JPH0413212A - 薄膜磁気ヘッド - Google Patents

薄膜磁気ヘッド

Info

Publication number
JPH0413212A
JPH0413212A JP2117074A JP11707490A JPH0413212A JP H0413212 A JPH0413212 A JP H0413212A JP 2117074 A JP2117074 A JP 2117074A JP 11707490 A JP11707490 A JP 11707490A JP H0413212 A JPH0413212 A JP H0413212A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
conductor coil
coil layer
layer
conductor
coil
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2117074A
Other languages
English (en)
Inventor
Toshio Matsumoto
松本 利夫
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP2117074A priority Critical patent/JPH0413212A/ja
Priority to KR1019910004361A priority patent/KR940005555B1/ko
Priority to US07/693,794 priority patent/US5170302A/en
Priority to DE4115394A priority patent/DE4115394A1/de
Priority to EP91250131A priority patent/EP0517966A1/en
Publication of JPH0413212A publication Critical patent/JPH0413212A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/127Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/127Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
    • G11B5/31Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/127Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
    • G11B5/31Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
    • G11B5/3109Details
    • G11B5/313Disposition of layers

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Magnetic Heads (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、磁気ディスク装置に用いられる薄膜磁気ヘッ
ドに関し、より詳しくは、4層以上の導体コイル層及び
センタータップを有する薄膜磁気ヘッドに関する。
〔従来の技術〕
磁気ディスク装置は高密度化の要求から磁気ヘッドのト
ラック幅がより小さくなってきている。ところが、トラ
ック幅がこのように小さくなると出力が低下するため、
薄膜磁気ヘッドにおいては、導体コイル層を多層化して
巻線数を増加することによって出力を増大させると共に
、巻線にセンタータップを設けることによって巻線数の
増加に伴うインダクタンスの増大に備えている。斯かる
薄膜磁気ヘッドは、例えば第3図に示す如く下部磁極(
1)と上部磁極(2)との間に、有機絶縁材からなる絶
縁層(3)と導体コイル層(4)とが交互に積層形成さ
れ、これらがギャップ材(5)を介して基板(6)上に
積層されて構成されている。
上記絶縁層(3)及び導体コイル層(4)について更に
詳述すると、上記ギャップ材(5)の上面に第1絶縁層
(3a)が積層され、第1絶縁層(3a)の上面に第1
導体コイル層(4a)が積層され、後は、第2絶縁層(
3b)、第2導体コイル層(4b)、第3絶縁層(3c
)、第3導体コイル層(4c)、第4絶縁層(3d)、
第4導体コイル層(4d)及び第5絶縁層(5e)が順
次積層され、下部磁極(1)、各導体コイル層(4a)
(4b) 、  (4c) 、  (4d)及び上部磁
極(2)は、第1絶縁層(3a)〜第5絶縁層(3e)
によってそれぞれ絶縁されている。そして、図示しない
が第1導体コイル層(4a)と3iii2導体コイル層
(4b)、第2導体コイル層(4b)と第3導体コイル
層(4C)及び′s3導体コイル層(4C)と′s4導
体コイル層(4d)は各端部においてそれぞれ接合され
ている。また、第2導体コイル層(4b)と第3導体コ
イル層(4C)との接合部からはセンタータップが引き
出され、第1導体コイル層(4a)と第4導体コイル層
(4d)の残りの端部から引き出し線がそれぞれ引き出
されている。
而して、センタータップを有する薄膜磁気ヘッドは、セ
ンタータップによって2分される各コイル部分は、それ
ぞれ抵抗及びインダクタンスが等しくなっている必要が
あるため(特開昭61=255523号公報、特開昭6
3−63114号公報参照)、従来のこの種の薄膜磁気
ヘッドにおいては、第1導体コイル層(4a)及び第2
導体コイル層(4b)によって形成される導体コイル部
分と、第3導体コイル層(4C)及び′s4導体コイル
層(4d)によって形成されるコイルとは、各コイルの
巻線数及びコイル幅が等しくなるように形成されている
。更に、各導体コイル層を積層すると周囲との間に段差
ができ、また製造時のマスク製版に制約がある関係上、
各導体コイル層(4a)〜(4d)及び各絶縁層(3a
)〜(3e)におけるそれぞれの各周縁端を下層から上
層に向かって漸次縮小させ、全体として周面を傾斜させ
る必要があり、自ずと上層のコイル層はどコイルピッチ
を小さくしている。
〔発明が解決しようとする課題〕
しかしながら、従来の薄膜磁気ヘッドにおいては、コイ
ル層が多層になると、周囲との段差が大きい上層はど製
版条件が厳しくなり、更に、上層はどコイルのピッチが
小さく、コイル間のスペースが小さくなって製版がより
一層困難になるという課題があった。
尚、特開昭63−[13114号公報には、バイファイ
ラによって各導体コイル層を形成し、2つのコイル部分
を中間点端子によって2つのコイル部分の巻線数及びコ
イル幅を等しくすると共に、コイル層及び絶縁層の周縁
端に段差を生じないようにした多層バランス巻薄膜磁気
ヘッドが提案されているが、この磁気ヘッドは、バイフ
ァイラによって2本の導体コイルを同時に並設するため
、外側の長さが内側の長さより大きく、外側の導体コイ
ル部分の抵抗が大きくなって中間点端子で2分された各
導体コイル部分における電磁気特性がアンバランスにな
るという課題があった。
本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、
上層の導体コイル層においてもコイルピッチを大きくと
ることができて製版し易く、シかもセンタータップで分
けられる2つのコイル部分の抵抗及びインダクタンスを
等しくすることができる薄膜磁気ヘッドを提供すること
を目的としている。
〔課題を解決するための手段〕
本発明の薄膜磁気ヘッドは、下部磁極と上部磁極との間
に、絶縁層と導体コイル層とを4層以上交互に積層形成
してなるものにおいて、互いに隣合わない少なくとも一
組の上記導体コイル層を直接接続して構成されたもので
ある。
〔作用〕
本発明によれば、互いに隣合わない一組の導体コイル層
を直接接続してコイルの巻線数の大ぎな導体コイル層と
コイルの巻線数の小さな導体コイル層とを組み合わせる
ことによって上層の導体コイル層の巻線数を減少させる
ことができる。
〔実施例〕
以下、第1図及び第2図に示す実施例に基づいて従来と
同一または相当部分には同一符号を付して本発明の特徴
を中心に説明する。尚、各図中、第1図は本発明の薄膜
磁気ヘッドの一実施例の要部を示す断面図、第2図(a
)〜(d)はそれぞれ第1図に示す薄膜磁気ヘッドを構
成する各導体コイル層の導体膜パターンを示す平面図、
第3図は従来の薄膜磁気ヘットを示す第1図相当図であ
る。
本実施例の薄膜磁気ヘットは、第1図、第2図に示す如
く、下部磁極(1)と上部磁極(2)との間に、有機絶
縁材からなる絶縁層(3)と導体コイル層(4)とが交
互に積層形成され、これら下部磁極(1)、絶縁層(3
)、導体コイル層(4)及び上部磁極(2)がギャップ
材(5)を介して基板(6)上に積層されている。
而して、第1導体コイル層(4a)、第2導体コイル層
(4b)、第3導体コイル層(4C)及び第4導体コイ
ル層(4d)は、それぞれコイルの巻線数を異にし、下
層から巻線数が順次9,8.7及び6に形成されている
。そして、下部磁極(1)、各導体コイル層(4a) 
、 (4b) 、 (4c) 、 (4d)及び上部磁
極(2)は、それぞれ各絶縁層(3a) 、  (3b
) 、  (3c) 、 (3d)及び(3e)により
て絶縁されている。
また、図示しないが、第1導体コイル層(4a)と第4
導体コイル層(4d)間、第4導体コイル層(4d)と
第2導体コイル層(4b)間、及び第2導体コイル層(
4b)と第3導体コイル層(4C)間の各導体コイルが
それぞれの端部において接続され、また、第2導体コイ
ル層(4b)と第4導体コイル層(4d)との接続部か
らセンタータップが引き出され、第1導体コイル層(4
a)と第3導体コイル層(4C)の非接続の端部から引
き出し線がそれぞれ引き出されている。上記各導体コイ
ル層(4a) 、 (4b) 、 (4c) 、 (4
d)について第2図を参照しながら更に詳述すると、こ
れらの各導体コイル層(4a) 、  (4b) 、 
 (4c) 、  (4d)は、第2図(a)〜(d)
に示すパターンからなる導体膜によって形成されている
即ち、第1導体コイル層(4a)は、コイルの外端部に
引き出し線(41)が形成され、コイルの内端部に第4
導体コイル層(4d)との接続部(42a)が形成され
ている(第2図(a)参照)。第2導体コイル層(4b
)は、コイルの外端部に第4導体コイル層(4d)との
接続部で且つセンタータップとの接続部となる引き出し
線(43a)が形成され、コイルの内端部に第3導体コ
イル層(4c)との接続部(44a)が形成されている
(第2図(b)参照)。第3導体コイル層(4c)は、
コイルの外端部に引き出し線(45)が形成され、内端
部に第2導体コイル層(4b)との接続部(44b)が
形成されている(第2図(C)参照)。また、N4導体
コイル層(4d)は、コイルの外端部に第2導体コイル
層(4b)との接続部で且つセンタータップとの接続部
となる引き出し線(43b)が形成され、コイルの内端
部に第1導体コイル層(4a)との接続部(42d)が
形成されている。
また、上記第2導体コイル層(4b)及び第3導体コイ
ル層(4c)の各内端部の接続部(44a) 、 (4
4b)の隣には、それぞれ上記N1導体コイル層(4a
)における内端部の接続部(42a)と上記第4導体コ
イル層(4d)における内端部の接続部(42d) と
を接続する接続部(42b) 、 (42c)が形成さ
れている。
上記構成を有する薄膜磁気ヘッドは、線巻線数は、30
ターンであるが、センタータップにより、第1導体コイ
ル層(4a)と第4導体コイル層(4d)か゛らなるコ
イル部分と、第2導体コイル層(4b)と第3導体コイ
ル層(4C)からなるコイル部分とに2分され、前者の
コイル部分の巻線数が15ターン、後者のコイル部分の
巻線数が15ターンとなって、これら両コイル部分にお
ける巻線数が等しく、それぞれの抵抗及びインダクタン
スが等しくなる。
従って、本実施例によれば、第1導体コイル層(4a)
〜第4導体コイル層(4d)の各巻線数をそれぞれ9,
8,7.6及び5ターンと上層に向って漸次巻線数を減
少することができ、上層においてもコイルピッチを狭く
する必要がなく、マスク製版を上層においても容易に行
うことができる。
尚、本発明における各導体コイル層のコイルの巻線数は
、上記実施例に制限されるものでなく、第1導体コイル
層(4a)〜第4導体コイル層(4d)それぞれの巻線
数を8.7.7及び6にしてもよく、要はセンタータッ
プによって分割される2つのコイル部分における巻線数
がそれぞれ等しくなるようにすることができるものであ
ればよい。例えば、導体コイル層を5層備えたものであ
れば、各導体コイル層の巻線数を9.8,7.5及び3
とし、第1導体コイル層と第3導体コイル層の内端部と
を直接接続し、また、第2導体コイル層、第4導体コイ
ル層及び第5導体コイル層の組み合わせ、第2導体コイ
ル層と第4導体コイル層の内端部同士、第2導体コイル
層と第3導体コイル層の外端部同士、第4導体コイル層
と第5導体コイル層の外端部同士をそれぞれ接続し、第
1導体コイル層の外端部及び第5導体コイル層の内端部
から引き出し線をそれぞれ引き出し、第2導体コイル層
と第3導体コイル層の外端部同士を接続した接続部から
センタータップを引き出してもよい。
また、各導体コイル層におけるコイルピッチやコイル間
のスペースは、必ずしも全層について統一しなくてもよ
く、コイルの製版のし易さなどにより適宜設定すること
ができ、また、センタータップ、引き出し線、接続部の
形態、位置などについても適宜設定することができる。
〔発明の効果〕
以上本発明によれば、上層の導体コイル層においてもコ
イルピッチを大きくとることができて製版し易く、しか
もセンタータップで分けられるコイル部分の抵抗及びイ
ンダクタンスを等しくすることができる薄膜磁気ヘッド
を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の薄膜磁気ヘッドの一実施例の要部を示
す断面図、第2図(a) 、 (b) 、 (c) 、
 (d)はそれぞれ第1図に示す薄膜磁気ヘッドを構成
する各導体コイル層の導体膜パターンを示す平面図、第
3図は従来の薄膜磁気ヘッドを示す第1図相当図である
。 各図中、(1)は下部磁極、(2)は上部磁極、(3)
は絶縁層、(4)は導体コイル層である。 尚、各図中、同一符号は同一または相当部分を手 続 補 正 書(自発)

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 下部磁極と上部磁極との間に、絶縁層と導体コイル層と
    を4層以上交互に積層形成してなる薄膜磁気ヘッドにお
    いて、互いに隣合わない少なくとも一組の上記導体コイ
    ル層を直接接続したことを特徴とする薄膜磁気ヘッド。
JP2117074A 1990-05-07 1990-05-07 薄膜磁気ヘッド Pending JPH0413212A (ja)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2117074A JPH0413212A (ja) 1990-05-07 1990-05-07 薄膜磁気ヘッド
KR1019910004361A KR940005555B1 (ko) 1990-05-07 1991-03-20 박막자기헤드
US07/693,794 US5170302A (en) 1990-05-07 1991-04-30 Thin-film magnetic head with multiple interconnected coil layers
DE4115394A DE4115394A1 (de) 1990-05-07 1991-05-07 Duennschicht-magnetkopf
EP91250131A EP0517966A1 (en) 1990-05-07 1991-05-11 Thin-film magnetic head

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2117074A JPH0413212A (ja) 1990-05-07 1990-05-07 薄膜磁気ヘッド

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0413212A true JPH0413212A (ja) 1992-01-17

Family

ID=14702766

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2117074A Pending JPH0413212A (ja) 1990-05-07 1990-05-07 薄膜磁気ヘッド

Country Status (5)

Country Link
US (1) US5170302A (ja)
EP (1) EP0517966A1 (ja)
JP (1) JPH0413212A (ja)
KR (1) KR940005555B1 (ja)
DE (1) DE4115394A1 (ja)

Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5402293A (en) * 1990-12-27 1995-03-28 Sony Electronics Inc. Magneto-optical head having a thin film coil recessed into a magnetic substrate
JPH06309610A (ja) * 1993-04-28 1994-11-04 Sony Corp 磁気ヘッド
KR960704303A (ko) * 1994-05-09 1996-08-31 이데이 노부유키 자기헤드 및 그 제조방법
JPH1032117A (ja) * 1996-07-15 1998-02-03 Nikon Corp コイル
US5875080A (en) * 1997-09-05 1999-02-23 International Business Machines Corporation Write head with second coil above pole having coil density less electrically connected first coil below the pole
US6483662B1 (en) 1999-07-09 2002-11-19 Read-Rite Corporation High density multi-coil magnetic write head having a reduced yoke length and short flux rise time
US6496330B1 (en) * 1999-09-09 2002-12-17 Read-Rite Corporation Magnetic write head having a splitcoil structure
JP2001319312A (ja) * 2000-05-10 2001-11-16 Tdk Corp 薄膜コイルおよびその製造方法ならびに薄膜磁気ヘッドおよびその製造方法
US6507456B1 (en) 2000-08-30 2003-01-14 International Business Machines Corporation Dual coil and lead connections fabricated by image transfer and selective etch
US7286091B2 (en) * 2003-06-13 2007-10-23 Schlumberger Technology Corporation Co-located antennas
EP1739695B1 (en) * 2004-06-07 2008-05-21 Murata Manufacturing Co., Ltd. Multilayer coil
EP2225175B1 (en) 2007-12-13 2012-12-12 Akzo Nobel N.V. Stabilized hydrogen peroxide solutions
US8791783B2 (en) * 2010-05-17 2014-07-29 Taiyo Yuden Co., Ltd. Electronic component to be embedded in substrate and component-embedded substrate
JP6091206B2 (ja) * 2012-12-21 2017-03-08 ルネサスエレクトロニクス株式会社 半導体装置および半導体装置の製造方法

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS51117020A (en) * 1975-04-07 1976-10-14 Hitachi Ltd Magnetic head and production method of it
DE3346876A1 (de) * 1983-12-23 1985-07-11 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Kombinierter schreib- und lese-magnetkopf zur senkrechten magnetisierung eines entsprechenden aufzeichnungsmediums
US4713711A (en) * 1985-05-08 1987-12-15 International Business Machines Thin film magnetic transducer having center tapped winding
US4694368A (en) * 1986-01-10 1987-09-15 Read-Rite Corporation Thin film magnetic head with three superimposed coils
JPS63114A (ja) * 1986-06-19 1988-01-05 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液相成長方法
JPH073685B2 (ja) * 1989-03-20 1995-01-18 ヤマハ株式会社 薄膜磁気ヘッド

Also Published As

Publication number Publication date
EP0517966A1 (en) 1992-12-16
KR940005555B1 (ko) 1994-06-20
DE4115394A1 (de) 1991-11-14
US5170302A (en) 1992-12-08
KR910020649A (ko) 1991-12-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH0413212A (ja) 薄膜磁気ヘッド
KR930000414B1 (ko) 자기(自己)유도성 인덕터와 수동유도성 인덕터를 포함하는 복합 권선형 적층 인덕터 및 그 제조방법, 그리고 두줄 권선형 적층변성기
EP1498913B1 (en) High-Q inductor for high frequency
JP2000277354A (ja) 積層型コモンモードチョークコイル
JPH02122410A (ja) 薄膜磁気ヘッド
JP2770750B2 (ja) インダクタンス素子
JPH04237106A (ja) 集積化インダクタンス素子及び集積化トランス
JPS60136363A (ja) 半導体装置
JPH05250636A (ja) 薄膜磁気ヘッド
JPH01282715A (ja) 薄膜ヘッド
JPS58141513A (ja) 積層型プリントコイル
JP4736902B2 (ja) 薄膜デバイス
JPH0581615A (ja) 薄膜磁気ヘツドの製造方法
JPH04101403A (ja) 電子部品及びその製造方法
JP2000306729A (ja) 積層型コイル装置
JP3811091B2 (ja) 積層型トランスの製造方法
WO2023145106A1 (ja) コイル部品及びこれを備える回路基板
JPH01276508A (ja) 電磁コイル用導線及び電磁コイル
JP2001285005A (ja) ノイズフィルタ
JPH03268410A (ja) 磁性薄膜トランス
JPH0547571A (ja) コンバータトランス
JPH03241863A (ja) 混成集積回路部品
JPH01166309A (ja) 薄膜磁気ヘッド
JP2006148035A (ja) 積層型コイル部品
JPS63117307A (ja) 薄膜磁気ヘツドの導体コイルの製造方法