用いたソルダレジストの形成された印刷配線板の製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP32585290A JPH04195043A (ja) | 1990-11-28 | 1990-11-28 | 感光性組成物及びこれを用いたソルダレジストの形成された印刷配線板の製造法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04195043A true JPH04195043A (ja) | 1992-07-15 |
Family
ID=18181342
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP32585290A Pending JPH04195043A (ja) | 1990-11-28 | 1990-11-28 | 感光性組成物及びこれを用いたソルダレジストの形成された印刷配線板の製造法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04195043A (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003050459A (ja) * | 2001-08-07 | 2003-02-21 | Hitachi Chem Co Ltd | 感光性樹脂組成物、感光性エレメント、レジストパターンの製造法およびプリント配線板の製造法 |
WO2007004619A1 (ja) * | 2005-07-05 | 2007-01-11 | Hitachi Chemical Company, Ltd. | 感光性樹脂組成物、並びにこれを用いた感光性エレメント、レジストパターンの形成方法、プリント配線板の製造方法及びプラズマディスプレイパネル用隔壁の製造方法。 |
WO2007026520A1 (ja) * | 2005-08-30 | 2007-03-08 | Jsr Corporation | 感放射線性樹脂組成物およびメッキ造形物の製造方法 |
JP2011095765A (ja) * | 2010-12-16 | 2011-05-12 | Hitachi Chem Co Ltd | 感光性樹脂組成物、感光性エレメント、レジストパターンの製造法およびプリント配線板の製造法 |
WO2016158389A1 (ja) * | 2015-03-27 | 2016-10-06 | 東レ株式会社 | 感光性樹脂組成物、感光性樹脂組成物フィルム、硬化物、絶縁膜および多層配線基板 |
JP2017057249A (ja) * | 2015-09-14 | 2017-03-23 | 川崎化成工業株式会社 | 光重合性組成物 |
JP2019189760A (ja) * | 2018-04-25 | 2019-10-31 | 川崎化成工業株式会社 | 光重合増感剤組成物 |
EP2784807B1 (en) * | 2012-11-07 | 2022-10-26 | NGK Spark Plug Co., Ltd. | Wiring board comprising a resin insulating layer with a solder dam portion and a reinforcement portion and corresponding manufacturing method |
-
1990
- 1990-11-28 JP JP32585290A patent/JPH04195043A/ja active Pending
Cited By (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US10474031B2 (en) | 2015-03-27 | 2019-11-12 | Toray Industries, Inc. | Photosensitive resin composition, photosensitive resin composition film, cured product, insulating film and multilayer wiring board |
WO2016158389A1 (ja) * | 2015-03-27 | 2016-10-06 | 東レ株式会社 | 感光性樹脂組成物、感光性樹脂組成物フィルム、硬化物、絶縁膜および多層配線基板 |
WO2017047599A1 (ja) * | 2015-09-14 | 2017-03-23 | 川崎化成工業株式会社 | 光重合性組成物 |
CN108026197A (zh) * | 2015-09-14 | 2018-05-11 | 川崎化成工业株式会社 | 光聚合性组合物 |
US20180208689A1 (en) * | 2015-09-14 | 2018-07-26 | Kawasaki Kasei Chemicals Ltd. | Photopolymerizable composition |
JP2017057249A (ja) * | 2015-09-14 | 2017-03-23 | 川崎化成工業株式会社 | 光重合性組成物 |
US10570227B2 (en) | 2015-09-14 | 2020-02-25 | Kawasaki Kasei Chemicals Ltd. | Photopolymerizable composition |
CN108026197B (zh) * | 2015-09-14 | 2020-11-17 | 川崎化成工业株式会社 | 光聚合性组合物 |
JP2019189760A (ja) * | 2018-04-25 | 2019-10-31 | 川崎化成工業株式会社 | 光重合増感剤組成物 |
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CN111868105B (zh) * | 2018-04-25 | 2022-05-13 | 川崎化成工业株式会社 | 光聚合敏化剂组合物 |
US11352450B2 (en) | 2018-04-25 | 2022-06-07 | Kawasaki Kasei Chemicals Ltd. | Photopolymerization sensitizer composition |
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