JPH0368768A - 細線コーティング用回転巻取装置 - Google Patents
細線コーティング用回転巻取装置Info
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、各種細線の表面に均一な皮膜を被覆すること
、特に、半導体チップと外部リードとをボンディングす
る細線の表面にドライコーティング法により無機物質を
連続して均一に被覆する場合に用いるコーティング用回
転巻取装置に関するものである。
、特に、半導体チップと外部リードとをボンディングす
る細線の表面にドライコーティング法により無機物質を
連続して均一に被覆する場合に用いるコーティング用回
転巻取装置に関するものである。
（従来の技術）
細線、例えば半導体チップとリードフレームを結ぶボン
ディング細線は、裸のま〜使用されていたが、近時次第
に高密度化接合となっておりそのため細線間の接触が起
って回路が短絡し、チップの正常な働きを阻害すること
が多くなっている。
ディング細線は、裸のま〜使用されていたが、近時次第
に高密度化接合となっておりそのため細線間の接触が起
って回路が短絡し、チップの正常な働きを阻害すること
が多くなっている。
そこで、ボンディング細線の表面に有機高分子樹脂より
なる絶縁皮膜を被覆する方法が例えば特開昭５８−２３
３９号公報に開示されているが、前述のような樹脂皮膜
は、チップと細線の接合時に細線表面（ボンディングボ
ール上）に残留し接合不良を起すことがある。そのため
この残留樹脂をガスで吹き飛ばし、吸引除去することが
特開昭６３−３１８１３２号公報に開示されているが、
これは設備的にも複雑になるという問題点を有する。
なる絶縁皮膜を被覆する方法が例えば特開昭５８−２３
３９号公報に開示されているが、前述のような樹脂皮膜
は、チップと細線の接合時に細線表面（ボンディングボ
ール上）に残留し接合不良を起すことがある。そのため
この残留樹脂をガスで吹き飛ばし、吸引除去することが
特開昭６３−３１８１３２号公報に開示されているが、
これは設備的にも複雑になるという問題点を有する。
一方有機樹脂に替えて、無機物質をスパッタリング、イ
オンブレーティング、真空蒸着、プラズマＣＶＤなどの
ドライコーティング法によって細線表面に被覆すること
が考えられている。
オンブレーティング、真空蒸着、プラズマＣＶＤなどの
ドライコーティング法によって細線表面に被覆すること
が考えられている。
一般にスパッタリング、イオンブレーティング、真空蒸
着あるいはプラズマＣＶＤなとのドライコーティング法
は、湿式めっき法あるいは溶媒中に溶解させた高分子の
塗布法などによる被覆法に較べて皮膜とする物質が広い
範囲から選べ、また膜厚の制御がしやすいという特長が
あり、機能性薄膜の製造法として半導体工業を中心に広
く用いられている。
着あるいはプラズマＣＶＤなとのドライコーティング法
は、湿式めっき法あるいは溶媒中に溶解させた高分子の
塗布法などによる被覆法に較べて皮膜とする物質が広い
範囲から選べ、また膜厚の制御がしやすいという特長が
あり、機能性薄膜の製造法として半導体工業を中心に広
く用いられている。
しかしながら、一般のドライコーティング法においては
、蒸着されて薄膜となる物質は真空槽内の坩堝、（スパ
ッタリング）ターゲットなどの蒸着源からほぼ一方向に
飛来し、基板上に堆積する仕組みとなっており、平板状
あるいはそれに近い形状の基板にコーティングする場合
には良いものの、立体的形状の基体の表面にコーティン
グする場合には蒸着源から見て陰となる部分への蒸着物
質の回り込みが不十分なため均一にコーティングするこ
とが困難であった。
、蒸着されて薄膜となる物質は真空槽内の坩堝、（スパ
ッタリング）ターゲットなどの蒸着源からほぼ一方向に
飛来し、基板上に堆積する仕組みとなっており、平板状
あるいはそれに近い形状の基板にコーティングする場合
には良いものの、立体的形状の基体の表面にコーティン
グする場合には蒸着源から見て陰となる部分への蒸着物
質の回り込みが不十分なため均一にコーティングするこ
とが困難であった。
特に真空槽にくらべて非常に長い細線状の基体にコーテ
ィングする場合には糸巻様のリールに巻いた細線を蒸着
ゾーンに送り出しながらコーティングを行なうことが必
要であるが、やはり細線の表面のうち蒸着源から見て陰
になる部分へ蒸着される割合が少なくなるため結果とし
て均一な膜厚を得ることは不可能であった。
ィングする場合には糸巻様のリールに巻いた細線を蒸着
ゾーンに送り出しながらコーティングを行なうことが必
要であるが、やはり細線の表面のうち蒸着源から見て陰
になる部分へ蒸着される割合が少なくなるため結果とし
て均一な膜厚を得ることは不可能であった。
この解決策として、いわゆるホローカソードスパッタリ
ングなどのように、軸対称の構造を持つ装置を用い、軸
に相当する空間に細線を送り出すことによって、細線の
表面上にどの部分も均一にコーティングする方法が従来
から考案されている。
ングなどのように、軸対称の構造を持つ装置を用い、軸
に相当する空間に細線を送り出すことによって、細線の
表面上にどの部分も均一にコーティングする方法が従来
から考案されている。
しかしこの方法では、ターゲットやガス導入部分などの
円筒形配置をはじめ複雑な構成を持つ専用の装置を必要
とすること、および細線のほかに対極が配置できないた
め堆積条件が制御しにくいことなどの欠点があった。
円筒形配置をはじめ複雑な構成を持つ専用の装置を必要
とすること、および細線のほかに対極が配置できないた
め堆積条件が制御しにくいことなどの欠点があった。
（発明が解決しようとする課題）
本発明は、上記したような堆積条件が制御しにくい特殊
形状の蒸着装置を用いることなく、−船釣なドライコー
ティング法によって、細線表面に均一な無機物質の皮膜
を形成させるための装置を提供することを目的とするも
のである。
形状の蒸着装置を用いることなく、−船釣なドライコー
ティング法によって、細線表面に均一な無機物質の皮膜
を形成させるための装置を提供することを目的とするも
のである。
（課題を解決するための手段）
上記目的を達成するため本発明は次の事項を要旨とする
。すなわち フランジを有する支持台に、細線送り出しリールを回転
自在に取付けると共に前記フランジに支持台を回転する
回転体を連結した細線送り出し機構と、フランジを有す
る支持台に、連動装置を介して回転する細線巻取リール
を設置すると共に、前記フランジに支持台を回転する回
転体を連結し、かつ、前記連動装置と連結する回転体を
設けた細線巻取り機構とを、同軸上に回転するよう配置
し、外部動力により回転する同期回転機構を、前記送り
出し機構及び巻取り機構のそれぞれの回転体と連動する
よう連結したことを特徴とする細線コーティング用回転
巻取装置。
。すなわち フランジを有する支持台に、細線送り出しリールを回転
自在に取付けると共に前記フランジに支持台を回転する
回転体を連結した細線送り出し機構と、フランジを有す
る支持台に、連動装置を介して回転する細線巻取リール
を設置すると共に、前記フランジに支持台を回転する回
転体を連結し、かつ、前記連動装置と連結する回転体を
設けた細線巻取り機構とを、同軸上に回転するよう配置
し、外部動力により回転する同期回転機構を、前記送り
出し機構及び巻取り機構のそれぞれの回転体と連動する
よう連結したことを特徴とする細線コーティング用回転
巻取装置。
そして、上記要旨の発明には更に次の条件を付加するこ
とができることも、本発明の特徴である。
とができることも、本発明の特徴である。
すなわち上記発明において、
１、送り出し機構及び巻取り機構の各支持台に細線案内
スプールを設けること ２、送り出し機構支持台に細線案内と共に張力制御が可
能な複数個のスプールを設けることを特徴とする。
スプールを設けること ２、送り出し機構支持台に細線案内と共に張力制御が可
能な複数個のスプールを設けることを特徴とする。
本発明装置は、スパッタリング、イオンブレーティング
、真空蒸着、あるいはプラズマＣＶＤなどのドライコー
ティング装置の真空槽内に設置し、コイル状に巻かれた
細線の送り出しおよび巻取りをすると同時に細線をその
進行方向を軸として回転させることで、蒸発物質を均一
に蒸着することを可能とするものである。
、真空蒸着、あるいはプラズマＣＶＤなどのドライコー
