JPH04186152A - 半導体生化学センサ - Google Patents

半導体生化学センサ

Info

Publication number
JPH04186152A
JPH04186152A JP2313834A JP31383490A JPH04186152A JP H04186152 A JPH04186152 A JP H04186152A JP 2313834 A JP2313834 A JP 2313834A JP 31383490 A JP31383490 A JP 31383490A JP H04186152 A JPH04186152 A JP H04186152A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
film
enzyme
biochemical sensor
semiconductor
insulating film
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2313834A
Other languages
English (en)
Inventor
Yuji Miyahara
裕二 宮原
Keiji Tsukada
啓二 塚田
Yasuhisa Shibata
康久 柴田
Yoshio Watanabe
渡辺 吉雄
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP2313834A priority Critical patent/JPH04186152A/ja
Publication of JPH04186152A publication Critical patent/JPH04186152A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は医用生化学分析装置の中の生化学センサに関わ
り、特に小形な半導体生化学センサの構造及びその製造
方法に関する。
〔従来の技術〕
従来、固定化酵素膜と半導体イオンセンサを組み合わせ
た生化学センサについては、センサーズアンドアクチュ
エーターズ、7 (1985年)第233頁から第24
4頁において論しられている。。
該文献では固定化グルコースオキシダーゼ膜とpH感応
性電界効果トランジスタを組み合わせたグルコースセン
サが構成され、その特性が議論されている。
〔発明が解決しようとする課題〕
上記従来技術は、酵素反応により生じたpH変化をp 
H感応性半導体化学センサで検出するという原理であっ
たので、センサの応答が使用する緩衝液の濃度に依存し
、緩衝液濃度が高くなると感度が小さくなるという問題
があった。
本発明は、緩衝液の濃度に依存しない応答を示す、小型
で使い易い半導体生化学センサを提供することを目的と
する。
〔課題を解決するための手段〕
」二記目的を達成するために、アンモニウムイオン感応
性電界効果トランジスタを用い、アンモニウムイオン感
応膜に固定化酵素膜を積層し、酵素反応で生じたアンモ
ニウムイオンを検出する方式%式% 試料溶液中に基質が存在すると、固定化酵素膜に固定化
されている酵素と特異的に反応し、アンモニウムイオン
を生成する。固定化酵素膜はアンモニウムイオン感応膜
」二に積層されており、生じたアンモニウムイオンは、
アンモニウムイオン感応膜で検知され、膜電位を発生す
る。生じた膜電位は電界効果トランジスタでインピーダ
ンス変換される。以上のように、本発明は酵素−基質反
応で生じたアンモニウムイオンを検出するので、試料溶
液の緩衝作用の影響を受けない小型センサを構成するこ
とができる。
〔実施例〕
本発明を実施例に基づき詳細に説明する。
第1図は本発明の第コ−の実施例断面図である。
シリコン基板1にソース2及び1〜レイン3を設け、シ
リコン基板表面に二酸化シリコン膜4及び保護絶縁膜5
を形成した。該保護絶縁上にアンモニウムイオン感応膜
6及び固定化酵素膜7を積層した。
二酸化シリコン膜4及び保護絶縁膜5の膜厚はそれぞれ
100人〜2000人及び500人−3000人が望ま
しい。又、アンモニウムイオン感応膜6及び固定化酵素
膜7の膜厚はそれぞれ50μm〜300μm及び1μm
〜500μmが望ましい。
第2図は本発明の第2の実施例断面図である。
シリコン基板1にウェハ8を設け、ウェハの中にソース
2及びドレイン3を形成した。その他の部分は第1の実
施例と同じである。本実施例のようにウェハを設けると
、複数の電界効果1〜ランジスタを1個のシリコン基板
に集積化した場合、個々の電界効果トランジスタを電気
的に分離することができ、相互干渉のない信号が得られ
る。
第3図は本発明の第3の実施例断面図である。
サファイア基板9の上にシリコン膜10を形成し、該シ
リコン膜の中にソース2及びドレイン3を設けたもので
ある。その他の部分は第1の実施例と同しである。本実
施例ではシリコン膜の側面を絶縁膜4及び5で覆うこと
ができ、試料溶液に浸した場合でもシリコン膜を試料溶
液から保護することができ、センサのパッケージングが
簡単になる。
第4図は本発明の第4の実施例断面図である。
シリコン基板1にウェル8a及び8bを設け、その中に
それぞれソース2a、2b、 ドレイン3a。
3bを形成した。シリコン表面に二酸化シリコン膜4.
保護MA縁膜を形成し、各々のウェハのソースとトレイ
ンの間にアンモニラ11イオン感応膜6a及び6bを設
けた。そして、1つのアンモニウムイオン感応膜6a上
に固定化酵素膜7を形成した生化学センサとし、他のア
ンモニウムイオン感応膜6b上には何も形成せず、参照
用センサとした。試料溶液中の基質の測定は、生化学セ
ンサと参照用センサの信号の差を出力する。差動測定で
は、バックグラウンドに存在するアンモニラ11イオン
を相殺することができ、酵素反応に基づくアンモニウム
イオン濃度変化のみを検出することができる。
第5図は本発明の半導体生化学センサを実装したときの
断面図である。半導体生化学センサチップ11をプリン
ト基板12にマウントし、ワイヤー]3でチップと銅配
線14を接続した。銅配線の他端には、外部回路に接続
するためのリード線15を設けた。そして固定化酵素膜
7、及びリード線15を残して耐水性の優れた絶縁材料
16で覆ったものである。該絶縁材料16としては、工
ポキシ樹脂又はシリコーン樹脂が望ましい。
第6図は第5図に示した実装した半導体生化学センサの
測定システムを示したものである。実装した半導体生化
学センサ17と参照電極18を試料溶液19に浸漬した
。参照電極はアースに接続され、生化学センサのソース
及びトレインの信号線20及び2」はそれぞれ演算増幅
器22の入力及び演算増幅器23の出力に接続されてい
る。該演算増幅器22及び23は定電流源24.25及
び抵抗26と共に膜電位測定回路を構成しており、該回
路の出力27は直接膜電位変化を示し、記録計28に記
録される。
第7図は本発明の効果を示したものである。第4の実施
例と、従来のp T(変化測定方式に基づく半感体生化
学センサを比較したものである。保護絶縁膜には厚さ1
000人の窒化シリコンを用い、γアミノプロピルトリ
エトキシシランで表面を化学修飾して固定化酵素膜との
接着性を高めた。アンモニウムイオン感応膜にはポリ塩
ビニル、ノナクチン/モナクチン、ジオクチルアジペイ
1−(DOA)、固定化酵素膜にはI−リアセチルセル
ロース、グルタルアルデヒ1−1牛血清アルブミン、ウ
レアーゼの混合膜を用いた。試料溶液はp l−17,
0,10mMの1〜リス−塩酸バッファに各種濃度の尿
素を溶解させて調製した。第7図より本発明の生化学セ
ンサは1 ’o m Mの緩衝液中でも高い感度を有し
ており、緩衝液濃度に応答が依存しない。
以上より本発明の半導体化学センサは緩衝液濃度に応答
が依存せず、小型で使い易い。
〔発明の効果〕
本発明によれば、酵素一基板反応で生成したアンモニウ
ムイオンをアンモニウムイオン感応性電界効果トランジ
スタて検出するので、試料溶液中の緩i液濃度に依存し
ない応答が得られ、緩衝液濃度が高くても高感度測定が
できる。また半導体技術を用いて製作されるので小型で
使い易い生化学センサを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図、第2図、第3図、第4図はそれぞれ本発明の第
1.第2.第3.第4の実施例を示す図、第5図は本発
明を実装した断面図、第6図は本発明の測定回路図、第
7図は本発明の効果を示した図である。 1・・シリコン基板、2・ソース、3・・ドレイン、4
 二酸化シリコン、5・保護絶縁膜、6・・アンモニウ
ムイオン感応膜、7・・・固定化酵素膜、8・・・ウェ
ル、9・サファイア基板、1o・・シリコン膜、11・
半導体生化学センサチップ、12・・プリン1一基板、
13・・・ワイヤー、14・・銅配線、15リード線、
16 耐水性絶縁物、17・・実装半感体生学化センサ
チップ、18・・・参照電極、19 ・試料溶液、2o
・・・ソースリード線、21・・・ドレインリード線、
22.23・・演算増幅器、24゜25・定電流源、2
6・・抵抗、27・・・出方、28つ 旧く鈑−巨

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、二酸化シリコンに保護絶縁膜を積層した二層ゲート
    絶縁膜から成る電界効果トランジスタにおいて、該保護
    絶縁膜上にアンモニウムイオン感応膜を設け、該アンモ
    ニウムイオン感応膜上に固定化酵素膜を積層したことを
    特徴とする半導体生化学センサ。 2、請求項第1項記載の保護絶縁膜は、窒化シリコン(
    Si_3N_4)、酸化アルミニウム(Al_2O_3
    )、酸化タンタル(Ta_2O_5)であることを特徴
    とする半導体生化学センサ。 3、請求項第1項記載のアンモニウムイオン感応膜は、
    ポリ塩ビニル(PVC)及び可塑剤及びモナクチン又は
    ノナクチンの混合物であることを特徴とする半導体生化
    学センサ。4、請求項第1項記載の固定化酵素膜は例え
    ばアセチルセルロース又はポリビニルアルコール又はポ
    リアクリルアミド等のマトリックスに、アルブミン等の
    タンパク質及びグルタルアルデヒド及び酵素を混合した
    ものであることを特徴とする半導体生化学センサ。 5、請求項第1項記載の保護絶縁膜表面を、アミノ基を
    有するシランカップリング剤で化学修飾したことを特徴
    とする半導体生化学センサ。
JP2313834A 1990-11-21 1990-11-21 半導体生化学センサ Pending JPH04186152A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2313834A JPH04186152A (ja) 1990-11-21 1990-11-21 半導体生化学センサ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2313834A JPH04186152A (ja) 1990-11-21 1990-11-21 半導体生化学センサ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH04186152A true JPH04186152A (ja) 1992-07-02

Family

ID=18046071

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2313834A Pending JPH04186152A (ja) 1990-11-21 1990-11-21 半導体生化学センサ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH04186152A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2722294A1 (fr) * 1994-07-07 1996-01-12 Lyon Ecole Centrale Procede d'analyse qualitative et/ou quantitative de substances biologiques presentes dans un milieu liquide conducteur et capteurs biochimiques d'affinite utilises pour la mise en oeuvre de ce procede
US6355436B1 (en) 1996-05-17 2002-03-12 L'ecole Centrale De Lyon Method for analyzing biological substances in a conductive liquid medium

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2722294A1 (fr) * 1994-07-07 1996-01-12 Lyon Ecole Centrale Procede d'analyse qualitative et/ou quantitative de substances biologiques presentes dans un milieu liquide conducteur et capteurs biochimiques d'affinite utilises pour la mise en oeuvre de ce procede
US5869244A (en) * 1994-07-07 1999-02-09 Martin; Jean-Rene Procedure for the analysis of biological substances in a conductive liquid medium
US6150106A (en) * 1994-07-07 2000-11-21 Martin; Jean-Rene Method for analyzing biological substances in a conductive liquid medium
US6355436B1 (en) 1996-05-17 2002-03-12 L'ecole Centrale De Lyon Method for analyzing biological substances in a conductive liquid medium
US6562577B2 (en) 1996-05-17 2003-05-13 L'ecole Centrale De Lyon Procedure for the analysis of biological substances in a conductive liquid medium
US6803229B2 (en) 1996-05-17 2004-10-12 L'ecole Centrale De Lyon Procedure for the analysis of biological substances in a conductive liquid medium

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0228259B1 (en) Enzyme immobilized membrane for a semiconductor sensor and method for producing same
US5445920A (en) Fabrication process of biosensor
US4739380A (en) Integrated ambient sensing devices and methods of manufacture
Poghossian et al. An ISFET-based penicillin sensor with high sensitivity, low detection limit and long lifetime
US7794584B2 (en) pH-change sensor and method
US20040256685A1 (en) Biosensor, method of manufacturing sensing unit thereof, and measuring system
US4874499A (en) Electrochemical microsensors and method of making such sensors
US7435610B2 (en) Fabrication of array pH sensitive EGFET and its readout circuit
US5078855A (en) Chemical sensors and their divided parts
Kimura et al. An integrated SOS/FET multi-biosensor
Soldatkin et al. Glucose-sensitive field-effect transistor with additional Nafion membrane: reduction of influence of buffer capacity on the sensor response and extension of its dynamic range
Poghossian Method of fabrication of ISFET-based biosensors on an Si–SiO2–Si structure
US20070262358A1 (en) Sensor and Method for the Production Thereof
JPH0479650B2 (ja)
JPS6029658A (ja) 尿素センサ
Gotoh et al. Micro-FET biosensors using polyvinylbutyral membrane
US7501258B2 (en) Penicillin G biosensor, systems comprising the same, and measurement using the systems
JPH04186152A (ja) 半導体生化学センサ
JP3167022B2 (ja) ガスセンサ
US8148756B2 (en) Separative extended gate field effect transistor based uric acid sensing device, system and method for forming thereof
US8410530B2 (en) Sensitive field effect transistor apparatus
US20090266719A1 (en) Potentiometric Urea Sensor Based on Ion-Selective Electrode
JPH0469338B2 (ja)
JPS62132160A (ja) 分離ゲ−ト型isfetを用いたバイオセンサ−
JP2855718B2 (ja) ポテンショメトリックセンサ