JPH0368551B2 - - Google Patents
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- JPH0368551B2 JPH0368551B2 JP61233592A JP23359286A JPH0368551B2 JP H0368551 B2 JPH0368551 B2 JP H0368551B2 JP 61233592 A JP61233592 A JP 61233592A JP 23359286 A JP23359286 A JP 23359286A JP H0368551 B2 JPH0368551 B2 JP H0368551B2
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Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
この発明は、電気用基板素材等に液体状の回路
形成材を吐出して所定の回路形成を行なう回路形
成装置に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a circuit forming apparatus that forms a predetermined circuit by discharging a liquid circuit forming material onto an electrical substrate material or the like.
［従来の技術］
従来、この種の装置としては第６図に示すもの
がある。[Prior Art] Conventionally, there is a device of this type as shown in FIG.
図において、１は基板素材２を設置する移動テ
ーブルで、予め定めた回路形成パターンに応じて
所定の駆動装置により水平方向、すなわちＸおよ
びＹ方向（図中、矢符にて示す）へ一定速度で移
動する。３は液体状の回路形成材Ｐ（以下ペース
トと称す）を収納して成るノズルで、下端部に微
少の吐出孔３ａが形成され、上面には圧縮空気を
送給するためのチユーブ４が連結されている。 In the figure, reference numeral 1 denotes a moving table on which the substrate material 2 is placed, and it moves at a constant speed in the horizontal direction, that is, in the X and Y directions (indicated by arrows in the figure), by a predetermined drive device according to a predetermined circuit formation pattern. Move with. Reference numeral 3 denotes a nozzle containing a liquid circuit forming material P (hereinafter referred to as paste), which has a minute discharge hole 3a formed at its lower end, and a tube 4 connected to its upper surface for supplying compressed air. has been done.
５はノズル保持部５ａを有し、ボールねじ軸を
回転させることによりフレーム６のレール６ａに
沿つて垂直方向（Ｚ方向）に昇降する昇降体であ
り、ボールねじ軸７と螺合するボールナツト８が
固着されている。 Reference numeral 5 denotes an elevating body that has a nozzle holding part 5a and moves up and down in the vertical direction (Z direction) along the rail 6a of the frame 6 by rotating the ball screw shaft, and a ball nut 8 that is threadedly engaged with the ball screw shaft 7. is fixed.
また、第７図は、上記従来の回路形成装置の制
御系を示すブロツク図である。 Further, FIG. 7 is a block diagram showing a control system of the above-mentioned conventional circuit forming apparatus.
図において、９は所定圧の圧縮空気を送出する
空気圧源、１０は空気圧源９と前記ノズル３との
間に介在させた電磁弁、１１は前記移動テーブル
１を駆動するテーブル駆動装置、１２は制御プロ
グラム等を格納して成るROM、１３は前記テー
ブル駆動装置１１の作動および電磁弁１０の開閉
を制御するCPUである。 In the figure, 9 is an air pressure source that sends out compressed air at a predetermined pressure, 10 is a solenoid valve interposed between the air pressure source 9 and the nozzle 3, 11 is a table drive device that drives the movable table 1, and 12 is a A ROM 13 that stores control programs and the like is a CPU that controls the operation of the table driving device 11 and the opening and closing of the solenoid valve 10.
従来の回路形成装置は、上記のように構成され
ており、回路形成開始時には、CPU１３より出
力される開信号を受けて電磁弁１０が開となり、
空気圧源９から所定圧の圧縮空気がノズル３内に
送り込まれ、ペーストＰが吐出される。また、こ
れと同時に、移動テーブル１が所定の回路パター
ンに従つて移動し、基板素材２上にペーストＰが
吐出されてゆく。なお、この装置において、適用
するペーストＰには、主として導体用、絶縁体
用、抵抗体用等がある。これらは、いずれも微少
の金属粒子を高粘度の溶液中に拡散させて成るも
のであり、ペーストＰの吐出完了後は、乾燥さ
せ、800℃〜1000℃の高温で焼成することにより
所定の電気特性が得られる。また、使用する基板
素材２としては、上記のような高温に耐え得る
様、通常の96％のアルミナ（Al2O3）等から成る
いわゆるセラミツク基板を用いている。 The conventional circuit forming device is configured as described above, and when starting circuit formation, the solenoid valve 10 opens in response to an open signal output from the CPU 13.
Compressed air at a predetermined pressure is fed into the nozzle 3 from the air pressure source 9, and the paste P is discharged. At the same time, the moving table 1 moves according to a predetermined circuit pattern, and the paste P is discharged onto the substrate material 2. In addition, in this apparatus, the paste P to be applied is mainly for conductors, insulators, resistors, etc. All of these are made by diffusing minute metal particles into a highly viscous solution, and after the paste P has been discharged, it is dried and fired at a high temperature of 800°C to 1000°C to provide a specified electric current. characteristics are obtained. Further, as the substrate material 2 used, a so-called ceramic substrate made of ordinary 96% alumina (Al 2 O 3 ) or the like is used so as to be able to withstand the above-mentioned high temperatures.
［発明が解決しようとする問題点］
ところで、ノズル３内の空気圧は、第８図ａに
示すようなCPU１３から出力される電磁弁１０
の開閉信号に対し、いわゆる一次遅れを伴つて増
加する。このため、ノズル３内の空気圧によつて
決定されるペーストＰの吐出流量は吐出開始時に
おいて、第８図ｂのイに示すような曲線を描くこ
ととなる。従つて、定速移動する基板素材２上に
ペーストＰを吐出した場合、その吐出状態は第８
図ｃに示すようにパターンの先端部においてペー
ストの付着状態が不均一になる。すなわち、吐出
開始時において、十分な吐出量が得られないにも
拘らず移動テーブル１が移動を開始してしまうた
め、形成されるパターンの先端部分が他の部分よ
り細くなつてしまう。[Problems to be Solved by the Invention] By the way, the air pressure inside the nozzle 3 is controlled by the solenoid valve 10 outputted from the CPU 13 as shown in FIG. 8a.
increases with a so-called first-order delay relative to the opening/closing signal. Therefore, the discharge flow rate of the paste P, which is determined by the air pressure inside the nozzle 3, draws a curve as shown in FIG. Therefore, when the paste P is discharged onto the substrate material 2 moving at a constant speed, the discharge state is the eighth
As shown in Figure c, the state of paste adhesion becomes uneven at the tip of the pattern. That is, at the start of ejection, the movable table 1 starts moving even though a sufficient amount of ejection cannot be obtained, resulting in the tip portion of the formed pattern being thinner than the other portions.
このように回路パターンが不均一になると、回
路形成上種々の問題が生じる。例えば、導体用ペ
ーストであれば、細い部分は導体抵抗の増大とな
り、抵抗体ペーストであれば抵抗体の変化とな
り、また絶縁体の場合には耐絶縁電圧の低下を招
くという問題が生じる。 If the circuit pattern becomes non-uniform in this way, various problems arise in circuit formation. For example, in the case of a conductor paste, the thin portion increases the conductor resistance, in the case of a resistor paste, the resistance changes, and in the case of an insulator, the problem arises that the withstand voltage decreases.
この発明は、前記問題点に着目して成されたも
ので、空気圧制御時に特有な一次遅れ現象による
パターン先端部のペースト不足を解消することが
でき、かつ均一な断面形状を有する回路パターン
を形成し得る回路形成装置の提供を目的とする。 The present invention has been made by focusing on the above-mentioned problems, and is capable of solving the shortage of paste at the tip of the pattern due to the first-order lag phenomenon peculiar to air pressure control, and forming a circuit pattern having a uniform cross-sectional shape. The purpose is to provide a circuit forming device that can
［問題点を解決するための手段］
この発明は、ノズル内への供給開始における圧
縮空気を定常時の圧力より高い圧力に設定する初
期圧データと初期圧データよりも低い圧力に設定
する定常圧データとを格納する記憶手段と、
空気圧源から電磁弁を介してノズル内に供給さ
れる圧縮空気の圧力調整手段と、
前記初期圧データを圧力調整手段に出力した後
に電磁弁を開成し、ノズル内に圧縮空気を供給す
ると共に移動テーブルを移動制御し、電磁弁開成
から所定時間経過後に初期圧データを定常圧デー
タに切り換えて圧力調整手段に出力して引き続い
て回路形成材の定常吐出を制御する制御手段とを
備えたものである。[Means for Solving the Problems] This invention provides initial pressure data for setting compressed air at a pressure higher than the pressure at steady state when supplying compressed air into the nozzle, and steady pressure data for setting the pressure at a lower pressure than the initial pressure data. a storage means for storing the data; a means for adjusting the pressure of compressed air supplied from the air pressure source into the nozzle via the solenoid valve; and after outputting the initial pressure data to the pressure adjusting means, the solenoid valve is opened and the nozzle is Supply compressed air into the chamber and control the movement of the moving table, and after a predetermined period of time has elapsed since the electromagnetic valve is opened, the initial pressure data is switched to steady pressure data, which is output to the pressure adjustment means, and then the steady discharge of the circuit forming material is controlled. It is equipped with a control means to
［作用］
この発明は、上述のような構成を有しているた
め、圧縮空気の供給開始から極めて短時間でノズ
ル内の圧力を定常値にまで上昇させることがで
き、吐出開始時において十分な吐出流量を得るこ
とができる。[Function] Since the present invention has the above-described configuration, the pressure inside the nozzle can be increased to a steady value in an extremely short time from the start of supply of compressed air, and the pressure in the nozzle can be increased to a steady value at the start of discharge. The discharge flow rate can be obtained.
［発明の実施例］
以下、この発明の実施例を第１図ないし第４図
に基づき説明する。なお、回路形成装置の外観斜
視図は第６図に示すものであつて、前記従来例と
同一もしくは相当部分には同一符号を付し、その
説明の詳細は省く。[Embodiments of the Invention] Examples of the present invention will be described below with reference to FIGS. 1 to 4. The external perspective view of the circuit forming apparatus is shown in FIG. 6, and the same or equivalent parts as in the conventional example are given the same reference numerals, and detailed explanation thereof will be omitted.
第１図は、この実施例における制御系の構成を
示すブロツク図である。図示のようにこの実施例
は、空気圧源９と電磁弁１０との間に電空変換器
１４を介在させ、CPU１３で電空変換器コント
ローラ（Ｄ／Ａ変換器）１３ａを介して、この電
空変換器１４を制御することにより、電磁弁１０
へ送出される圧縮空気の圧力を制御するようにな
つている。 FIG. 1 is a block diagram showing the configuration of a control system in this embodiment. As shown in the figure, in this embodiment, an electro-pneumatic converter 14 is interposed between the air pressure source 9 and the solenoid valve 10, and the CPU 13 controls the electro-pneumatic converter controller (D/A converter) 13a. By controlling the air converter 14, the solenoid valve 10
It is designed to control the pressure of compressed air sent to.
また、上記電空変換器１４は、第２図に示す構
成を有している。すなわち、バルブハウジング１
５内には、空気流入ポート１６ａからオリフイス
１７および中空部１８を介して吐出ポート１６ｂ
に至る空気流路と、中空部１８内の空気を漏出さ
せるノズル部１９とが設けられている。このノズ
ル部１９は中空部１８の先端に形成したオリフイ
ス１９ａとその上方に設けた吐出孔１９ｂとより
成り、この吐出孔１９ｂとベローズ２０との対向
間隙を調節して、漏出流量を調節することによ
り、吐出ポート１６ｂからの圧縮空気を制御し得
るようになつている。一方、ベローズ２０は、永
久磁石２１および磁性体２２を有するヨーク２３
に対して上下動可能なコイル枠２４の下端に固着
されている。そして、コイル枠２４には、前記磁
性体２２と対向する円筒状のフラツパーコイル２
５が固着されており、このフラツパーコイル２５
に前記CPU１３からの制御信号に応じた直流電
圧を交互に印加し、その電圧に応じた磁力を発生
させることにより、フラツパーコイル２５により
コイル枠２４と共にベローズ２０を上方あるいは
下方へ移動させて、ベローズ２０と吐出孔１９ｂ
との対向間隙を調整し得るようになつている。 Further, the electro-pneumatic converter 14 has a configuration shown in FIG. 2. That is, valve housing 1
5 includes an air inflow port 16a through an orifice 17 and a hollow part 18, and a discharge port 16b.
An air flow path leading to the hollow part 18 and a nozzle part 19 for leaking the air inside the hollow part 18 are provided. This nozzle part 19 consists of an orifice 19a formed at the tip of the hollow part 18 and a discharge hole 19b provided above the orifice 19a, and the gap between the discharge hole 19b and the bellows 20 is adjusted to adjust the leakage flow rate. This makes it possible to control compressed air from the discharge port 16b. On the other hand, the bellows 20 includes a yoke 23 having a permanent magnet 21 and a magnetic body 22.
The coil frame 24 is fixed to the lower end of the coil frame 24, which can move up and down relative to the coil frame 24. The coil frame 24 has a cylindrical flapper coil 2 facing the magnetic body 22.
5 is fixed, and this flapper coil 25
By alternately applying a DC voltage according to a control signal from the CPU 13 to generate a magnetic force according to the voltage, the bellows 20 is moved upward or downward together with the coil frame 24 by the flapper coil 25, Bellows 20 and discharge hole 19b
The gap between the two can be adjusted.
なお、電空変換器コントローラ１３ａは、
CPU１３からのデイジタル信号をアナログ電圧
にＤ／Ａ変換するエレメントであり、該電空変換
器コントローラ１３ａと電空変換器１４等で圧力
調整手段を構成している。 Note that the electro-pneumatic converter controller 13a is
It is an element that D/A converts a digital signal from the CPU 13 into an analog voltage, and the electro-pneumatic converter controller 13a, the electro-pneumatic converter 14, etc. constitute a pressure adjusting means.
次に、第３図のフローチヤートに基づき、ペー
ストＰの吐出動作を説明する。 Next, the operation of discharging the paste P will be explained based on the flowchart shown in FIG.
基板素材２を移動テーブル１の所定位置にセツ
トし、動作開始指令を送ると、まずステツプ１で
は、基板素材２のパターン形成開始位置とノズル
３との位置合わせ、およびノズル３の高さ設定等
の初期設定が行なわれる。この後、CPU１３は、
ROM１２より初期圧データを読み出し、デジタ
ル信号をアナログ電圧Vi（第４図ａ参照）にＤ／
Ａ変換して、この電空変換器コントローラ１３ａ
の電圧出力を電空変換器１４に供給し、これから
吐出させるべき圧縮空気の空気圧を設定する（ス
テツプ２）。この時、電空変換器１４に供給され
る電圧は第４図ａに示すようにペーストＰの定常
吐出時における電圧よりも高くなつている。従つ
て、吐出空気は定常吐出時より高い吐出空気圧に
なるようにベローズ２０と吐出孔１９ｂの関係が
調整される。すなわち、この時の電空変換器１４
から吐出される圧縮空気の初期圧力は定常吐出時
の圧力よりも高い圧力となるよう設定されること
となる。次いで、CPU１３は、第４図ａ，ｂに
おけるＡ点において、電磁弁１０を開とし、ノズ
ル３内へ圧縮空気を送り込むと共に移動テーブル
１の移動を開始する（ステツプ３、４）。この際
ノズル３内へ送り込まれる圧縮空気は定常吐出時
よりも高い圧力となつているため、ノズル３内の
圧力は従来の定常吐出時と同一圧力の空気を送り
込んだ場合に比べ、極めて短時間で定常吐出圧力
に達する。従つて、ノズル内の空気圧によつて決
定されるペーストＰの吐出流量も第４図ｂに示す
ように短時間で定常吐出量に達する。すなわち、
空気圧制御による一次遅れ期間が極めて短縮され
ることとなる。これにより、基板素材２のパター
ン先端部にペースト不足が生じることはない。そ
して、電磁弁１０の開成から所定時間が経過し、
ノズル３内の空気圧が定常吐出圧力に達すると、
ROM１２より初期圧データに替えて定常圧デー
タが読み出され、電空変換器コントローラ１３ａ
の出力Viを意図的に変えることによりこれに応
じた電圧が電空変換器１４に供給されて引き続き
ペーストＰの定常吐出が行われる（ステツプ５）。
この後、パターンの終端に達すると、電磁弁１０
が閉となり、移動テーブル１が停止する（ステツ
プ６、７）。ここで、吐出終了位置のパターンの
形状については、移動テーブル１を急減速停止さ
せるか、適切な吐出タイミングを行うようにする
が、この発明の主旨でないので詳細は省略する。 When the substrate material 2 is set at a predetermined position on the moving table 1 and an operation start command is sent, first in step 1, the pattern formation start position of the substrate material 2 and the nozzle 3 are aligned, the height of the nozzle 3 is set, etc. Initial settings are made. After this, the CPU 13
Read the initial pressure data from the ROM 12 and convert the digital signal to the analog voltage Vi (see Figure 4 a).
A, convert this electro-pneumatic converter controller 13a
The voltage output is supplied to the electro-pneumatic converter 14, and the air pressure of the compressed air to be discharged is set (step 2). At this time, the voltage supplied to the electro-pneumatic converter 14 is higher than the voltage during steady discharge of the paste P, as shown in FIG. 4a. Therefore, the relationship between the bellows 20 and the discharge hole 19b is adjusted so that the discharge air has a higher discharge air pressure than during steady discharge. That is, the electropneumatic converter 14 at this time
The initial pressure of the compressed air discharged from the pump is set to be higher than the pressure during steady discharge. Next, the CPU 13 opens the electromagnetic valve 10 at points A and B in FIG. 4, sends compressed air into the nozzle 3, and starts moving the movable table 1 (steps 3 and 4). At this time, the compressed air sent into the nozzle 3 has a higher pressure than during steady discharge, so the pressure inside the nozzle 3 increases in an extremely short time compared to when air with the same pressure as during conventional steady discharge is sent. Steady discharge pressure is reached at . Therefore, the discharge flow rate of the paste P, which is determined by the air pressure within the nozzle, also reaches a steady discharge amount in a short time as shown in FIG. 4b. That is,
The primary delay period due to air pressure control is extremely shortened. As a result, there will be no shortage of paste at the pattern tip of the substrate material 2. Then, a predetermined period of time has passed since the solenoid valve 10 was opened,
When the air pressure inside the nozzle 3 reaches the steady discharge pressure,
Steady pressure data is read from the ROM 12 in place of the initial pressure data, and the electro-pneumatic converter controller 13a
By intentionally changing the output Vi, a corresponding voltage is supplied to the electro-pneumatic converter 14, and the paste P is continuously discharged (step 5).
After this, when the end of the pattern is reached, the solenoid valve 10
is closed, and the moving table 1 stops (steps 6 and 7). Here, regarding the shape of the pattern at the ejection end position, the movable table 1 is suddenly decelerated to a stop or appropriate ejection timing is performed, but the details are omitted since this is not the gist of the present invention.
以上のように、この実施例においては、電磁弁
１０の開成後、ノズル３からの吐出流量が定常吐
出量に達するまで電空変換器１４に定常時より高
い一定の電圧を供給するものとしたが、電磁弁１
０の開成後、第５図ａに示すように定常時の電圧
より高い電圧と定常時の電圧より低い電圧とを交
互に電空変換器１４に供給しながら定常電圧に収
束させるようにすれば、第５図ｂに示すようにペ
ーストＰの吐出流量と時間との関係を示す線図と
なり、一層基板先端部におけるペースト不足箇所
を減少させることができる。 As described above, in this embodiment, after the solenoid valve 10 is opened, a constant voltage higher than in the steady state is supplied to the electro-pneumatic converter 14 until the discharge flow rate from the nozzle 3 reaches the steady discharge amount. However, solenoid valve 1
After opening 0, as shown in FIG. 5a, by alternately supplying a voltage higher than the steady voltage and a voltage lower than the steady voltage to the electro-pneumatic converter 14, the voltage can be converged to the steady voltage. As shown in FIG. 5b, a diagram showing the relationship between the discharge flow rate of paste P and time can be obtained, and it is possible to further reduce paste shortage locations at the tip of the substrate.
［発明の効果］
以上説明したとおり、この発明によれば、圧縮
空気の供給開始時から極めて短時間でノズル内の
圧力を定常値にまで上昇させることができるた
め、パターン先端部においても、ペースト不足箇
所が生ずることはなく、均一な断面形状を有する
回路パターンを形成し得るという効果がある。[Effects of the Invention] As explained above, according to the present invention, the pressure inside the nozzle can be increased to a steady value in an extremely short time from the start of supply of compressed air, so that even at the tip of the pattern, the paste There is no shortage of parts, and a circuit pattern having a uniform cross-sectional shape can be formed.
第１図は、この発明の一実施例における制御系
を示すブロツク図、第２図は、電空変換器の構成
を示す側面図、第３図は、この実施例における動
作を示すフローチヤート、第４図ａは、電空変換
器へ供給する電圧と時間との関係を示す線図、同
図ｂは、ノズルからのペースト吐出流量と時間と
の関係を示す線図、第５図ａは、電空変換器へ供
給する電圧と時間との関係の他の例を示す線図、
同図ｂは同図ａに示した例に基づくノズルからの
ペースト吐出量と時間との関係を示す線図、第６
図は、回路形成装置の外観斜視図、第７図は、従
来の回路形成装置における制御系を示すブロツク
図、第８図ａは、第７図に示したものの電磁弁開
閉信号を示す線図、同図ｂは、同図ａに示した電
磁弁開閉信号に対するノズルからの吐出流量と時
間との関係を示す線図、同図ｃは、基板素材上に
吐出されたペーストの状態を示す平面図である。
１……移動テーブル、２……基板素材、３……
ノズル、９……空気圧源、１２……ROM、１３
……CPU、１３ａ……電空変換器コントローラ
（Ｄ／Ａ変換）、１４……電空変換器、Ｐ……回路
形成材。
FIG. 1 is a block diagram showing a control system in an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a side view showing the configuration of an electro-pneumatic converter, and FIG. 3 is a flowchart showing the operation of this embodiment. Figure 4a is a diagram showing the relationship between the voltage supplied to the electro-pneumatic converter and time, Figure 4b is a diagram showing the relationship between the flow rate of paste discharged from the nozzle and time, and Figure 5a is a diagram showing the relationship between time and the voltage supplied to the electro-pneumatic converter. , a diagram showing another example of the relationship between the voltage supplied to the electro-pneumatic converter and time,
Figure 6b is a diagram showing the relationship between the amount of paste discharged from the nozzle and time based on the example shown in Figure a.
7 is a block diagram showing a control system in a conventional circuit forming device; FIG. 8a is a diagram showing the solenoid valve opening/closing signal of the circuit shown in FIG. 7. , Figure b is a diagram showing the relationship between the discharge flow rate from the nozzle and time in response to the electromagnetic valve opening/closing signal shown in Figure a, and Figure c is a plane diagram showing the state of the paste discharged onto the substrate material. It is a diagram. 1...Moving table, 2...Substrate material, 3...
Nozzle, 9... Air pressure source, 12... ROM, 13
...CPU, 13a...Electro-pneumatic converter controller (D/A conversion), 14...Electro-pneumatic converter, P...Circuit forming material.
Claims (1)
を介して送給することによりノズル内に収納され
た回路形成材を吐出させると共に基板素材を載置
する移動テーブルを回路形成パターンに応じて水
平方向に移動させるようにした回路形成装置であ
つて、 前記ノズル内への供給開始における圧縮空気を
定常時の圧力より高い圧力に設定する初期圧デー
タと初期圧データよりも低い圧力に設定する定常
圧データとを格納する記憶手段と、 前記空気圧源から電磁弁を介してノズル内に供
給される圧縮空気の圧力調整手段と、 前記初期圧データを圧力調整手段に出力した後
に電磁弁を開成し、ノズル内に圧縮空気を供給す
ると共に移動テーブルを移動制御し、電磁弁開成
から所定時間経過後に初期圧データを定常圧デー
タに切り換えて圧力調整手段に出力して引き続い
て回路形成材の定常吐出を制御する制御手段とを
備えたことを特徴とする回路形成装置。[Claims] 1. Compressed air from a pneumatic source is fed into the nozzle via a solenoid valve to discharge the circuit forming material stored in the nozzle, and also to move the movable table on which the substrate material is placed into the circuit. The circuit forming device is configured to move horizontally according to a forming pattern, and the circuit forming device includes initial pressure data for setting compressed air at a pressure higher than a steady pressure at the start of supply into the nozzle, and an initial pressure data higher than the initial pressure data. storage means for storing steady pressure data for setting a low pressure; pressure adjustment means for compressed air supplied from the air pressure source into the nozzle via the solenoid valve; and outputting the initial pressure data to the pressure adjustment means. Afterwards, the solenoid valve is opened, compressed air is supplied into the nozzle, and the movement of the moving table is controlled, and after a predetermined period of time has elapsed since the solenoid valve was opened, the initial pressure data is switched to steady pressure data, and the data is output to the pressure adjustment means. 1. A circuit forming apparatus comprising: a control means for controlling steady discharge of a circuit forming material.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23359286A JPS6387789A (en) | 1986-09-30 | 1986-09-30 | Circuit forming equipment |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23359286A JPS6387789A (en) | 1986-09-30 | 1986-09-30 | Circuit forming equipment |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6387789A JPS6387789A (en) | 1988-04-19 |
| JPH0368551B2 true JPH0368551B2 (en) | 1991-10-28 |
Family
ID=16957473
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23359286A Granted JPS6387789A (en) | 1986-09-30 | 1986-09-30 | Circuit forming equipment |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6387789A (en) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60219791A (en) * | 1984-04-16 | 1985-11-02 | 松下電器産業株式会社 | Method of forming thick film circuit |
-
1986
- 1986-09-30 JP JP23359286A patent/JPS6387789A/en active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60219791A (en) * | 1984-04-16 | 1985-11-02 | 松下電器産業株式会社 | Method of forming thick film circuit |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6387789A (en) | 1988-04-19 |
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