ティング装置の真空槽内に設置し、コイル状に巻かれた
細線の送り出しおよび巻取りをすると同時に細線をその
進行方向を軸として回転させることで、蒸発物質を均一
に蒸着することを可能とするものである。
ドライコーティング法による被覆法は、一般に湿式めっ
き法あるいは溶媒中に溶解させた高分子の塗布法などに
よる被覆法に較べて皮膜とする物質が広い範囲から選べ
、また膜厚の制御がしやすいという特長がある。
き法あるいは溶媒中に溶解させた高分子の塗布法などに
よる被覆法に較べて皮膜とする物質が広い範囲から選べ
、また膜厚の制御がしやすいという特長がある。
コーティングの方法として、スパッタリング法では膜厚
などの制御性に特にすぐれた緻密な薄膜がコーティング
され、またイオンブレーティング法では短時間で密着性
の高い薄膜のコーティングが行えるという特徴がある。
などの制御性に特にすぐれた緻密な薄膜がコーティング
され、またイオンブレーティング法では短時間で密着性
の高い薄膜のコーティングが行えるという特徴がある。
以下本発明を、図に示す実施例に基づいて詳細に説明す
る。
る。
第１図は、本発明の正面図であり、第２図は同平面図で
ある。図において、Ａは細線送り出し機構、Ｂは細Ｉ！
巻取り機構、Ｃは同期回転機構を示している。
ある。図において、Ａは細線送り出し機構、Ｂは細Ｉ！
巻取り機構、Ｃは同期回転機構を示している。
細線送り出し機構Ａは、以下のように構成される。すな
わち、フランジ１′を有するＬ型の支持台１上に、支軸
２に回転自在に取付けた送り出しリール３を該支軸２を
介して固定すると共に細線４の送り出し方向に並列して
設け、支軸５，６゜７のそれぞれに回転自在に取付けた
スプール８゜９．１０を、該支軸５．６． ７を介して
固定している。またフランジ１′には、支持台１を回転
する回転歯車１１を軸１２を介して連結されている。１
３は回転軸１２を軸受け２０を介して支持する架台であ
る。
わち、フランジ１′を有するＬ型の支持台１上に、支軸
２に回転自在に取付けた送り出しリール３を該支軸２を
介して固定すると共に細線４の送り出し方向に並列して
設け、支軸５，６゜７のそれぞれに回転自在に取付けた
スプール８゜９．１０を、該支軸５．６． ７を介して
固定している。またフランジ１′には、支持台１を回転
する回転歯車１１を軸１２を介して連結されている。１
３は回転軸１２を軸受け２０を介して支持する架台であ
る。
上記スプール８． ９．１０は、必要に応じて設置すれ
ばよいのであるが本実施例では３個設けている（支Ｉｄ
１５．６． ７或はスプール８． ９．１０は、取り外
し可能な構造とする。）。これは細線の送り出しにあた
って細線の進行方向が、回転中心軸に一致するように案
内すると共に巻取時に張力を調整して、たるみが起きな
いように細線を移行させる役割を果たしている。このた
め、例えば軸６を支持台の回転軸と直交方向に可動とし
、前後のスプールとの重り深さを制御できる構造とする
ことが好ましい。
ばよいのであるが本実施例では３個設けている（支Ｉｄ
１５．６． ７或はスプール８． ９．１０は、取り外
し可能な構造とする。）。これは細線の送り出しにあた
って細線の進行方向が、回転中心軸に一致するように案
内すると共に巻取時に張力を調整して、たるみが起きな
いように細線を移行させる役割を果たしている。このた
め、例えば軸６を支持台の回転軸と直交方向に可動とし
、前後のスプールとの重り深さを制御できる構造とする
ことが好ましい。
細線巻取り機構Ｂでは、送り出し機構Ａと同様にフラン
ジ１４’を有するＬ型の支持台１４を設けており、この
支持台１４には、該台１４に固定した軸受け１５により
巻取り−ルミ６を取付けた回転軸１７を支承している。
ジ１４’を有するＬ型の支持台１４を設けており、この
支持台１４には、該台１４に固定した軸受け１５により
巻取り−ルミ６を取付けた回転軸１７を支承している。
フランジ１４’ には支持台回転歯車１８が軸１９を介
して固定され、軸】９は軸受け２０を介して架台１３′
に支持されている。２１はリール１Ｂを回転するため
の伝達歯車であり、軸受け２ａで回転自在に支承されて
いる軸２２の一端に固定されている。
して固定され、軸】９は軸受け２０を介して架台１３′
に支持されている。２１はリール１Ｂを回転するため
の伝達歯車であり、軸受け２ａで回転自在に支承されて
いる軸２２の一端に固定されている。
軸２２の他端には、傘歯車２３が固定されており、該歯
車２３は、支持台１４上に固定された軸受け２４に支持
されている中間伝達歯車２５を介して、巻取リール回転
軸１７に取付けられたリール回転歯車２６と連結してい
る。２７は支軸２８に回転自在に係合した細線案内スプ
ールで、必要に応じて取付け、細線が回転中心軸を移行
するようにガイドする。尚支軸２８は取はずし可能に、
支持台に固定されている。
車２３は、支持台１４上に固定された軸受け２４に支持
されている中間伝達歯車２５を介して、巻取リール回転
軸１７に取付けられたリール回転歯車２６と連結してい
る。２７は支軸２８に回転自在に係合した細線案内スプ
ールで、必要に応じて取付け、細線が回転中心軸を移行
するようにガイドする。尚支軸２８は取はずし可能に、
支持台に固定されている。
同期回転機構Ｃは、次の構成を有する。すなわち、回転
軸２９の両端側に同期回転歯車３０．３１を固設すると
共に、駆動歯車３２を固定して駆動モーターＭと連結し
ている。３３は細線送り出し機構Ａの支持台回転歯車と
連結する送り出し側同期連動歯車であり、３４は細線巻
取り機構Ｂの支持台回転歯車１８と連結している巻取側
同期連動歯車である。
軸２９の両端側に同期回転歯車３０．３１を固設すると
共に、駆動歯車３２を固定して駆動モーターＭと連結し
ている。３３は細線送り出し機構Ａの支持台回転歯車と
連結する送り出し側同期連動歯車であり、３４は細線巻
取り機構Ｂの支持台回転歯車１８と連結している巻取側
同期連動歯車である。
巻取側同期連動歯車３４には、巻取リールの回転伝達歯
車２１と連結する連動歯車３５が固定されている。
車２１と連結する連動歯車３５が固定されている。
上記の構成において、送り出しり−ル３に巻回している
細線４は、進行方向を回転軸としながら巻取リール１６
に巻取られる。すなわちモーターＭによって駆動される
同期回転軸２９は両サイドの歯車３０．３１を同期回転
し、この動力を連動歯車３３゜３４より支持台回転歯車
１１．１８に伝達する。該回転歯車１１．１８は軸１２
と１９を中心に支持台１及び１４を同一方向に同期回転
をする。同様に、連動歯車３５よりの動力が伝達歯車２
１に伝わりこの回転によって傘歯車２３及び中間伝達歯
車２５よりリール回転歯車２６に伝達され巻取り−ル１
６を回転する。巻取リール１Ｂの回転により細線４は回
転しながら引張られ、自由回転する送り出しり−ル３よ
り繰り出されて巻取リール１６に巻取られるが、この際
細線の移行は、支持台の各フランジ１’ 、 １４’の
支持軸１２．１９の中心（すなわち回転軸）と一致する
ように、リール３．１６を配置している。そして、これ
は各支持台に立設されるスプールｌＯ及び２７を、回転
中心軸に細線が位置するように配置することによって前
記リール３６１６の配置に関係なく達成できる。
細線４は、進行方向を回転軸としながら巻取リール１６
に巻取られる。すなわちモーターＭによって駆動される
同期回転軸２９は両サイドの歯車３０．３１を同期回転
し、この動力を連動歯車３３゜３４より支持台回転歯車
１１．１８に伝達する。該回転歯車１１．１８は軸１２
と１９を中心に支持台１及び１４を同一方向に同期回転
をする。同様に、連動歯車３５よりの動力が伝達歯車２
１に伝わりこの回転によって傘歯車２３及び中間伝達歯
車２５よりリール回転歯車２６に伝達され巻取り−ル１
６を回転する。巻取リール１Ｂの回転により細線４は回
転しながら引張られ、自由回転する送り出しり−ル３よ
り繰り出されて巻取リール１６に巻取られるが、この際
細線の移行は、支持台の各フランジ１’ 、 １４’の
支持軸１２．１９の中心（すなわち回転軸）と一致する
ように、リール３．１６を配置している。そして、これ
は各支持台に立設されるスプールｌＯ及び２７を、回転
中心軸に細線が位置するように配置することによって前
記リール３６１６の配置に関係なく達成できる。
第３図及び第４図は、本発明の別の実施例であり、細線
１が送り出し機構Ａと、巻取り機構の間を１乃至複数回
往復移行する構造となっている。
１が送り出し機構Ａと、巻取り機構の間を１乃至複数回
往復移行する構造となっている。
すなわち、送り出し機構側の支持台１及び巻取り機構側
の支持台ｉ４には支軸７および２８を固定し、この支軸
７，２８にはそれぞれ案内スプール１０゜１０’および
２７．２７’が回転自在に取付けられている。送り出し
リールより繰り出される細線４はスプールｌＯに案内さ
れてスプール２７に移行し、これを転回してスプール１
０′を通り、更にスプール２７′ に案内されてリール
１Ｂに巻取られる。このように細線４はスプール１０．
２７間を一往復するが、この際軸１２．１９によって回
転する各機構Ａ、Ｂの中心軸近傍を細線は回転しながら
移行する。本実施例ではスプールを各支持台上に２箇支
持しているがこれを増すことによって細線の往復回数を
増すことができる。尚、本実施例の他の構造は、第１．
２図に示した構成と同様である。
の支持台ｉ４には支軸７および２８を固定し、この支軸
７，２８にはそれぞれ案内スプール１０゜１０’および
２７．２７’が回転自在に取付けられている。送り出し
リールより繰り出される細線４はスプールｌＯに案内さ
れてスプール２７に移行し、これを転回してスプール１
０′を通り、更にスプール２７′ に案内されてリール
１Ｂに巻取られる。このように細線４はスプール１０．
２７間を一往復するが、この際軸１２．１９によって回
転する各機構Ａ、Ｂの中心軸近傍を細線は回転しながら
移行する。本実施例ではスプールを各支持台上に２箇支
持しているがこれを増すことによって細線の往復回数を
増すことができる。尚、本実施例の他の構造は、第１．
２図に示した構成と同様である。
以上の実施例において、回転伝達機構を歯車を用いた構
成で説明したが、本発明はこれに限定されることなく、
同期回転が可能な別な手段例えば、チェー３ベルト方式
を採用することによっても目的が達成できることは云う
までもない。
成で説明したが、本発明はこれに限定されることなく、
同期回転が可能な別な手段例えば、チェー３ベルト方式
を採用することによっても目的が達成できることは云う
までもない。
本発明装置はドライコーティング装置の真空槽内に設置
される、第５図にイオンブレーティング装置に本発明を
取付けた例を示す。すなわち、図中の３６が真空槽、３
７が真空ポンプと連通し、槽内を減圧する排気管、８８
は雰囲気ガス供給管、３９は本発明装置で、槽壁に取付
けた架台４ｏに固定される。４１は蒸発物質を挿入する
ルツボ、４２は電子ビーム（ＥＢ）ガン、４３は高周波
誘導コイルで蒸発物質を矢印の方向に移送する。細線１
は蒸着ゾーン４４を、蒸着物質の流れ方向（矢印）に対
して垂直方向に進行するよう配置される。
される、第５図にイオンブレーティング装置に本発明を
取付けた例を示す。すなわち、図中の３６が真空槽、３
７が真空ポンプと連通し、槽内を減圧する排気管、８８
は雰囲気ガス供給管、３９は本発明装置で、槽壁に取付
けた架台４ｏに固定される。４１は蒸発物質を挿入する
ルツボ、４２は電子ビーム（ＥＢ）ガン、４３は高周波
誘導コイルで蒸発物質を矢印の方向に移送する。細線１
は蒸着ゾーン４４を、蒸着物質の流れ方向（矢印）に対
して垂直方向に進行するよう配置される。
以下に本発明の適用例を示す。
直径３０Ｈ、長さ２０ｍの金合金ボンディング細線を第
１図に示す回転巻取装置にセットし、これをイオンブレ
ーティング装置の真空槽内に設置して、絶縁被覆用の酸
化アルミニウムを表面にコーティングした。コーティン
グ条件は以下の通りであった。
１図に示す回転巻取装置にセットし、これをイオンブレ
ーティング装置の真空槽内に設置して、絶縁被覆用の酸
化アルミニウムを表面にコーティングした。コーティン
グ条件は以下の通りであった。
手 法 ：イオンブレーティング蒸発物質：Ａｌ
□Ｏ１粉末 雰 囲 気 ： Ａｒ 十ｏ２混合（１： １）ガス導
入、５ Ｘ １０−’Ｔｏｒｒ 蒸 発 法 ： Ｅ Ｂ、 １０ｋＶ、 ２０
０ｍＡＲＦ ハ’７− ： ０．１ｋｌｌｌコイル送
り速度： ２７ｃｍ／ｉ１ｎ。
□Ｏ１粉末 雰 囲 気 ： Ａｒ 十ｏ２混合（１： １）ガス導
入、５ Ｘ １０−’Ｔｏｒｒ 蒸 発 法 ： Ｅ Ｂ、 １０ｋＶ、 ２０
０ｍＡＲＦ ハ’７− ： ０．１ｋｌｌｌコイル送
り速度： ２７ｃｍ／ｉ１ｎ。
膜 厚 ： ２５ＯＡ
細線温度：常温
コーテイング後のボンディング細線について形成された
薄膜の成分分析をＡＥＳ法で行なったところ、はぼター
ゲットと同じ組成であった。また細線の断面をＣＭＡ
（Ｘ線分析）で面分析したところ細線の側面にそって均
一に酸化アルミニウムがコーティングされていることが
わかった。
薄膜の成分分析をＡＥＳ法で行なったところ、はぼター
ゲットと同じ組成であった。また細線の断面をＣＭＡ
（Ｘ線分析）で面分析したところ細線の側面にそって均
一に酸化アルミニウムがコーティングされていることが
わかった。
（発明の効果）
本発明の細線コーティング用回転巻取装置を真空装置の
真空槽内に設置し、細線をその線方向を軸として回転さ
せながら送り出すと同時に蒸着操作を行なうことにより
、半導体用ボンディング細線、その他の金属線、合成繊
維あるいは炭素繊維等の細線上へ薄膜をコーティングす
ることができる。特に蒸着工程で細線は回転中心軸に一
致した移行をするため蒸着量がほぼ均一となり、細線表
面に緻密な均一無機皮膜を得ることができる。
真空槽内に設置し、細線をその線方向を軸として回転さ
せながら送り出すと同時に蒸着操作を行なうことにより
、半導体用ボンディング細線、その他の金属線、合成繊
維あるいは炭素繊維等の細線上へ薄膜をコーティングす
ることができる。特に蒸着工程で細線は回転中心軸に一
致した移行をするため蒸着量がほぼ均一となり、細線表
面に緻密な均一無機皮膜を得ることができる。
図面は本発明の実施例であって、第１図は正面図、第２
図は平面図を示す。第３図は他の実施例の正面図、第４
図は第３図の１部平面図、第５図は本発明の使用例を示
す図である。 Ａ：細線送り出し機構 Ｂ：細線巻取り機構Ｃ二同期
回転機構 １：支持台 １′：フランジ２：支 軸
３：送り出しり−ル４：細’ａ
５．６．７：支軸８．９，１０ニスプール １１：支
持台回転歯車１２：軸 １３．１３’ ：架
台１４′：フランジ １４：支持台１５：軸受
け １Ｂ二巻取リール１７：巻取リール回
転軸 １８：支持台回転歯車１９：軸
２０：１Ｉｌｌ受け２１：伝達歯車 ２
２：軸 ２３：傘歯車 ２４：軸受け２５：中間伝
達歯車 ２６：リール回転歯車２７：案内スプー
ル ２８：支 軸２９：同期回転軸 ａｏ、 ３１：同期回転歯車 ３２：駆動歯車３３：
送り出し側同期連動歯車
図は平面図を示す。第３図は他の実施例の正面図、第４
図は第３図の１部平面図、第５図は本発明の使用例を示
す図である。 Ａ：細線送り出し機構 Ｂ：細線巻取り機構Ｃ二同期
回転機構 １：支持台 １′：フランジ２：支 軸
３：送り出しり−ル４：細’ａ
５．６．７：支軸８．９，１０ニスプール １１：支
持台回転歯車１２：軸 １３．１３’ ：架
台１４′：フランジ １４：支持台１５：軸受
け １Ｂ二巻取リール１７：巻取リール回
転軸 １８：支持台回転歯車１９：軸
２０：１Ｉｌｌ受け２１：伝達歯車 ２
２：軸 ２３：傘歯車 ２４：軸受け２５：中間伝
達歯車 ２６：リール回転歯車２７：案内スプー
ル ２８：支 軸２９：同期回転軸 ａｏ、 ３１：同期回転歯車 ３２：駆動歯車３３：
送り出し側同期連動歯車
Claims (5)
- １．フランジを有する支持台に、細線送り出しリールを
回転自在に取付けると共に前記フランジに支持台を回転
する回転体を連結した細線送り出し機構と、フランジを
有する支持台に、連動装置を介して回転する細線巻取リ
ールを設置すると共に、前記フランジに支持台を回転す
る回転体を連結し、かつ、前記連動装置と連結する回転
体を設けた細線巻取り機構とを、同軸上に回転するよう
配置し、外部動力により回転する同期回転機構を、前記
送り出し機構及び巻取り機構のそれぞれの回転体と連動
するよう連結したことを特徴とする細線コーティング用
回転巻取装置。 - ２．送り出し機構及び巻取り機構の各支持台に細線案内
スプールを設けたことを特徴とする請求項１記載の細線
コーティング用回転巻取装置。 - ３．送り出し機構支持台に複数個のスプールを設けたこ
とを特徴とする請求項１または２記載の細線コーティン
グ用回転巻取装置。 - ４．送り出しリールと巻取リールの間に設けたコーティ
ング領域を回転しながら進行する細線の回転軸が、送り
出し機構及び巻取り機構の回転軸と同軸になるようにセ
ットしたことを特徴とする請求項１、２または３記載の
細線コーティング用回転巻取装置。 - ５．送り出しリールと巻取リールの間に設けたコーティ
ング領域を回転しながら進行する細線が、送り出し機構
及び巻取り機構の回転軸とほゞ同軸の範囲で少くとも１
往復するように、送り出し機構及び巻取り機構を配置し
たことを特徴とする請求項１、２、３記載の細線コーテ
ィング用回転巻取装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1204769A JPH0368768A (ja) | 1989-08-09 | 1989-08-09 | 細線コーティング用回転巻取装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1204769A JPH0368768A (ja) | 1989-08-09 | 1989-08-09 | 細線コーティング用回転巻取装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0368768A true JPH0368768A (ja) | 1991-03-25 |
Family
ID=16496043
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1204769A Pending JPH0368768A (ja) | 1989-08-09 | 1989-08-09 | 細線コーティング用回転巻取装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0368768A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5524464A (en) * | 1993-09-30 | 1996-06-11 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Workpiece-bore processing apparatus and method |
| US5758421A (en) * | 1994-05-02 | 1998-06-02 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method for manufacturing fluid bearing |
| JP2008068363A (ja) * | 2006-09-14 | 2008-03-27 | Sii Micro Precision Kk | 内面加工ツール及びこれを用いた工作機械 |
-
1989
- 1989-08-09 JP JP1204769A patent/JPH0368768A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5524464A (en) * | 1993-09-30 | 1996-06-11 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Workpiece-bore processing apparatus and method |
| US5758421A (en) * | 1994-05-02 | 1998-06-02 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method for manufacturing fluid bearing |
| JP2008068363A (ja) * | 2006-09-14 | 2008-03-27 | Sii Micro Precision Kk | 内面加工ツール及びこれを用いた工作機械 |
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