JPH04147001A - 実体格子型のモアレトポグラフィーによる高感度三次元測定法 - Google Patents
実体格子型のモアレトポグラフィーによる高感度三次元測定法Info
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- JPH04147001A JPH04147001A JP26948090A JP26948090A JPH04147001A JP H04147001 A JPH04147001 A JP H04147001A JP 26948090 A JP26948090 A JP 26948090A JP 26948090 A JP26948090 A JP 26948090A JP H04147001 A JPH04147001 A JP H04147001A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は実体格子型のモアレトポグラフィ−を利用した
高感度な三次元測定法に関するものである。
高感度な三次元測定法に関するものである。
[従来の技術]
モアレトポグラフィ−を利用した三次元測定法(以下、
モアレ法という)には、実体格子型と格子投影型があり
、いずれも対象に表示させるモアレ等高線によって、直
観的に三次元形状をとらえることができるところから、
様々な分野、とくに生体関連分野において広く利用され
ている。
モアレ法という)には、実体格子型と格子投影型があり
、いずれも対象に表示させるモアレ等高線によって、直
観的に三次元形状をとらえることができるところから、
様々な分野、とくに生体関連分野において広く利用され
ている。
[発明が解決しようとする課題]
従来、測定対象に表わされるモアレ縞等高線を写真機あ
るいはテレビカメラ等により撮影すれば、これによって
対象の三次元形状を直観的に把握することはできるが、
(イ)−枚のモアレ写真からでは面の凹凸の判定がし難
い、(ロ)測定感度がやや低いため、高感度の三次元測
定には不向き(因に、現時点ではモアレ縞等高線の間隔
は10μm程度が限界とされている)、(ハ)モアレ縞
のビジビリテイ−が縞ごとに均一でないためモアレ像を
画像処理の対象として扱いにくい等々の問題が指摘され
ている。
るいはテレビカメラ等により撮影すれば、これによって
対象の三次元形状を直観的に把握することはできるが、
(イ)−枚のモアレ写真からでは面の凹凸の判定がし難
い、(ロ)測定感度がやや低いため、高感度の三次元測
定には不向き(因に、現時点ではモアレ縞等高線の間隔
は10μm程度が限界とされている)、(ハ)モアレ縞
のビジビリテイ−が縞ごとに均一でないためモアレ像を
画像処理の対象として扱いにくい等々の問題が指摘され
ている。
この問題点は、格子投影型のモアレ法の場合、二枚の格
子を利用しているために、その一方を移動させることに
より、縞走査、つまり、モアレ縞等高線の位相をシフト
させることよって、等高線間隔を等測的に細かく分割す
るとともに、対象の凹凸判定や測定感度の向上に寄与す
ることが解明されているが、実体格子型のモアレ法の場
合には格子が一枚であるため、格子投影型のモアレ法の
ような位相シフトを行っても、すべての次数の縞等高線
の位相を揃え乍ら位相を変えることはできない。
子を利用しているために、その一方を移動させることに
より、縞走査、つまり、モアレ縞等高線の位相をシフト
させることよって、等高線間隔を等測的に細かく分割す
るとともに、対象の凹凸判定や測定感度の向上に寄与す
ることが解明されているが、実体格子型のモアレ法の場
合には格子が一枚であるため、格子投影型のモアレ法の
ような位相シフトを行っても、すべての次数の縞等高線
の位相を揃え乍ら位相を変えることはできない。
本発明はこのような点に鑑み、実体格子型のモアレ法に
おいて位相シフトを導入した高感度の三次元測定法を開
発することを課題としてなされたものである。
おいて位相シフトを導入した高感度の三次元測定法を開
発することを課題としてなされたものである。
ここで、格子投影型のモアレ法とは、第6図に示すよう
に、投影用と観察用とに、それぞれ小さな格子G、、G
、を配置し、格子G1をレンズL、により物体に投影し
、物体形状に応じて変形した格子線をレンズL7を通し
てもう一つの格子G2上に結像させ、縞等高線を基準面
から所定距離のところに生じさせるようにしたものであ
る。
に、投影用と観察用とに、それぞれ小さな格子G、、G
、を配置し、格子G1をレンズL、により物体に投影し
、物体形状に応じて変形した格子線をレンズL7を通し
てもう一つの格子G2上に結像させ、縞等高線を基準面
から所定距離のところに生じさせるようにしたものであ
る。
一方、実体格子型のモアレ法とは、第7図に示すように
、基準面に一つの格子Gを設置し、第6図のレンズL1
の位置に点光源SRを、レンズL、の位置に観察眼eを
置いて、前記格子Gの光源別による影を物体上に落し、
物体形状に応じて変形した格子Gの影を形成させてこれ
を格子Gを通して観察することにより、この格子Gと変
形した格子の影とによって生じるモアレ縞を観測する方
法をいう。
、基準面に一つの格子Gを設置し、第6図のレンズL1
の位置に点光源SRを、レンズL、の位置に観察眼eを
置いて、前記格子Gの光源別による影を物体上に落し、
物体形状に応じて変形した格子Gの影を形成させてこれ
を格子Gを通して観察することにより、この格子Gと変
形した格子の影とによって生じるモアレ縞を観測する方
法をいう。
〔課題を解決するための手段1
上記の課題を解決することを目的としてなされた本発明
方法の構成は、測定対象から適宜離隔して配置される格
子に対し、当該格子を挟んで前記対象と対峙する側に、
適宜の光源と前記格子に平行な面上で前記光源から適宜
距離で離れた観察点とを配置し、前記光源により測定対
象に投影される前記格子の影と前記格子とにより形成さ
れるモアレ縞を観察する実体格子型のモアレポトグラフ
ィーによる三次元測定法において、前記格子を、その格
子面に対して垂直方向に移動させると共に、前記光源又
は観察点を格子面と平行に移動させることより、各次数
のモアレ縞の位相をそれらがほぼ揃った状態でシフトさ
せ、位相シフトされるモアレ縞をとらえて計算処理観察
することを特徴とするものである。
方法の構成は、測定対象から適宜離隔して配置される格
子に対し、当該格子を挟んで前記対象と対峙する側に、
適宜の光源と前記格子に平行な面上で前記光源から適宜
距離で離れた観察点とを配置し、前記光源により測定対
象に投影される前記格子の影と前記格子とにより形成さ
れるモアレ縞を観察する実体格子型のモアレポトグラフ
ィーによる三次元測定法において、前記格子を、その格
子面に対して垂直方向に移動させると共に、前記光源又
は観察点を格子面と平行に移動させることより、各次数
のモアレ縞の位相をそれらがほぼ揃った状態でシフトさ
せ、位相シフトされるモアレ縞をとらえて計算処理観察
することを特徴とするものである。
格子面の垂直移動と光源又は観察点の水平移動を、同時
に行うことにより、各次数のモアレ縞の位相にほぼ大き
な変化を来すことなく、各次数の縞の位相がほぼ揃った
状態で測定対象に対する縞位相のシフトができるので、
複数枚の縞画像を高速資性(位相シフト法)の原理に基
いて処理す゛ることができ、これによって測定対象に対
するモアレ縞による測定点の密度が増大するとともに、
モアレ縞1周期について約l/40〜I/100程度の
物理的な分割が可能となり、実体格子型のモアレ法では
困難とされていた面の凹凸の判定や測定感度の向上を図
ることができる。
に行うことにより、各次数のモアレ縞の位相にほぼ大き
な変化を来すことなく、各次数の縞の位相がほぼ揃った
状態で測定対象に対する縞位相のシフトができるので、
複数枚の縞画像を高速資性(位相シフト法)の原理に基
いて処理す゛ることができ、これによって測定対象に対
するモアレ縞による測定点の密度が増大するとともに、
モアレ縞1周期について約l/40〜I/100程度の
物理的な分割が可能となり、実体格子型のモアレ法では
困難とされていた面の凹凸の判定や測定感度の向上を図
ることができる。
〔実施例1
次に、本発明方法について、その原理、並びに、この方
法を実施するための装置の一例を説明する。
法を実施するための装置の一例を説明する。
第1図において、光源Sと格子Gをそれぞれ△d、ΔQ
だけ移動させたときの格子Gからn番目のモアレ縞まで
の距離をhn’とすると、これらを移・動させる前の格
子Gからn番目のモアレ縞までの距離hnは、 であるから、 となる。
だけ移動させたときの格子Gからn番目のモアレ縞まで
の距離をhn’とすると、これらを移・動させる前の格
子Gからn番目のモアレ縞までの距離hnは、 であるから、 となる。
一方、格子移動前の格子からn+1の次のモアレ縞まで
の距離hn+、は、式(1,1)と比較してとなる。
の距離hn+、は、式(1,1)と比較してとなる。
二こで、格子移動航のn次とn+1次のモアレ縞間の位
相φの位置に、格子移動後のn次のモアレ縞があるとす
ると、第2図より、 hn + (hn+l −hn) (φ/2π)=hn
’+△Q(1,4)と表される。
相φの位置に、格子移動後のn次のモアレ縞があるとす
ると、第2図より、 hn + (hn+l −hn) (φ/2π)=hn
’+△Q(1,4)と表される。
式(1,1)、 (1,2)、 (1,3)を式(1,
4)へそれぞれ代入して分母をはらい、nの階乗につい
て整理すると、 n”f(Q、△ff、d、Δd、 p)+n−g(Q
、△Q、d、△d、 p、 φ)+h(ff 、△
Q、d、△d、 p、 φ)=O(1,5)となる。
4)へそれぞれ代入して分母をはらい、nの階乗につい
て整理すると、 n”f(Q、△ff、d、Δd、 p)+n−g(Q
、△Q、d、△d、 p、 φ)+h(ff 、△
Q、d、△d、 p、 φ)=O(1,5)となる。
式(1,4)が縞次数nに関係なく成立するためには、
すなわち縞次数nに関係なく位相をそろえてモアレ縞を
シフトさせるためには、式(1,5)においてnの係数
項がすべてOとならなければならない、よって f(Q、△ff、d、Δd、 p) = O(1,6)
g(Q、Δαl dT△d、 p、 φ)=O(1,
7)h(ρ、△Q、d、△d、 p、 φ)=O(1
,8)二〇式(1,6)、−(1,7)、 (1,8)
が同時に成立するとき、式(1,4)は成り立つ。式(
1,6)、 (1,7)、 (1,8)をそれぞれΔd
について解くと、 しかし、条件式(1,9)、 (1,10)、 (1,
11)は同時に成立しない。そこで、本発明では、式(
1,5)において縞次数の増加に伴って最も影響が大き
いと思われるn′の係数項を0とすることを考えて条件
式(1,9)を用いて格子Gと光源Sの移動量Δα。
すなわち縞次数nに関係なく位相をそろえてモアレ縞を
シフトさせるためには、式(1,5)においてnの係数
項がすべてOとならなければならない、よって f(Q、△ff、d、Δd、 p) = O(1,6)
g(Q、Δαl dT△d、 p、 φ)=O(1,
7)h(ρ、△Q、d、△d、 p、 φ)=O(1
,8)二〇式(1,6)、−(1,7)、 (1,8)
が同時に成立するとき、式(1,4)は成り立つ。式(
1,6)、 (1,7)、 (1,8)をそれぞれΔd
について解くと、 しかし、条件式(1,9)、 (1,10)、 (1,
11)は同時に成立しない。そこで、本発明では、式(
1,5)において縞次数の増加に伴って最も影響が大き
いと思われるn′の係数項を0とすることを考えて条件
式(1,9)を用いて格子Gと光源Sの移動量Δα。
Δdをそれぞれ求めることにした。
式(1,4)八代(1,9)と(1,3)を代入して分
母をはらい△Qについて解くと、 となる。
母をはらい△Qについて解くと、 となる。
式(1,9)八代(1,12)を代入してΔdを求める
ととなる。
ととなる。
式(1,12)、 (1,+3)によって任意の位相に
対する格子Gの移動量、光源Sの移動量Δα、△dがそ
れぞれ与えられる。
対する格子Gの移動量、光源Sの移動量Δα、△dがそ
れぞれ与えられる。
ここで、上記両式には縞次数を表すnが含まれているが
、実際にはnに適当な数値(+、2.3・・・・・・)
を代入したΔQ、Δdを用いることとなり、その用いた
nの値に対応する縞次数付近が最も誤差が小さくなる。
、実際にはnに適当な数値(+、2.3・・・・・・)
を代入したΔQ、Δdを用いることとなり、その用いた
nの値に対応する縞次数付近が最も誤差が小さくなる。
この因子nと縞次数nとを区別するため、式(1゜12
)、 (1,13)中のnをmと書き改め、とした。
)、 (1,13)中のnをmと書き改め、とした。
実体格子型のモアレ法に本発明方法による位相シフトを
導入することにより、測定点の密度を増し、モアレ縞1
周期の1740〜l/100程度の分割が可能となる。
導入することにより、測定点の密度を増し、モアレ縞1
周期の1740〜l/100程度の分割が可能となる。
本発明では、実験によって得られる位相と正規の位相と
の誤差が1縞の1/100(すなわちπ150)以内で
あれば計測結果に支障をきたさないものとした。
の誤差が1縞の1/100(すなわちπ150)以内で
あれば計測結果に支障をきたさないものとした。
本発明方法によって得られる位相φ′は、第2図より、
となる。
したがって、この場合に生じる位相誤差Δφは△φ=φ
′−φ となる。式(1,4)は、この式(1,17)において
Δφ=0としたものである。
′−φ となる。式(1,4)は、この式(1,17)において
Δφ=0としたものである。
ここで、この位相誤差Δφが計測結果に支障をきたさな
いためには、 △φく1π150I(=最大許容誤差) (1,
18)の条件が満たされねばならない。
いためには、 △φく1π150I(=最大許容誤差) (1,
18)の条件が満たされねばならない。
しかしながら、△φは多くのパラメータを含んでいるの
で式(1,18)の条件を満たす範囲を定量的に知るこ
とは困難である。実際には、多くのシミュレーションに
より、式(1,14)、 (1,15)を用いれば、広
範囲、高縞次数にわたって位相誤差△φは最大許容誤差
の1/1000〜1/100であることを確認した。
で式(1,18)の条件を満たす範囲を定量的に知るこ
とは困難である。実際には、多くのシミュレーションに
より、式(1,14)、 (1,15)を用いれば、広
範囲、高縞次数にわたって位相誤差△φは最大許容誤差
の1/1000〜1/100であることを確認した。
本発明方法の実施に際し、3次元座標の算出は、位相計
算において物体の凹凸は自動的に判別されているが、位
相を座標に換算する際に縞次数を知る必要がある。
算において物体の凹凸は自動的に判別されているが、位
相を座標に換算する際に縞次数を知る必要がある。
縞次数を決定する方法を、第3図を参照して説明する。
測定物体Obj上の、格子Gに一番近い点を基準として
物体形状の位相分布φm(X、y)を計算し、次にその
基準面と格子Gとの間の距離z1を位相に換算して、そ
れをφ、+2πiとする。φ1+2πlの算出は次のよ
うに行う。
物体形状の位相分布φm(X、y)を計算し、次にその
基準面と格子Gとの間の距離z1を位相に換算して、そ
れをφ、+2πiとする。φ1+2πlの算出は次のよ
うに行う。
(n−1)次とn次の縞間隔は
また、n次と(n+1)次の縞間隔は
ここで、
式(1,1)。
(2,1)を用いて
を満たすn(=i)を求める。第3図と式(2,2)の
関係により となる。
関係により となる。
格子Gを基準としたときの、物体形状の位相分布をφg
cx、 y)とすると、φg(x、 y)は、物体上の
基準面から物体形状の位相分布φ。(x、 y)に、格
子から物体上の基準面までの位相差φ、+2πiを加え
たものであるから、 す(x、y)=φ、(x、y)+φ、+2πi (
2,5)φtを2πで割ることによって物体上の点(x
、 y)に対応する縞次数n(x、y)とその面からの
位相φ(x、y)が求まり、式(2,5)は φ!(X、 y)=2πn(x、 y)十φ(x、 y
) (2,6)と変換される。
cx、 y)とすると、φg(x、 y)は、物体上の
基準面から物体形状の位相分布φ。(x、 y)に、格
子から物体上の基準面までの位相差φ、+2πiを加え
たものであるから、 す(x、y)=φ、(x、y)+φ、+2πi (
2,5)φtを2πで割ることによって物体上の点(x
、 y)に対応する縞次数n(x、y)とその面からの
位相φ(x、y)が求まり、式(2,5)は φ!(X、 y)=2πn(x、 y)十φ(x、 y
) (2,6)と変換される。
第3図より、物体上の点(x、 y)における基準面(
格子面)からの距離z (x、 y)はz (x、 y
) =hn+ (hn+1−hn)・(φ/2π)で与
えられ、式(2,7)中のn、φに、式(2,6)中の
n (x、 y)、φ(x、 y)をそれぞれ代入する
ことにより、z(x、y)が得られる。
格子面)からの距離z (x、 y)はz (x、 y
) =hn+ (hn+1−hn)・(φ/2π)で与
えられ、式(2,7)中のn、φに、式(2,6)中の
n (x、 y)、φ(x、 y)をそれぞれ代入する
ことにより、z(x、y)が得られる。
画像処理によって算出されるx+ y座標は画素単位で
あるからこれに拡大率を掛は合わせて実際の長さに直さ
なければならない。x、y座標の原点は第3図において
カメラCaの光軸上にある。格子面上での倍率mは、画
像入出力装置のコマンドを利用してx、y方向機知の画
素数で、格子面上の方眼を映し出すことによって得られ
る。
あるからこれに拡大率を掛は合わせて実際の長さに直さ
なければならない。x、y座標の原点は第3図において
カメラCaの光軸上にある。格子面上での倍率mは、画
像入出力装置のコマンドを利用してx、y方向機知の画
素数で、格子面上の方眼を映し出すことによって得られ
る。
ここで、画素面の座標系を(X## L)、格子面上の
座標系を(X!、 yg)とおくと x =mx。
座標系を(X!、 yg)とおくと x =mx。
x =my、 (2,8
)第3図から、深さ2の位置にある物体上の点(x。
)第3図から、深さ2の位置にある物体上の点(x。
y)は
y :
Q (2,9
)と表され、物体の3次元座標が求まる。
)と表され、物体の3次元座標が求まる。
このようにして物体(測定対象)の3次元座標が求まれ
ば、これをCRT上、或は、プロッタによりワイヤフレ
ームモデルとして前記物体を描かせることにより、この
測定対象を三次元的に表現することができる。
ば、これをCRT上、或は、プロッタによりワイヤフレ
ームモデルとして前記物体を描かせることにより、この
測定対象を三次元的に表現することができる。
次に、本発明方法を実施するための装置の一例およびそ
のシステム構成について第4図、第5図により説明する
。
のシステム構成について第4図、第5図により説明する
。
本発明方法を実施するモアレ装置では、光源(S)にハ
ロゲンランプ(l OOV/650W)を使用し、光源
微動機構部(M)にはマイクロメータを取り付け、17
100mm単位で水平面上を移動できるようになってい
る。また、光源Sは、カメラCaの焦点位置にその光源
Sの中心位置を合わせられるように高さ方向に調節でき
るようになっている。ここでマイクロメータの代りにス
テップモータやピエゾ素子を用いることもできる。
ロゲンランプ(l OOV/650W)を使用し、光源
微動機構部(M)にはマイクロメータを取り付け、17
100mm単位で水平面上を移動できるようになってい
る。また、光源Sは、カメラCaの焦点位置にその光源
Sの中心位置を合わせられるように高さ方向に調節でき
るようになっている。ここでマイクロメータの代りにス
テップモータやピエゾ素子を用いることもできる。
格子(G)は、−例として、ピッチ0.4mm、格子部
の平面大きさを200X290mmに形成した。この格
子Gは、ピッチ0.4Mの長ネジに直径0.2Mの糸を
張り渡し、反射率の低い塗料で塗装することにより製作
した。この格子Gはガラス板や金属板等に多数のスリッ
トを形成させて製作することもできる。
の平面大きさを200X290mmに形成した。この格
子Gは、ピッチ0.4Mの長ネジに直径0.2Mの糸を
張り渡し、反射率の低い塗料で塗装することにより製作
した。この格子Gはガラス板や金属板等に多数のスリッ
トを形成させて製作することもできる。
格子Gは格子枠F内に組み込まれ、格子枠内の水平移動
機構によって当該格子Gを面内で移動でき、モアレ縞の
平均化処理を行うようになっている。また、格子枠Fに
は4本の連結棒りを取付けて支え、この連結棒りを回転
させることによって、前記格子を垂直方向に、ダイヤル
ゲージDを用いてチエツクしなから1/100M単位で
移動できるように構成されている。
機構によって当該格子Gを面内で移動でき、モアレ縞の
平均化処理を行うようになっている。また、格子枠Fに
は4本の連結棒りを取付けて支え、この連結棒りを回転
させることによって、前記格子を垂直方向に、ダイヤル
ゲージDを用いてチエツクしなから1/100M単位で
移動できるように構成されている。
一方、光源Sと観察点(カメラCa)の距離は70〜3
00M、また、格子Gと観察点(カメラCa)の距離は
60〜320耶の範囲で調節でき、感度、物体の大きさ
に応じて可変できるようになっている。
00M、また、格子Gと観察点(カメラCa)の距離は
60〜320耶の範囲で調節でき、感度、物体の大きさ
に応じて可変できるようになっている。
このように形成した装置により得られる縞間隔はおよそ
0.3〜1.81TImである。
0.3〜1.81TImである。
上記装置のシステム構成を第5図のフロルチャートに示
す。
す。
CCDカメラCaより得られた256 X 256画素
の画像データは画像入出力装置51(アストロデザイン
社、IP4004)によって256階調にAD変換され
、それと接続されているパーソナルコンピュータ52(
NEC,PC−9801)によって、フロッピーディス
クに光強度分布データとして取り込まれる。そして、得
られた、位相O1π/2.π、3π/2の4つのデータ
はコンピュータで位相計算がなされ、式(2,7)、
(2゜9)によって3次元座標が得られる。これにより
CRT上に、またはプロッタでワイヤーフレームモデル
を表示するための出力をさせることができる。
の画像データは画像入出力装置51(アストロデザイン
社、IP4004)によって256階調にAD変換され
、それと接続されているパーソナルコンピュータ52(
NEC,PC−9801)によって、フロッピーディス
クに光強度分布データとして取り込まれる。そして、得
られた、位相O1π/2.π、3π/2の4つのデータ
はコンピュータで位相計算がなされ、式(2,7)、
(2゜9)によって3次元座標が得られる。これにより
CRT上に、またはプロッタでワイヤーフレームモデル
を表示するための出力をさせることができる。
実際には、測定物体の大きさに合わせてカメラCaの位
置を決める。次に、光源Sの中心とカメラCaの焦点の
位置合わせを行なう。
置を決める。次に、光源Sの中心とカメラCaの焦点の
位置合わせを行なう。
光源SとカメラCaの距離は、測定に適当な縞間隔とな
るように設定する。
るように設定する。
格子Gと光源Sのシフト量△Q、△dはあらがじめ式(
1,14)、 (1,15)により4種類の位相につい
て算出しておき、双方を4回シフトさせ、モアレ縞画像
をカメラCaに取り込む。その際、格子Gを面内で移動
させてモアレ縞の平均化処理を行う。
1,14)、 (1,15)により4種類の位相につい
て算出しておき、双方を4回シフトさせ、モアレ縞画像
をカメラCaに取り込む。その際、格子Gを面内で移動
させてモアレ縞の平均化処理を行う。
[発明の効果]
本発明は以上の通りであって、従来、実体格子型のモア
レ法においては、位相シフト法の導入が困難であるとさ
れていたが、本発明方法により、格子面の垂直移動と光
源又は観察点の水平移動を同時に行って、各次数の縞の
位相をほぼ揃った状態で位相シフトができるため、測定
対象に対する測定点の密度を増やし、モアレ縞−周期当
りl/40〜l/100程度の分割をするから、きわめ
て高感度の三次元測定が可能になり、また、物体の凹凸
の判定も容易にできることとなる。
レ法においては、位相シフト法の導入が困難であるとさ
れていたが、本発明方法により、格子面の垂直移動と光
源又は観察点の水平移動を同時に行って、各次数の縞の
位相をほぼ揃った状態で位相シフトができるため、測定
対象に対する測定点の密度を増やし、モアレ縞−周期当
りl/40〜l/100程度の分割をするから、きわめ
て高感度の三次元測定が可能になり、また、物体の凹凸
の判定も容易にできることとなる。
第1図は本発明方法の測定原理を示す模式図で、実体格
子型のモアレ法における縞位相のずれを示す正面図、第
2図は本発明方法による位相シフトの一例を示す模式図
で、0次の縞の移動の様子を示す正面図、第3図は本発
明方法における三次元座標の算出例を示す模式的概念図
、第4図は本発明方法を実施するための装置の概略構成
の一例を示す斜視図、第5図は本発明方法の実施をする
際のデータ処理の流れを示すシステムブロック図、第6
図は格子投影型のモアレ法を模式的に示す正面図、第7
図は実体格子型のモアレ法を模式的に示す正面図である
。
子型のモアレ法における縞位相のずれを示す正面図、第
2図は本発明方法による位相シフトの一例を示す模式図
で、0次の縞の移動の様子を示す正面図、第3図は本発
明方法における三次元座標の算出例を示す模式的概念図
、第4図は本発明方法を実施するための装置の概略構成
の一例を示す斜視図、第5図は本発明方法の実施をする
際のデータ処理の流れを示すシステムブロック図、第6
図は格子投影型のモアレ法を模式的に示す正面図、第7
図は実体格子型のモアレ法を模式的に示す正面図である
。
Claims (1)
- 測定対象から適宜離隔して配置される格子に対し、当該
格子を挟んで前記対象と対峙する側に、適宜の光源と前
記格子に平行な面上で前記光源から適宜距離で離れた観
察点とを配置し、前記光源により測定対象に投影される
前記格子の影と前記格子とにより形成されるモアレ縞を
観察する実体格子型のモアレポトグラフィーによる三次
元測定法において、前記格子を、その格子面に対して垂
直方向に移動させると共に、前記光源又は観察点を格子
面と平行に移動させることより、各次数のモアレ縞の位
相をそれらがほぼ揃った状態でシフトさせ、位相シフト
されるモアレ縞をとらえて計算処理することを特徴とす
る実体格子型のモアレトポグラフィーによる高感度三次
元測定法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26948090A JP2887517B2 (ja) | 1990-10-09 | 1990-10-09 | 実体格子型のモアレトポグラフィーによる高感度三次元測定法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26948090A JP2887517B2 (ja) | 1990-10-09 | 1990-10-09 | 実体格子型のモアレトポグラフィーによる高感度三次元測定法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04147001A true JPH04147001A (ja) | 1992-05-20 |
JP2887517B2 JP2887517B2 (ja) | 1999-04-26 |
Family
ID=17473031
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP26948090A Expired - Fee Related JP2887517B2 (ja) | 1990-10-09 | 1990-10-09 | 実体格子型のモアレトポグラフィーによる高感度三次元測定法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2887517B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100468869B1 (ko) * | 2002-06-12 | 2005-01-29 | 삼성테크윈 주식회사 | 모아레 간섭 무늬를 이용한 부품 검사 장치 및, 방법 |
US6940608B2 (en) * | 2001-03-08 | 2005-09-06 | Ricoh Company, Ltd. | Method and apparatus for surface configuration measurement |
-
1990
- 1990-10-09 JP JP26948090A patent/JP2887517B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6940608B2 (en) * | 2001-03-08 | 2005-09-06 | Ricoh Company, Ltd. | Method and apparatus for surface configuration measurement |
KR100468869B1 (ko) * | 2002-06-12 | 2005-01-29 | 삼성테크윈 주식회사 | 모아레 간섭 무늬를 이용한 부품 검사 장치 및, 방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2887517B2 (ja) | 1999-04-26 |
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