JPH0394188A - 多素子放射線検出器 - Google Patents
多素子放射線検出器Info
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- JPH0394188A JPH0394188A JP22918789A JP22918789A JPH0394188A JP H0394188 A JPH0394188 A JP H0394188A JP 22918789 A JP22918789 A JP 22918789A JP 22918789 A JP22918789 A JP 22918789A JP H0394188 A JPH0394188 A JP H0394188A
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Landscapes
- Measurement Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はＸＩＸＣＴ装置、Ｘ線手荷物検査装置、Ｘ線ま
たはγ線などを用いた非破壊検査装置に使用する多素子
放射線検出器の構造に関する。
たはγ線などを用いた非破壊検査装置に使用する多素子
放射線検出器の構造に関する。
放射線またはＸ線を光に変換するシンチレー夕とその光
を電気信号に変換する光電変換素子で構戊される多素子
放射線検出器においては、シンチレータの光を光電変換
素子であるフオ１〜ダイオードアレーに損失なく完全に
入射させ感度低下を防ぐためにシンチレータ板とフォト
ダイオードの表面が密着するように光学グリースや光学
的に透明な接着剤によって接着して使用される。
を電気信号に変換する光電変換素子で構戊される多素子
放射線検出器においては、シンチレータの光を光電変換
素子であるフオ１〜ダイオードアレーに損失なく完全に
入射させ感度低下を防ぐためにシンチレータ板とフォト
ダイオードの表面が密着するように光学グリースや光学
的に透明な接着剤によって接着して使用される。
本発明の利用分野の一つであるＸ線ＣＴ用の多素子検出
器においては、１素子内および素子間において感度ばら
つきがあると、再構成した断層画像に影響が生じるため
、多素子検出器の感度ばらつきは極度に小さくする必要
があり、その許容値は３％程度である。この感度ばらつ
きの要因としては、シンチレー夕板とフォトダイオート
との接着層の状態が関係し、その接着層の状態が感度ば
らつきに寄与する割合は、接着剤の種類や気泡の発生状
況によって変る。そのために、正確に規定することは困
難であるが、アクリル系光学接着剤の例では、接着層の
厚さが１−５μｍ±５μｍの範囲にあれば感度ばらつき
は３％以下にすることができることが判った。また、接
着層内の気泡は目視で確認できない状態であれば感度ば
らつきに影響がないことを確認した。
器においては、１素子内および素子間において感度ばら
つきがあると、再構成した断層画像に影響が生じるため
、多素子検出器の感度ばらつきは極度に小さくする必要
があり、その許容値は３％程度である。この感度ばらつ
きの要因としては、シンチレー夕板とフォトダイオート
との接着層の状態が関係し、その接着層の状態が感度ば
らつきに寄与する割合は、接着剤の種類や気泡の発生状
況によって変る。そのために、正確に規定することは困
難であるが、アクリル系光学接着剤の例では、接着層の
厚さが１−５μｍ±５μｍの範囲にあれば感度ばらつき
は３％以下にすることができることが判った。また、接
着層内の気泡は目視で確認できない状態であれば感度ば
らつきに影響がないことを確認した。
しかしながら、従来の技術では面積の大きなシンチレー
タ板とフォトダイオードアレーの面との接着層の厚さを
常に高精度に均一に保つための積極的な手段が講しられ
ていないために、上記の如く１５μｍ±５μｍで安定に
管理し、かつ接着層内の気泡を完全に除去して特性の揃
った多素子放射線検出器を得るのが困難であった。
タ板とフォトダイオードアレーの面との接着層の厚さを
常に高精度に均一に保つための積極的な手段が講しられ
ていないために、上記の如く１５μｍ±５μｍで安定に
管理し、かつ接着層内の気泡を完全に除去して特性の揃
った多素子放射線検出器を得るのが困難であった。
本発明は多素子放射線検出器の接着層の厚さを一定に保
つための構造を提供し，さらに接着層内の気泡を除去す
る手段を提供することを目的とする。
つための構造を提供し，さらに接着層内の気泡を除去す
る手段を提供することを目的とする。
上記目的を達或するために、本発明はフォトダイオード
アレーの素子を分離する不感帯部に、接着層の厚さを所
定値にするためのスペーサを設置したもので、接着層の
厚さを１０〜２０μｍとする場合にはスペーサの高さは
ｌ５μｍ±５μｍとすることによって達威される。
