JPH04100681A - エネルギビーム加工方法 - Google Patents
エネルギビーム加工方法Info
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- JPH04100681A JPH04100681A JP2214404A JP21440490A JPH04100681A JP H04100681 A JPH04100681 A JP H04100681A JP 2214404 A JP2214404 A JP 2214404A JP 21440490 A JP21440490 A JP 21440490A JP H04100681 A JPH04100681 A JP H04100681A
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- 238000003754 machining Methods 0.000 title abstract description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 title description 7
- 238000003672 processing method Methods 0.000 claims description 9
- 238000005336 cracking Methods 0.000 abstract description 4
- 238000009826 distribution Methods 0.000 abstract description 2
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 abstract 2
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
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- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Welding Or Cutting Using Electron Beams (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、エネルギビーム加工方法に関し、さらに詳
しくいうと、レーザや電子ビームなどエネルギビームに
よる加工方法に関するものである。
しくいうと、レーザや電子ビームなどエネルギビームに
よる加工方法に関するものである。
第２図は、例えば日本精密工学会誌、第５４巻、第１１
号（１９８８） １１８〜１２３ページに示された従来
の電子ビームによる加工方法を示す模式図である。同図
（＾）において、（１１）は電子ビーム、（１２）およ
び（１３）はこの電子ビーム（１１）を集束あるいは偏
向するための集束レンズおよび偏向レンズ、（１４）は
被加工物、（１５）は偏向レンズ（１３）により電子ビ
ーム（１１）が走査され加工がなされる加工領域、また
、同図（Ｂ）は加工領域（１５）内における加工手順を
示す。
号（１９８８） １１８〜１２３ページに示された従来
の電子ビームによる加工方法を示す模式図である。同図
（＾）において、（１１）は電子ビーム、（１２）およ
び（１３）はこの電子ビーム（１１）を集束あるいは偏
向するための集束レンズおよび偏向レンズ、（１４）は
被加工物、（１５）は偏向レンズ（１３）により電子ビ
ーム（１１）が走査され加工がなされる加工領域、また
、同図（Ｂ）は加工領域（１５）内における加工手順を
示す。
次に加工方法について説明する。第２図において、電子
ビーム（１１）は、集束レンズ（１２）によって被加工
物（１４）表面近傍に焦点を結ぶよう絞られたのちパル
ス照射される。第１の照射点（１）への照射が終了する
と偏向レンズ（１３）には第２の照射点（２）への信号
が与えられ、再び照射が行われる。
ビーム（１１）は、集束レンズ（１２）によって被加工
物（１４）表面近傍に焦点を結ぶよう絞られたのちパル
ス照射される。第１の照射点（１）への照射が終了する
と偏向レンズ（１３）には第２の照射点（２）への信号
が与えられ、再び照射が行われる。
このようにして終了点（Ｎ）までのビーム照射が加工領
域（１５）内で順次繰り返される。ここで、１回のビー
ム照射で加工が完了しない場合には、複数回のビーム照
射が必要である。このため、同様の手順で所定回数繰り
返し照射することによってすべての加工が完了する。
域（１５）内で順次繰り返される。ここで、１回のビー
ム照射で加工が完了しない場合には、複数回のビーム照
射が必要である。このため、同様の手順で所定回数繰り
返し照射することによってすべての加工が完了する。
以上のような従来のエネルギビーム加工方法では、被加
工物表面上の加工範囲にのみビーム照射していたため、
加工領域と非加工領域との温度差が大きくなる結果、内
部応力によって被加工物に歪みあるいは割れが発生する
おそれがあった。したがって、非加工領域の温度上昇を
待った後にビーム照射しなければならず、トータルの加
工時間が長くなる原因となっていた。
工物表面上の加工範囲にのみビーム照射していたため、
加工領域と非加工領域との温度差が大きくなる結果、内
部応力によって被加工物に歪みあるいは割れが発生する
おそれがあった。したがって、非加工領域の温度上昇を
待った後にビーム照射しなければならず、トータルの加
工時間が長くなる原因となっていた。
この発明は、上記のような問題点を解消するためになさ
れたもので、被加工物の歪みや割れを発生させずに短時
間で加工できるエネルギビーム加工方法を得ることを目
的とする。
れたもので、被加工物の歪みや割れを発生させずに短時
間で加工できるエネルギビーム加工方法を得ることを目
的とする。
この発明に係るエネルギビーム加工方法は、加工しない
部位にもビームを調節、照射するようにした。
部位にもビームを調節、照射するようにした。
この発明においては、被加工物における単位体積当たり
の発熱量を均一に制御する。
の発熱量を均一に制御する。
以下、この発明の一実施例を第１図について説明する１
図において、電子ビーム（１１）は被加工物（１４）の
加工領域（１５）以外の部分である非加工領域（１６）
にも照射されることを示している。
図において、電子ビーム（１１）は被加工物（１４）の
加工領域（１５）以外の部分である非加工領域（１６）
にも照射されることを示している。
加工手順は、まず、加工領域（１５）内への第１回目の
ビーム照射が終了した時点で、集束レンズ（１２）によ
り電子ビーム（１１）の焦点位置を変更するとともに、
偏向レンズ（１３）によって非加工領域〈１６）に偏向
照射される６次いで、必要に応じて同様の手順で繰り返
しビーム照射を行ってゆく。
ビーム照射が終了した時点で、集束レンズ（１２）によ
り電子ビーム（１１）の焦点位置を変更するとともに、
偏向レンズ（１３）によって非加工領域〈１６）に偏向
照射される６次いで、必要に応じて同様の手順で繰り返
しビーム照射を行ってゆく。
このとき、非加工領域（１６）へのビーム照射量および
照射時間は、加工領域（１５）での実効的な温度上昇を
もとに決定し調節される。
照射時間は、加工領域（１５）での実効的な温度上昇を
もとに決定し調節される。
なお、上記実施例では電子ビームによる加工方法につい
て説明したが、他のエネルギビーム、例えばレーザやイ
オンビームによる加工であってもよい、また、非加工領
域へのビーム照射について、加工が行われないように焦
点位置を変更した例を示したが、焦点位置は一定でビー
ムの高速走査によって非加工領域を走査するようにして
もよい。
て説明したが、他のエネルギビーム、例えばレーザやイ
オンビームによる加工であってもよい、また、非加工領
域へのビーム照射について、加工が行われないように焦
点位置を変更した例を示したが、焦点位置は一定でビー
ムの高速走査によって非加工領域を走査するようにして
もよい。
さらに、加工の終了以前に非加工領域へのビーム照射を
行ってもよく、被加工物内の、加工する部分としない部
分との温度分布をほぼ均一に維持するよう調節照射すれ
ば上記実施例と同様の効果を奏する。
行ってもよく、被加工物内の、加工する部分としない部
分との温度分布をほぼ均一に維持するよう調節照射すれ
ば上記実施例と同様の効果を奏する。
以上のように、この発明によれば、非加工領域も適切に
ビーム照射することにより、被加工物の歪みや割れを防
止しつつ短い時開で加工できるため、加工時間が大幅に
短縮するという効果が得られる。
ビーム照射することにより、被加工物の歪みや割れを防
止しつつ短い時開で加工できるため、加工時間が大幅に
短縮するという効果が得られる。
第１図はこの発明の一実施例を説明するための（＾）立
面図と（Ｂ）模式図、第２図は従来のエネルギビーム加
工方法を説明するなるの（＾）一部断面斜視図と（Ｂ）
模式図である。 （１１）・・電子ビーム、（１２）・・集束レンズ、（
１３）・・偏向レンズ、（１４）・・被加工物、（１５
）・・加工領域、（１６）・・非加工領域。 なお、各図中、同一符号は同−又は相当部分を示す。 昂１国 （Ａ） （Ｂ）
面図と（Ｂ）模式図、第２図は従来のエネルギビーム加
工方法を説明するなるの（＾）一部断面斜視図と（Ｂ）
模式図である。 （１１）・・電子ビーム、（１２）・・集束レンズ、（
１３）・・偏向レンズ、（１４）・・被加工物、（１５
）・・加工領域、（１６）・・非加工領域。 なお、各図中、同一符号は同−又は相当部分を示す。 昂１国 （Ａ） （Ｂ）
Claims (1)
- 少なくとも１軸のビーム偏向手段を有するエネルギビ
ーム加工機を用い、被加工物の加工する部分と加工しな
い部分へのエネルギビーム照射量をそれぞれ調節しつつ
偏向照射するエネルギビーム加工方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2214404A JP2713498B2 (ja) | 1990-08-15 | 1990-08-15 | エネルギビーム加工方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2214404A JP2713498B2 (ja) | 1990-08-15 | 1990-08-15 | エネルギビーム加工方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04100681A true JPH04100681A (ja) | 1992-04-02 |
| JP2713498B2 JP2713498B2 (ja) | 1998-02-16 |
Family
ID=16655234
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2214404A Expired - Fee Related JP2713498B2 (ja) | 1990-08-15 | 1990-08-15 | エネルギビーム加工方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2713498B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002321071A (ja) * | 2001-04-26 | 2002-11-05 | Sankei Giken Kogyo Co Ltd | メタルハニカム担体の溶接方法 |
-
1990
- 1990-08-15 JP JP2214404A patent/JP2713498B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002321071A (ja) * | 2001-04-26 | 2002-11-05 | Sankei Giken Kogyo Co Ltd | メタルハニカム担体の溶接方法 |
| JP4686051B2 (ja) * | 2001-04-26 | 2011-05-18 | 三恵技研工業株式会社 | メタルハニカム担体の溶接方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2713498B2 (ja) | 1998-02-16 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |