JPH0360385A - 超音波モータ - Google Patents
超音波モータInfo
- Publication number
- JPH0360385A JPH0360385A JP1195620A JP19562089A JPH0360385A JP H0360385 A JPH0360385 A JP H0360385A JP 1195620 A JP1195620 A JP 1195620A JP 19562089 A JP19562089 A JP 19562089A JP H0360385 A JPH0360385 A JP H0360385A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- base
- ultrasonic motor
- vibrator
- aluminum
- coupler
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 72
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims description 5
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 abstract description 32
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 32
- 229910000906 Bronze Inorganic materials 0.000 abstract description 25
- 239000010974 bronze Substances 0.000 abstract description 25
- KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N copper tin Chemical compound [Cu].[Sn] KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 25
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 22
- BHEPBYXIRTUNPN-UHFFFAOYSA-N hydridophosphorus(.) (triplet) Chemical compound [PH] BHEPBYXIRTUNPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 2
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 3
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 3
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 229910001369 Brass Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010951 brass Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000002788 crimping Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野、コ
本発明は、超音波により発生した振動を、縦振動とそれ
に直交する方向への振動との合成振動に変換し、この合
成振動の発生面にロータ(移動体)を押圧することによ
ってこのロータを駆動する超音波モータの改良に関する
。
に直交する方向への振動との合成振動に変換し、この合
成振動の発生面にロータ(移動体)を押圧することによ
ってこのロータを駆動する超音波モータの改良に関する
。
[従来の技術]
一般的な超音波モータの振動子は、第1図に示すように
ベース1、胴2、一対の圧電素子3、結合子4、グラン
ド側の端子板5および5′、プラス側の端子板6の各部
材と、これらを結合する締結部材(図示されず)とで構
成されている。そして、上記結合子4にロータが圧接さ
れる。また、上記振動子は取付は部7に上記端子板5を
介してビス8で固定されるようになっている。
ベース1、胴2、一対の圧電素子3、結合子4、グラン
ド側の端子板5および5′、プラス側の端子板6の各部
材と、これらを結合する締結部材(図示されず)とで構
成されている。そして、上記結合子4にロータが圧接さ
れる。また、上記振動子は取付は部7に上記端子板5を
介してビス8で固定されるようになっている。
この従来の超音波モータでは、上記振動子を構成する部
材のうちベース1、胴2、結合子4の主要部材を、いず
れもアルミニウム系の金属材料によって形成していた。
材のうちベース1、胴2、結合子4の主要部材を、いず
れもアルミニウム系の金属材料によって形成していた。
[発明が解決しようとする課題]
しかしながら、これらの主要部材にアルミニウム系の材
料を用いて超音波モータを小型化しようとする場合には
、振動子の共振周波数が著しく上昇して振幅が小さくな
り過ぎ、駆動力の発生効率を低下させるという問題があ
った。
料を用いて超音波モータを小型化しようとする場合には
、振動子の共振周波数が著しく上昇して振幅が小さくな
り過ぎ、駆動力の発生効率を低下させるという問題があ
った。
そのため、実用化に際し、振動子の主要構成部材にアル
ミニウム系材料を使用することを前提として超音波モー
タを設計・製作しようとすれば、振動子の大きさを成る
大きさ以上にしなければならず、このことが、超音波モ
ータの小型化への弊害となっていた。
ミニウム系材料を使用することを前提として超音波モー
タを設計・製作しようとすれば、振動子の大きさを成る
大きさ以上にしなければならず、このことが、超音波モ
ータの小型化への弊害となっていた。
一方、振動子の機械的効率Qmは出来る限り高いことが
望まれるから、超音波モータを設計・製作する際には、
このような観点から主要部材の材質を決定する必要性も
生じて来る。
望まれるから、超音波モータを設計・製作する際には、
このような観点から主要部材の材質を決定する必要性も
生じて来る。
従って、成る程度の駆動力発生効率を確保するという条
件のもとに超音波モータを設計・製作しようとすれば、
主要部材に用いる材料の選択もまた大きな要因となる。
件のもとに超音波モータを設計・製作しようとすれば、
主要部材に用いる材料の選択もまた大きな要因となる。
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、振
動子を構成する主要部材のうち、ベースおよび胴の少な
くとも一方に、アルミニウム系の材料とは異なる材料で
、且つ、音速のより小さな材料を用いることにより、ア
ルミニウム系材料で構成したときとほぼ同様の共振周波
数のままで、モータの大きさ特にその全長を小さくする
ことのできる新規な超音波モータを提供することを目的
とする。
動子を構成する主要部材のうち、ベースおよび胴の少な
くとも一方に、アルミニウム系の材料とは異なる材料で
、且つ、音速のより小さな材料を用いることにより、ア
ルミニウム系材料で構成したときとほぼ同様の共振周波
数のままで、モータの大きさ特にその全長を小さくする
ことのできる新規な超音波モータを提供することを目的
とする。
[課題を解決するための手段]
この目的を達成するための本発明の構成は、圧電素子と
この圧電素子を上下に挾み込む胴とベースとにより構成
され、圧電素子に交流電圧を印加することによって自身
の上端面に縦振動を発生させる縦振動子と、この縦振動
子の上端面に固定されて該縦振動子に発生する縦振動を
伝達され、その上端面に縦振動と横方向の振動との合成
振動を発生させる結合子と、この結合子の上端面に摩擦
接触され前記合成振動により結合子に対して移動される
移動体とを具備する超音波モータにおいて、上記圧電素
子を上下に挾み込む胴とベースのうち、少なくとも一方
の部材を、音速が4000m/s以下で、機械的効率Q
mが1000以上の材質で形成するようになしたことに
ある。
この圧電素子を上下に挾み込む胴とベースとにより構成
され、圧電素子に交流電圧を印加することによって自身
の上端面に縦振動を発生させる縦振動子と、この縦振動
子の上端面に固定されて該縦振動子に発生する縦振動を
伝達され、その上端面に縦振動と横方向の振動との合成
振動を発生させる結合子と、この結合子の上端面に摩擦
接触され前記合成振動により結合子に対して移動される
移動体とを具備する超音波モータにおいて、上記圧電素
子を上下に挾み込む胴とベースのうち、少なくとも一方
の部材を、音速が4000m/s以下で、機械的効率Q
mが1000以上の材質で形成するようになしたことに
ある。
[作 用]
この構成に基づく本発明の作用は、前項の構成から成る
振動子において、この振動子を構成する主要部材である
胴、ベースのうち、少なくとも一方の材料を、従来のア
ルミニウム系材料から機械的効率が高く且つ音速の小さ
いリン青銅等の材料に変更することにより、共振周波数
を上げることなく、超音波モータの振動子の全長を短く
するようになしたことにある。
振動子において、この振動子を構成する主要部材である
胴、ベースのうち、少なくとも一方の材料を、従来のア
ルミニウム系材料から機械的効率が高く且つ音速の小さ
いリン青銅等の材料に変更することにより、共振周波数
を上げることなく、超音波モータの振動子の全長を短く
するようになしたことにある。
[実 施 例]
以下、実施例に基づいて本発明に係る超音波モータを詳
細に説明するが、その振動子の構成は、材質を除いて前
記第1図で説明した振動子と基本的に同一の構成である
。
細に説明するが、その振動子の構成は、材質を除いて前
記第1図で説明した振動子と基本的に同一の構成である
。
先ず、第1実施例について説明する。
この例は、振動子を構成する主要部材のうち胸2の使用
材料を従来のアルミニウム系材料以外の材料、例えばリ
ン青銅とし、ベース1および結合子4については、従来
通りのアルミニウム系材料を用いている。この実施例の
有効性は次の表1および表2に掲げる測定結果から充分
に実証される。
材料を従来のアルミニウム系材料以外の材料、例えばリ
ン青銅とし、ベース1および結合子4については、従来
通りのアルミニウム系材料を用いている。この実施例の
有効性は次の表1および表2に掲げる測定結果から充分
に実証される。
表 1
材 質 リン青銅
表
材
質
アルミ系
すなわち、上記表1および表2は、直径15m+sの超
音波モータにおける胴2の材質を、表1ではリン青銅と
し、表2では従来通りのアルミニウム系とした場合の厚
さ毎の共振周波数を測定して、それぞれの変化状況を示
した表であるが、この両表1,2の測定結果からも判る
ように、この例では、胴2の材質をアルミニウム系から
リン青銅に変更することによって、同じ厚さで共振周波
数を6〜8KHz程度低めることに成功した。
音波モータにおける胴2の材質を、表1ではリン青銅と
し、表2では従来通りのアルミニウム系とした場合の厚
さ毎の共振周波数を測定して、それぞれの変化状況を示
した表であるが、この両表1,2の測定結果からも判る
ように、この例では、胴2の材質をアルミニウム系から
リン青銅に変更することによって、同じ厚さで共振周波
数を6〜8KHz程度低めることに成功した。
このことは、同じ共振周波数を用いた場合には、リン青
銅を使用したときの胴2の厚さは、アルミニウム系材料
を用いた場合の胴2のほぼ54%の厚さで事足りるとい
うことを意味する。
銅を使用したときの胴2の厚さは、アルミニウム系材料
を用いた場合の胴2のほぼ54%の厚さで事足りるとい
うことを意味する。
なお、共振周波数は理論的には材料の音速に反比例する
から、アルミニウム材の音速(■5000m/s)に対
するリン青銅材の音速(−1360m/s)では、リン
青銅材の胴2の厚さを、アルミニウム材の胴2の厚さの
ほぼ67%にまで減少させることが可能になる筈である
。
から、アルミニウム材の音速(■5000m/s)に対
するリン青銅材の音速(−1360m/s)では、リン
青銅材の胴2の厚さを、アルミニウム材の胴2の厚さの
ほぼ67%にまで減少させることが可能になる筈である
。
従って、振動子を構成する主要部材のうち、胴2の使用
材料をアルミニウム系材料からリン青銅材料に変更すれ
ば、胴2の厚さが従来のほぼ60%でよいことになり、
その分だけ、超音波モータの全長を短縮し得ることにな
る。
材料をアルミニウム系材料からリン青銅材料に変更すれ
ば、胴2の厚さが従来のほぼ60%でよいことになり、
その分だけ、超音波モータの全長を短縮し得ることにな
る。
また、実験結果の検討によれば、前記ベースは、材質を
アルミニウムからリン青銅に変更してもベース材の厚み
を変化させても、共振周波数はそれほど変化しないこと
が確かめられている。
アルミニウムからリン青銅に変更してもベース材の厚み
を変化させても、共振周波数はそれほど変化しないこと
が確かめられている。
次に、第2実施例について説明する。
この例は、振動子を構成する主要部材のうち、胴2とベ
ース1の材料を、いずれも従来のアルミニウム系材料以
外の材料、例えばリン青銅とし、結合子4のみに従来通
りのアルミニウム系材料を用いた場合であり、この実施
例の有効性は、次の表3および表4に掲げる測定結果か
ら充分に実証される。
ース1の材料を、いずれも従来のアルミニウム系材料以
外の材料、例えばリン青銅とし、結合子4のみに従来通
りのアルミニウム系材料を用いた場合であり、この実施
例の有効性は、次の表3および表4に掲げる測定結果か
ら充分に実証される。
表
材
質
リン青銅
表
材
質
アルミ系
すなわ−ち、上記表3および表4は、第1実施例の場合
と同様に、直径15+amの超音波モータにおける胴2
およびベース1の材質を、表3ではリン青銅とし、表4
ではアルミニウム系とした場合の厚さ毎の共振周波数を
測定して、それぞれの変化状況を示した表であるが、こ
の両表3.4の測定結果からも判るように、この例では
、胴2およびベース1の材質をアルミニウム系からリン
青銅に変更することにより、同じ厚さで共振周波数を6
〜10KHz程度低めることに成功した。
と同様に、直径15+amの超音波モータにおける胴2
およびベース1の材質を、表3ではリン青銅とし、表4
ではアルミニウム系とした場合の厚さ毎の共振周波数を
測定して、それぞれの変化状況を示した表であるが、こ
の両表3.4の測定結果からも判るように、この例では
、胴2およびベース1の材質をアルミニウム系からリン
青銅に変更することにより、同じ厚さで共振周波数を6
〜10KHz程度低めることに成功した。
このことは、同じ共振周波数であれば、リン青銅を使用
したときの胴2およびベース1のそれぞれの厚さは、ア
ルミニウム系材料を用いた・場合の胴2およびベース1
の厚さに対して、それぞれほぼ60〜70%の厚さで事
足りるということを意味する。
したときの胴2およびベース1のそれぞれの厚さは、ア
ルミニウム系材料を用いた・場合の胴2およびベース1
の厚さに対して、それぞれほぼ60〜70%の厚さで事
足りるということを意味する。
従って、振動子を構成する主要部材のうち、胴2および
ベース1の使用材料を、それぞれアルミニウム系材料か
らリン青銅材料に変更すれば、共振周波数を殆んど変更
せずに、超音波モータの全長を従来のほぼ2/3に短縮
し得ることになる。
ベース1の使用材料を、それぞれアルミニウム系材料か
らリン青銅材料に変更すれば、共振周波数を殆んど変更
せずに、超音波モータの全長を従来のほぼ2/3に短縮
し得ることになる。
例えば、アルミニウム系材料から成る胴2およびベース
1の厚さをそれぞれ6mmとしたものに比べ、共振周波
数89.3 KHzをそのままにした状態で、リン青銅
材料から成る胴2およびベース1の厚さをそれぞれ4+
+nsとすることができる。
1の厚さをそれぞれ6mmとしたものに比べ、共振周波
数89.3 KHzをそのままにした状態で、リン青銅
材料から成る胴2およびベース1の厚さをそれぞれ4+
+nsとすることができる。
ところで、超音波モータでは、前述したように、振動子
の機械的効率Qmをできる限り高く保持することが望ま
れる。
の機械的効率Qmをできる限り高く保持することが望ま
れる。
そのためには、胴、ベース等もQmの高い材質が必要と
なる。
なる。
第2図〜第4図は、振動子の胴とベースの厚味をそれぞ
れ変化させて機械的効率Qmを求めた特性図である。
れ変化させて機械的効率Qmを求めた特性図である。
これによれば、振動子のrR2およびベース1にリン青
銅材料を使用した場合、胴2の厚さが511111%ベ
ース1の厚さが4tataのときに機械的効率Qmが最
大になって、入力された電気エネルギが最も有効に機械
的振動に変換されていることが判る。
銅材料を使用した場合、胴2の厚さが511111%ベ
ース1の厚さが4tataのときに機械的効率Qmが最
大になって、入力された電気エネルギが最も有効に機械
的振動に変換されていることが判る。
しかも、このときに、超音波モータとして最も高出力に
なることが確認された。
なることが確認された。
このことは、超音波モータにおいて、機械的効率Qmを
高くしながら共振周波数の上昇を防ぐには、振動子を構
成する主要部材のうち胴2およびベース1の少なくとも
一方に、音速の低い材質を使用するのが好ましいという
ことである。
高くしながら共振周波数の上昇を防ぐには、振動子を構
成する主要部材のうち胴2およびベース1の少なくとも
一方に、音速の低い材質を使用するのが好ましいという
ことである。
第5図は、機械的効率Qmと使用材料に係る音速Cとの
関係を表わす音速特性図である。
関係を表わす音速特性図である。
この図から判るように、従来から超音波モータに使用さ
れているアルミニウム材料は、機械的効率Qmはよいが
音速Cが大きいため、共振周波数を低く抑える材料とし
ては不適切な材料であるということである。
れているアルミニウム材料は、機械的効率Qmはよいが
音速Cが大きいため、共振周波数を低く抑える材料とし
ては不適切な材料であるということである。
また、鉛材材は、共振周波数を低く抑える材料としては
適格であるが、機械的効率Qmが低いため、超音波モー
タには不向きである。
適格であるが、機械的効率Qmが低いため、超音波モー
タには不向きである。
よって、機械的効率Qmが高く且つ音速の小さい材料と
しては、この第5図からリン青銅、ネパール黄銅、アル
ミニウム青銅等の材料が挙げられるから、これらを用い
て超音波モータを構成すれば、モータ効率が良く小型に
できる。なお、例示した材料以外にも音速が小さく、効
率Qmが高い適切な材料にて共振周波数を高くすること
なく、超音波モータの全長を短くすることは可能である
。
しては、この第5図からリン青銅、ネパール黄銅、アル
ミニウム青銅等の材料が挙げられるから、これらを用い
て超音波モータを構成すれば、モータ効率が良く小型に
できる。なお、例示した材料以外にも音速が小さく、効
率Qmが高い適切な材料にて共振周波数を高くすること
なく、超音波モータの全長を短くすることは可能である
。
また、上記実施例のほかに、例えば前記結合子について
も適切な材料を用いることにより高さを低くすることは
、理論上可能である。更に、本発明は実開昭64−12
493号公報に開示されているような複合振動子型の超
音波モータのように別のタイプの超音波モータにも適用
できることは言うまでもない。
も適切な材料を用いることにより高さを低くすることは
、理論上可能である。更に、本発明は実開昭64−12
493号公報に開示されているような複合振動子型の超
音波モータのように別のタイプの超音波モータにも適用
できることは言うまでもない。
第6図は、前記第1図で説明した振動子を有するねじり
結合子型超音波モータの構成を示したものである。
結合子型超音波モータの構成を示したものである。
振動子は、その中央部分に、分極方向が互いに対向する
ようにしてプラス側電極6を挾み込んだ一対のセラミッ
クスからなる圧電素子3′が位置し、この圧電素子3′
の上下をグランド側端子板5.5′で挾み込み、さらに
、下方のグランド側端子板5の下側にはベース1が配設
され、また、上方のグランド側端子板5′の上側には、
胴2を介して結合子4が適宜の圧着手段(図示せず)に
より一体的に取り付けられている。
ようにしてプラス側電極6を挾み込んだ一対のセラミッ
クスからなる圧電素子3′が位置し、この圧電素子3′
の上下をグランド側端子板5.5′で挾み込み、さらに
、下方のグランド側端子板5の下側にはベース1が配設
され、また、上方のグランド側端子板5′の上側には、
胴2を介して結合子4が適宜の圧着手段(図示せず)に
より一体的に取り付けられている。
そして、結合子4の上端面には、ロータ13が回転支持
用のベアリング11、ロータ圧着用の皿バネ12を介し
てロータ軸14によって圧着されている。なお、他の構
成部材は、前記第1図のものと同じであるから同じ符号
を付す。
用のベアリング11、ロータ圧着用の皿バネ12を介し
てロータ軸14によって圧着されている。なお、他の構
成部材は、前記第1図のものと同じであるから同じ符号
を付す。
このように構成されたねじり結合子型超音波モータにお
いては、振動子が共振する付近の高周波電圧を端子板6
および5,5′に印加すると、振動子には縦振動が生じ
、それがねじり結合子4に伝ってねじり結合子4の上端
面に楕円振動を発生させ、この楕円振動によりロータ1
3を所定の方向に回転させるように作動する。
いては、振動子が共振する付近の高周波電圧を端子板6
および5,5′に印加すると、振動子には縦振動が生じ
、それがねじり結合子4に伝ってねじり結合子4の上端
面に楕円振動を発生させ、この楕円振動によりロータ1
3を所定の方向に回転させるように作動する。
[発明の効果コ
以上述べた通り、本発明によれは、振動子を構成する主
要部材のうち、ベースおよび胴、結合子の少なくとも一
つに、アルミニウム系の材料とは異なるリン青銅等の材
料で、且つ、音速のより小さな材料を用いることにより
、アルミニウム系材料で構成したときとほぼ同様の共振
周波数のままで、モータの大きさ特にその全長を小さく
することのできる新規な超音波モータを実現することが
可能になる。
要部材のうち、ベースおよび胴、結合子の少なくとも一
つに、アルミニウム系の材料とは異なるリン青銅等の材
料で、且つ、音速のより小さな材料を用いることにより
、アルミニウム系材料で構成したときとほぼ同様の共振
周波数のままで、モータの大きさ特にその全長を小さく
することのできる新規な超音波モータを実現することが
可能になる。
第1図は、本発明の一実施例を示す超音波モータにおけ
る振動子の斜視図、 第2図〜第4図は、ベースおよび胴の材料にリン青銅材
料を使用し、振動子の胴の厚さと機械的効率Qmとの関
係をそれぞれ示す特性図、第5図は、機械的効率と使用
材料に係る音速Cとの関係を表す音速特性図、 第6図は、本発明の振動子を用いたねじり結合子型超音
波モータの一部を断面で示した側面図である。 1・・・・・・・・・・・・・・・ベース2・・・・・
・・・・・・・・・・胴 3・・・・・・・・・・・・・・・圧電素子4・・・・
・・・・・・・・・・・結合子5.5′・・・・・・グ
ランド側端子板6・・・・・・・・・・・・・・・プラ
ス側端子板7・・・・・・・・・・・・・・・取付は部
8・・・・・・・・・・・・・・・ビス11・・・・・
・・・・・・・回転支持用ベアリング12・・・・・・
・・・・・・ロータ
る振動子の斜視図、 第2図〜第4図は、ベースおよび胴の材料にリン青銅材
料を使用し、振動子の胴の厚さと機械的効率Qmとの関
係をそれぞれ示す特性図、第5図は、機械的効率と使用
材料に係る音速Cとの関係を表す音速特性図、 第6図は、本発明の振動子を用いたねじり結合子型超音
波モータの一部を断面で示した側面図である。 1・・・・・・・・・・・・・・・ベース2・・・・・
・・・・・・・・・・胴 3・・・・・・・・・・・・・・・圧電素子4・・・・
・・・・・・・・・・・結合子5.5′・・・・・・グ
ランド側端子板6・・・・・・・・・・・・・・・プラ
ス側端子板7・・・・・・・・・・・・・・・取付は部
8・・・・・・・・・・・・・・・ビス11・・・・・
・・・・・・・回転支持用ベアリング12・・・・・・
・・・・・・ロータ
Claims (1)
- (1)圧電素子とこの圧電素子を上下に挾み込む胴とベ
ースとにより構成され、圧電素子に交流電圧を印加する
ことによって自身の上端面に縦振動を発生させる縦振動
子と、この縦振動子の上端面に固定されて該縦振動子に
発生する縦振動を伝達され、その上端面に縦振動と横方
向の振動との合成振動を発生させる結合子と、この結合
