JPH0377241B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、焼結装置に関し、特に連続的に成形
体を焼結しうる焼結装置に関するものである。

（従来の技術） 一般に、固体電解コンデンサは、タンタル等の
弁作用を有する金属の微粉末を任意の形状に加圧
成形し、この成形体を高温・高真空の雰囲気中で
焼結し、焼結後、酸化処理等を施し、製造され
る。

特に、成形体を焼結する場合には焼結処理の前
後で各々脱ワツクス処理及び冷却処理を施してお
り、このような処理を連続的に行なうため、各処
理が施される槽を直列に連結し、成形体の載置さ
れた複数個の台車を搬送して、成形体に同時に各
処理を施しうる装置が用いられるようになつてき
た。

（発明が解決しようとする課題） しかし、このような連続装置では、特性を向上
する等の理由のために各槽内での台車の停留時間
を違えることがあり、この場合には台車が搬入さ
れていない槽が生じることがある。そして、この
槽が焼結槽であると、発熱部分が非常に高温であ
り、その熱をさえぎるものがないために槽の寿命
が短くなる欠点があつた。

本発明の目的は、加熱により焼結槽の寿命が短
くなるのを防止しうる焼結装置を提供するもので
ある。

（課題を解決するための手段） 本発明は、上記の目的を達成するために、金属
の微粉末を任意の形状に形成した成形体を、予め
定められた時間経過後に焼結槽内に搬送して焼結
しうる焼結装置において、焼結槽内に設けられた
成形体を加熱して焼結しうる均熱室と、該焼結槽
内の側壁に取り付けられたシールド機構を設け、
このシールド機構は台上に前記均熱室を断熱シー
ルド用台車を有し、この断熱シールド用台車によ
つて前記均熱室の熱を遮蔽することを特徴とする
焼結装置を提供するものである。

（作用） 本発明によれば、均熱室にシールド機構によつ
て熱の放散を防止できるために焼結槽の寿命を改
善できる。

（実施例） 以下、本発明を図示の実施例に基づいて説明す
る。

第１図において、１は、第１脱ワツクス槽であ
り、温度数100℃、圧力１〜10^-3Torr程度の雰囲
気に保持され、成形体からワツクスを除去するも
のである。２は、第１脱ワツクス槽１に連結され
た第２脱ワツクス槽であり、第１脱ワツクス槽１
よりも高温・高真空度の雰囲気に保持され、第１
脱ワツクス槽１では除去されないワツクスを除去
するものである。３は、第２脱ワツクス槽２に連
結された第１焼結槽であり、温度1200〜1600℃、
圧力10^-5Torr程度の雰囲気に保持されており、
脱ワツクス処理後の成形体を焼結するものであ
る。４は、第１焼結槽３に連結された第２焼結槽
であり、第１焼結槽３よりも高温、低圧力に保持
されている。そしてこれらの第１脱ワツクス槽
１、第２脱ワツクス槽２、第１焼結槽３及び第２
焼結槽４はほぼ同じ長さになつている。５は、第
２焼結槽４に連結された第１冷却槽であり、第２
焼結槽４のほぼ２倍の長さになつており、圧力
10^-5Torr程度に保持され、第２焼結槽４で焼結
処理された成形体を約100℃まで真空冷却するも
のである。６は、第１冷却槽５に連結された第２
冷却槽であり、第１冷却槽５とほぼ同じ長さで、
成形体をさらに数10℃程度までガス冷却するもの
で、アルゴン等の不活性ガスが充満し、第１冷却
槽５よりも高い圧力の雰囲気に保たれている。

７は、第２冷却槽６に連結された後槽であり、
第１脱ワツクス槽１等と同じ長さで、ガス冷却後
の成形体を取り出すためのものである。

第１脱ワツクス槽１から後槽７までは搬送ロー
ラーが設けられていて成形体を一定の速度で搬送
しうるものであり、また、各槽１〜７は開閉自在
なシヤツターにより互いに隔離されている。そし
て各槽１〜７を任意の圧力に保持するために、油
回転ポンプ８〜１４やルーツブロアポンプ１５〜
２１、拡散ポンプ２２〜２５が任意の組み合わせ
により各槽１〜７に接続されている。

なお、後槽７は必ずしも設ける必要はなく、第
２冷却槽６で成形体を数10℃程度まで冷却した
後、そのまま、空気中に取り出し放置して冷却し
てもよい。

また、第１冷却槽５及び第２冷却槽６は他の槽
のほぼ２倍の長さになつているが、同じ長さであ
つてもよい。ただし、前者の方が冷却に無理がな
く、冷却効果は優れている。

第２図は、第２焼結槽４の断面図である。槽４
の屋根部にはアーチ状の覆２６とその覆２６の内
に設けられたアーチ状のタンタル製のヒータ２７
とが支持棒２８により取り付けられ均熱室２９を
構成している。３０は、均熱室２９の真下に設け
られた搬送用ローラーであり、モーター３１によ
り回転される。３２はこの搬送用ローラー３０に
より搬送される台車であり、成形体が載せられて
いる。３３は台車昇降用のエレベータであり、台
車３２を均熱室２９まで運ぶことができる。３４
は槽４の側壁に取り付けられたシールド機構であ
り、シリンダー３５の先端に、真中に孔のある台
３６が取り付けられており、この台３６に断熱シ
ールド用の台車３７が載置されている。この台車
３７は上部３８がタンタルとモリブデンの積層体
構造となつており、下部に黒鉛をモリブデンで被
覆した断熱部３９が形成されている。

次に、上記実施例の作用について説明する。

先ず、タンタル等の弁作用金属の微粉末に圧力
を加えて任意の形状に成形した成形体を台車に載
せ、搬送用ローラーにより一定の速度で搬送す
る。そして各槽で一定時間停留させるが、第１脱
ワツクス槽１、第２脱ワツクス槽２、第１焼結槽
３及び後槽７の停留時間は同じとし、第２焼結槽
４はその1/2そして第１冷却槽５及び第２冷却槽
６はその２倍とする。すなわち、成形体を載せた
台車は、先ず第１脱ワツクス槽１に搬入され一定
時間停留して、成形体のワツクスを除去する。次
に台車は第２脱ワツクス槽２内に搬入され残りの
ワツクスが除去される。ワツクス除去後、台車は
第１焼結槽３に搬入され成形体は焼結される。第
１焼結槽３で焼結後、第２図に示す如く、台車３
２は第２焼結槽４内に搬入される。台車３２が第
２焼結槽４に搬入されると、第３図に示す通り、
エレベータ３３が上昇して台車３２を均熱室２９
まで運ぶ。そして焼結後、エレベータ３３は下降
し台車３２を搬送用ローラー３０の上に載置す
る。台車３２は、搬送用ローラー３０の上に載置
されると、次の第１冷却槽５に搬入される。台車
３２が第２焼結槽４から搬出されても、この間の
焼結時間が第１焼結槽３での焼結時間のほぼ1/2
であるため、次の台車はまだ第２焼結槽４内には
搬入されてこない。この間、第２焼結槽４内で
は、シールド機構３４が作動する。すなわち、第
２焼結槽４から台車３２が搬送され終わると、第
４図に示す如くシリンダー３５が延び断熱シール
ド用の台車３７を均熱室２９の真下まで運ぶ。台
車３７が均熱室２９の真下にくるとエレベータ３
３が台の孔を通して断熱シールド用台車３７を均
熱室２９まで押し上げ、そのため均熱室２９が台
車３７で蓋をした状態になる。従つて、均熱室２
９の熱は遮蔽されて第２焼結槽４の他の部分に直
接伝達されることがない。そして所定時間経過
後、エレベータ３３が下降して台３６の上に台車
３７を置くとシリンダー３５が後退して台車３７
を元の位置（第２図）までもつてゆく。台車３７
が元の位置に戻ると、第１焼結槽３から次の成形
体を載せた台車３７が第２焼結槽３に搬入され以
下同じ動作が繰り返される。第１冷却槽５におい
ては成形体は真空冷却される。真空冷却後は成形
体は第２冷却槽５に搬入されガス冷却される。ガ
ス冷却後、台車は後槽７に搬入される。後槽７は
最初は低圧力に保持され、台車の搬入後、常温常
圧にされるもので、この状態で成形体が台車ごと
搬出される。

すなわち、上記実施例によれば、第２焼結槽４
にシールド機構３４を設け、均熱室２９に台車３
７により蓋をすることができるため、成形体を載
せた台車３２が搬入されていない場合にも均熱室
２９の熱が第２焼結槽４の他の部分に直接伝達さ
れるのを防ぐことができ槽４の寿命を改善でき
る。また、均熱室２９の温度を上げ下げするよう
な方法を用いることがないのでヒーター２７の寿
命も改善できる。

（発明の効果） 以上の通り、本発明によれば、均熱室２９の熱
の放散をシールド機構により防止できるため、寿
命を向上しうる焼結装置が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例の構成図、第２図〜第
４図は本発明の実施例に用いられる第２焼結槽の
断面図であり、第２図は台車が搬入された状態の
断面図、第３図は台車を均熱室まで上げた状態の
断面図、第４図はシールド機構を動作させた状態
の断面図を示す。 ３……第１焼結槽、４……第２焼結槽、２９…
…均熱室、３４……シールド機構、３８……断熱
部。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 金属の微粉末を任意の形状に形成した成形体
   を、脱ワツクス、焼結及び冷却の各処理を行うた
   めの複数の処理槽が直列に連結され、各処理槽間
   及び各処理槽の下部に成形体を載置する台車を有
   する成形体搬送機構で搬送し焼結する焼結装置に
   おいて、焼結槽の上部に設けた成形体を加熱し焼
   結する均熱室と、この焼結槽内の側壁に取り付け
   たシールド機構を設け、このシールド機構はシリ
   ンダーの先端に取り付けた台上に断熱シールド用
   台車を有し、この断熱シールド用台車によつて前
   記均熱室の熱を遮蔽することを特徴とする焼結装
   置。