JPH0397309A - Noise filter - Google Patents

Abstract

PURPOSE:To cross internal electrodes, to reduce the opposite area of electrodes and to decrease the static capacitance by adopting a structure comprising at least two layers including a 1st electrode layer baked integrally with a sintered body and a 2nd electrode layer made of a low melting point metal injected after sintering of the sintered body for internal electrode. CONSTITUTION:External electrodes 19-26 are formed to an outer surface of a sintered body 2. The external electrodes 19-26 are formed by providing a metallic paste including carbon powder to a prescribed area and baking it and are porous in this stage. Then the sintered body formed with porous external electrodes 19-26 is placed under pressure reduction state, immersed in a molten low melting point metal in this state and then pressured. Thus, the low melting point metal is injected into space formed with the carbon paste film 39 of the sintered body 2 through the porous external electrodes 19-26 to form a 2nd electrode layer 37. Moreover, in this case the holes of the external electrodes 19-26 are field by the low melting point metal.

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は、ノイズフィルタに関するもので、特に、バ
リスタ機能を有するノイズフィルタに関するものである
。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a noise filter, and particularly to a noise filter having a varistor function.

［従来の技術］ 近年、マイクロコンピュータの発達により、産業用、家
庭用、等のあらゆる機器にマイクロコンピュータが搭載
されるようになってきた。しかし、このような機器にお
いては、ディジタル制御処理を用いるため、ノイズによ
って、誤動作、破壊が生じる危険があり、実際に、この
原因による事故等も発生している。機器へのノイズの侵
入経路の多くは、電源部分および信号配線部分であり、
これら電源および信号の人出力部において用いられるノ
イズフィルタが重要視されている。[Background Art] In recent years, with the development of microcomputers, microcomputers have come to be installed in all types of equipment for industrial use, home use, etc. However, since such devices use digital control processing, there is a risk of malfunction or destruction due to noise, and accidents have actually occurred due to this cause. Most of the routes for noise to enter equipment are through the power supply section and signal wiring section.
Noise filters used in these power supplies and signal output sections are considered important.

ノイズフィルタには、コンデンサ、コンデンサーインダ
クタ複合、インダクタ、およびバリスタの４系統の種類
がある。There are four types of noise filters: capacitors, capacitor-inductor composites, inductors, and varistors.

信号ライン用ノイズフィルタとして、たとえば、数ｐＦ
〜数１　０　０　ｐ　Ｆのコンデンサのチップまたはこ
のようなコンデンサを複数個備えるコンデンサアレイが
用いられていた。しかしながら、このようなコンデンサ
を用いたノイズフィルタは、微小ノイズまたはホワイト
ノイズを吸収するのに適しているが、静電気のような高
電圧型パルスを吸収できず、機器の誤動作および破壊を
完全には防ぐことができなかった。同様のことが、イン
ダクタを用いたノイズフィルタについても言える。As a signal line noise filter, for example, several pF
A capacitor array including a chip of a capacitor of up to several 100 pF or a plurality of such capacitors has been used. However, although noise filters using such capacitors are suitable for absorbing minute noise or white noise, they cannot absorb high-voltage pulses such as static electricity, and cannot completely prevent equipment malfunction and destruction. Couldn't prevent it. The same thing can be said about noise filters using inductors.

他方、たとえばＺｎＯ系バリスタを用いたノイズフィル
タは、トランジエントノイズを吸収するのに適している
。しかしながら、バリスタによるノイズフィルタは、高
周波ラインにおけるノイズ除去には適していない、とい
う問題がある。これは、バリスタの静電容量が大きいこ
とに起因する。On the other hand, a noise filter using, for example, a ZnO-based varistor is suitable for absorbing transient noise. However, there is a problem in that a noise filter using a varistor is not suitable for removing noise in a high frequency line. This is due to the large capacitance of the varistor.

すなわち、バリスタの静電容量は、たとえば数ｌ００ｐ
Ｆから数ｎＦの範囲であるが、静電容量がこれほどの大
きさを有すると、高周波ライン、たとえば信号周波数が
４００ｋＨｚ以上の高周波ラインでは、ノイズのみなら
ず、信号波および搬送波まで吸収してしまうからである
。したがって、バリスタは、高周波ラインのノイズ除去
には用いられず、たとえば、電源ラインなど、低周波域
でのノイズ除去に用いられている。That is, the capacitance of the varistor is, for example, several 100p.
However, if the capacitance is this large, it will absorb not only noise but also signal waves and carrier waves in high frequency lines, for example, high frequency lines with signal frequencies of 400 kHz or higher. This is because it will be put away. Therefore, varistors are not used to remove noise in high frequency lines, but are used to remove noise in low frequency ranges, such as power lines, for example.

［発明が解決しようとする課題］ 上述したように、バリスタによるノイズフィルタは、そ
れが適切に向けられる用途が限られているが、一方では
、バリスタが有する誘電体特性を有効に活用して、たと
えば信号用フィルタとして、コンデンサまたはインダク
タによるフィルタ以上の効果を持つようなノイズフィル
タの実現が望まれる。[Problems to be Solved by the Invention] As mentioned above, noise filters using varistors have limited applications for which they can be appropriately applied. For example, as a signal filter, it is desired to realize a noise filter that is more effective than a filter using a capacitor or an inductor.

バリスタによるノイズフィルタにおける主たる欠点は、
前述したように、静電容量が大きいことである。静電容
量を小さくするためには、容量形成に寄与する電極の面
積を小さくする必要があり、また、このような電極を多
層に重ねることもできない。また、電極は、バリスタ特
性を有する焼結体の内部に形成されるが、そのような電
極は、焼結時に生じる粒或長に伴ない、切れたりするこ
とが多く、それゆえ、安定した特性を得ることが困難で
ある。このことは、電極の面積が小さい場合や、″Ｉｓ
極を多層に重ねることができない場合において、特に顕
著になる。また、焼結体の内部に形成される上述した内
部電極が対向する部分は、焼結体の焼結時に外気に触れ
ないため、外気に触れる焼結体の外層部分と反応状態が
異なり、そのため、ストレスが加わりやすく、サージ等
に耐えられないことがある。さらに、バリスタにおける
不良モードがショートとなるため、このように不良が発
生した場合には、ノイズフィルタが用いられる機器の破
壊につながる可能性がある。The main disadvantage of varistor noise filters is that
As mentioned above, the capacitance is large. In order to reduce capacitance, it is necessary to reduce the area of electrodes that contribute to capacitance formation, and it is also impossible to stack such electrodes in multiple layers. In addition, electrodes are formed inside a sintered body that has varistor properties, but such electrodes often break due to the length of grains that occur during sintering, and therefore do not have stable characteristics. is difficult to obtain. This is true when the area of the electrode is small or when
This is particularly noticeable when it is not possible to stack the poles in multiple layers. In addition, since the part formed inside the sintered body and facing the internal electrodes described above does not come into contact with the outside air during sintering of the sintered body, the reaction state is different from the outer layer part of the sintered body that is exposed to the outside air. , stress is easily applied, and it may not be able to withstand surges, etc. Furthermore, since the failure mode in the varistor is a short circuit, if such a failure occurs, it may lead to destruction of the equipment in which the noise filter is used.

それゆえに、この発明の目的は、上述した問題点を解消
しながら、バリスタが有する誘電体特性を有効に活用し
て、信号用フィルタとしても使用することが可能なノイ
ズフィルタを提供しようとすることである。Therefore, an object of the present invention is to provide a noise filter that can be used as a signal filter by effectively utilizing the dielectric properties of a varistor while solving the above-mentioned problems. It is.

［課題を解決するための手段］ この発明にかかるノイズフィルタは、バリスタ特性を有
する焼結体を備える。この焼結体の内部には、非同一平
面上で交差する少なくとも２つの内部電極が形或される
。これら内部電極は、各々の両端部が焼結体の外表面に
到達するように形成され、焼結体を貫通する状態とされ
る。また、各内部電極は、焼結体と一体焼結した第１の
電極層、および焼結体の焼結後に注入される低融点金属
からなる第２の電極層を含む少なくとも２層からなる構
造を有する。[Means for Solving the Problems] A noise filter according to the present invention includes a sintered body having varistor characteristics. At least two internal electrodes intersecting on non-coplanar surfaces are formed inside the sintered body. These internal electrodes are formed so that both ends thereof reach the outer surface of the sintered body, and penetrate through the sintered body. Furthermore, each internal electrode has a structure consisting of at least two layers, including a first electrode layer integrally sintered with the sintered body, and a second electrode layer made of a low melting point metal injected after sintering the sintered body. has.

なお、上述した第２の電極層を構成する低融点金属とし
ては、鉛または鉛を主或分とした金属が有利に用いられ
る。Note that lead or a metal containing lead as a main component is advantageously used as the low melting point metal constituting the second electrode layer.

［発明の作用および効果］ この発明によれば、内部電極を交差させるので、電極の
対向面積が小さくなり、静電容量を小さくすることがで
きる。[Operations and Effects of the Invention] According to the present invention, since the internal electrodes cross each other, the opposing area of the electrodes becomes smaller, and the capacitance can be reduced.

また、内部電極が非同一平面上に位置して、積層状態と
されているので、バリスタ動作電圧を低くすることがで
き、回路保護効果が高くなる。Furthermore, since the internal electrodes are located on non-coplanar surfaces and are in a laminated state, the varistor operating voltage can be lowered and the circuit protection effect is enhanced.

また、バリスタ特性を与える部分が分布型で形成される
ため、不要インダクタンスが小さくなり、バリスタ応答
性が高くなる。Furthermore, since the portion that provides varistor characteristics is formed in a distributed manner, unnecessary inductance is reduced and varistor responsiveness is increased.

また、この発明にかかるノイズフィルタは、コンデンサ
としてのノイズ吸収効果と、バリスタとしてのノイズ吸
収効果を併せ持つため、幅広いノイズ吸収が可能である
。たとえば、この発明にかかるノイズフィルタは、前述
したように静電容量が小さいため、ライン間フィルタと
して信号ラインに使用できるとともに、通常のコンデン
サによるフィルタと異なり、トランジェントノイズの吸
収も可能なため、機器の破壊等を防止できるようになる
。Further, the noise filter according to the present invention has both the noise absorption effect as a capacitor and the noise absorption effect as a varistor, and therefore can absorb a wide range of noises. For example, as mentioned above, the noise filter according to the present invention has a small capacitance, so it can be used as a line-to-line filter for signal lines, and unlike ordinary capacitor-based filters, it can also absorb transient noise, so it can be used in equipment. It becomes possible to prevent the destruction, etc.

さらに、この発明にかかるノイズフィルタに備える内部
電極は、焼結体と一体焼結した第１の電極層、および焼
結体の焼結後に注入される低融点金属からなる第２の電
極層を備える。このような構成によれば、次のような効
果が得られる。Furthermore, the internal electrode provided in the noise filter according to the present invention includes a first electrode layer integrally sintered with the sintered body, and a second electrode layer made of a low melting point metal injected after the sintered body is sintered. Be prepared. According to such a configuration, the following effects can be obtained.

まず、第２の電極層は、焼結体の焼結後に注入されて形
成されるものであるため、焼結体の焼結時における粒或
長に伴なって第１の電極層が切れることがあっても、第
２の電極層がこれを補うため、全体として見たとき、製
造時において内部電極が切れることがない。したがって
、安定した特性のノイズフィルタを得ることができる。First, since the second electrode layer is formed by being injected after the sintered body is sintered, the first electrode layer may be cut due to grain length during sintering of the sintered body. Even if there is, the second electrode layer compensates for this, so when viewed as a whole, the internal electrodes will not break during manufacturing. Therefore, a noise filter with stable characteristics can be obtained.

それゆえに、良品率が高くなり、その結果、コストが低
減される。Therefore, the rate of non-defective products increases, and as a result, costs are reduced.

また、大きなサージが人来した場合、発熱により、第２
の電極層を構或する低融点金属が溶けるとともに、第１
の電極層を同時に取込み、その結果、内部電極が切断さ
れることによって、当該ノイズフィルタは、オーブン状
態となる。すなわち、この発明にかかるノイズフィルタ
は、ヒューズ機能を有することになり、機器を保護する
ことができる。In addition, if a large surge hits people, fever may cause a second outbreak.
As the low melting point metal constituting the electrode layer melts, the first
The noise filter becomes in an oven state by simultaneously taking in the electrode layers of the noise filter and cutting the internal electrodes as a result. That is, the noise filter according to the present invention has a fuse function and can protect equipment.

また、第２の電極層は、焼結体の焼結後に形戊されるも
のであるため、焼結体には、第２の電極層を形成するた
めに必要な空間が内部に形成されていることになる。し
たがって、焼結体を焼結する段階において、当該焼結体
は、内部まで均一に焼結されることができるため、サー
ジ耐量が上昇する。Furthermore, since the second electrode layer is formed after the sintered body is sintered, the sintered body does not have the space necessary to form the second electrode layer inside. There will be. Therefore, in the step of sintering the sintered body, the sintered body can be uniformly sintered to the inside, so that the surge resistance increases.

また、この発明にかかるノイズフィルタは、故障モード
がオーブンであるため、その影響が機器の破壊につなが
ることがない。Further, since the noise filter according to the present invention has an oven failure mode, its influence does not lead to destruction of the equipment.

［実施例］ 第１図には、この発明の一実施例によるノイズフィルタ
１の外観が斜視図で示されている。ノイズフィルタ１は
、第２図に単独で示すような焼結体２を備える。焼結体
２は、バリスタ特性を有するセラミックから構成される
。焼結体２は、第３図に分解して示すような複数のセラ
ミック層３，４，５．６を積層して得られるものである
。セラミック層３〜６は、焼結したときバリスタ特性を
与えるセラミックから構成される。[Embodiment] FIG. 1 shows a perspective view of the external appearance of a noise filter 1 according to an embodiment of the present invention. The noise filter 1 includes a sintered body 2 as shown alone in FIG. The sintered body 2 is made of ceramic having varistor properties. The sintered body 2 is obtained by laminating a plurality of ceramic layers 3, 4, 5.6 as shown exploded in FIG. Ceramic layers 3-6 are composed of ceramics that, when sintered, provide varistor properties.

以下に、ノイズフィルタ１の構造について、より詳細に
説明する。Below, the structure of the noise filter 1 will be explained in more detail.

特に第３図によく示されているように、セラミック層４
上には、その一方側縁７から他方側縁８にまで延びる、
たとえば３つの内部電極９，　　１０．１１が形成され
る。また、セラミック層５上には、その一方端縁１２か
ら他方端縁１３にまで延びる内部電極１４が形成される
。したがって、セラミック層３〜６が積層され、たとえ
ば第２図に示すような焼結体２の状態とされたときには
、内部電極９〜１１と内部電極１４とは、非同一平面上
で交差する状態となる。また、内部電極９〜１１の各々
の両端部は、焼結体２の側面１５および１６に到達し、
ここで露出する。他方、内部電極１４の両端部は、焼結
体２の端面１７および１８にそれぞれ到達し、ここにお
いて露出する。As best shown in FIG. 3, the ceramic layer 4
At the top, extending from one side edge 7 to the other side edge 8,
For example, three internal electrodes 9, 10.11 are formed. Further, an internal electrode 14 is formed on the ceramic layer 5 and extends from one edge 12 to the other edge 13 thereof. Therefore, when the ceramic layers 3 to 6 are stacked to form a sintered body 2 as shown in FIG. becomes. Further, both ends of each of the internal electrodes 9 to 11 reach side surfaces 15 and 16 of the sintered body 2,
Get exposed here. On the other hand, both ends of the internal electrode 14 reach end faces 17 and 18 of the sintered body 2, respectively, and are exposed there.

焼結体２の各端面１７および１８を覆うように、第１図
に示すように、外部電極１つおよび２０がそれぞれ形成
される。外部電極１つおよび２０は、内部電極１４の各
端部に電気的に接続される。他方、焼結体２の各側面１
５および１６上には、それぞれ、外部電極２１および２
２、２３および２４、ならびに２５および２６が形或さ
れる。外部電極２１および２２は、内部電極９の各端部
とそれぞれ電気的に接続される。また、外部電極２３お
よび２４は、内部電極１０の各端部とそれぞれ電気的に
接続される。さらに、外部電極２５および２６は、内部
電極１１の各端部とそれぞれ電気的に接続される。As shown in FIG. 1, one external electrode and 20 are formed to cover each end surface 17 and 18 of the sintered body 2, respectively. External electrodes 1 and 20 are electrically connected to each end of internal electrode 14 . On the other hand, each side 1 of the sintered body 2
External electrodes 21 and 2 are provided on 5 and 16, respectively.
2, 23 and 24, and 25 and 26. External electrodes 21 and 22 are electrically connected to each end of internal electrode 9, respectively. Furthermore, the external electrodes 23 and 24 are electrically connected to each end of the internal electrode 10, respectively. Furthermore, external electrodes 25 and 26 are electrically connected to each end of internal electrode 11, respectively.

第１図に示したノイズフィルタ１は、第４図に示すよう
な等価回路を与える。第４図において、第１図ないし第
３図に示した要素に相当する要素には、同様の参照番号
を付している。第４図に示すように、外部電極１９およ
び２０は、それぞれ、アースに接続される。したがって
、内部電極１４には、アース電位が与えられる。また、
外部電極２１および２２は、第１の信号ラインの入力側
２７ａおよび出力側２７ｂにそれぞれ接続される。The noise filter 1 shown in FIG. 1 provides an equivalent circuit as shown in FIG. In FIG. 4, elements corresponding to those shown in FIGS. 1 to 3 are given the same reference numerals. As shown in FIG. 4, external electrodes 19 and 20 are each connected to ground. Therefore, the internal electrode 14 is given a ground potential. Also,
External electrodes 21 and 22 are connected to the input side 27a and output side 27b of the first signal line, respectively.

外部電極２３および２４は、第２の信号ラインの入力側
２８ａおよび出力側２８ｂにそれぞれ接続される。さら
に、外部電極２５および２６は、第３の信号ラインの入
力側２９ａおよび２９ｂにそれぞれ接続される。External electrodes 23 and 24 are connected to the input side 28a and output side 28b of the second signal line, respectively. Furthermore, external electrodes 25 and 26 are connected to input sides 29a and 29b of the third signal line, respectively.

内部電極１４を共通にして、この内部電極１４と内部電
極９とが交差する部分には、静電容量３０とバリスタ特
性を与える電圧非直線性抵抗３１とが形成される。また
、内部電極１４と内部電極１０とが交差する部分には、
静電容ｆｆｉ３２と電圧非直線性抵抗３３とが形成され
る。さらに、内部電極１４と内部電極１１とが交差する
部分には、静電容量３４と電圧非直線性抵抗３５とが形
成される。With the internal electrode 14 in common, a capacitance 30 and a voltage nonlinear resistance 31 providing varistor characteristics are formed at the intersection of the internal electrode 14 and the internal electrode 9. In addition, at the intersection of the internal electrode 14 and the internal electrode 10,
A capacitance ffi32 and a voltage nonlinear resistance 33 are formed. Further, a capacitance 34 and a voltage nonlinear resistance 35 are formed at the intersection of the internal electrode 14 and the internal electrode 11.

この発明において顕著な特徴を与えるのは、内部電極９
〜１１ならここ１４の構造である。第５図には、たとえ
ば内部電極１４の断面構造が示されている。内部電極１
４は、焼結体２と一体焼結した第１の電極層３６、およ
び焼結体２の焼結後に注入される低融点金属からなる第
２の電極層３７からなる２層構造とされる。第１の電極
層３６は、たとえば、銀およびパラジウムの合金からな
り、第２の電極層３７は、たとえば、鉛または鉛を主成
分とした金属からなる。The remarkable feature of this invention is that the internal electrode 9
~11, this is the structure of 14. FIG. 5 shows, for example, a cross-sectional structure of the internal electrode 14. Internal electrode 1
4 has a two-layer structure consisting of a first electrode layer 36 integrally sintered with the sintered body 2 and a second electrode layer 37 made of a low melting point metal injected after the sintered body 2 is sintered. . The first electrode layer 36 is made of, for example, an alloy of silver and palladium, and the second electrode layer 37 is made of, for example, lead or a metal containing lead as a main component.

なお、特に図示しないが、他の内部電極９〜１１につい
ても、上述した内部電極１４と同様の構造を有している
。Although not particularly illustrated, the other internal electrodes 9 to 11 also have the same structure as the internal electrode 14 described above.

第５図に示したような断面構造を有する内部電極１４は
、次のような工程によって得ることができる。第６図に
示すように、未焼成のセラミック層５上に、第１の電極
層３６となるべき金属を含む金属ペースト膜３８が形成
され、次いで、その上に、カーボン粉末を含むカーボン
ペースト膜３９が形成される。このようなセラミック層
５は、他の未焼成のセラミック層３，４．６とともに積
重ねられ、次いで、焼威される。この段階で、カーボン
ペースト膜３９は消失し、得られた焼結体２において、
カーボンペースト膜３９が存在していた部分に空間が形
或される。次いで、第１図に示すように、焼結体２の外
表面に、外部電極１９〜２６が形成される。これら外部
電極１９〜２６は、カーボン粉末を含む金属ペーストを
所定の領域に付与し、次いで焼付けることにより形成さ
れることによって、この段階では、ポーラスな状態とさ
れている。次に、ボーラスな外部電極１９〜２６が形成
された焼結体２は、減圧下状態に置かれ、この状態のま
ま、溶融した低融点金属の溶湯内に浸漬され、次いで、
加圧される。これによって、低融点金属は、ボーラスな
外部電極１９〜２６を通って、焼結体２のカーボンペー
スト膜３９が形或されていた空間内に注入され、第２の
電極層３７を形成する。なお、このとき、低融点金属は
、外部電極１９〜２６の空孔をも埋める。The internal electrode 14 having the cross-sectional structure shown in FIG. 5 can be obtained by the following steps. As shown in FIG. 6, a metal paste film 38 containing a metal to become the first electrode layer 36 is formed on the unfired ceramic layer 5, and then a carbon paste film containing carbon powder is formed thereon. 39 is formed. Such a ceramic layer 5 is stacked together with other green ceramic layers 3, 4.6 and then fired. At this stage, the carbon paste film 39 disappears, and in the obtained sintered body 2,
A space is formed in the portion where the carbon paste film 39 was present. Next, as shown in FIG. 1, external electrodes 19 to 26 are formed on the outer surface of the sintered body 2. These external electrodes 19 to 26 are formed by applying a metal paste containing carbon powder to a predetermined area and then baking them, so that they are in a porous state at this stage. Next, the sintered body 2 on which the bolus external electrodes 19 to 26 have been formed is placed under reduced pressure, and in this state is immersed in a molten low melting point metal.
Pressurized. As a result, the low melting point metal is injected into the space where the carbon paste film 39 of the sintered body 2 was formed through the bolus external electrodes 19 to 26, and forms the second electrode layer 37. Note that at this time, the low melting point metal also fills the pores of the external electrodes 19 to 26.

第６図に示した例では、金属ペースト膜３８がまず形成
され、次いでカーボンペースト膜３つがその上に形成さ
れたが、第７図に示すように、これら金属ペースト膜３
８およびカーボンペースト膜３９の形成順序は、逆にさ
れてもよい。In the example shown in FIG. 6, a metal paste film 38 was first formed, and then three carbon paste films were formed thereon, but as shown in FIG.
The order of forming 8 and carbon paste film 39 may be reversed.

また、第３図では、内部電極が形成されないセラミック
層として、内部電極９〜１１が形成されたセラミック層
４および内部電極１４が形成されたセラミック層５の上
下に、それぞれ、１層ずつのセラミック層３および６が
図示されたが、これらセラミック層３および６に相当す
るセラミック層の数は、さらに増加されてもよい。In addition, in FIG. 3, as ceramic layers on which no internal electrodes are formed, one ceramic layer is placed above and below the ceramic layer 4 on which internal electrodes 9 to 11 are formed and the ceramic layer 5 on which internal electrodes 14 are formed. Although layers 3 and 6 are illustrated, the number of ceramic layers corresponding to these ceramic layers 3 and 6 may be further increased.

また、内部電極９〜１１が形成されたセラミック層４と
内部電極１４が形成されたセラミック層５との間に、内
部電極が形成されない少なくとも１層のセラミック層が
挾まれてもよい。Furthermore, at least one ceramic layer on which no internal electrodes are formed may be interposed between the ceramic layer 4 on which the internal electrodes 9 to 11 are formed and the ceramic layer 5 on which the internal electrodes 14 are formed.

また、内部電極が形成されたセラミック層の数がさらに
増加されてもよい。Furthermore, the number of ceramic layers on which internal electrodes are formed may be further increased.

また、セラミック層４においては、３つの内部電極９〜
１１が形成され、かつ、セラミック層５においては、１
つの内部電極１４が形成されたが、これら内部電極の数
の増減は、任意である。In addition, in the ceramic layer 4, three internal electrodes 9 to
11 is formed, and in the ceramic layer 5, 1
Although one internal electrode 14 was formed, the number of these internal electrodes can be increased or decreased arbitrarily.

また、内部電極９〜１１ならびに１４は、第５図に示す
ように、焼結体２と一体焼結した第１の電極層３６と焼
結体２の焼結後に注入される低融点金属からなる第２の
電極層３７とを備える限り、さらに他の電極層を有して
いてもよい。Further, as shown in FIG. 5, the internal electrodes 9 to 11 and 14 are made of a first electrode layer 36 integrally sintered with the sintered body 2 and a low melting point metal injected after the sintered body 2 is sintered. As long as the second electrode layer 37 is provided, other electrode layers may be included.

次に、この発明によるより具体的な実施例および比較例
について説明する。Next, more specific examples and comparative examples according to the present invention will be described.

ＺｎＯＳＢ　ｉ２　０ｓ　Ｃｏ２　０．　、ＭｎＯ，お
よびＳｂ２０，を、それぞれ、９７．５モル％、０．５
モル％、０．５モル％、０．５モル％、および０．　　
５モル％の組成比となるように配合し、これに、水を加
え、ボールミルにより粉砕した。このようにして得られ
たスラリを、脱水し、乾燥した後、７８０℃で２時間仮
焼した。仮焼された原料を、さらに粉砕し、次いで、こ
れに、有機バインダを加え、さらにエチルアルコールを
加えて、スラリ状とし、このスラリから、ドクターブレ
ード法により、厚み６０μｍのグリーンシ一トを得た。ZnOSB i2 0s Co2 0. , MnO, and Sb20, respectively, 97.5 mol% and 0.5
mol%, 0.5 mol%, 0.5 mol%, and 0.
The mixture was blended to have a composition ratio of 5 mol %, water was added thereto, and the mixture was pulverized using a ball mill. The slurry thus obtained was dehydrated, dried, and then calcined at 780° C. for 2 hours. The calcined raw material was further crushed, an organic binder was added thereto, and ethyl alcohol was further added to form a slurry. From this slurry, a green sheet with a thickness of 60 μm was obtained by a doctor blade method. Ta.

このグリーンシ一トを、所定の大きさおよび形状となる
ように打抜き、第３図に示したセラミック層３〜６のた
めのシートとした。This green sheet was punched into a predetermined size and shape to form a sheet for ceramic layers 3 to 6 shown in FIG. 3.

次に、セラミック層４および５となるべき各グリーンシ
一ト上に、銀およびパラジウムを重量比で７＝３含有す
る金属ペーストを印刷し、内部電極９〜１１ならびに１
４に含まれる第１の電極層３６となるべき金属ペースト
膜３８（第６図）を形成した。次に、これら金属ペース
ト膜３８上に、第２の電極層３７のための空間を与える
ためのカーボンペースト膜３つ（第６図）を印刷により
形成した。これらカーボンペースト膜を構成するカーボ
ンペーストは、カーボン粉末のほかに、焼結したＺｎＯ
粉末を含んでいる。なお、この実施例においては、内部
電極９〜１１は、それぞれ、０．７ｍｍの幅で、互いの
間の間隔が１．２ｍｍとなるように設定され、内部電極
１４については、１．０ｍｍの幅となるように設定され
た。Next, a metal paste containing silver and palladium in a weight ratio of 7=3 is printed on each green sheet that is to become the ceramic layers 4 and 5, and internal electrodes 9 to 11 and 1 are printed.
A metal paste film 38 (FIG. 6) which was to become the first electrode layer 36 included in 4 was formed. Next, three carbon paste films (FIG. 6) were formed by printing on these metal paste films 38 in order to provide a space for the second electrode layer 37. The carbon paste constituting these carbon paste films includes, in addition to carbon powder, sintered ZnO
Contains powder. In this example, the internal electrodes 9 to 11 are each set to have a width of 0.7 mm and a spacing of 1.2 mm between each other, and the internal electrode 14 has a width of 1.0 mm. It was set to be the width.

次に、第３図に示すようなセラミック層３〜６となるべ
きグリーンシ一トを積重ね、２　ｔ　／　ｃｍ’の圧力
で積層方向に加圧した。なお、この積層工程において、
内部電極が形成されないセラミック層３および６となる
べきグリーンシ一トは、各々４枚ずつ重ねるようにした
。Next, green sheets to form ceramic layers 3 to 6 as shown in FIG. 3 were stacked and pressed in the stacking direction at a pressure of 2 t/cm'. In addition, in this lamination process,
Four green sheets each were stacked to form ceramic layers 3 and 6 on which no internal electrodes were formed.

次に、上述した積層体を、１１００℃で２時間焼或し、
焼結体２（第２図）を得た。Next, the above-described laminate was baked at 1100°C for 2 hours,
A sintered body 2 (FIG. 2) was obtained.

上述の焼結体の外表面の所定の領域に、銀およびパラジ
ウムを重量比で７：３含むとともにカーボン粉末を含む
金属ペーストを印刷し、１０００℃で３０分間焼付ける
ことにより、外部電極１９〜２６（第１図）を形成した
。これら外部電極は、この段階では、ボーラスな状態で
ある。A metal paste containing silver and palladium in a weight ratio of 7:3 and carbon powder is printed on a predetermined area of the outer surface of the above-mentioned sintered body, and is baked at 1000°C for 30 minutes to form external electrodes 19 to 19. 26 (Fig. 1) was formed. These external electrodes are in a bolus state at this stage.

次に、焼結体を、減圧下状態に置き、この状態のまま、
３５０℃で溶融した鉛の溶渦中に浸漬し、次いで２０気
圧の圧力を加え、鉛からなる第２の電極層３７（第５図
）を形成した。Next, the sintered body is placed under reduced pressure, and in this state,
The second electrode layer 37 (FIG. 5) made of lead was formed by immersing it in a molten lead molten at 350° C. and then applying a pressure of 20 atmospheres.

このようにして、実施例のノイズフィルタ１（第１図）
を得た。In this way, the noise filter 1 of the embodiment (FIG. 1)
I got it.

他方、比較例として、第２の電極層３７（第５図）を形
戒するための空間を与えるカーボンペースト膜３９（第
６図）を印刷するステップを実施しなかったことを除い
て、実施例と同様の操作を経て、ノイズフィルタを得た
。On the other hand, as a comparative example, the implementation was carried out except that the step of printing the carbon paste film 39 (FIG. 6) providing a space for forming the second electrode layer 37 (FIG. 5) was not performed. A noise filter was obtained through the same operations as in the example.

これら実施例および比較例のノイズフィルタに関して行
なった特性評価の結果は、次のとおりであった。The results of characteristic evaluation performed on the noise filters of these Examples and Comparative Examples are as follows.

まず、各試料について、バリスタ電圧、静電容量および
αを測定した結果が、第１表に示されている。First, Table 1 shows the results of measuring the varistor voltage, capacitance, and α for each sample.

（以下余白） 第１表 第１表において、バリスタ電圧は、０．　　１ｍＡの電
流を流したときの出力電圧である。また、αは、０．１
ｍＡおよび１ｍＡの電流をそれぞれ流したときの出力電
圧をＶ　　およびｖ１としたと０．１ き、 ａ＝　［１／　ｌｏｇ　　（ｙｌ／　Ｖｏ．１　）　］
で計算され、その数字が大きいほどノイズ吸収特性が高
いと評価される。また、第１表において、たとえば「電
極１　９−２　１間」は、外部電極１９および外部電極
２１（第１図）の間で測定した場合の特性であることを
示している。(Left below) Table 1 In Table 1, the varistor voltage is 0. This is the output voltage when a current of 1 mA flows. Also, α is 0.1
Let V and v1 be the output voltages when currents of mA and 1 mA flow, respectively, and 0.1, then a= [1/log (yl/Vo.1)]
The higher the number, the higher the noise absorption characteristics. Further, in Table 1, for example, "between electrodes 19-21" indicates the characteristics when measured between the external electrode 19 and the external electrode 21 (FIG. 1).

また、実施例および比較例の各々について、内部電極の
形或状態の信頼性を確認するため、内部電極り（第３図
）に接続される外部電極２１および２２間の電気導通状
態を調査したところ、各々試料数２０個につき、実施例
では、すべて導通状態であったが、比較例では、７個の
試料がオーブン状態であった。In addition, in order to confirm the reliability of the shape and state of the internal electrodes for each of the examples and comparative examples, the state of electrical continuity between the external electrodes 21 and 22 connected to the internal electrode board (Fig. 3) was investigated. Of the 20 samples in each case, all were in a conductive state in the example, but seven samples in the comparative example were in an oven state.

また、第８図に示される回路によって、実施例および比
較例の各試料の外部電極１つおよび２３（第１図）間に
、８ｘ２０μｓｅｃ５０Ａおよび８×２０μｓｅｃｉｏ
ＯＡのパルスを印加し、バリスタ電圧の変化を見た。そ
の結果が、以下の第２表に示されている。Moreover, by the circuit shown in FIG. 8, 8×20 μsec 50 A and 8×20 μsec 50 A and 8×20 μsec were
An OA pulse was applied and changes in varistor voltage were observed. The results are shown in Table 2 below.

第２表 第２表から、実施例では、大きなサージが人来した場合
、ヒューズ機能を果たすことがわかる。Table 2 From Table 2, it can be seen that in the example, when a large surge occurs, the fuse function is performed.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第１図は、この発明の一実施例によるノイズフィルタ１
の外観を示す斜視図である。 第２図は、第１図に示した焼結体２を単独で示す斜視図
である。 第３図は、第２図に示した焼結体２に含まれるセラミッ
ク層３〜６を分鯉して示す斜視図である。 第４図は、第１図に示したノイズフィルタ１の等価回路
図である。 第５図は、第２図および第３図に示した内部電極１４の
拡大断面図である。 第６図は、第５図に示した内部電極１４を得るためにセ
ラミック層５上に形成される金属ペースト膜３８および
カーボンペースト膜３つを示す拡大断面図である。 第７図は、第６図に示した金属ペースト膜３８およびカ
ーボンペースト膜３つの形成順序の変形例を示す拡大断
面図である。 第８図は、この発明にかかる実施例および比較例におい
て、パルスを印加したときのバリスタ電圧の変化を調べ
るために用いた回路図である。 図において、１はノイズフィルタ、２は焼結体、９〜１
１．１４は内部電極、３６は第１の電極層、３７は第２
の電極層である。 第３図 １０ＭΩ １５０ｎ 第５図 第６ 図 第７図FIG. 1 shows a noise filter 1 according to an embodiment of the present invention.
FIG. FIG. 2 is a perspective view showing the sintered body 2 shown in FIG. 1 alone. FIG. 3 is a perspective view showing the ceramic layers 3 to 6 included in the sintered body 2 shown in FIG. 2 in a separated manner. FIG. 4 is an equivalent circuit diagram of the noise filter 1 shown in FIG. 1. FIG. 5 is an enlarged sectional view of the internal electrode 14 shown in FIGS. 2 and 3. FIG. FIG. 6 is an enlarged sectional view showing the metal paste film 38 and three carbon paste films formed on the ceramic layer 5 to obtain the internal electrode 14 shown in FIG. FIG. 7 is an enlarged cross-sectional view showing a modification of the order of forming the metal paste film 38 and three carbon paste films shown in FIG. FIG. 8 is a circuit diagram used to examine changes in varistor voltage when pulses are applied in the examples and comparative examples according to the present invention. In the figure, 1 is a noise filter, 2 is a sintered body, 9-1
1.14 is an internal electrode, 36 is a first electrode layer, and 37 is a second electrode layer.
This is the electrode layer. Figure 3 10MΩ 150n Figure 5 Figure 6 Figure 7

Claims (1)

【特許請求の範囲】 　バリスタ特性を有する焼結体と、 前記焼結体の内部において非同一平面上で交差するとと
もに各々の両端部が前記焼結体の外表面に到達するよう
に形成された、少なくとも２つの内部電極と、 を備え、かつ、 前記各内部電極は、前記焼結体と一体焼結した第１の電
極層、および前記焼結体の焼結後に注入される低融点金
属からなる第２の電極層を含む少なくとも２層からなる
構造を有する、 ことを特徴とする、ノイズフィルタ。[Scope of Claims] A sintered body having varistor characteristics; and a sintered body formed such that the sintered body intersects on non-coplanar surfaces inside the sintered body and both ends of each end reach the outer surface of the sintered body. , at least two internal electrodes, and each internal electrode is made of a first electrode layer integrally sintered with the sintered body, and a low melting point metal injected after sintering the sintered body. 1. A noise filter having a structure consisting of at least two layers including a second electrode layer.