JPH04128635A - 検査方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、容器等の物品の検査方法及びこの方法を実施
する検査装置、特にビデオカメラ等のイメージセンサ及
び電子処理機を利用した物品の検査方法及びこの方法を
実施する検査装置に関する。

〔従来の技術〕

従来、物品の製造工程中や完成した時に、製造工程中の
半製品の不具合の発見や、完成品の外観或は品質の検査
を、目視により多数の検査員により行っている．しかし
近年、人手不足に対する省力化と自動化を自損して、人
手による検査に代えてビデオカメラと電子処理機を利用
した自動検査装置を設置する傾向にある。

例えば飲料業界について言えば、飲料容器としてガラス
やプラスチックにより成型された壜等の容器が多く利用
されているが、その製造工程上の不具合や輸送中或は取
扱中の不測の事故等によって、容器の破損や漏液を賓す
ことがある。これには、容器の取扱上の不注意によるこ
とは別にしても、製造工程中の不具合、即ち容器に損傷
を与えた場合、或は製造工程上の不具合、即ち、飲料等
の容器内への充填処理、容器のキャッピング処理等に不
良の状態を作る原因があった時等がある。

従って、飲料容器の製造から始まって容器洗浄、液充填
、キャッピング、包装に至るまで、随所において多数の
人による目視検査等を行っているのが現状である．そこ
で、人手に代えてビデオカメラと電子処理機を利用した
自動検査装置を配置して、製造工程上の不具合或は欠陥
のある商品を発見して自動的に除去するようになった事
は、前述の通りである。

このようなことは飲料容器に対してのみならず、各種の
物品の生産過程において見られる事である。

次に、第４図Ｂ乃至第６図を参照して、上述の如き従来
の容器等の物品の検査装置の一例を説明する。

第４図は、従来の容器検査装置の全体構成を示す略線図
である．同．図において、（１）はガラス或はプラスチ
ック等の透明材料で作られた検査されるべき容器、（２
）はランプの如き容器（１）の照明装置、（３）は照明
光を均一に拡散する為の照明装置（２）と容器（１）と
の間に配置した光拡散板、（４）は容器（１）を撮像す
るイメージセンサとしてのビデオカメラ、（５）は例え
ばコンピュータ等により構成されるビデオカメラ（４）
の出力を処理する電子処理機である。

（ＭＩ）は、各ウィンドウ（６）及び（７１）〜（７４
）の形状を、容器（１）の画像と共に表示する、ビデオ
カメラ（４）及び電子処理機（５）の出力が供給される
モニタである。

この装置では、照明装置（２）よりの光は、光拡散板（
３）により均一に拡散され、容器（１）の全体を照明す
る．この光は、容器（１）を透過して、ビデオカメラ（
４）に捕えられ、その出力画像信号は電子処理機（５）
によって電子処理され、容器（１）の欠陥の有無を検出
する．尚、容器（１）は、ここでは透光性材より成るも
のと仮定している。透光性でない容器に対しては、それ
よりの反射光を捕えて電子処理するような構成にするこ
とにより、同様に容器の欠陥の検査が実施出来ることは
言うまでもない。

第５図は、従来における検査装置の電子処理機（５）の
構成及び機能の一例を示すブロック図、第６図は容器（
１）及び各ウィンドウの位置を示す略線図である。同図
に示す如く、ビデオカメラ（４）の出力ビデオ信号より
、先ず、位置決め用のウィンドウ（６）を、容器（１）
の首部に設定し、電子処理機（５）の電子処理口Ｎ　（
６Ａ）によって容器（１）の中心軸（Ｘ−Ｘを求める。

即ち、ウィンドウ（６）内で捕えられた容器（１）の首
部の両端面を検出し、それより容器（１）の中心軸（Ｘ
−Ｘ）を求める。この中心軸（Ｘ−Ｘは後に設定する各
検査用ウィンドウの位置を、容器（１）に対して正確に
設定する為である。即ち、容器（］）が中心軸（Ｘ−χ
）に対して対象形をなしていると仮定すれば、設定する
各検査用ウィンドウを、容器（１）の中心軸（χ−Ｘ）
に関して対象形になるごとく設定すれば良いからである
。

第５及び第６図に於て、（７１）、（７□）、　（７３
）　、　（７，）は夫々上述した検査用ウィンドウを示
し、この例では４個の検査用ウィンドウを用い、各検査
用ウィンドウ（７，）〜（７４）の寸法の多少の調整に
より容易にこの変化に対応出来ること、又同一容器（１
）の径が場所によって異なる為に住じる先の透過率の変
化に対応するように、電子処理に際して夫々のウィンド
ウ（７，）〜（７４）は、夫々位置及び形状を異にする
。４個の検査用ウィンドウ（７１）〜（７４）内の容器
（１）の領域の欠陥の有無を、判定処理回路（７Ａ）で
−括して判定する。

第６図は、上述の如く容器（１）に対する位置決めウィ
ンドウ（６）及び検査用ウィンドウ（７，）、（７□）
（７，）、（７，）の設定の状態を示したものである。

この例で、１個の容器（１）に対して４この検査用ウィ
ンドウ（７１）〜（７，）を設けた理由は、容器（１）
の形状が多少変わった時例えば（容器（１）の直径が変
わった時、その首部の形が変わった時等）、夫々の検査
用ウィンドウ（７Ｉ）〜（７４）の寸法の多少の調整に
より容易にこの変化に対応出来ること、又同一容器（１
）の径が場所によって異なる為に生じる光の透過率の変
化に対応するように、電子処理に際して夫々のウィンド
ウ（７Ｉ）〜（７４）で別個の感度設定をすることが出
来るようにする為である。尚、第６図に於て、（８）は
、容器（１）の一部に存在する模様や文字列等（以下“
模様“と称す）部分を示し、この中にある欠陥のみを検
出することは困難であるので、この部分に対しての検査
を除外することにしている。

〔発明が解決しようとするＲ題〕

上述した従来の検査装置では、容器（１）の模様（８）
の部分の検査は、全く前提にない。所が、一般に、模様
（８）は、容器（１）の胴部の全外周に亘って存在する
のみでは無く、例えば、その半周のみに設けられている
場合が多い、この場合、容器（１）の胴部の模様（８）
の無い部分の良否の判定をする必要があるが、従来の装
置では、この部分の良否の判定は、全く不可能であった
。

従って、本発明の主目的は、上記従来の装置の欠点を一
掃した新規な検査装置を提供せんとするものである。

［課題を解決するための手段及び作用］本発明によれば
、被検査物（１）に照明光を照射し、その反射光若しく
は透過光をビデオカメラ（４）で捕らえて光を変換し、
該ビデオカメラが出力する画像信号を電子処理機（５）
により解析し、このビデオカメラが捕らえた画像の中に
、上記被検査物に対して予め定められた位置と形状を有
する第１のウィンドウ（９）を設定し、該第１のウィン
ドウ内の画像に対して予め定められた第１の所定の電子
処理（９Ａ）を行い、該第１のウィンドウ内の画像に対
して行われた第１の所定の電子処理の結果に基づき、上
記被検査物に対し、予め定められた位置と形状を有する
複数個の検査用の第２のウィンドウ（１１，）〜（１１
４）、　（１３１）〜（１３，）を設定し、該第２のウ
ィンドウ内の画像に対して予め定められた第２の所定の
電子処理（ＩＩＡ）を行い、被検査物に存在する欠陥の
有無を検出す検査方法において、上記第１の所定の電子
処理の結果にもとづき、上記被検査物に対し予め定めら
れた位１と形状を有する第３のウィンドウ（１０）を設
定し、該第３のウィンドウ内の画像に対して予め定めら
れた第３の所定の電子処理（ＩＯＡ）を行い、該第３の
電子処理の結果に基づいて上記第２のウィンドウの一部
を変更するか、或は第４のウィンドウ（１２１）、　（
１２１）を設定し、該第４のウィンドウ内の画像に対し
て予め定められた第４の所定の電子処理（１２１Ａ）、
　（１２ｆｆｉＡ）を行い、該第４の電子処理の結果に
基づいて上記第２のつイントウを設定するか、第５のウ
ィンドウ（１３５）。

（１３６）を上記第２のウィンドウに加えて設定し、上
記第２のウィンドウ及び／或は第５のウィンドウ内の画
像に対して予め定められた第５の所定の電子処理（１３
Ａ）を行い、被検査物に存在する欠陥の有無を検査する
ようになしたことを特徴とする検査方法が得られる。

本発明によれば、更に被検査物（１）に照明光を照射し
、その反射光若しくは透過光をビデオカメラ（４）で捕
らえて光電変換し、該ビデオカメラが出力する画像信号
を電子処理機（５）により解析し、このビデオカメラが
捕らえた画像の中に、上記被検査物に対して予め定めら
れた位置と形状を有する第１のウィンドウ（９）を設定
し、該第１のウィンドウ内の画像に対して予め定められ
た第１の所定の電子処理を第１の電子処理回路（９Ａ）
で行い、該第１のウィンドウ内の画像に対して行われた
第１の所定の電子処理の結果に基づき、上記被検査物に
対し、予め定められた位置と形状を有する複数個の検査
用の第２のウィンドウ（１１１）〜（ＬＬ）；　（１３
，）〜（１３，）を設定し、該第２のウィンドウ内の画
像に対して予め定められた第２の所定の電子処理を第２
の電子処理回路（ＩＩＡ）で行い、被検査物に存在する
欠陥の有無を検出する装置において、上記第１の所定の
電子処理の結果に基づき、上記被検査物に対し予め定め
られた位置と形状を有する第３のウィンドウ（１０）を
設定し、該第３のウィンドウ内の画像に対して予め定め
られた第３の所定の電子処理を第３の電子処理回路（Ｉ
ＯＡ）で行い、該第３の電子処理の結果に基づいて上記
第２のウィンドウの一部を変更するか、或は第４のウィ
ンドウ（１２，）、　（１２りを設定し、該第４のウィ
ンドウ内の画像に対して予め定められた第４の所定の電
子処理を第４の電子処理回路（１２＋Ａ）　、　（１２
ｚａ）で行い、該第４の電子処理の結果に基づいて上記
第２のウィンドウを設定するか、第５のウィンドウ（１
３５）　。

（１３６）を上記第２のウィンドウに加えて設定し、上
記第２のウィンドウ及び／或は第５のウィンドウ内の画
像に対して予め定められた第５の所定の電子処理を第５
の電子処理回路（１３Ａ）で行い、被検査物に存在する
欠陥の有無を検査するようになしたことを特徴とする検
査装置が得られる。

〔実施例〕

以下、第１乃至第３図を参照して本発明の一実施例を説
明する。尚、本発明のこの例に於ても、第４図に示す従
来例と同様の構成を用いるので、それ等の図示及び説明
を省略する。

第１図は、本発明による検査装置の電子処理機（５）の
−例の構成及び機能を示すブロック図である。

同図に示す如く、本発明に於ては、ビデオカメラ（４）
（第４図参照）よりのビデオ信号に基づいて、先づ位置
決め用ウィンドウ（９）を容器（１）の首部に設定し、
このウィンドウ（９）に基づいて、電子処理回路（９Ａ
）により容器（１）の中心軸（Ｘ−Ｘ）を求める。

次に、容器（１）の模様（８）の有無の判定に供する模
様判定用のウィンドウ（１０）を設定する。

ここで、本発明の動作を分かり易くする為に、第２図Ａ
及びＢに各々のウィンドウの状態を示し、第１図と第２
図Ａ及びＢとに基づいて上記動作の説明を行う。

本発明に於ては、模様判定用ウィンドウ（１０）を第２
図Ａに示すように従来例においては検査を除外した領域
部分、即ち模様（８）の部分に設定する。

このウィンドウ（１０）内の明暗により、模様（８）の
有無を調べる。即ち、模様（８）が容器（１）の外周に
あると、照明光はその模様（８）の部分で拡散され、ビ
デオカメラ（４）に到達する光が弱まるので、この光の
強弱を調べることにより模様（８）の有無が容易に分か
る。

明暗処理回路（ＩＯＡ）は、ウィンドウ（１０）による
模様（８）の有無に基づき、次に設定する各検査用ウィ
ンドウの位置及び形状等を選択する為のものである。即
ち、この明暗処理回路（ＩＯＡ）は、容器（１）に模様
（８）がある場合には、その部分を検査領域から除外し
、無い場合には除外しないような後述する別のウィンド
ウを選択する。

本発明においては、容器（１）に例えば模様（８）が無
く、従って、電子処理回路（ＩＯＡ）がその部分は明る
いと判定したと仮定すると、この場合、電子処理回路（
１０Ａ）は検査用のウィンドウ（１１）を選定して設け
る。この検査用のウィンドウ（１１）は、この場合、上
述の従来例の場合と同様に、４個のウィンドウ（１１，
）、（１１，）、（１１，）、（１１，）　とする。こ
の場合、上述の従来例と異なる点は、第２図Ａに示す如
くウィンドウ（１１，）の形状が従来のウィンドウ（７
，）と異なり、模様（８）を含む様に大きくしであるこ
れは、模様（８）が無いと判定されたことで、その部分
も検査の対象Ｎ域に加える為である。このようにして、
従来例と同様に４個のウィンドウ（１１，）〜（１１４
）内の容器（１）の欠陥を、欠陥処理回路（ＩＩＡ）で
−括して検出する電子処理を行う。

一方、ウィンドウ（１０）の中に模様（８）が存在して
、電子処理回路（１０Ａ）がその部分は暗いと判定した
時は、この電子処理回路（ＩＯＡ）は、第１図に示す如
く、ウィンドウ（１１）の代わりに模様の形状等を判別
する模様判別ウィンドウ（１２）を選択して設定する。

このウィンドウ（１２）は、第２図Ｂに示す如く、互い
に隣合う２個のウィンドウ（１２，）　、　（１２□）
をもって１組となし、これ等を容器（１）の模様や文字
列等があると思われる模様（８）の部分に設定して、そ
の状態を観察する。即ち、第２図Ｂに示すように、一方
のウィンドウ（１２，）を模様（８）の部分の一方、即
ちその左側半分に設け、他方のウィンドウ（１２□）を
その右側半分の部分に設ける。

一般に、容器（１）の模様（８）の状態は色々あり、例
えばそれが全周に渡って設けである場合や、一部だけに
設けである場合等がある。ここでは、模様（８）が、第
３図Ａ、Ｂ及びＣに示すように、容器（１）の略々半周
に渡って設けられている場合についての説明を行う。

ビデオカメラ（４）が容器（１）を撮像する場合、模様
（８）は、容器（１）の回転方向の角度に応じてビデオ
カメラ（４）に対する映り方が色々に変わる。これは、
例えば、容器（１）がベルトコンベア上を移動している
間に検査を行をうとすると、容器（１）の模様（８）の
ビデオカメラ（４）に対する回転角度は不定になるから
である。第３図Ａ、Ｂ及びＣは、動作の説明の為に、容
器（１）の模様（８）の異る回転角の三つの場合の例を
挙げたものである。

第３図への場合は、ウィンドウ（１２，）と（１２□）
とが共に模様（８）を含んでいるので、それ等の電子処
理回路又は明暗検出及び寸法処理回路（１２□Ａ）と（
１２□Ａ）は、両ウィンドウ（１２１）、　（１２□）
内が全域に渡って暗いと判定し、第３図Ａ′に示すよう
に、４個の検査様ウィンドウ（１３，）、　（１３オ）
、　（１３ｓ）　、　（１３，）を設定する。この場合
は、模様（８）のあるところを検査領域から除外するの
で、各検査用ウィンドウ（ｉ３＋）〜（１３，）は、丁
度第６図の従来例の場合と同様になる。を子処理回路（
１３Ａ）又は欠陥検出処理回路で、容器（１）の４個の
ウィンドウ（１３，）〜（１３，）内の欠陥の検出処理
を一括して行うことも、従来と同様である。

第３図Ｂは、模様（８）が容器（１）の左側に寄ってい
ると仮定した場合のもので、ウィンドウ（１２，）は模
様（８）にかかっているので、その電子処理回路（１２
，Ａ）は、ウィンドウ（１２，）内が暗いと判定するの
で、前述の検査用ウィンドウ（１３Ｉ）、（１３ｚ）　
、（ＩＬ）　。

（１３，）を設定する。一方、ウィンドウ（１２□）内
には、模様（８）が無ので、その電子処理回路（１２□
Ａ）はウィンドウ（１２ｇ）内が、明るいと判定するの
で、第３図Ｂ′に示すように、検査用ウィンドウ（１３
ｓ）を上記４個のウィンドウ（１３＋）〜（１３，）に
加えて容器（１）のウィンドウ（１２□）の部分に設定
する。検査用ウィンドウ（１３，）乃至（１３，）まで
は、検査用ウィンドウ（１１，）乃至（１１，）までの
ものと同様なもので、これ等に検査用ウィンドウ（１３
ｓ）が加わる。この検査用ウィンドウ（１３Ｓ）により
、容器（１）の右側の模様（８）が無い部分の検査が出
来る。このことは、従来例では出来なかったことである
。これにより、５個のウィンドウ（１３，）〜（１３ｓ
）内の欠陥を一括して電子処理回路又は欠陥検出処理回
路（１３Ａ）で検出処理する。

第３図Ｃは模様（８）が、容器（１）の右側に寄ってお
り、且つ模様（８）の左端が容器（１）の中心軸（Ｘ−
Ｘ）より左にはみ出ていると仮定した場合である。この
時、電子処理回路（ｘｌ）は、勿論ウィンドウ（１２□
）内が暗いと判定し、第３図Ｃ′に示す如く、検査用ウ
ィンドウ（１３，）、（１３□”）　、　（１３３）、
　（１３，）を第３図Ａ′の場合と同様に設定する。一
方、電子処理回路（１２，Ａ）は、ウィンドウ（１２＋
）内の一部に明るい部分があることを判定し、ウィンド
ウ（１２，）内の左側の模様（８）の無い部分の寸法を
測定し、第３図Ｃ′に示すような適切な形状の検査用ウ
ィンドウ（１３６）を、ウィンドウ（１３１）、　（１
３□）、（１３，）。

（１３，）と共に設定する。この時、電子処理回路（１
３Ａ）が５個のウィンドウ（１３０〜（１３，）及び（
１３，）内の欠陥を一括して電子処理することは、前述
の場合と同様である。

第３図Ｂにおいて、模様（８）の右端が容器（１）の中
心軸（Ｘ−Ｘ）より右側に寄っている場合も、第３図Ｃ
′の場合と同様に、電子処理回路（１２□Ａ）は、ウィ
ンドウ（１２□）の右側のＩｍ（８）の無い部分の寸法
を測定して、適切な形状の検査用ウィンドウ（１３ｓ）
を設定出来ることは言うまでもない。

電子処理回路（ＩＩＡ）や（１３Ａ）の判定出力は、総
合判定回路（１４）に入力される。総合判定回路（１４
）は、電子処理回路（ＩＩＡ）や（１３Ａ）の判定出力
から必要な最終情報出力信号を作成して出力する。この
信号は必要に応じて、図示せずもホスト・コンピュータ
に供給されたり、プリンタに供給されて記録されたり、
或は搬送装置の制御等の為に用いられる。時によっては
、電子処理回路（ＩＩＡ）や（１３４）の判定出力を直
接利用しても良いことは言うまでもない。尚、第４図に
示す如く、ビデオカメラ（４）の画像及び電子処理機（
５）の出力をモニタ（Ｍｌ）に供給し、各ウィンドウを
画像に重複させて表示するようにすれば、装置の動作状
態が容易に確認出来る。

このようにして、容器（１）において模様や文字列等の
有無や、容器（］）の回転角度の相異による模様や文字
列等の現れ方の違いに対して、本発明の検査装置は自在
に対応することが出来る。説明においては、容器の場合
についての１例を示したが、他の物品についても同様に
本発明の主旨に従って応用出来ることは明白であろう。

即ち、ウィンドウの数や、ウィンドウの設定数や処理の
回数は、実施例−にとられれることなく目的に応じて自
在に構成しても良いことは勿論である。

又、矩形のウィンドウによって欠陥の検査の説明を行っ
たが、ウィンドウの形状は自在なもので良く、電子処理
についてもその他の方法として、ウィンドウ内において
形状を判別することや、特定部分の面積を測る等目的に
応じて適切な処理方法を採用して良いことは前述の通り
である。

更に、容器（１）の模様（８）が上述の如く１個ではな
く、複数個の場合は、これと同じ複数個の模様判定用ウ
ィンドウを複数個の模様部分に設定し、第１図に示す模
様判定用ウィンドウ（１０）に対する処理を、これ等複
数個の模様判定用ウィンドウの各々に対して施せばよい
。

又、第１図に示す欠陥検出処理回路（ＩＩＡ）　、　（
１３Ａ）の結果に応じて、模様判定用ウィンドウ（１０
）の設定及びそれ以降の処理と同様の処理を追加しても
よい、更に、この様な処理を多数縦続して行ってもよい
ことは勿論である。

〔発明の効果〕

従来の検査装置において複数のウィンドウを設けた場合
は、その作用は並列的であり結果が一括して処理され、
然かも設定条件は一定であるので、自在性を有していな
い、これに対して本発明における複数のウィンドウの作
用は、夫々が因果関係にあるように設定される。即ち、
特定のウィンドウに定められた電子処理の結果に従って
次に設定される各ウィンドウが選択され、総合的な検査
処理の流れを形作る。

一度、色々な変化条件に対応できるようにウィンドウと
電子処理の方法を確立して置けば、検査される対象物の
物理的或は光学的な変化等に対応して装置が自動的な判
断を下し、柔軟にして適切な総合検査が行えることは、
従来の検査装置には無い本発明の大きな特徴である。

従って種々の製品検査に対する応用範囲が広がり、更に
又検査に際して設定変更の操作の手間が省略出来る等、
実用上の効果は極めて大なるものがある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一例の主要部の構成及び機能を示すブ
ロック図、第２図Ａ、　Ｂ及び第３図Ａ。 Ｂ、Ｃ及びＡ’、Ｂ’、Ｃ’は夫々本発明の詳細な説明
に供する路線図、第４図は本発明が適用される従来例の
路線図、第５図は第４図の電子処理機の構成及び機能を
示すブロック図、第６図は従来例の動作の説明に供する
路線図である。 図に於て、（１）は容器、（２）は照明装置、（３）は
光拡散板、（４）はビデオカメラ、（５）は電子処理機
、（９）は位置決めウィンドウ、（９Ａ）は電子処理回
路、（１０）は模様判定用ウィンドウ、（ＩＯＡ）は明
暗処理回路、（１１１）〜（１１４）、　（１３０〜（
１３，）は検査用ウィンドウ、（１２□）、　（１２□
）は模様判別用ウィンドウ、（ＩＩＡ）は欠陥検出処理
回路、（１２，Ａ）、　（１２□Ａ）は明暗検出及び寸
法処理回路、（１３Ａ）は欠陥検出処理回路、（１４）
は総合判定回路を夫々示す。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、被検体物に照明光を照射し、その反射光若しくは透
   過光をビデオカメラで捕らえて光電変換し、該ビデオカ
   メラが出力する画像信号を電子処理機により解析し、 上記ビデオカメラが捕らえた画像の中に、上記被検査物
   に対して予め定められた位置と形状を有する第１のウィ
   ンドウを設定し、 該第１のウィンドウ内の画像に対して予め定められた第
   １の所定の電子処理を行い、 該第１のウィンドウ内の画像に対して行われた第１の所
   定の電子処理の結果に基づき、上記被検体物に対し、予
   め定められた位置と形状を有する複数個の検査用の第２
   のウィンドウを設定し、 該第２のウィンドウ内の画像に対して予め定められた第
   ２の所定の電子処理を行い、被検査物体に存在する欠陥
   の有無を検出する検査方法において、 上記第１の所定の電子処理の結果に基づき、上記被検査
   物に対し予め定められた位置と形状を有する第３のウィ
   ンドウを設定し、 該第３のウィンドウ内の画像に対して予め定められた第
   ３の所定の電子処理を行い、 該第３の電子処理の結果に基づいて上記第２のウィンド
   ウの一部を変更するか、或は第４のウィンドウを設定し
   、該第４のウィンドウ内の画像に対して予め定められた
   第４の所定の電子処理を行い、該第４の電子処理の結果
   に基づいて上記第２のウィンドウを設定するか、第５の
   ウィンドウを上記第２のウィンドウに加えて設定し、上
   記第２のウィンドウ及び／或は第５のウィンドウ内の画
   像に対して予め定められた第５の所定の電子処理を行い
   、被検査物に存在する欠陥の有無を検査するようになし
   たことを特徴とする検査方法。 ２、被検査物に照明光に照射し、その反射光若しくは透
   過光をビデオカメラで捕られて光電変換し、該ビデオカ
   メラが出力する画像信号を電子処理機により解析し、 上記ビデオカメラが捕られた画像の中に、上記被検査物
   に対して予め定められた位置と形状を有する第１のウィ
   ンドウを設定し、 該第１のウィンドウ内の画像に対して予め定められた第
   １の所定の電子処理を第１の電子処理回路で行い、 該第１のウィンドウ内の画像に対して行われた第１の所
   定の電子処理の結果に基づき、上記被検査物に対し、予
   め定められた位置と形状を有する複数個の検査用の第２
   のウィンドウを設定し、 該第２のウィンドウ内の画像に対して予め定められた第
   ２の所定の電子処理を第２の電子処理回路で行い、被検
   査物に存在する欠陥の有無を検出する検査装置において
   、 上記第１の所定の電子処理の結果に基づき、上記被検査
   物に対し予め定められた位置と形状を有する第３のウィ
   ンドウを設定し、 該第３のウィンドウ内の画像に対して予め定められた第
   ３の所定の電子処理を第３の電子処理回路で行い、 該第３の電子処理の結果に基づいて上記第２のウィンド
   ウの一部を変更するか、或は第４のウィンドウを設定し
   、該第４のウィンドウ内の画像に対して予め定められた
   第４の所定の電子処理を第４の電子処理回路で行い、該
   第４の電子処理の結果に基づいて上記第２のウィンドウ
   を設定するか、第５のウィンドウを設定し、上記第２の
   ウィンドウ及び／或は第５のウィンドウ内の画像に対し
   て予め定められた第５の所定の電子処理を第５の電子処
   理回路で行い、被検査物に存在する欠陥の有無を検査す
   るようになしたことを特徴とする検査装置。 ３、上記第３のウィンドウは上記被検査物に模様が在る
   か否かの模様判定用ウィンドウであることを特徴とする
   上記特許請求の範囲第１項記載の検査方法。 ４、上記第２の所定の電子処理は欠陥検出処理であるこ
   とを特徴とする上記特許請求の範囲第１項記載の検出方
   法。 ５、上記第３の所定の電子処理は明暗判定処理であるこ
   とを特徴とする上記特許請求の範囲第３項記載の検査方
   法。 ６、上記第４のウィンドウは模様判別ウィンドウである
   ことを特徴とする上記特許請求の範囲第１項記載の検査
   方法。 ７、上記模様判別ウィンドウは２個であることを特徴と
   する上記特許請求の範囲第６項記載の検査方法。 ８、上記第４の所定の電子処理は明暗判定及び寸法処理
   であることを特徴とする上記特許請求の範囲第７項記載
   の検査方法。 ９、上記第５のウィンドウは検査用ウィンドウであるこ
   とを特徴とする上記特許請求の範囲第１項記載の検査方
   法。 １０、上記第５の所定の電子処理は欠陥検出処理である
   ことを特徴とする上記特許請求の範囲第１項記載の検査
   方法。 １１、上記第２及び第５の所定の電子処理の結果を総合
   判定処理して欠陥の有無を検査するようになしたことを
   特徴とする上記特許請求の範囲第１項記載の検査方法。 １２、上記第３のウィンドウは上記被検査物に模様が在
   るか否かの模様判定用ウィンドウであることを特徴とす
   る上記特許請求の範囲第２項記載の検査装置。 １３、上記第２の所定の電子処理回路は欠陥検出処理回
   路であることを特徴とする上記特許請求の範囲第２項記
   載の検査装置。 １４、上記第３の所定の電子処理回路は明暗判定処理回
   路であることを特徴とする上記特許請求の範囲第１２項
   記載の検査装置。 １５、上記第４のウィンドウは模様判別ウィンドウであ
   ることを特徴とする上記特許請求の範囲第２項記載の検
   査装置。 １６、上記模様判別ウィンドウは２個であることを特徴
   とする上記特許請求の範囲第１４項記載の検査装置。 １７、上記第４の所定の電子処理回路は明暗判定及び寸
   法処理回路であることを特徴とする上記特許請求の範囲
   第１６項記載の検査装置。 １８、上記第５のウィンドウは検査用ウィンドウである
   ことを特徴とする上記特許請求の範囲第２項記載の検査
   装置。 １９、上記第５の所定の電子処理回路は欠陥検出処理回
   路であることを特徴とする上記特許請求の範囲第２項記
   載の検査装置。 ２０、上記第２及び第５の電子処理回路の出力を総合判
   定回路に供給し欠陥の有無を検査するようになしたこと
   を特徴とする上記特許請求の範囲第２項記載の検査装置
   。