JPH0367057U - - Google Patents
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- JPH0367057U JPH0367057U JP12758789U JP12758789U JPH0367057U JP H0367057 U JPH0367057 U JP H0367057U JP 12758789 U JP12758789 U JP 12758789U JP 12758789 U JP12758789 U JP 12758789U JP H0367057 U JPH0367057 U JP H0367057U
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- JP
- Japan
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- single crystal
- crystal sapphire
- plate
- sapphire plate
- chamber
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- Granted
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Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は本考案に係る透明窓部材の配設状態を
表す分解斜視図、第２図はその断面図、第３図及
び第４図は上記窓部材の部分断面図である。また
、第５図は単結晶サフアイヤの結晶構造を表す説
明図、第６図及び第７図は耐衝撃度の実験データ
を表す断面図、第８図はスパツタリング装置の概
略図である。 ７，１０……窓部材、１３……サフアイヤ板、
１４……ガラス板、１５……接着層。
表す分解斜視図、第２図はその断面図、第３図及
び第４図は上記窓部材の部分断面図である。また
、第５図は単結晶サフアイヤの結晶構造を表す説
明図、第６図及び第７図は耐衝撃度の実験データ
を表す断面図、第８図はスパツタリング装置の概
略図である。 ７，１０……窓部材、１３……サフアイヤ板、
１４……ガラス板、１５……接着層。
Claims (1)
- 気相成長用ガスが導入されるチヤンバーの内部
に被成膜用基板を配置し、該基板上に気相成長せ
しめる成膜装置において、単結晶サフアイヤ板と
ガラス板とをもしくは単結晶サフアイヤ板と樹脂
板とを接着層を介して貼り合わせて成る透明窓部
材を該単結晶サフアイヤ板が内側となるように前
記チヤンバーの壁体に配設したことを特徴とする
成膜装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989127587U JPH0730679Y2 (ja) | 1989-10-31 | 1989-10-31 | 成膜装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989127587U JPH0730679Y2 (ja) | 1989-10-31 | 1989-10-31 | 成膜装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0367057U true JPH0367057U (ja) | 1991-06-28 |
| JPH0730679Y2 JPH0730679Y2 (ja) | 1995-07-12 |
Family
ID=31675339
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1989127587U Expired - Fee Related JPH0730679Y2 (ja) | 1989-10-31 | 1989-10-31 | 成膜装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0730679Y2 (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61106770A (ja) * | 1984-10-30 | 1986-05-24 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 気相コ−テイング装置 |
| JPS63163937A (ja) * | 1986-12-26 | 1988-07-07 | Minolta Camera Co Ltd | メモリ制御装置 |
-
1989
- 1989-10-31 JP JP1989127587U patent/JPH0730679Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61106770A (ja) * | 1984-10-30 | 1986-05-24 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 気相コ−テイング装置 |
| JPS63163937A (ja) * | 1986-12-26 | 1988-07-07 | Minolta Camera Co Ltd | メモリ制御装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0730679Y2 (ja) | 1995-07-12 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |