JPH04158238A - 液晶パネルの検査方法 - Google Patents

液晶パネルの検査方法

Info

Publication number
JPH04158238A
JPH04158238A JP2283760A JP28376090A JPH04158238A JP H04158238 A JPH04158238 A JP H04158238A JP 2283760 A JP2283760 A JP 2283760A JP 28376090 A JP28376090 A JP 28376090A JP H04158238 A JPH04158238 A JP H04158238A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
liquid crystal
crystal panel
inspected
image
histogram
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2283760A
Other languages
English (en)
Inventor
Ryohei Kumagai
熊谷　良平
Hiroshi Kuramochi
倉持　博
Kaoru Hiiro
日色　馨
Manabu Aisaka
逢坂　学
Harumi Shimizu
清水　晴美
Toru Takahashi
徹 高橋
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ezel Inc
Original Assignee
Ezel Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ezel Inc filed Critical Ezel Inc
Priority to JP2283760A priority Critical patent/JPH04158238A/ja
Priority to KR1019910018515A priority patent/KR920008519A/ko
Priority to EP19910117941 priority patent/EP0482564A3/en
Priority to US07/780,053 priority patent/US5204617A/en
Publication of JPH04158238A publication Critical patent/JPH04158238A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1306—Details
    • G02F1/1309—Repairing; Testing
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S345/00—Computer graphics processing and selective visual display systems
    • Y10S345/904—Display with fail/safe testing feature

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Image Processing (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、コンピュータ等のデイスプレィ装置に設けら
れる液晶パネルの検査方法に関する。
〔従来の技術〕
液晶パネルの製造において、通常、数％の不良品が含ま
れており、従来、目視による検査により不良品を発見し
ている。すなわち、まず通電状態でパネル表面の発光状
態を観察し、これにより不良箇所があるか否かを概略的
に検査する。次に、不良液晶パネルについて、液晶パネ
ルの各パーツを顕微鏡によって観察し、不良パーツとそ
の不良内容を検査する。
〔発明が解決しようとする課題〕
ところが、このような目視検査は非常に困難であり、熟
練者であっても、１つの液晶パネルの検査に約４時間を
要する。
一方、ＩＣの自動検査に採用されている、ＩＣの画像を
設計図と比較する手法、すなわちパターンマツチングの
手法を液晶パネルの検査に採用することも可能である。
しかし、液晶パネルの各パーツは立体的であるためにパ
ーツの周囲に影が形成され、光学的収差のため、パーツ
の画像にこの影が含まれることがあり、被検査パーツを
テンプレートに対して比較するという検査では、不良品
パーツを確実に抽出することは困難である。
本発明は、熟練を要さず、短時間に実施でき、しかも液
晶パネルの全体にわたって高精度に検査を行うことがで
きる液晶パネルの検査方法を提供することを目的として
いる。
〔課題を解決する手段〕
第１の発明に係る液晶パネルの検査方法は、任意の抽出
した複数のパーツの内、最も多数を占める類似した特徴
量を有するパーツグループにおける一つのパーツを基準
パーツとして選択し、この基準パーツと他の被検査パー
ツとを比較することにより、その被検査パーツが良品か
否かを判定することを特徴としている。
第２の発明に係る液晶パネルの検査方法は、被検査液晶
パネルの裏側から光を照射して得られる画像を、同じ条
件により得られた良品液晶パネルの画像と比較すること
によりその被検査パネルが良品か否かを判定することを
特徴としている。
第３の発明に係る液晶パネルの検査方法は、被検査液晶
パネルのパーツを光学的に取り込み、このパーツのヒス
トグラムの特徴に基づいてパーツの良否を判断すること
を特徴としている。
〔実施例〕
以下図示実施例により本発明を説明する。
第３図は本発明方法の実施に使用される装置の一例を示
す、液晶パネル１１は支持枠１２の内側に配置され、ボ
ルト１３により、この支持枠１２に固定される。支持枠
１２は可動盤１４の上に載置され、可動盤１４の上面に
設けられた一対のレール１５によって移動自在に支持さ
れ葛。可動盤１４の端部にはシリンダ装置１６が設けら
れており、支持枠１２は、このシリンダ装置１６のピス
トンロッド１７に連結される。可動盤１４は固定盤２１
の上に載置され、固定盤２１の上面に設けられた一対の
レール２２によって移動自在に支持される。可動盤１４
と同様に、固定盤２１の端部にはシリンダ装置２３が設
けられており、可動盤１４は、このシリンダ装置２３の
ピストンロッド２４に連結される。
したがって、シリンダ装置１６を制御することにより支
持枠１２が可動枠１４に対して平行移動し、またシリン
ダ装置２３を制御することにより可動盤１４が固定盤２
１に対して平行移動する。
シリンダ装置１６．２３のピストンロッド１７．２４は
、それぞれ駆動回路２５．２６によって駆動され、突出
あるいは後退する。駆動回路２５．２６は制御回路２７
によって制御される。
液晶パネル１１の上方には顕微鏡３１が配設されており
、この顕微鏡３１は図示しない固定枠に取り付けられる
。顕微鏡３１は後述するように、液晶パネル１１に設け
られる各パーツを撮影するためのものであり、このパー
ツの画像は画像処理システム３２に取り込まれ、種々の
処理を施される。画像処理システム３２はコンピュータ
３３によって制御される。
支持枠１２の上側と下側には、それぞれストロボ等の光
源３４．３５が設けられる。これらの光源３４．３５は
支持枠１２に固定され、支持枠１２とともに移動する。
光源３４．３５の発光は駆動回路３６を介して行われ、
駆動回路３６は制御回路２７によって制御される。
液晶パネル１１は第４図に示すように、各画素に対応す
るパーツ４１を有しており、これらのパーツ４１は基板
の上に設けられ、規則的に配列されている。各パーツ４
１は導線４２．４３によって電圧が印加され、発光する
。
ところがパーツ４１の一部に、例えば切れＡあるいは大
きな穴Ｂ等の欠陥が存在すると、これらの欠陥部位には
基板が露出しており、発光しない。
このような液晶パネル１１に光を照射すると、欠陥部位
において光が反射する。一方、ピンポイントＣ等の欠陥
が存在する場合には、この液晶パネル１１に光を照射す
ると、ピンポイントＣの部分は黒い影となる。また液晶
自体に欠陥がある場合には、パネルの広範囲にわたって
ブツブツ状に黒く焼けたように見える部分が存在するこ
とがあり、保護膜が基板から剥離している場合には、そ
の部分に薄い染みができる。さらに導線４２．４３が基
板から浮き上がっているという欠陥もあり、この欠陥部
位は、液晶パネル１１の裏側から光を照射すると基板の
透光性のために明るく見える。
第１図および第２図は、このような欠陥を発見する検査
方法を示す図である。第１図は検査工程の概略を示し、
第２図は第１図のステップ１０６の詳細を示す。
ステップ１０１および１０２は、既に検査されて良品で
あることが確認されている液晶パネルに対して計測を行
うものであり、第３図に示す検査装置には、この検査済
み液晶パネルが取り付けられる。
ステップ１０１では、検査済み液晶パネルに対して表側
から光を照射して撮影を行い、ひとつのパーツの画像を
画像処理システム３２に取り込む。
画像処理システム３２とコンピュータ３３は、入力され
た画像の各画素について、モノクロの２５６階調で輝度
を求め、各階調の画素数を計数してヒストグラムを求め
る。このヒストグラムを、ここでは表側理想ヒストグラ
ムと呼ぶこととする。
すなわち表側理想ヒストグラムは、検査済み液晶・パネ
ルのパーツの輝度分布を示しており、例えば第５図に示
すように山形を呈し、所定の輝度における画素数が最も
多く、この輝度よりも高い、あるいは低い輝度はど画素
数が少なくなっている。
ステップ１０２では、検査済み液晶パネルに対して裏側
から光を照射し、液晶パネルの画像を画像処理システム
３２に取り込む。この画像は個々のパーツではなく、液
晶パネル全体であるので、顕微鏡３１に代えてビデオカ
メラが用いられる。
画像処理システム３２とコンピュータ３３は、ステップ
１０１と同様に、入力画像について、輝度分布のヒスト
グラムを求める。このヒストグラムを、ここでは裏側理
想ヒストグラムと呼ぶこととする。すなわち裏側理想ヒ
ストグラムは、検査済み液晶パネルに対して裏側から光
を照射した時の輝度分布を示し、検査済み液晶パネルで
は導線４２．４３が基板から浮き上がっていないので、
光は実質的に基板を透過せず、したがって輝度の低い部
分のみに高い山が現れる。
ステップ１０３〜１０６は、被検査液晶パネルに対して
計測および良否判定を行うものであり、第３図に示す検
査装置には、この被検査液晶パネルが取り付けられる。
ステップ１０３では、被検査液晶パネルに対して表側か
ら光を照射して撮影を行い、パーツの画像を画像処理シ
ステム３２に取り込む、ステップ１０１と同様に、この
画像の各画素について輝度を求め、輝度分布のヒストグ
ラムを求める。このようなヒストグラムを所定の複数の
画素について求め、これらのヒストグラムを相互に比較
することより、最も特徴の少ないヒストグラムを有する
パーツを基準パーツとして選択する。つまり、この基準
パーツは多数決によって決定され、例えば最も多数の類
似したヒストグラムを有するグループに属するものが、
基準パーツとして定められる。
この基準パーツのヒストグラムは、ステップ１０４にお
いて、表側基準ヒストグラムとして、コンピュータ３３
のメモリに登録される。
ステップ１０５では、ステップ１０４で登録した表側基
準ヒストグラムを、ステップ１０１で求めた表側理想ヒ
ストグラムと比較し、これらのヒストグラムが相互に類
似している場合には、被検査液晶パネルは全体的な欠陥
を有していないと判定する。この全体的な欠陥とは、液
晶パネルの広範囲にわたって現れる黒く焼けたように見
えるブツブツ、あるいは保護膜が基板から剥離している
ことによって発生する薄い染みである。このような欠陥
が存在する場合、ヒストグラムは、低い輝度の部分に高
い山が形成されたり、あるいは多くの輝度にわたって広
く分布したものとなる。
表側基準ヒストグラムと表側理想ヒストグラムとの比較
としては、いくつかの方法が可能である。
例えば、これらのヒストグラムに関して各輝度毎に減算
を行い、各輝度における画素数の差が予め定めた闇値よ
りも小さい場合、これらのヒストグラムは相互に類似し
ており、被検査液晶パネルに全体的な欠陥はないと判定
してもよい。また、各ヒストグラムについて例えば纒軸
周りに２次モーメントを求め、これらの２次モーメント
の差が所定範囲内である場合、被検査液晶パネルは全体
的な欠陥を有していないと判定してもよい。さらに、各
ヒストグラムから輝度値の分散を求め、分散を比較する
ことにより、被検査液晶パネルの全体的な欠陥の有無を
判定してもよい。
ステップ１０５において、被検査パネルに全体的な欠陥
が存在することが判明した場合、検査工程はここで終了
するが、このような欠陥がない場合、ステップ１０６に
おいて被検査液晶パネルの各パーツについて良否を判定
する。
第２図はステップ１０６の処理内容を詳細に示すもので
ある。
ステップ１１１．１１２は、切れＡ、大きな六Ｂおよび
ピンポイントＣ（第４図）の有無を判定するものであり
、被検査液晶パネルの全てのパーツに関して１つずつ実
行される。このため、第３図に示すように液晶パネル１
１は、ステップ１１１．１１２を実行する度に、所定の
パーツが顕微鏡３１の直下に来るようにシリンダ装置１
６．２３によって位置制御される。
まずステップ１１１では、被検査パネルに対して表側か
ら光を照射して撮影を行い、ひとつのパーツの画像を画
像処理システム３２に取り込む。
ステップ１０１と同様に、画像処理システム３２とコン
ピュータ３３は、入力画像の輝度分布のヒストグラムを
求める。このヒストグラムを、ここでは表側被検査ヒス
トグラムと呼ぶこととする。
パーツが正常である場合、表側被検査ヒストグラムは第
５図に示すように単純な山形を呈する。しかし例えば切
れＡあるいは大きな穴Ｂ等の欠陥が存在すると、このよ
うな部位には基板が露出しているのでここで光が反射し
、このため、第６図に符号Ｐで示すように高い輝度にお
いてヒストグラムの山ができる。またビンポイントＣ等
の欠陥が存在する場合、このピンポイントＣの部分は黒
い影となるため、第６図に符号Ｑで示すように、低い輝
度においてヒストグラムの山ができる。
ステップ１１２では、ステップ１１１で求めた表側被検
査ヒストグラムを、ステップ１０４でコンピュータ３３
のメモリに登録した表側基準ヒストグラムと比較し、こ
れらのヒストグラムが相互に類似している場合、そのパ
ーツは欠陥を有していないと判定する。このステップに
おいて判定される欠陥は、上述した切れＡ、大きな穴Ｂ
およびピンポイン＋−Ｃであり、ステップ１１２では、
第６図の符号ＰあるいはＱで示すヒストグラムの山の存
在を認識することによりこのような欠陥の有無を判定す
る。表側被検査ヒストグラムと表側基準ヒストグラムと
の比較は、ステップ１０５におけるヒストグラムの比較
と同様に、種々の方法が可能である。すなわち、各ヒス
トグラムを相互に減算し、各輝度における画素数の差を
闇値と比較する方法、各ヒストグラムの２次モーメント
を比較する方法、各ヒストグラムから輝度値の分散を求
めて比較する方法等がある。
二のようにステップ１１２では、基準パーツの画像の特
徴量である表側基準ヒストグラムと、被検査パーツの画
像の特徴量である表側被検査ヒストグラムとを比較して
おり、これにより被検査パーツが良品か否かを判定して
いる。
ステップ１１３．１１４は、導線４２．４３のパネル基
板からの浮き上がりの有無を判定するものであり、被検
査液晶パネルの裏から光を照射して実行される。このた
め液晶パネル１１は、第３図に示すように下側の光源３
５によって照射され、顕微鏡３１に代えて設けられるビ
デオカメラによって撮影される。
ステップ１１３では、被検査液晶パネルに対して裏側か
ら光を照射し、液晶パネル全体の画像を画像処理システ
ム３２に取り込み、輝度分布のヒストグラムを求める。
このヒストグラムを、ここでは裏側被検査ヒストグラム
と呼ぶ。被検査液晶パネルの導線４２．４３が基板から
浮き上がっていない場合、基板は裏側からの光を実質的
に通さないため、ヒストグラムは輝度の低い部分に高い
山が現れるものとなる。これに対し、導線４２．４３の
一部が基板から浮き上がっている場合、裏側から照射さ
れた光がこの部分を通るため、高い輝度においてヒスト
グラムの山が現れる。
ステップ１１４では、裏側被検査ヒストグラムを、ステ
ップ１０２で求めた裏側理想ヒストグラムと比較し、こ
れらのヒストグラムが相互に類似している場合には、被
検査液晶パネルの導線４２．４３は基板から浮き上がっ
ていないと判定する。
これに対し、裏側被検査ヒストグラムの輝度の高い部分
に高い山が存在し、裏側被検査ヒストグラムと裏側理想
ヒストグラムとが類似していないと判断される場合、被
検査液晶パネルのいずれかの部位において導線４２．４
３が基板から浮き上がっていると判定する。
ステップ１１５では、以上の検査の結果をコンピュータ
３３のメモリに記録する。この検査結果は図示しないデ
イスプレィ装置によって見ることができる。
なお、導線４２．４３の基板からの浮き上がりの有無の
判定方法として、液晶パネルの画像を２値化し、明るい
画素の数が所定値よりも大きい場合に、導線の浮き上が
りが存在すると判定するようにしてもよい。
なお、第７図は、基準パーツを採用することなく光学的
に取り込んだパーツのヒストグラムの特徴により、当該
パーツの良否を判断する方法を示すものである。
ステップ１２１では、被検査液晶パネルのパーツに光を
照射して撮影を行い、パーツの画像を画像処理システム
３２に取り込む。ステップ１２２では、パーツの画像処
理が行われ、そのヒストグラムが算出される。ステップ
１２３では、ヒストグラムの特徴に基づき当該パーツの
良否判断を行う。この判断方法として、２次モーメント
、相関、その他の統計的特徴量を算出して判断する方法
、また、目視による判断方法等が採用可能である。
〔発明の効果〕
以上のように本発明によれば、熟練を要さず、短時間に
実施でき、しかも液晶パネルの全体にわたって高精度に
検査を行うことができるという効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の一実施例に係る検査方法を示す図、 第２図は各パーツの良否の判定を行う方法を示す図、 第３図は本発明方法の実施に使用される装置の一例を示
す斜視図、 第４図は液晶パネルのパーツの配置を示す平面図、 第５図は表側理想ヒストグラムの輝度分布のヒストグラ
ムを示す図、 第６図は欠陥を有するパーツの輝度分布を示すヒストグ
ラムを示す図、 第７図はパーツを光学的に取り込み良否を判断する方法
を示す図である。 １１・・・液晶パネル ４１・・・パーツ 第１図 ｔつ 第３図 第４図 第５図　　　第６図

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）各画素に対応するパーツを有する液晶パネルの検
    査方法であって、任意の抽出した複数のパーツの内、最
    も多数を占める類似した特徴量を有するパーツグループ
    における一つのパーツを基準パーツとして選択し、この
    基準パーツと他の被検査パーツとを比較することにより
    、該被検査パーツが良品か否かを判定することを特徴と
    する液晶パネルの検査方法。
  2. （２）基準パーツの画像の特徴量と被検査パーツの画像
    の特徴量とを比較することにより、該被検査パーツが良
    品か否かを判定することを特徴とする特許請求の範囲第
    １項記載の液晶パネルの検査方法。
  3. （３）基準パーツの画像の輝度分布を示す基準ヒストグ
    ラムと被検査パーツの画像の輝度分布を示す被検査ヒス
    トグラムとを比較することにより、該被検査パーツが良
    品か否かを判定することを特徴とする特許請求の範囲第
    ２項記載の液晶パネルの検査方法。
  4. （４）被検査液晶パネルの裏側から光を照射して得られ
    る画像を、同じ条件により得られた良品液晶パネルの画
    像と比較することにより、該被検査パネルが良品か否か
    を判定することを特徴とする液晶パネルの検査方法。
  5. （５）被検査液晶パネルの裏側から光を照射して得られ
    る画像の輝度分布を示すヒストグラムと、同じ条件によ
    り得られた良品液晶パネルの画像の輝度分布を示すヒス
    トグラムとを比較することを特徴とする特許請求の範囲
    第４項記載の液晶パネルの検査方法。
  6. （６）被検査液晶パネルの裏側から光を照射して得られ
    る画像の所定範囲の輝度の画素数と、同じ条件により得
    られた良品液晶パネルの画像の所定範囲の輝度の画素数
    とを比較することを特徴とする特許請求の範囲第４項記
    載の液晶パネルの検査方法。
  7. （７）被検査液晶パネルのパーツを光学的に取り込み、
    このパーツのヒストグラムの特徴に基づいて当該パーツ
    の良否を判断することを特徴とする液晶パネルの検査方
    法。
JP2283760A 1990-10-22 1990-10-22 液晶パネルの検査方法 Pending JPH04158238A (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2283760A JPH04158238A (ja) 1990-10-22 1990-10-22 液晶パネルの検査方法
KR1019910018515A KR920008519A (ko) 1990-10-22 1991-10-21 액정패널의 검사방법
EP19910117941 EP0482564A3 (en) 1990-10-22 1991-10-21 Liquid crystal panel inspection method
US07/780,053 US5204617A (en) 1990-10-22 1991-10-21 Liquid crystal panel inspection method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2283760A JPH04158238A (ja) 1990-10-22 1990-10-22 液晶パネルの検査方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH04158238A true JPH04158238A (ja) 1992-06-01

Family

ID=17669764

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2283760A Pending JPH04158238A (ja) 1990-10-22 1990-10-22 液晶パネルの検査方法

Country Status (4)

Country Link
US (1) US5204617A (ja)
EP (1) EP0482564A3 (ja)
JP (1) JPH04158238A (ja)
KR (1) KR920008519A (ja)

Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5394481A (en) * 1991-01-16 1995-02-28 Ezel Inc Liquid crystal panel inspection method
US5404111A (en) * 1991-08-03 1995-04-04 Tokyo Electron Limited Probe apparatus with a swinging holder for an object of examination
US5391985A (en) * 1992-03-06 1995-02-21 Photon Dynamics, Inc. Method and apparatus for measuring high speed logic states using voltage imaging with burst clocking
JP3139134B2 (ja) * 1992-06-03 2001-02-26 カシオ計算機株式会社 液晶表示装置
IL108974A (en) * 1994-03-14 1999-11-30 Orbotech Ltd Device and method for testing a display panel
US5754678A (en) * 1996-01-17 1998-05-19 Photon Dynamics, Inc. Substrate inspection apparatus and method
JP3333686B2 (ja) * 1996-06-28 2002-10-15 松下電器産業株式会社 表示画面検査方法
US5754305A (en) * 1996-12-03 1998-05-19 Eastman Kodak Company Method and apparatus for correcting light non-uniformity in an LCD photographic printer
US5870205A (en) * 1996-12-03 1999-02-09 Eastman Kodak Company Method and apparatus for correcting light non-uniformity in an LCD photographic printer
US6714670B1 (en) * 1998-05-20 2004-03-30 Cognex Corporation Methods and apparatuses to determine the state of elements
US6219443B1 (en) * 1998-08-11 2001-04-17 Agilent Technologies, Inc. Method and apparatus for inspecting a display using a relatively low-resolution camera
US6765203B1 (en) * 2003-01-31 2004-07-20 Shimadzu Corporation Pallet assembly for substrate inspection device and substrate inspection device
TW594655B (en) * 2003-07-11 2004-06-21 Toppoly Optoelectronics Corp Testing circuit and method thereof for a flat panel display
KR20060073741A (ko) * 2004-12-24 2006-06-29 삼성전자주식회사 응답속도 측정장치와 이를 이용한 응답속도 측정방법
US8253793B2 (en) * 2007-04-20 2012-08-28 Meinan Machinery Works, Inc. Lumber inspection method, device and program
CN104570422B (zh) * 2014-12-31 2017-10-13 深圳市华星光电技术有限公司 一种液晶显示面板的品质的监控方法

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4589139A (en) * 1982-02-04 1986-05-13 Nippon Kogaku K. K. Apparatus for detecting defects in pattern
DE3683053D1 (de) * 1986-10-23 1992-01-30 Ibm Verfahren zur kontaktfreien pruefung von platinen fuer integrierte schaltungen unter atmosphaerischen bedingungen.
US4819038A (en) * 1986-12-22 1989-04-04 Ibm Corporation TFT array for liquid crystal displays allowing in-process testing
NL8700933A (nl) * 1987-04-21 1988-11-16 Philips Nv Testmethode voor lcd-elementen.
JPH0293871A (ja) * 1988-09-30 1990-04-04 Toshiba Corp 均一性検査方法
US5057775A (en) * 1990-05-04 1991-10-15 Genrad, Inc. Method of testing control matrices for flat-panel displays

Also Published As

Publication number Publication date
KR920008519A (ko) 1992-05-28
EP0482564A3 (en) 1992-09-23
US5204617A (en) 1993-04-20
EP0482564A2 (en) 1992-04-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100819412B1 (ko) 결함 검출 방법 및 결함 검출 장치
US7586323B2 (en) Apparatus and method for inspecting liquid crystal display
JPH04158238A (ja) 液晶パネルの検査方法
US7800568B2 (en) Apparatus and method for inspecting liquid crystal display
US20040047500A1 (en) Inspecting method and apparatus for repeated micro-miniature patterns
KR20140091916A (ko) 디스플레이 패널 검사방법
KR101146081B1 (ko) 마이크로-검사 입력을 이용한 매크로 결함 검출 방법 및시스템
KR20090008185A (ko) 표면 검사 장치
WO2023108545A1 (en) Method for constructing defect detection model of micro led array panel, apparatures for dectectig pixel defect and devices
KR101980755B1 (ko) 표시패널의 색감차 얼룩 자동 검사 장치 및 방법
KR20120105149A (ko) 평판패널 기판의 자동광학검사 방법 및 그 장치
KR101068356B1 (ko) 화상처리를 이용한 디스플레이 패널의 픽셀 불량 검사 방법
KR101993654B1 (ko) 표시패널의 얼룩 검사 장치 및 그 방법
JPH0658731A (ja) パターン検査装置
JP2007285868A (ja) 輝度勾配検出方法、欠陥検出方法、輝度勾配検出装置および欠陥検出装置
KR100661013B1 (ko) 모폴로지 기법을 이용한 티에프티 엘시디 결함 검출 및분류 방법
JPH11175727A (ja) 検査方法および装置
JP2001083474A (ja) 液晶表示パネルの検査方法
KR100819614B1 (ko) 디스플레이 장치용 평판의 검사용 이미지 생성 방법
JPH08159984A (ja) パタンムラ検査装置
JPH0731131B2 (ja) 周期性パタ−ンの斑検査方法
KR20050068086A (ko) Ｌｃｄ 모듈 검사 방법 및 장치
JP2009063298A (ja) カラーフィルタの外観検査方法
KR20070006424A (ko) 디스플레이 수단의 메탈 마스크 검사 방법
JPH04147002A (ja) 青果物の表面検定装置