JPH038635A - ワーク取出装置 - Google Patents
ワーク取出装置Info
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- JPH038635A JPH038635A JP14160189A JP14160189A JPH038635A JP H038635 A JPH038635 A JP H038635A JP 14160189 A JP14160189 A JP 14160189A JP 14160189 A JP14160189 A JP 14160189A JP H038635 A JPH038635 A JP H038635A
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- work
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- Pending
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- 238000010626 work up procedure Methods 0.000 abstract 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 239000011295 pitch Substances 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
この発明は、板状ワークとくに半導体ウェハを取り出す
とき、その下端部を確実に押上具によって保合１把持す
るため所定ピッチで位置決めするようにしたワーク取出
装置に関する。
とき、その下端部を確実に押上具によって保合１把持す
るため所定ピッチで位置決めするようにしたワーク取出
装置に関する。
従来例について、第６図を参照しながら説明する。同図
は従来例を示すワーク取出装置の断面図で、格納ケース
１の仕切り１ａで区画された各領域に、ワーク２として
の半導体ウェハが１個ずつ格納保管されている。なお、
ワーク２は紙面と垂直方向に配列、保管される。格納ケ
ース１はベース板４３に設置され、このベース板４３に
は、またガイド枠４５が設置される。ガイド枠４５は、
格納ケース１の仕切り１ａと対応しており、ワーク２が
格納ケースｌの外部に取り出されるときの案内をする。 格納ケース１の下方に、ワーク２の取出機構が設置され
ている。直進形アクチュエータ４８の出力軸の先端に押
具４４が取り付けられ、この押具４４の先端部に、ワー
ク２と係合する係合部４４ａが設けられる。 ワーク２を取り出すときには、押具４４を所望のワーク
２の下方に位置させ、アクチュエータ４８を操作して格
納ケース１の底の中空部を貫通させて上方に駆動させる
。この上方駆動によって、ワーク２は、その下端部が押
具４４の係合部４４ａと係合。 把持され、そのままの状態で二点鎖線表示の位置まで移
動される。なお、ワーク２は、格納ケースｌの外部では
ガイド枠４５に沿って案内される。ワーク２は、全部が
一度に取り出されるのではなく、１回の取出動作では所
望の１個または複数個が部分的に取り出される。複数個
の場合には、それに対応する押具４４が用意されなけれ
ばならない。以下の説明では、とくに断らない限り１個
の取出しとする。
は従来例を示すワーク取出装置の断面図で、格納ケース
１の仕切り１ａで区画された各領域に、ワーク２として
の半導体ウェハが１個ずつ格納保管されている。なお、
ワーク２は紙面と垂直方向に配列、保管される。格納ケ
ース１はベース板４３に設置され、このベース板４３に
は、またガイド枠４５が設置される。ガイド枠４５は、
格納ケース１の仕切り１ａと対応しており、ワーク２が
格納ケースｌの外部に取り出されるときの案内をする。 格納ケース１の下方に、ワーク２の取出機構が設置され
ている。直進形アクチュエータ４８の出力軸の先端に押
具４４が取り付けられ、この押具４４の先端部に、ワー
ク２と係合する係合部４４ａが設けられる。 ワーク２を取り出すときには、押具４４を所望のワーク
２の下方に位置させ、アクチュエータ４８を操作して格
納ケース１の底の中空部を貫通させて上方に駆動させる
。この上方駆動によって、ワーク２は、その下端部が押
具４４の係合部４４ａと係合。 把持され、そのままの状態で二点鎖線表示の位置まで移
動される。なお、ワーク２は、格納ケースｌの外部では
ガイド枠４５に沿って案内される。ワーク２は、全部が
一度に取り出されるのではなく、１回の取出動作では所
望の１個または複数個が部分的に取り出される。複数個
の場合には、それに対応する押具４４が用意されなけれ
ばならない。以下の説明では、とくに断らない限り１個
の取出しとする。
以上説明したような従来の技術では、次のような問題が
ある。ケース１内におけるワーク２の、とくにその下端
部の位置が一定しないため、押具４４の先端の係合部４
４ａによる係合１把持が不確実になる、つまり取出しの
信鎖性が阻害されることである。 このワーク２の下端部の位置が一定しない理由は、ケー
スｌの仕切り１ａの間隔にワーク２の厚さに対して寸法
的余裕をもたせ、ワーク２の取出しのときケース１との
間に強い摺動を起こさせないようにしであることによる
。なお、係合１把持に失敗したときには、押具４４の側
面によって擦られてワーク２が損傷を受けることになる
。 さて、ワーク取出しの信鯨性向上のため、■位置センサ
を用いてワーク、とくにその下端部の位置を検出する方
法、■ケースの仕切りの間隔に寸法的余裕をもたせない
ようにして、ワークを厳密に位置規正する方法、などが
考えられる。 ■の方法では、位置検出に基づく位置制御が同時に必要
であり、構造が複雑になるのでコストが増大する外、取
出し時間が長くかかり作業効率が低下するなどの欠点が
ある。また、■の方法では、ケース側のコスト増や、ワ
ーク取出し時の摺動によるワークの品質低下、さらには
摺動に起因する発塵によってもたらされる雰囲気汚染な
どの問題がある。 この発明の課題は、従来の技術がもつ以上の問題点を解
消し、板状ワークに係るケース側の仕切り間隔精度を上
げることなくワーク下端部を確実に係合９把持し得るよ
うにし、また取出し時のケースとワークとの摺動をなる
べく抑えるようにしてワークの品質低下を防止するよう
にしたワーク取出装置を提供することにある。
ある。ケース１内におけるワーク２の、とくにその下端
部の位置が一定しないため、押具４４の先端の係合部４
４ａによる係合１把持が不確実になる、つまり取出しの
信鎖性が阻害されることである。 このワーク２の下端部の位置が一定しない理由は、ケー
スｌの仕切り１ａの間隔にワーク２の厚さに対して寸法
的余裕をもたせ、ワーク２の取出しのときケース１との
間に強い摺動を起こさせないようにしであることによる
。なお、係合１把持に失敗したときには、押具４４の側
面によって擦られてワーク２が損傷を受けることになる
。 さて、ワーク取出しの信鯨性向上のため、■位置センサ
を用いてワーク、とくにその下端部の位置を検出する方
法、■ケースの仕切りの間隔に寸法的余裕をもたせない
ようにして、ワークを厳密に位置規正する方法、などが
考えられる。 ■の方法では、位置検出に基づく位置制御が同時に必要
であり、構造が複雑になるのでコストが増大する外、取
出し時間が長くかかり作業効率が低下するなどの欠点が
ある。また、■の方法では、ケース側のコスト増や、ワ
ーク取出し時の摺動によるワークの品質低下、さらには
摺動に起因する発塵によってもたらされる雰囲気汚染な
どの問題がある。 この発明の課題は、従来の技術がもつ以上の問題点を解
消し、板状ワークに係るケース側の仕切り間隔精度を上
げることなくワーク下端部を確実に係合９把持し得るよ
うにし、また取出し時のケースとワークとの摺動をなる
べく抑えるようにしてワークの品質低下を防止するよう
にしたワーク取出装置を提供することにある。
この課題を解決するために、第１の発明に係るワーク取
出装置は、 ケース内にほぼ定間隔で平行に直立して格納された１個
以上の板状ワークを１個ずつその下端部において係合１
把持し押し上げて取り出す装置において、 前記各ワークをその下端部で受けかつ位置決めするため
の所定ピッチの波形面の各谷部を有し前記ケースの下方
に位置するとともに前記押上げを妨げない中空部が設け
られる整列具を備える。 第２の発明に係るワーク取出装置は、 前記の装置において、整列具が上下方向に移動可能であ
る。
出装置は、 ケース内にほぼ定間隔で平行に直立して格納された１個
以上の板状ワークを１個ずつその下端部において係合１
把持し押し上げて取り出す装置において、 前記各ワークをその下端部で受けかつ位置決めするため
の所定ピッチの波形面の各谷部を有し前記ケースの下方
に位置するとともに前記押上げを妨げない中空部が設け
られる整列具を備える。 第２の発明に係るワーク取出装置は、 前記の装置において、整列具が上下方向に移動可能であ
る。
第１発明に係るワーク取出装置では、各ワークはその下
端部が整列具の所定ピッチの波形面の各谷部によって受
けられ、かつ位置決めされるから、確実にこの下端部を
保合２把持して取り出すことができる。 第２発明に係るワーク取出装置では、整列具が上下方向
に移動可能であるから、ワーク取出しの前に整列具を上
方に移動させてワークをある距離だけ持ち上げることに
よって、ワーク取出しのための押上げ行程がその分だけ
短縮される。
端部が整列具の所定ピッチの波形面の各谷部によって受
けられ、かつ位置決めされるから、確実にこの下端部を
保合２把持して取り出すことができる。 第２発明に係るワーク取出装置では、整列具が上下方向
に移動可能であるから、ワーク取出しの前に整列具を上
方に移動させてワークをある距離だけ持ち上げることに
よって、ワーク取出しのための押上げ行程がその分だけ
短縮される。
本発明に係るワーク取出装置の実施例について以下に図
面を参照しながら説明する。 第１図は第１発明に係る一実施例（以下、第１実施例と
いう）の要部の一断面図で、ワークを正面から見たもの
である。同図において、ケース１が載置されるベース板
４には、同時に整列具３が２個、平行に設置される。こ
の整列具３は、第２図の斜視図に示すように、所定ピッ
チの波形面を上端面にもつ板状部材で、この波形°面の
各谷部が、ワーク２の下端部を受けるとともに位置決め
する。 第１図において、押具５は各整列具３の対向空間を上下
方向に移動可能で、保合部５ａによってワーク２と係合
し押上げ、これを取り出すことができる。 第３図は第１実施例の別の断面図で、ワーク２を側面か
ら見たものである。同図において、ワーク２がケース１
の各仕切り１８間に寸法的に余裕をもって格納され、し
かもワーク２の下端部が整列具３の波形面の各谷部によ
って所定ピッチで位置決めされる。４ａ、４ｂは、それ
ぞれケース１と、整列具３との共通な位置決め用突起部
で、ケース１、整列具３を各突起部４ａ、４ｂ間に嵌め
込むことによって正確に位置決めされる。押具５は、下
方から上方に移動して先端の係合部５ａによって位置規
正されたワーク２を順次、保合１把持して押し上げ、取
り出す。なお、位置決め用の各突起部４ａ、４ｂは、こ
の第１実施例ではベース板４に固着された構成をとって
いるが、位置調整可能にして各種のケース、整列具に共
通に、または個別に対応可能にすることもできる。 第４図は第１発明に係る別の実施例（以下、第２実施例
という）の断面図である。この第２実施例では、１個の
整列具１３が、ベース板１４に載置されてワーク２の最
下端部の１箇所だけを受け、位置決めする。これに応じ
て、押具１５は二また状につくられ、上下移動のとき整
列具１３によって妨げられないようにしである。この第
２実施例は、ワーク２の押上げが安定する点で第１実施
例より若干すぐれる。 第５図は第２発明に係る実施例（以下、第３実施例とい
う）の断面図である。この第３実施例では、整列具が上
下方向に移動可能である。第５図において、ベース板２
４はケース２だけを載置しており、整列具２３は二また
状をなし、直進形アクチュエータとしての操作シリンダ
２６のピストン先端に固着される。整列具２３ば、ピス
トンの移動とともにワーク２の下端部の支持をしたり、
しなかったりする、押具２５は従来と同様に、整列具２
３とは独立して上下方向に直進駆動される。第３実施例
では、ワーク２の取出しの前に整列具２３を上方に移動
させてワーク２を所定ピッチに位置決めするとともに、
ある距離だけ持ち上げる。このことによって、押具２５
の押上げ行程が持ち上げ分だけ短縮され、作業工数の短
縮、ひいては作業効率の向上を図ることができる。
面を参照しながら説明する。 第１図は第１発明に係る一実施例（以下、第１実施例と
いう）の要部の一断面図で、ワークを正面から見たもの
である。同図において、ケース１が載置されるベース板
４には、同時に整列具３が２個、平行に設置される。こ
の整列具３は、第２図の斜視図に示すように、所定ピッ
チの波形面を上端面にもつ板状部材で、この波形°面の
各谷部が、ワーク２の下端部を受けるとともに位置決め
する。 第１図において、押具５は各整列具３の対向空間を上下
方向に移動可能で、保合部５ａによってワーク２と係合
し押上げ、これを取り出すことができる。 第３図は第１実施例の別の断面図で、ワーク２を側面か
ら見たものである。同図において、ワーク２がケース１
の各仕切り１８間に寸法的に余裕をもって格納され、し
かもワーク２の下端部が整列具３の波形面の各谷部によ
って所定ピッチで位置決めされる。４ａ、４ｂは、それ
ぞれケース１と、整列具３との共通な位置決め用突起部
で、ケース１、整列具３を各突起部４ａ、４ｂ間に嵌め
込むことによって正確に位置決めされる。押具５は、下
方から上方に移動して先端の係合部５ａによって位置規
正されたワーク２を順次、保合１把持して押し上げ、取
り出す。なお、位置決め用の各突起部４ａ、４ｂは、こ
の第１実施例ではベース板４に固着された構成をとって
いるが、位置調整可能にして各種のケース、整列具に共
通に、または個別に対応可能にすることもできる。 第４図は第１発明に係る別の実施例（以下、第２実施例
という）の断面図である。この第２実施例では、１個の
整列具１３が、ベース板１４に載置されてワーク２の最
下端部の１箇所だけを受け、位置決めする。これに応じ
て、押具１５は二また状につくられ、上下移動のとき整
列具１３によって妨げられないようにしである。この第
２実施例は、ワーク２の押上げが安定する点で第１実施
例より若干すぐれる。 第５図は第２発明に係る実施例（以下、第３実施例とい
う）の断面図である。この第３実施例では、整列具が上
下方向に移動可能である。第５図において、ベース板２
４はケース２だけを載置しており、整列具２３は二また
状をなし、直進形アクチュエータとしての操作シリンダ
２６のピストン先端に固着される。整列具２３ば、ピス
トンの移動とともにワーク２の下端部の支持をしたり、
しなかったりする、押具２５は従来と同様に、整列具２
３とは独立して上下方向に直進駆動される。第３実施例
では、ワーク２の取出しの前に整列具２３を上方に移動
させてワーク２を所定ピッチに位置決めするとともに、
ある距離だけ持ち上げる。このことによって、押具２５
の押上げ行程が持ち上げ分だけ短縮され、作業工数の短
縮、ひいては作業効率の向上を図ることができる。
したがって、この発明によれば、従来の技術に比べ次の
ようなすぐれた効果がある。 （１）第１．第２の各発明によれば共通に、ワークは、
ケース内で仕切りとの間に寸法的余裕をもって直立して
格納されていても、その下端部が正確に所定ピッチで位
置決めされるから、確実に係合。 把持して取り出すことができる。 （２）同じくまた、取出し時のケース、ワーク間の摺動
を抑えることができるから、摺動によるワークの品質低
下が防止できる。 （３） とくに第２発明によれば、ワークの取出し持
前に整列具を上方向に移動させワーク全体を持ち上げて
おくことによって、各ワークの押上げ取出しの行程が短
縮できる。その結果、作業工数の削減ないし生産効率の
向上が図れる。
ようなすぐれた効果がある。 （１）第１．第２の各発明によれば共通に、ワークは、
ケース内で仕切りとの間に寸法的余裕をもって直立して
格納されていても、その下端部が正確に所定ピッチで位
置決めされるから、確実に係合。 把持して取り出すことができる。 （２）同じくまた、取出し時のケース、ワーク間の摺動
を抑えることができるから、摺動によるワークの品質低
下が防止できる。 （３） とくに第２発明によれば、ワークの取出し持
前に整列具を上方向に移動させワーク全体を持ち上げて
おくことによって、各ワークの押上げ取出しの行程が短
縮できる。その結果、作業工数の削減ないし生産効率の
向上が図れる。
第１図は第１発明に係る一実施例の要部の一断面図、
第２図はこの一実施例の主要部材の斜視図、第３図はこ
の一実施例の要部の別の断面図、第４図は第１発明に係
る別の実施例の要部の断面図、 第５図は第２発明に係る実施例の要部の断面図、第６図
は従来例の断面図である。 符号説明 ｌ：ケース、１ａ ：仕切り、２：ワーク、３．１３，
２３ ：整列具、４．１４．２４ｊベース板、亮４目 ％５０ 第 図
の一実施例の要部の別の断面図、第４図は第１発明に係
る別の実施例の要部の断面図、 第５図は第２発明に係る実施例の要部の断面図、第６図
は従来例の断面図である。 符号説明 ｌ：ケース、１ａ ：仕切り、２：ワーク、３．１３，
２３ ：整列具、４．１４．２４ｊベース板、亮４目 ％５０ 第 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）ケース内にほぼ定間隔で平行に直立して格納された
１個以上の板状ワークを１個ずつその下端部において係
合、把持し押し上げて取り出す装置において、前記各ワ
ークをその下端部で受けかつ位置決めするための所定ピ
ッチの波形面の各谷部を有し前記ケースの下方に位置す
るとともに前記押上げを妨げない中空部が設けられる整
列具を備えることを特徴とするワーク取出装置。 ２）特許請求の範囲第１項記載の装置において、整列具
は、上下方向に移動可能であることを特徴とするワーク
取出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14160189A JPH038635A (ja) | 1989-06-02 | 1989-06-02 | ワーク取出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14160189A JPH038635A (ja) | 1989-06-02 | 1989-06-02 | ワーク取出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH038635A true JPH038635A (ja) | 1991-01-16 |
Family
ID=15295805
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14160189A Pending JPH038635A (ja) | 1989-06-02 | 1989-06-02 | ワーク取出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH038635A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2010150810A1 (ja) | 2009-06-26 | 2010-12-29 | 富士フイルム株式会社 | 光反射基板およびその製造方法 |
| EP2384100A2 (en) | 2010-04-28 | 2011-11-02 | Fujifilm Corporation | Insulated light-reflective substrate |
| EP2586621A1 (en) | 2011-10-28 | 2013-05-01 | Fujifilm Corporation | Manufacturing method and manufacturing apparatus of support for planographic printing plate |
-
1989
- 1989-06-02 JP JP14160189A patent/JPH038635A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2010150810A1 (ja) | 2009-06-26 | 2010-12-29 | 富士フイルム株式会社 | 光反射基板およびその製造方法 |
| EP2384100A2 (en) | 2010-04-28 | 2011-11-02 | Fujifilm Corporation | Insulated light-reflective substrate |
| EP2586621A1 (en) | 2011-10-28 | 2013-05-01 | Fujifilm Corporation | Manufacturing method and manufacturing apparatus of support for planographic printing plate |
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