アレーの素子を分離する不感帯部に、接着層の厚さを所
定値にするためのスペーサを設置したもので、接着層の
厚さを１０〜２０μｍとする場合にはスペーサの高さは
ｌ５μｍ±５μｍとすることによって達威される。
さらに接着層内の気泡を完全に除去するために、スペー
サの２本の帯によって形威される溝内を接着剤を流し、
余分な接着剤とともに気泡を流出する出口を設ける。面
積の小さい場合にはエケ所の出口でもよいが、面積の広
い場合には淀み部分が生じないように２ケ所以上設ける
ことが有効である。
サの２本の帯によって形威される溝内を接着剤を流し、
余分な接着剤とともに気泡を流出する出口を設ける。面
積の小さい場合にはエケ所の出口でもよいが、面積の広
い場合には淀み部分が生じないように２ケ所以上設ける
ことが有効である。
フオ１・ダイオードアレーの素子を分離するための不感
帯部に設けられた所定の高さのスペーサはシンチレー夕
板とフォトダイオードアレーを接合させた時に接着層の
厚さを所定値に保つもので、接合面の面積が２ ０ Ｉ
ＩｆＩＩＸ ３ ０ ｍｍ以上の大型のものでも所定値
に対し±５μｍの変化範囲内で接合可能である。
帯部に設けられた所定の高さのスペーサはシンチレー夕
板とフォトダイオードアレーを接合させた時に接着層の
厚さを所定値に保つもので、接合面の面積が２ ０ Ｉ
ＩｆＩＩＸ ３ ０ ｍｍ以上の大型のものでも所定値
に対し±５μｍの変化範囲内で接合可能である。
また、接着層内の気泡は接着剤を流出口の方向に流動さ
せて余分な接着剤とともに押し流し出す−３− ことによって完全に除去することができる。
せて余分な接着剤とともに押し流し出す−３− ことによって完全に除去することができる。
以下、本発明の一実施例を第１図および第２図を用いて
説明する。
説明する。
第１図は本発明の一実施例である多素子放射線検出器の
平面図で、左下部は部分的な断面を示したものである。
平面図で、左下部は部分的な断面を示したものである。
また、第２図は第１図のＩ−１線断面を拡大したもので
ある。フォトダイオードアレー１は面積が２ ０ ＋ｏ
ｍ Ｘ ３ ０ ｍｍで、素子数は２０本である。フォ
トダイオードアレーの各素子は第工図に示す如く縦に並
んでおり、素子ピッチは１ｍである。フォトダイオード
素子の各境界部には不感帯部が存在し、その幅は０．２
冊である。フォトダイオードアレー１は、端部に電極の
ボンデイング部があり、これを除いた部分の長さは２９
ｍである。シンチレータ板２はフォトダイオードアレー
１と同じ面積を持ち、両者は接着剤の薄いＭ４により均
一な厚さで接着される。スペーサ３は、シンチレータ板
２とフォトダイオードアレーエとの間隔、すなわち接着
Ｎ４の厚さを所定の値−４− に保つために設けるものである。接着層４の厚さを１０
〜２０μｍとする場合には、スペーサ３の高さは工５μ
ｍ±５μｍにすればよい。また，スペーサ３は、フォト
ダイオードアレー１の不感帯部に配置することにし、そ
の幅も０．２ｎｏ として不感帯部の幅と同じにする。
ある。フォトダイオードアレー１は面積が２ ０ ＋ｏ
ｍ Ｘ ３ ０ ｍｍで、素子数は２０本である。フォ
トダイオードアレーの各素子は第工図に示す如く縦に並
んでおり、素子ピッチは１ｍである。フォトダイオード
素子の各境界部には不感帯部が存在し、その幅は０．２
冊である。フォトダイオードアレー１は、端部に電極の
ボンデイング部があり、これを除いた部分の長さは２９
ｍである。シンチレータ板２はフォトダイオードアレー
１と同じ面積を持ち、両者は接着剤の薄いＭ４により均
一な厚さで接着される。スペーサ３は、シンチレータ板
２とフォトダイオードアレーエとの間隔、すなわち接着
Ｎ４の厚さを所定の値−４− に保つために設けるものである。接着層４の厚さを１０
〜２０μｍとする場合には、スペーサ３の高さは工５μ
ｍ±５μｍにすればよい。また，スペーサ３は、フォト
ダイオードアレー１の不感帯部に配置することにし、そ
の幅も０．２ｎｏ として不感帯部の幅と同じにする。
これにより、スペーサ３を設けたことによるＸ線変換効
率の低下を防ぐことができる。
率の低下を防ぐことができる。
スペーサ３の作或方法としては、スクリーン印刷法を用
いることができる。すなわち、エポキシ接着剤の中に直
径工５〜２０μｍの樹脂製微細球（例えば、商品名ミク
ロパール）を混入し、高さ１５〜２０μｍで幅０．２ｍ
ｍの帯状のスペーサをスクリーン印刷によって印刷し、
固化する。スペーサ３の高さは樹脂製微細球の直径によ
り一定値に保たれる。上記の印刷によりフォトダイオー
ドアレイーエは帯状のスペーサ３によって素子ごとに区
分され、両端が開放された溝構造のものとなる。
いることができる。すなわち、エポキシ接着剤の中に直
径工５〜２０μｍの樹脂製微細球（例えば、商品名ミク
ロパール）を混入し、高さ１５〜２０μｍで幅０．２ｍ
ｍの帯状のスペーサをスクリーン印刷によって印刷し、
固化する。スペーサ３の高さは樹脂製微細球の直径によ
り一定値に保たれる。上記の印刷によりフォトダイオー
ドアレイーエは帯状のスペーサ３によって素子ごとに区
分され、両端が開放された溝構造のものとなる。
次に、上記の溝構造をもつフォトダイオードアレー］−
の溝部の中央に接着剤を滴下した後、接着剤のアクチベ
ータを塗布・乾燥したシンチレータ面を静かに接着剤の
上にのせ、加圧する。上記の如く溝構造を形成したこと
により、中央部にあった接着剤は溝に沿って押し流され
、余剰の接着剤は開放端から流れ出る。このため、フォ
トダイオードアレイー１とシンチレータ板２の間の空気
は接着剤に巻き込まれることもなく、接着層４に気泡が
残ることもなくなる。上記の溝構造の開放端の設置と気
泡の残留との関係では、溝部の長さが短い場合には片側
のみでも気泡の問題はないが、満部の長さが長い場合ま
たは、溝部の面積が広い場合には両端を開放にしておく
ことにより気泡の残留を除くことができる。
の溝部の中央に接着剤を滴下した後、接着剤のアクチベ
ータを塗布・乾燥したシンチレータ面を静かに接着剤の
上にのせ、加圧する。上記の如く溝構造を形成したこと
により、中央部にあった接着剤は溝に沿って押し流され
、余剰の接着剤は開放端から流れ出る。このため、フォ
トダイオードアレイー１とシンチレータ板２の間の空気
は接着剤に巻き込まれることもなく、接着層４に気泡が
残ることもなくなる。上記の溝構造の開放端の設置と気
泡の残留との関係では、溝部の長さが短い場合には片側
のみでも気泡の問題はないが、満部の長さが長い場合ま
たは、溝部の面積が広い場合には両端を開放にしておく
ことにより気泡の残留を除くことができる。
また、シンチレータ材２とフォトダイオードアレイーエ
とを接着剤としては耐放射線性があり、光学的に透明で
あり、屈折率が大きく、さらに適度の流動性のあるもの
が好ましい。一例としては、好気性アクリル系接着剤で
ダイナマックス８２８（商品名）が使用できる。粘度は
２５℃で約５００。ｐｓで、流動性も良好である。
とを接着剤としては耐放射線性があり、光学的に透明で
あり、屈折率が大きく、さらに適度の流動性のあるもの
が好ましい。一例としては、好気性アクリル系接着剤で
ダイナマックス８２８（商品名）が使用できる。粘度は
２５℃で約５００。ｐｓで、流動性も良好である。
上記の如く構成された多素子放射線検出器では、シンチ
レータ面がフォトダイオード面上に形威されたスペーサ
と接するため、スペーサの高さに相当する接着層厚さが
確保され、厚さのばらつきが作業の状態によって発生す
ることはない。
レータ面がフォトダイオード面上に形威されたスペーサ
と接するため、スペーサの高さに相当する接着層厚さが
確保され、厚さのばらつきが作業の状態によって発生す
ることはない。
本発明によれば、接着層の厚さを一定にすることができ
るので素子間の感度ばらつきと一素子内の感度分布の変
化は小さくなり一様になる。さらに接着層内の気泡は完
全に除去できるので二の原因による感度ばらつきは無く
することができる。
るので素子間の感度ばらつきと一素子内の感度分布の変
化は小さくなり一様になる。さらに接着層内の気泡は完
全に除去できるので二の原因による感度ばらつきは無く
することができる。
第１図は本発明の一実施例の平面図、第２図は第工図の
１−１線断面の拡大図である。 １・ フォトダイオードアレー、２・・・シンチレー夕
板、３・・スペーサー、４・・接着層。 ー７ −８ー
１−１線断面の拡大図である。 １・ フォトダイオードアレー、２・・・シンチレー夕
板、３・・スペーサー、４・・接着層。 ー７ −８ー
Claims (1)
- １、放射線により発光するシンチレータ板と、シンチレ
ータ光を電気に変換する光電変換素子とを接着して構成
した多素子放射線検出器において、多素子光電変換素子
の素子間を分離している不感帯部に、シンチレータ板と
光電変換素子との接着層の厚さに相当する高さの帯状の
スペーサを設け、かつ前記多素子光電変換素子と前記ス
ペーサとで形成された溝部の端部の少なくとも一方を接
着剤の流出開口としたことを特徴とする多素子放射線検
出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22918789A JPH0394188A (ja) | 1989-09-06 | 1989-09-06 | 多素子放射線検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22918789A JPH0394188A (ja) | 1989-09-06 | 1989-09-06 | 多素子放射線検出器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0394188A true JPH0394188A (ja) | 1991-04-18 |
Family
ID=16888168
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22918789A Pending JPH0394188A (ja) | 1989-09-06 | 1989-09-06 | 多素子放射線検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0394188A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5276329A (en) * | 1991-07-15 | 1994-01-04 | U.S. Philips Corporation | Image detector |
| NL9400855A (nl) * | 1993-05-27 | 1994-12-16 | Hitachi Medical Corp | Stralingsdetectie-inrichting en werkwijze voor de vervaardiging daarvan. |
| US5828122A (en) * | 1996-03-12 | 1998-10-27 | U.S. Philips Corporation | Semiconductor body with a substrate glued to a support body |
| EP1217387A2 (de) * | 2000-12-21 | 2002-06-26 | Philips Corporate Intellectual Property GmbH | Szintillationsdetektor für elektromagnetische Strahlung |
| JP2011033562A (ja) * | 2009-08-05 | 2011-02-17 | Konica Minolta Medical & Graphic Inc | 放射線画像検出装置 |
-
1989
- 1989-09-06 JP JP22918789A patent/JPH0394188A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5276329A (en) * | 1991-07-15 | 1994-01-04 | U.S. Philips Corporation | Image detector |
| NL9400855A (nl) * | 1993-05-27 | 1994-12-16 | Hitachi Medical Corp | Stralingsdetectie-inrichting en werkwijze voor de vervaardiging daarvan. |
| US5506409A (en) * | 1993-05-27 | 1996-04-09 | Hitachi Medical Corporation | Radiation detecting device and the manufacture thereof |
| US5828122A (en) * | 1996-03-12 | 1998-10-27 | U.S. Philips Corporation | Semiconductor body with a substrate glued to a support body |
| JPH11505672A (ja) * | 1996-03-12 | 1999-05-21 | フィリップス エレクトロニクス ネムローゼ フェンノートシャップ | 支持体に接着される基板を有する半導体本体 |
| EP1217387A2 (de) * | 2000-12-21 | 2002-06-26 | Philips Corporate Intellectual Property GmbH | Szintillationsdetektor für elektromagnetische Strahlung |
| EP1217387A3 (de) * | 2000-12-21 | 2006-11-15 | Philips Intellectual Property & Standards GmbH | Szintillationsdetektor für elektromagnetische Strahlung |
| JP2011033562A (ja) * | 2009-08-05 | 2011-02-17 | Konica Minolta Medical & Graphic Inc | 放射線画像検出装置 |
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