子の上端面に摩擦接触され前記合成振動により結合子に
対して移動される移動体とを具備する超音波モータにお
いて、 上記圧電素子を上下に挾み込む胴とベースのうち、少な
くとも一方の部材を、音速が4000m/s以下で、機
械的効率Qmが1000以上の材質で形成したことを特
徴とする超音波モータ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1195620A JP2566010B2 (ja) | 1989-07-28 | 1989-07-28 | 超音波モータ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1195620A JP2566010B2 (ja) | 1989-07-28 | 1989-07-28 | 超音波モータ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0360385A true JPH0360385A (ja) | 1991-03-15 |
JP2566010B2 JP2566010B2 (ja) | 1996-12-25 |
Family
ID=16344201
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1195620A Expired - Fee Related JP2566010B2 (ja) | 1989-07-28 | 1989-07-28 | 超音波モータ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2566010B2 (ja) |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63198390U (ja) * | 1987-06-09 | 1988-12-21 |
-
1989
- 1989-07-28 JP JP1195620A patent/JP2566010B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63198390U (ja) * | 1987-06-09 | 1988-12-21 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2566010B2 (ja) | 1996-12-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPS58192474A (ja) | 圧電モ−タ | |
JPH11252950A (ja) | 圧電駆動要素を有する駆動装置 | |
US4399386A (en) | Rotative motor using plural arrays of piezoelectric elements | |
US8304962B2 (en) | Ultrasonic motor | |
JPH0534909B2 (ja) | ||
JP5029948B2 (ja) | 超音波モータ | |
JPH0360385A (ja) | 超音波モータ | |
US4399385A (en) | Rotative motor using a triangular piezoelectric element | |
JPS62203570A (ja) | 超音波モ−タ | |
JPH0588073B2 (ja) | ||
JPS6412111B2 (ja) | ||
JPS60174078A (ja) | 圧電モ−タ | |
JPH07107756A (ja) | 超音波モータ | |
JPS62135279A (ja) | 超音波モ−タ | |
JPH03273878A (ja) | 超音波モータ | |
JPH0150196B2 (ja) | ||
JPH03270679A (ja) | 超音波振動子および超音波モータ | |
JPH06169582A (ja) | 超音波駆動装置 | |
JP3089750B2 (ja) | 超音波モータ | |
JPH0479238B2 (ja) | ||
JPH07178370A (ja) | 振動子及び振動アクチュエータ | |
JPH08163879A (ja) | 超音波振動子および超音波モータ | |
JP3119920B2 (ja) | 超音波モータ | |
CN118232730A (zh) | 压电致动器及超声压电马达 | |
JPS61277386A (ja) | 超音波モ−タ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071003 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081003 Year of fee payment: 12 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |