JPH04127436A - バンプの形成方法 - Google Patents
バンプの形成方法Info
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- JPH04127436A JPH04127436A JP2249594A JP24959490A JPH04127436A JP H04127436 A JPH04127436 A JP H04127436A JP 2249594 A JP2249594 A JP 2249594A JP 24959490 A JP24959490 A JP 24959490A JP H04127436 A JPH04127436 A JP H04127436A
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Links
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/11—Manufacturing methods
Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、半導体装置を7リツプチツプボンデイングに
より実装する際の半田バンプの形成方法に関するもので
、融点の高い半田バンプの形成に特に有用なものである
。
より実装する際の半田バンプの形成方法に関するもので
、融点の高い半田バンプの形成に特に有用なものである
。
(従来の技術)
近年、半導体装置の接続端子数は増加の傾向にあり、L
、SIチップの全面に接続端子を設ける7リツプチツプ
ボンデイング方式が広く使用されている、その接続端子
の形態によってボール方式。
、SIチップの全面に接続端子を設ける7リツプチツプ
ボンデイング方式が広く使用されている、その接続端子
の形態によってボール方式。
ペデスタル方式、バンプ方式等があるが、バンプ方式が
一般に使用され、バンプの材料としてはAt、Cu、A
g、Sn、Pb又は半田等が使用さレル。
一般に使用され、バンプの材料としてはAt、Cu、A
g、Sn、Pb又は半田等が使用さレル。
本発明はこの半田バンブの形成方法の改良に係るもので
ある。半田バンプは、−船釣に、LSIチップの電極パ
ッド上に電解めっき法や蒸着法等によって形成される。
ある。半田バンプは、−船釣に、LSIチップの電極パ
ッド上に電解めっき法や蒸着法等によって形成される。
第2図(a)及び(b)はその形成方法の一例の工程を
示すものである。第2図(a)において、半導体基板1
の表面には集積回路が形成されており、その電極パッド
2の上部にバリアメタルl#4を介して耳状の半田層7
が形成されている。電極パッド2以外の表面は絶縁層8
によって被覆されている。半田層7の成分がSn:Pb
=6:4の共晶組成(融点:188℃)の場合、前記の
半田層7を還元力を有する有機溶剤、例えばグリセリン
の高温溶液(温度;200℃以上)に浸漬するグリセリ
ン法を用い、−旦半田の融点以上に加熱し冷却するウェ
ットパック法により、表面張力を利用してvJ2図(b
)に示されるように半田層7を半球状にしてバンプを形
成していた。
示すものである。第2図(a)において、半導体基板1
の表面には集積回路が形成されており、その電極パッド
2の上部にバリアメタルl#4を介して耳状の半田層7
が形成されている。電極パッド2以外の表面は絶縁層8
によって被覆されている。半田層7の成分がSn:Pb
=6:4の共晶組成(融点:188℃)の場合、前記の
半田層7を還元力を有する有機溶剤、例えばグリセリン
の高温溶液(温度;200℃以上)に浸漬するグリセリ
ン法を用い、−旦半田の融点以上に加熱し冷却するウェ
ットパック法により、表面張力を利用してvJ2図(b
)に示されるように半田層7を半球状にしてバンプを形
成していた。
耐熱性を要する半導体装置には高融点の半田を使用する
必要がある。例えば半田の組成比がsn:Pb=5:9
5のような高融点半田をバンプとして使用する場合、そ
の融点(805℃)はグリセリンの沸点(290℃)以
上になるため、グリセリン法によるウェットパックは行
えない。そのため、高融点半田のウェットパックには、
リフロー炉を使用することが多い。
必要がある。例えば半田の組成比がsn:Pb=5:9
5のような高融点半田をバンプとして使用する場合、そ
の融点(805℃)はグリセリンの沸点(290℃)以
上になるため、グリセリン法によるウェットパックは行
えない。そのため、高融点半田のウェットパックには、
リフロー炉を使用することが多い。
(発明が解決しようとする課題)
前述のように、高融点半田を用いたバンプを、す70−
炉を使用して、ウェットパックにより形成する場合は、
適当なフラックスを塗布した第2図(8)の状態のウェ
ーハを、約820℃MAXの温度プロファイルを有する
リフロー炉に通し、その後溶剤によってフラックスの洗
浄を行わなければならない。そのため、洗浄不良による
フラックス残渣の影響でLSIの電気的な信頼性が低下
する危険性があり、歩留り低下を来す原因となっていた
。
炉を使用して、ウェットパックにより形成する場合は、
適当なフラックスを塗布した第2図(8)の状態のウェ
ーハを、約820℃MAXの温度プロファイルを有する
リフロー炉に通し、その後溶剤によってフラックスの洗
浄を行わなければならない。そのため、洗浄不良による
フラックス残渣の影響でLSIの電気的な信頼性が低下
する危険性があり、歩留り低下を来す原因となっていた
。
(課題を解決するための手段)
前述の課題を解決するため、本発明においては、バンプ
材料として高融点半田を用い、加圧した高温の還元力を
有する有機溶剤浴を行ってウェットパックを施した。
材料として高融点半田を用い、加圧した高温の還元力を
有する有機溶剤浴を行ってウェットパックを施した。
(作 用〕
加圧された有機溶剤はその沸点が上昇するため、その圧
力を調節することにより、高融点半田の融点以上にその
沸点を制御できるから、常圧では使用できなかった有機
溶剤中でも、ウェットパックを行うことができる。
力を調節することにより、高融点半田の融点以上にその
沸点を制御できるから、常圧では使用できなかった有機
溶剤中でも、ウェットパックを行うことができる。
(実施例)
第1図(a)乃至(f)は本発明の一実施例の各工程を
示す略断面図である。従来の方法と異なる所はウェット
パックの工程である。
示す略断面図である。従来の方法と異なる所はウェット
パックの工程である。
まず、第1図(a) K示されるように、半導体基板1
の表面に形成された集積回路の全面を被覆する絶縁層8
に、電極パッド2の表面を露出するように、窓を設ける
。
の表面に形成された集積回路の全面を被覆する絶縁層8
に、電極パッド2の表面を露出するように、窓を設ける
。
次に第1図(b)に示されるように、全面にバリアメタ
ル層4を、例えばスパッタリングにより形成する。バリ
アメタルとしては、Ti、Cu等が使用される。
ル層4を、例えばスパッタリングにより形成する。バリ
アメタルとしては、Ti、Cu等が使用される。
次に第1図(c)VC示されるように、全面に塗布され
たフォトレジス)6fCS[極パッド2の表面のみ開口
するように、パターニングする。
たフォトレジス)6fCS[極パッド2の表面のみ開口
するように、パターニングする。
次に第1図(d)K示されるように、例えば電解めっき
により、電極パッド2上に高融点半田層6を堆積する。
により、電極パッド2上に高融点半田層6を堆積する。
次に7オトレジスト5を剥離し、さらに半田めっき部以
外のバリアメタルをエツチングにより除去すると、第1
図(e)VC示される状態となる。これは第2図(a)
に対応する。
外のバリアメタルをエツチングにより除去すると、第1
図(e)VC示される状態となる。これは第2図(a)
に対応する。
次に8 atm、 820℃のグリセリン浴に浸漬して
、高融点半田層6をウェットパックすると、第1図(f
)に示されるような形伏となる。これは第2図(b)に
対応する。
、高融点半田層6をウェットパックすると、第1図(f
)に示されるような形伏となる。これは第2図(b)に
対応する。
(発明の効果)
以上のように、本発明によれば高融点半田のウェットパ
ックを、リフロー炉によらずグリセリン浴中で行えるた
め、工程が簡単であり、しかもフラックスを使用しない
ため、フラックス残渣によるLSI素子特性の低下がな
く、信頼性を大幅に向上することができる。
ックを、リフロー炉によらずグリセリン浴中で行えるた
め、工程が簡単であり、しかもフラックスを使用しない
ため、フラックス残渣によるLSI素子特性の低下がな
く、信頼性を大幅に向上することができる。
第1図(a)乃至(f)は本発明の一実施例の各工程の
略断面図、第2図(a) r (b)はそれぞれ従来の
半田バンプのウェットパックの前後を示す略断面図であ
る。 l・・・半導体基板、2・・・電極パッド、8・・・絶
縁層、4・・・バリアメタル層、5・・・フォトレジス
ト、6・・・高融点半田層、7・・・半田層 (り 第 (a) 纂 (e)
略断面図、第2図(a) r (b)はそれぞれ従来の
半田バンプのウェットパックの前後を示す略断面図であ
る。 l・・・半導体基板、2・・・電極パッド、8・・・絶
縁層、4・・・バリアメタル層、5・・・フォトレジス
ト、6・・・高融点半田層、7・・・半田層 (り 第 (a) 纂 (e)
Claims (1)
- 1、半導体基板の表面に形成した集積回路の電極パッド
上に形成した高融点半田層を、加圧した高温の還元力を
有する有機溶剤を用いてウェットパックすることを特徴
とするバンプの形成方法
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2249594A JPH04127436A (ja) | 1990-09-18 | 1990-09-18 | バンプの形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2249594A JPH04127436A (ja) | 1990-09-18 | 1990-09-18 | バンプの形成方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04127436A true JPH04127436A (ja) | 1992-04-28 |
Family
ID=17195341
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2249594A Pending JPH04127436A (ja) | 1990-09-18 | 1990-09-18 | バンプの形成方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04127436A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1996008337A1 (de) * | 1994-09-15 | 1996-03-21 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Verfahren zur belotung von anschlussflächen, sowie verfahren zur herstellung einer lotlegierung |
US6461953B1 (en) | 1998-08-10 | 2002-10-08 | Fujitsu Limited | Solder bump forming method, electronic component mounting method, and electronic component mounting structure |
-
1990
- 1990-09-18 JP JP2249594A patent/JPH04127436A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1996008337A1 (de) * | 1994-09-15 | 1996-03-21 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Verfahren zur belotung von anschlussflächen, sowie verfahren zur herstellung einer lotlegierung |
US6070788A (en) * | 1994-09-15 | 2000-06-06 | Fraunhofer-Gesellschaft Zur Forderung Der Angewandten Forschung E.V. | Method of soldering terminal faces, as well as a method of manufacturing a solder alloy |
US6461953B1 (en) | 1998-08-10 | 2002-10-08 | Fujitsu Limited | Solder bump forming method, electronic component mounting method, and electronic component mounting structure |
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