JPH04183977A - 圧電ポンプ - Google Patents
圧電ポンプInfo
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- JPH04183977A JPH04183977A JP31233590A JP31233590A JPH04183977A JP H04183977 A JPH04183977 A JP H04183977A JP 31233590 A JP31233590 A JP 31233590A JP 31233590 A JP31233590 A JP 31233590A JP H04183977 A JPH04183977 A JP H04183977A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、気体や液体からなる流体の流量をfff密に
制御できるポンプに関し、特に動植物の相識やその他の
構造物に比較的少量をr4−、人するポンプに関する。
制御できるポンプに関し、特に動植物の相識やその他の
構造物に比較的少量をr4−、人するポンプに関する。
最近、遺伝子操作技術を始めとしたバイオ技術の発展に
より、従来非常に高価であった薬剤か比較的安価に入手
できる様になった。
より、従来非常に高価であった薬剤か比較的安価に入手
できる様になった。
例えは、糖尿病の治療薬としてのインソ、リンかその一
例である。糖尿病患者には状態に応じた量を良いタイミ
ンクでインシコリンを体内に注入することか必要である
。この注入操作をとこの場所でも実施できることが、患
者の苦痛を和らげる一つの方法である。そのためには、
インノコリン液を収容したタンク、タンクから定量−の
インノヨリンを送り出すポンプ、血糖値をモニターする
センサー、相識にインソコリンを注入する注入ヱ1およ
びこれらを動作させるエネルギー源か必要であり、これ
らを常時携帯しなけれはならなかった。
例である。糖尿病患者には状態に応じた量を良いタイミ
ンクでインシコリンを体内に注入することか必要である
。この注入操作をとこの場所でも実施できることが、患
者の苦痛を和らげる一つの方法である。そのためには、
インノコリン液を収容したタンク、タンクから定量−の
インノヨリンを送り出すポンプ、血糖値をモニターする
センサー、相識にインソコリンを注入する注入ヱ1およ
びこれらを動作させるエネルギー源か必要であり、これ
らを常時携帯しなけれはならなかった。
しかしながら、以上の各要素を体内に埋y)込み、エネ
ルギーは超音波、マイクロ波およびX線等の体内に侵入
できるエネルギー媒体を体内に埋め込んだ変換器にあて
て供給し、タンクへのインシュリンの供給は埋め込み時
あるいは注射用による注入によって行うことか可能とな
れは、体外にぶらさげたすせずに通常の生活か過ごせる
ようになる。
ルギーは超音波、マイクロ波およびX線等の体内に侵入
できるエネルギー媒体を体内に埋め込んだ変換器にあて
て供給し、タンクへのインシュリンの供給は埋め込み時
あるいは注射用による注入によって行うことか可能とな
れは、体外にぶらさげたすせずに通常の生活か過ごせる
ようになる。
現在、上記の様な各要素を体内に埋め込み、薬液の注入
を良いタイミンクで、とこても実施てきるシステムか盛
んに研究されている。この各要素の内のポンプに要求さ
れる性能としては、小型軽量である。電気的制御によっ
てポンプ動作(流量や圧力)を精度良く変化できる。単
位体積当たりのポンプ能力か大きい、誤動作しない、振
動に強い、腐蝕しない、動作の応答性か良いおよび構造
か簡単である等かある。これらの条件に合うポンプ用ア
クチュエータとして種々のアクチュエータが検問されて
いるか、固体アクチュエータである圧電アクチュエータ
かその候補として研究されている。
を良いタイミンクで、とこても実施てきるシステムか盛
んに研究されている。この各要素の内のポンプに要求さ
れる性能としては、小型軽量である。電気的制御によっ
てポンプ動作(流量や圧力)を精度良く変化できる。単
位体積当たりのポンプ能力か大きい、誤動作しない、振
動に強い、腐蝕しない、動作の応答性か良いおよび構造
か簡単である等かある。これらの条件に合うポンプ用ア
クチュエータとして種々のアクチュエータが検問されて
いるか、固体アクチュエータである圧電アクチュエータ
かその候補として研究されている。
第6図は、既に商品化されている圧電屈曲子を用いた圧
電ポンプの構造である。
電ポンプの構造である。
81はタンク部で、このタンク部81は保持材兼空胴部
82の両側部に流体の流入口83および流出口84を設
けて構成されている。保持材兼空胴部82の下端には円
形区隔板85に圧電セラミクス板86を接着された圧電
屈曲子か振動の節点87てシリコーン樹脂等のフレキノ
プルな接着剤により糊着されている。流入口83と流出
口84とにはそれぞれ流入弁88と流出口89とか設け
られており、例えば圧電屈曲子の端子90.91間に電
圧を印加し、圧電屈曲子か点線92の様に屈曲変位した
時、流入弁88は閉し、流出弁89は点線にて示す弁9
3の様に開く、また圧電屈曲子か点線92の屈曲変位と
は逆方向の屈曲変位をした時、流入弁88は開き、流出
弁89は閉じる。
82の両側部に流体の流入口83および流出口84を設
けて構成されている。保持材兼空胴部82の下端には円
形区隔板85に圧電セラミクス板86を接着された圧電
屈曲子か振動の節点87てシリコーン樹脂等のフレキノ
プルな接着剤により糊着されている。流入口83と流出
口84とにはそれぞれ流入弁88と流出口89とか設け
られており、例えば圧電屈曲子の端子90.91間に電
圧を印加し、圧電屈曲子か点線92の様に屈曲変位した
時、流入弁88は閉し、流出弁89は点線にて示す弁9
3の様に開く、また圧電屈曲子か点線92の屈曲変位と
は逆方向の屈曲変位をした時、流入弁88は開き、流出
弁89は閉じる。
94は」1記タンク部81の保持部であり、95は圧電
屈曲子を変位しやすくするための放音孔である。
屈曲子を変位しやすくするための放音孔である。
以」−の構成の圧電屈曲子を用いた圧電ポンプの端子9
0.91に交流電圧を印加すると、連続して流体96を
流入口83から取り入れて流出[184から取り出すポ
ンプ動作を行う。この時、圧電ポンプの端子への印加電
圧や周波数を変化させることにより、流体96の速度を
変えることができる。
0.91に交流電圧を印加すると、連続して流体96を
流入口83から取り入れて流出[184から取り出すポ
ンプ動作を行う。この時、圧電ポンプの端子への印加電
圧や周波数を変化させることにより、流体96の速度を
変えることができる。
しかるに、前記従来技術における圧電屈曲子を用いた圧
電ポンプには以下の様な欠点かある。
電ポンプには以下の様な欠点かある。
すなわち、圧電屈曲子における発生力の小ささから生じ
る欠点て、発生力の小ささは流体を圧力制御てきる範囲
か小さいことを意味する。
る欠点て、発生力の小ささは流体を圧力制御てきる範囲
か小さいことを意味する。
圧電ポンプに流入する流体圧か大きい場合は弁の開閉を
大きくしないと常に漏流かおこり、これを防ぐには弁の
開閉力を大きくする必要がある。
大きくしないと常に漏流かおこり、これを防ぐには弁の
開閉力を大きくする必要がある。
また、流入する流体圧か除圧の場合、流体をボンピンク
するにはこの除圧にうち勝つ圧電屈曲子の発生力か必要
となる。
するにはこの除圧にうち勝つ圧電屈曲子の発生力か必要
となる。
従って、一定の流体圧を有する流体のボンピンクのみ行
えは問題かないものの、例えば密閉状態に近いタンク内
の流体を導出させるポンプであれは、タンク内の流体の
減少とともにタンク内は除圧となり、場合によっては流
体か逆流する事態に陥ってしまう。この様な事態は−・
射的におこり易い。
えは問題かないものの、例えば密閉状態に近いタンク内
の流体を導出させるポンプであれは、タンク内の流体の
減少とともにタンク内は除圧となり、場合によっては流
体か逆流する事態に陥ってしまう。この様な事態は−・
