JPH0358492B2 - - Google Patents

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JPH0358492B2
JPH0358492B2 JP57208652A JP20865282A JPH0358492B2 JP H0358492 B2 JPH0358492 B2 JP H0358492B2 JP 57208652 A JP57208652 A JP 57208652A JP 20865282 A JP20865282 A JP 20865282A JP H0358492 B2 JPH0358492 B2 JP H0358492B2
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lens
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Yoshuki Shimizu
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Nippon Kogaku KK
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Publication date
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    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/0025Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 for optical correction, e.g. distorsion, aberration
    • G02B27/0068Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 for optical correction, e.g. distorsion, aberration having means for controlling the degree of correction, e.g. using phase modulators, movable elements
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00Microscopes
    • G02B21/02Objectives

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  • General Physics & Mathematics (AREA)
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  • Lenses (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
本発明は顕微鏡対物レンズ、特に物体側に配置
されるカバーガラス等の平行平面板の厚さの変化
があつても良好な結像性能を維持し得る対物レン
ズに関する。 一般に顕微鏡対物レンズはカバーガラスの厚さ
が一定の基準値であることを前提として設計され
ているため、カバーガラスの厚さが基準値と異な
る場合には結像性能は劣化してしまう。この傾向
は対物レンズのN.A.(開口数)が大きい程著しく
なる。このため従来より、補正環付き対物レンズ
として、カバーガラスの厚さの変化に伴つて対物
レンズ内のレンズ間隔を変化させ、これによつて
収差の悪化を防ぎほぼ良好な結像性能を維持する
ものが知られている。しかし、従来の一般的補正
環付対物レンズでは、カバーガラスの厚さ変化に
対する収差補正の範囲は極めて狭く、N.A.0.6程
度の場合厚さで0.2〜0.3mmの範囲が実用上の限界
であつた。 これに対し、本願と同一の出願人による特開昭
56−142508号公報には顕微鏡対物レンズを物体側
より順に、物体側に凹面を向けた正の接合メニス
カスレンズの第1レンズ群、正レンズまたは接合
正レンズの第2レンズ群及び合成で正屈折力の第
3レンズ群で構成し、物体面と対物レンズとの間
に配置される平行平面板の厚さの変化に応じて、
第2レンズ群のみを光軸に沿つて移動させ、これ
によつて平行平面板の広い範囲の厚さ変化があつ
ても良好な結像性能を維持する技術が開示されて
いる。この技術によれば、確かに平行平面板の厚
さ変化±1.0mmという極めて広い範囲にわたつて
優れた結像性能を維持することが可能である。し
かしながら、上記の技術ではN.A.が0.6程度、倍
率が40倍程度の対物レンズが実用上の限界であ
り、より大きなN.A.またはより高い倍率の対物
レンズとしては未だ不十分であつた。 本発明の目的は、大きな開口数を有し高倍率で
あるにもかかわらず、物体面と対物レンズとの間
に配置されるカバーガラス等の平行平面板の厚さ
が大きく変化しても常に優れた結像性能を維持す
ることができる顕微鏡対物レンズを提供すること
にある。 本発明による顕微鏡対物レンズは、第1図の概
略構成図に示すごとく物体側から順に正屈折力を
有し物体からの光束を収斂光束に変換する第1レ
ンズ群G1と、この収斂光束中で光軸に沿つて移
動可能で比較的小さな屈折力の第2レンズ群G2
及び負の屈折力を持つ第3レンズ群G3を有し、
物体Oと第1レンズ群G1との間に配置される平
行平面板Pの厚さの変化に応じて第2レンズ群
G2を第1レンズ群G1及び第3レンズ群G3に対し
て相対的に移動させることにより収差の変動を補
正し得るものである。より具体的には、カバーガ
ラスや培養容器等の平行平面板Pの厚さが所定の
設計基準値より大きい場合には、第2レンズ群
G2を第3レンズ群G3側へ移動し、逆に平行平面
板の厚さがより小さい場合には、第2レンズ群
G2を第1レンズ群G1側へ移動することにより、
常に設計基準値におけると同様の収差補正状態を
維持することができる。 上記のような補正が良好になされるためには、
各レンズ群の収差構造は以下のようであることが
必要である。尚、第1図中には以下の説明の理解
を助けるために、軸上物点からの近軸光線の様子
の例を示した。第1レンズ群G1にはその強い収
斂作用と共にかなり大きな負の球面収差を持たせ
る。第2レンズ群G2には正の球面収差を持たせ、
第1レンズ群G1で発生する負の球面収差をほぼ
相殺している。そして、負屈折力の第3レンズ群
G3は全系のペツツバール和を補正し像面の平坦
性を維持している。尚、第3レンズ群G3中には
空気間隔を介して互いに凹面を向けて対向する2
つのレンズ面を設け、この両凹面での発散作用に
よりペツツバール和を補正することが望ましい
が、これは球面収差を補正するのが主目的である
本発明においては本質的なことではない。 このような基本構造を基準として、第1レンズ
群G1と第3レンズ群G3との間で第2レンズ群G2
が相対的に軸上を移動することにより球面収差を
変化させることができる。すなわち、第1レンズ
群G1を射出する収斂光束中に比較的小さな屈折
力の第2レンズ群G2が位置するため、第2レン
ズ群G2がその基準位置よりも第3レンズ群G3
に移動すれば、収斂光束が第2レンズ群G2を切
る高さが基準位置でのそれより低くなり、第2レ
ンズ群G2での正の球面収差の発生量が減少する。
逆に、第2レンズ群G2がその基準位置よりも第
1レンズ群G1側に移動すれば、収斂光束が第2
レンズ群G2を切る高さが基準位置のそれよりも
高くなり、第2レンズ群G2での正の球面収差量
が増大する。従つて対物レンズと物体面との間に
配置されるカバーガラス等の平行平面板Pの厚さ
によつて大きく変動する球面収差は、第2レンズ
群G2の移動により補正される。すなわち、平行
平面板Pの厚さが厚くなれば正の球面収差が発生
するので、これを補正するためには第2レンズ群
G2での正の球面収差量を減少すべく第2レンズ
群を第3レンズ群G3側に移動し、他方、平行平
面板Pの厚さが薄くなれば負の球面収差が発生す
るので、第2レンズ群G2での正の球面収差量を
増大すべく第2レンズ群を第1レンズ群G1側に
移動すればよい。尚、この間の情況は、後記する
実施例についての球面収差の3次収差係数によつ
てもうかがい知ることができる。 上記のごとき本発明の基本的特徴は、既に述べ
たように、第1レンズ群によつて物体からの光束
を収斂光束に変換し、光束の収斂状態は第2レン
ズ群の通過後もほぼ維持されることにある。そし
て第3レンズ群の通過後に所定の像面位置にて集
光される。このために、第1図に示したごとく、
軸上物点からの近軸光線が各レンズ群を切る高さ
については、第1レンズ群G1で最も高く、第2
レンズ群G2、第3レンズ群G3の順に低くなつて
いる。第1、第2レンズ群それぞれにおける軸上
物点からの近軸光線の切る高さの最高値を順に
h1、h2、第3レンズ群を出射する高さをh3とする
とき、h1>h2>h3であることが必要である。従つ
て、各レンズ群の有効径については第1レンズ群
が最も大きく、第3レンズ群が最も小さくなり、
6h3>h1>2h3程度に構成することが望ましい。
尚、本発明をより高倍率の対物レンズに適用した
場合には、h1のh3に対する比の値はより大きくな
り、より低倍率の対物レンズに適用した場合には
h1のh2に対する比の値はより小さくなる。又、第
1レンズ群G1を通過した光線の勾配は全系を通
過した光線の勾配の5倍ないし10倍の値を持つこ
とが望ましい。これは前述したように、第2レン
ズ群G2が光軸に沿つて第1レンズ群G1と第3レ
ンズ群G3との間を移動する際に、第2レンズ群
G2に入射する光線の高さによつて、球面収差の
補正量が異なるためであり、高倍率の対物レンズ
程この勾配は大きくなり、低倍率の対物レンズ程
この勾配は小さくなる傾向にある。また、本発明
のごとく第1レンズ群の有効径を最も大きくする
構成は、作動距離を大きくするために有利であ
り、後述する実施例のごとく長大な作動距離が可
能となる。 次に、各レンズ群の具体的レンズ構成について
述べる。第2図は本発明による一実施例のレンズ
構成図であり、図中には軸上物点Oからの近軸光
線が実線で、また最大画角の物点からの光線が点
線でそれぞれ示されている。図示した実施例のご
とく、第1レンズ群G1は物体からの光束を収斂
光束に変換するためのかなり強い正屈折力を有
し、このためには少なくとも3個の正レンズ成分
L1,L2,L3を有する必要がある。そのうち最も
物体側の正レンズL1は物体側に凹面を向けたメ
ニスカス形状であること、第2の正レンズL2
像側の面がより曲率の強い面であることが望まし
く、3つの正レンズの少なくとも1つに貼合せ面
を設けることが望ましい。また、第2レンズ群
G2は比較的弱い屈折力と球面収差を正に大きく
発生する作用とを持つために、図示した実施例の
ごとく、物体側に凸な負メニスカスレンズL4
両凸正レンズL5及び負レンズL6の貼合せで形成
されている。全体の形状は正レンズ形状である
が、負メニスカスレンズL4,L6の屈折率が両凸
レンズL5のそれより高いため合成では弱い負の
屈折力を有している。これは第2レンズ群G2
球面収差を正方向に補正する作用を持つべく意図
されたものだからである。 そして、主にペツツバール和の補正を担う第3
レンズ群G3は全体として負の屈折力を有し、図
示した実施例のごとく物体側に凸面を向けたメニ
スカス形状の前群G31と物体側に凹面を向けたメ
ニスカス形状の後群G32とで構成されることが望
ましい。さらに前群G31は弱い正屈折力を有し、
後群は弱い負屈折力を有することが望ましい。こ
こで前群G31の最も像側の凹面Raと後群の最も物
体側の凹面Rbとが、第3レンズ群中における前
述したごとき互いに対向する凹面として機能す
る。第3レンズ群の前群G31は正レンズL7、負レ
ンズL8、物体側に凸面を向けた正メニスカスレ
ンズL9の貼合せで構成されることが望ましい。
但し、前群G31中の負レンズL8と正メニスカスレ
ンズL9との貼合せはいわゆるハイパークロマテ
イツクレンズを形成しているため、この貼合せ面
の向きは逆向きにすることも可能である。また、
第3レンズ群の後群G32は、厚い両凹負レンズL10
と両凸正レンズL11との貼合せで構成されること
が望ましい。 以下、本発明による実施例について説明する。
本実施例はいわゆる乾燥系対物レンズである。倍
率60倍、N.A.=0.7で作動距離W.D.≒1.0fであり、
全系の焦点距離fと同等の長さを有している。物
体と対物レンズとの間に基準厚さのカバーガラス
Pが挿入された状態のレンズ構成図が第2図であ
る。本実施例の諸元を表1に示す。但し、表中左
端の数字は物体側からの順序を示し、d0は対物レ
ンズの最前レンズ面の頂点からカバーガラス表面
までの距離を示す。
【表】
【表】 第3図A〜Cは本実施例の対物レンズを倍率61
倍の実用上の対物レンズとしてf=2.64mmとなる
ようすなわち、物体面から像面までの距離が195
mmとなるよう比例拡大した時の収差図であり、A
はカバーガラスの厚さが0.7mm(0.2653f)の比較
的薄い状態での諸収差図、Bはカバーガラスの厚
さが1.2mm(0.4548f)の基準状態における諸収差
図、Cは1.7mm(0.6443f)に薄くなつた状態での
諸収差図である。各収差図では球面収差(Sph)、
非点収差(Ast)、歪曲収差(Dis)、コマ収差
(Coma)を示し、基準光線をd線(λ=587.6n
m)とし、色の球面収差を示すためにC線(λ=
656.3nm)及びF線(λ=486.1nm)も併記し
た。また図中yの値は像高を表わす。 各収差図によれば、本実施例の対物レンズが、
N.A.=0.7という大開口数を有しながらもカバー
ガラスの厚さ0.7mmから1.7mmという広い範囲にわ
たつて、常に優れた結像性能が維持されているこ
とが明らかである。 また、本実施例について、球面収差の3次収差
係数を表2に示す。表2ではカバーガラスの厚さ
が表1に示した3つの場合についての係数をそれ
ぞれ示しており、左端の番号はレンズ面の物体側
からの順序である。表2によればカバーガラスが
厚くなるに従つて、カバーガラス面における球面
収差の3次収差係数が負に大きな値となつてお
り、カバーガラスの球面収差が正に増大すること
が裏付けられる。そして、カバーガラスが厚くな
つても第1レンズ群G1及び第3レンズ群G3での
球面収差の3次収差係数はほとんど変化しないの
に対し、第2レンズ群G2での球面収差の3次収
差係数が大きく変化しており、第2レンズ群G2
がカバーガラス面での収差係数の変化をほぼ相殺
していることが明らかである。この結果、全系に
おける球面収差の3次収差係数は、カバーガラス
厚が変化してもほぼ一定の小さな値である。この
ことは球面収差が常に良好に補正されていること
を裏付けており、第3図A,B,Cに示した球面
収差図とよく符合している。
【表】 尚、上記実施例では、第2レンズ群G2を3個
のレンズの貼合せからなる弱い負屈折力群として
構成したが、弱い正屈折力を持たせる構成とする
ことも可能である。また、第2レンズ群を例えば
正と負とのレンズ群など、複数の群に分割して構
成することもできる。 以上のごとく、本発明によれば、大きな開口数
を有する高倍率の対物レンズでありながら、カバ
ーガラス等の平行平面板の厚さが大きく変化して
も収差の劣化が少なく常に良好な結像性能を維持
することができる。また、収差補正のために移動
するレンズ群の屈折力が弱いため、対物レンズの
主点及び焦点位置の変化もわずかであるため、補
正環を操作してもピントずれがわずかであり、好
都合である。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明による対物レンズの基本を示す
概略構成図、第2図は本発明による実施例のレン
ズ構成図、第3図A〜Cは本実施例においてカバ
ーガラスの厚さが異なる状態それぞれの諸収差図
である。 〔主要部分の符号の説明〕、G1……第1レンズ
群、G2……第2レンズ群、G3……第3レンズ群、
P……平行平面板。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1 物体側から順に、正屈折力を持ち物体からの
    光束を収斂光束に変換する第1レンズ群、該収斂
    光束中で光軸に沿つて移動可能で屈折力の小さい
    第2レンズ群、及び負屈折力を持つ第3レンズ群
    を有し、該物体と該第1レンズ群との間に配置さ
    れる平行平面板の厚さの変化に応じて該第2レン
    ズ群を該第1、第3レンズ群に対して相対的に移
    動させることにより収差の変動を補正し得ること
    を特徴とする顕微鏡対物レンズ。
JP57208652A 1982-11-30 1982-11-30 顕微鏡対物レンズ Granted JPS59100409A (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP57208652A JPS59100409A (ja) 1982-11-30 1982-11-30 顕微鏡対物レンズ
US06/551,842 US4588264A (en) 1982-11-30 1983-11-15 Microscope objective lens
US06/717,798 US4666256A (en) 1982-11-30 1985-03-29 Microscope objective lens

Applications Claiming Priority (1)

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JP57208652A JPS59100409A (ja) 1982-11-30 1982-11-30 顕微鏡対物レンズ

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JPS59100409A JPS59100409A (ja) 1984-06-09
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6262317A (ja) * 1985-09-13 1987-03-19 Mitsutoyo Mfg Corp 顕微鏡用対物レンズ
JPS6323119A (ja) * 1986-07-04 1988-01-30 Mitsutoyo Corp 顕微鏡用対物レンズ
US5076676A (en) * 1990-11-27 1991-12-31 Olympus Optical Co., Ltd. Objective lens system for microscopes
JP3280402B2 (ja) * 1991-10-28 2002-05-13 オリンパス光学工業株式会社 顕微鏡対物レンズ
JP3454935B2 (ja) * 1994-10-17 2003-10-06 オリンパス光学工業株式会社 顕微鏡対物レンズ
JP3371934B2 (ja) * 1995-03-07 2003-01-27 株式会社ニコン 顕微鏡対物レンズ
JP4685399B2 (ja) * 2004-09-30 2011-05-18 オリンパス株式会社 補正機構付対物レンズ
JP2008185965A (ja) 2007-01-31 2008-08-14 Olympus Corp 顕微鏡対物レンズ

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