射的におこり易い。
タンクを体内に埋め込む場合、タンク内の内容物か外部
へ飛散する、またはタンク内に体内ガスか流入すること
等を避けるため、タンクを密閉に近い状態にしなければ
ならない。
へ飛散する、またはタンク内に体内ガスか流入すること
等を避けるため、タンクを密閉に近い状態にしなければ
ならない。
すなわち、上記説明にてわかる通り、流体の圧力制御で
きる範囲か小さな従来の圧電屈曲子を用いた圧電ポンプ
を利用することは困難である。
きる範囲か小さな従来の圧電屈曲子を用いた圧電ポンプ
を利用することは困難である。
因って、本発明は前記従来技術における欠点に鑑みて開
発されたもので、広範囲にわたり流体の圧力制御かでき
る圧電ポンプの提供を目的とする。
発されたもので、広範囲にわたり流体の圧力制御かでき
る圧電ポンプの提供を目的とする。
〔課題を解決するための手段および作用〕本発明は、中
空状の圧電変位素子と、該圧電変位素子の端面に固設し
たジヨイントおよび弁を有するフランジと、前記圧電変
位素子に設けた変位拡大用のバネおよび流体の密封保持
用の伸縮容器と、前記変位拡大用のバネ先端に固設した
ジョインI・および弁を有する弁座とから構成したもの
である。また、弁を有する弁座の両端面に変位拡大用の
バネと)h体の密11保持用の伸縮容器とを設け、該伸
縮容器の端部をジヨイントを有するハウシングの板部内
側1rriに固設するとともに、該板部内側面と前記変
位拡大用のバネとの間の少なくともどちらか一方に圧電
変位素子を介在させて構成したものである。
空状の圧電変位素子と、該圧電変位素子の端面に固設し
たジヨイントおよび弁を有するフランジと、前記圧電変
位素子に設けた変位拡大用のバネおよび流体の密封保持
用の伸縮容器と、前記変位拡大用のバネ先端に固設した
ジョインI・および弁を有する弁座とから構成したもの
である。また、弁を有する弁座の両端面に変位拡大用の
バネと)h体の密11保持用の伸縮容器とを設け、該伸
縮容器の端部をジヨイントを有するハウシングの板部内
側1rriに固設するとともに、該板部内側面と前記変
位拡大用のバネとの間の少なくともどちらか一方に圧電
変位素子を介在させて構成したものである。
第1図を用いて本発明の詳細な説明する。
1は圧電変位素子で、この圧電変位素子1の一方の端部
にはコイルバネ2の一端か固定されており、コイルバネ
2の他端には慣性体3か固定されている。また、圧電変
位素子1の他方の端面は固定台4に固定されている。
にはコイルバネ2の一端か固定されており、コイルバネ
2の他端には慣性体3か固定されている。また、圧電変
位素子1の他方の端面は固定台4に固定されている。
以上の構成から成る圧電変位素子1にコイルバネ2と慣
性体3系との固有振動数と同一な周波数のパルス電圧を
印加すると、圧電変位素子1のコイルバネ2固定側の自
由端は印加電圧に比例してΔX、変位5する。この圧電
変位素子lの急変形(こよりコイルバネ2にエネルギー
か(云えられ、コイルバネ2か固有振動数で振動し、慣
性体3の先端部て△X2に変位6が拡大される。
性体3系との固有振動数と同一な周波数のパルス電圧を
印加すると、圧電変位素子1のコイルバネ2固定側の自
由端は印加電圧に比例してΔX、変位5する。この圧電
変位素子lの急変形(こよりコイルバネ2にエネルギー
か(云えられ、コイルバネ2か固有振動数で振動し、慣
性体3の先端部て△X2に変位6が拡大される。
上記原理による変位拡大機構を利用して圧電ポンプを作
成する。
成する。
第2図は本発明に係る圧電ポンプの概念図である。
11は内部に貫通孔を有する圧電変位素子て、この圧電
変位素子11の一方の端面には圧電変位素子Il側に流
入弁12か取(1けられた流体を吸入するジヨイントI
3か固設されている。圧電変位素子11の反対側のもう
一方の端面にはコイルバネ14の端部か固設され、コイ
ルバネ14の他端部には内部に流出弁15を有する弁座
慣性体16か固設されている。弁座慣性体16のコイル
バネ14固設側端而の反対側端部にはノヨインl−17
か設けられている。
変位素子11の一方の端面には圧電変位素子Il側に流
入弁12か取(1けられた流体を吸入するジヨイントI
3か固設されている。圧電変位素子11の反対側のもう
一方の端面にはコイルバネ14の端部か固設され、コイ
ルバネ14の他端部には内部に流出弁15を有する弁座
慣性体16か固設されている。弁座慣性体16のコイル
バネ14固設側端而の反対側端部にはノヨインl−17
か設けられている。
ジヨイント13の流入弁12取り付は面には筒形状をし
た伸縮容器18の一端か流入弁12と接触しないように
密着固定されており、伸縮容器18の他端は弁座慣性体
16のコイルバネI4固設面に弁座慣性体16の流出口
I9を囲むように密着固定されている。また、圧電変位
素子11の側面には電源(図示省略)に接続された線2
0か配線されている。
た伸縮容器18の一端か流入弁12と接触しないように
密着固定されており、伸縮容器18の他端は弁座慣性体
16のコイルバネI4固設面に弁座慣性体16の流出口
I9を囲むように密着固定されている。また、圧電変位
素子11の側面には電源(図示省略)に接続された線2
0か配線されている。
以−にの構成から成る圧電ポンプ21は重力に対して同
一の方向22に設置される。この状態て弁座慣性体16
の重量とコイルバネ14による反発力とか均衡し、弁座
慣性体16は保持される。そして、圧電変位素子11に
線20を介してコイルバネ14と弁座慣性体16系との
固有振動数以下の周波数のパルス電圧を印加すると、圧
電変位素子11か急変形し、この変位がコイルバネ14
て増大される。増大された変位により伸縮容器18内の
容積23か増加し、増加分の容積23に等しい流体か流
入弁12を通って伸縮容器18内に流入する。次に、コ
イルバネ14か伸びから縮みに変化した時、流入弁12
は閉し、流出弁15か開き、伸縮容器18内にたまって
いた流体か流出弁15を通ってジヨイント17より排出
される。
一の方向22に設置される。この状態て弁座慣性体16
の重量とコイルバネ14による反発力とか均衡し、弁座
慣性体16は保持される。そして、圧電変位素子11に
線20を介してコイルバネ14と弁座慣性体16系との
固有振動数以下の周波数のパルス電圧を印加すると、圧
電変位素子11か急変形し、この変位がコイルバネ14
て増大される。増大された変位により伸縮容器18内の
容積23か増加し、増加分の容積23に等しい流体か流
入弁12を通って伸縮容器18内に流入する。次に、コ
イルバネ14か伸びから縮みに変化した時、流入弁12
は閉し、流出弁15か開き、伸縮容器18内にたまって
いた流体か流出弁15を通ってジヨイント17より排出
される。
以下、本発明に係る圧電ポンプの実施例について図面を
参照しなから詳細に説明する。
参照しなから詳細に説明する。
(第1実施例)
第3図は本発明の第1実施例を示す断面図である。
31は円環形状をした積層タイプの圧電変位素子て、こ
の圧電変位素子31の一方の端部には側面に貫通孔32
を穿設されたL型の支持台33か固設され、支持台33
の底面は固定物34にネジ35を介して固着されて、圧
電変位素(’−3]は固定物34に支持固定されている
。圧電変位素子31のもう一方の端面にはジヨイント3
6のフランジ部37か固設されており、ジヨイント36
の先端部は圧電変位素子31の内側と支持台33の貫通
孔32とを通り外部に突出している。
の圧電変位素子31の一方の端部には側面に貫通孔32
を穿設されたL型の支持台33か固設され、支持台33
の底面は固定物34にネジ35を介して固着されて、圧
電変位素(’−3]は固定物34に支持固定されている
。圧電変位素子31のもう一方の端面にはジヨイント3
6のフランジ部37か固設されており、ジヨイント36
の先端部は圧電変位素子31の内側と支持台33の貫通
孔32とを通り外部に突出している。
フランジ部37のジョイン1−36開[]I1には流入
弁38か設けられ、流入弁38を設けた同一端面には流
入弁38を囲むようにバネ特性を有、する金属へローズ
39の端部か密着固定されている。
弁38か設けられ、流入弁38を設けた同一端面には流
入弁38を囲むようにバネ特性を有、する金属へローズ
39の端部か密着固定されている。
金属ベローズ39の他端部は、貫通孔40か穿設され、
その内部に流出弁41か設けられた弁座慣性体42に密
着固定されている。金属へローズ39を密着固定した端
面の反対側の弁座慣性体42端面にはジヨイント43か
設けられている。また、圧電変位素子31の外周面には
電源(図示省略)に接続された線44か配線されている
。
その内部に流出弁41か設けられた弁座慣性体42に密
着固定されている。金属へローズ39を密着固定した端
面の反対側の弁座慣性体42端面にはジヨイント43か
設けられている。また、圧電変位素子31の外周面には
電源(図示省略)に接続された線44か配線されている
。
以上の構成から成る圧電ポンプの圧電変位素子31にパ
ルス電圧を印加すると、圧電変位素子31か急変形し、
この変形かバネ特性を有する金属ベローズ39により拡
大されて弁座慣性体42に伝えられる。従って、金属ベ
ローズ39内の体積か増大し、流体か流入弁38を通り
金属ベローズ39内に流入する。次に、金属ベローズ3
9の体積かもとに戻る過程て、金属ベローズ39内に収
容されている流体か流出弁4Iを通りジヨイント43よ
り1井出される。
ルス電圧を印加すると、圧電変位素子31か急変形し、
この変形かバネ特性を有する金属ベローズ39により拡
大されて弁座慣性体42に伝えられる。従って、金属ベ
ローズ39内の体積か増大し、流体か流入弁38を通り
金属ベローズ39内に流入する。次に、金属ベローズ3
9の体積かもとに戻る過程て、金属ベローズ39内に収
容されている流体か流出弁4Iを通りジヨイント43よ
り1井出される。
本実施例によれば、圧電変位素子31.弁座慣性体42
.流入出弁38.4+および金属へローズ39の伸縮容
器等による簡単な構成で圧電ポンプを実現できる。また
、圧電ポンプをパルス電圧て駆動させることにより、−
回当たりの吐出量のコントロールかしやすい。
.流入出弁38.4+および金属へローズ39の伸縮容
器等による簡単な構成で圧電ポンプを実現できる。また
、圧電ポンプをパルス電圧て駆動させることにより、−
回当たりの吐出量のコントロールかしやすい。
(第2実施例)
第4図は本発明の第2実施例を示す断面図である。
51は両側に板部52.53を有するハウジングである
。板部52,53の外側面には水平方向の同一軸線上5
4を中心軸とする位置に配管用のジヨイント55.56
か設けられており、一方の板部52の内壁には円環形状
をした積層タイプの圧電変位素子57か前記同一軸線」
−54を中心軸とする位置に固定されている。圧電変位
素子57の固定端の反対側端面にはコイルバネ58か固
設されるとともに、もう一方の板部53の内壁にはコイ
ルバネ59か固設されており、コイルバネ58とコイル
バネ59とはそれぞれ弁座慣性体60を対向方向から押
し合うように同一軸線上54を軸心として配設されてい
る。弁座慣性体60には弁61か設けられている。
。板部52,53の外側面には水平方向の同一軸線上5
4を中心軸とする位置に配管用のジヨイント55.56
か設けられており、一方の板部52の内壁には円環形状
をした積層タイプの圧電変位素子57か前記同一軸線」
−54を中心軸とする位置に固定されている。圧電変位
素子57の固定端の反対側端面にはコイルバネ58か固
設されるとともに、もう一方の板部53の内壁にはコイ
ルバネ59か固設されており、コイルバネ58とコイル
バネ59とはそれぞれ弁座慣性体60を対向方向から押
し合うように同一軸線上54を軸心として配設されてい
る。弁座慣性体60には弁61か設けられている。
同一軸線」−54を中心軸として可撓性を有する二つの
ゴム製ベローズ62.63の開口端か板部52の内壁と
弁座60および板部53の内壁と弁座慣性体60とに密
着固定されており、各ベローズ62,63は弁61.圧
電変位素子57およびコイルバネ58.59と干渉しな
いように配設されている。また、圧電変位素子57の外
周面には電源(図示省略)に接続された線64か配線さ
れている。
ゴム製ベローズ62.63の開口端か板部52の内壁と
弁座60および板部53の内壁と弁座慣性体60とに密
着固定されており、各ベローズ62,63は弁61.圧
電変位素子57およびコイルバネ58.59と干渉しな
いように配設されている。また、圧電変位素子57の外
周面には電源(図示省略)に接続された線64か配線さ
れている。
以」二の構成から成る圧電ポンプは、まずパルス電源か
らの電圧パルスを線64を介して圧電変位素子57に与
える。すると、圧電変位素子57の急変形か起こり、コ
イルバネ58により変位が増大されて弁座慣性体60を
動かす。この弁座慣性体60の動作によりベローズ63
側の流体か弁61を通りベローズ62側へ流れる。この
後、コイルバネ58.59の反発作用により弁座慣性体
60か反対方向へ戻される。この時、弁61か閉じるた
めベローズ62内の流体かジヨイント55を通り4JP
出される。
らの電圧パルスを線64を介して圧電変位素子57に与
える。すると、圧電変位素子57の急変形か起こり、コ
イルバネ58により変位が増大されて弁座慣性体60を
動かす。この弁座慣性体60の動作によりベローズ63
側の流体か弁61を通りベローズ62側へ流れる。この
後、コイルバネ58.59の反発作用により弁座慣性体
60か反対方向へ戻される。この時、弁61か閉じるた
めベローズ62内の流体かジヨイント55を通り4JP
出される。
本実施例によれは、弁61か一つたけて済むため、より
簡単な構成で圧電ポンプを実現できる。
簡単な構成で圧電ポンプを実現できる。
(第3実施例)
第5図は本発明の第3実施例を示す断面図である。
本実施例の圧電ポンプは、前記第2実施例におけるハウ
シング51の板部53の内壁とコイルバネ59との間に
円環形状をした積層タイプの圧電変位素子65を介在さ
せて構成した点か異なり、他の構成は同一の構成から成
るもので、同一構成部分には同一番号を付し、構成の説
明を省略する。
シング51の板部53の内壁とコイルバネ59との間に
円環形状をした積層タイプの圧電変位素子65を介在さ
せて構成した点か異なり、他の構成は同一の構成から成
るもので、同一構成部分には同一番号を付し、構成の説
明を省略する。
以上の構成から成る圧電ポンプは、コイルバネ58、弁
座慣性体60およびコイルバネ59の共振周波数で圧電
変位素子57と圧電変位素子65とにそれぞれタイミン
グを半周期すらしたパルス電圧を印加する。
座慣性体60およびコイルバネ59の共振周波数で圧電
変位素子57と圧電変位素子65とにそれぞれタイミン
グを半周期すらしたパルス電圧を印加する。
本実施例によれば、圧電変位素子57.65を対向させ
てコイルバネ58.59を加振するため、コイルバネ5
8.59により大きなエネルギーを供給できる。因って
、弁座慣性体60の振幅も大きくなり流体の吐出量も増
大する。
てコイルバネ58.59を加振するため、コイルバネ5
8.59により大きなエネルギーを供給できる。因って
、弁座慣性体60の振幅も大きくなり流体の吐出量も増
大する。
以」二説明したように、本発明に係る圧電ポンプによれ
は、圧電変位素子の急変形を利用し、これをコイルバネ
に1云える事により変位を拡大して流体を吐出するもの
で、簡単な構成により安価な小型のポンプを実現できる
。
は、圧電変位素子の急変形を利用し、これをコイルバネ
に1云える事により変位を拡大して流体を吐出するもの
で、簡単な構成により安価な小型のポンプを実現できる
。
第1図は本発明に係る圧電ポンプの原理図、第2図は同
概念図、第3図は同第1実施例を示す断面図、第4図は
同第2実施例を示す断面図、第5図は同第3実施例を示
す断面図、第6図は従来例を示す断面図である。 ]、Il、3]、57.65・圧電変位素子2.14,
58.59・ コイルバネ 3・・・1n性体 4・固定台 5.6・変位 12.38・・rAt入弁 1S、+7.36,43,55.56 ジヨイント 15.41・・・流出弁 +6.42.60・弁座慣性体 18・・伸縮容器 19・流出口 20.44.64・・・線 21・・圧電ポンプ 33・・・支持台 37・・フランジ部 39・・・金属へローズ 51・・・ハウシング 52.53・・・板部 60・・弁 62.63・・ヘローズ 特許出願人 オリンパス光学工業株式会社/ 、20
概念図、第3図は同第1実施例を示す断面図、第4図は
同第2実施例を示す断面図、第5図は同第3実施例を示
す断面図、第6図は従来例を示す断面図である。 ]、Il、3]、57.65・圧電変位素子2.14,
58.59・ コイルバネ 3・・・1n性体 4・固定台 5.6・変位 12.38・・rAt入弁 1S、+7.36,43,55.56 ジヨイント 15.41・・・流出弁 +6.42.60・弁座慣性体 18・・伸縮容器 19・流出口 20.44.64・・・線 21・・圧電ポンプ 33・・・支持台 37・・フランジ部 39・・・金属へローズ 51・・・ハウシング 52.53・・・板部 60・・弁 62.63・・ヘローズ 特許出願人 オリンパス光学工業株式会社/ 、20
Claims (2)
- (1)中空状の圧電変位素子と、該圧電変位素子の端面
に固設したジョイントおよび弁を有するフランジと、前
記圧電変位素子に設けた変位拡大用のバネおよび流体の
密封保持用の伸縮容器と、前記変位拡大用のバネ先端に
固設したジョイントおよび弁を有する弁座とから構成し
たことを特徴とする圧電ポンプ。 - (2)弁を有する弁座の両端面に変位拡大用のバネと流
体の密封保持用の伸縮容器とを設け、該伸縮容器の端部
をジョイントを有するハウジングの板部内側面に固設す
るとともに、該板部内側面と前記変位拡大用のバネとの
間の少なくともどちらか一方に圧電変位素子を介在させ
て構成したことを特徴とする圧電ポンプ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP31233590A JPH04183977A (ja) | 1990-11-16 | 1990-11-16 | 圧電ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP31233590A JPH04183977A (ja) | 1990-11-16 | 1990-11-16 | 圧電ポンプ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04183977A true JPH04183977A (ja) | 1992-06-30 |
Family
ID=18028005
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP31233590A Pending JPH04183977A (ja) | 1990-11-16 | 1990-11-16 | 圧電ポンプ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04183977A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2002084118A1 (fr) * | 2001-04-06 | 2002-10-24 | Ngk Insulators,Ltd. | Micropompe |
-
1990
- 1990-11-16 JP JP31233590A patent/JPH04183977A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2002084118A1 (fr) * | 2001-04-06 | 2002-10-24 | Ngk Insulators,Ltd. | Micropompe |
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