JPH0355892Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ａ 産業上の利用分野 本考案は、プローブ電極の設定機構を備えた走
査振動電極装置に関し、特に、プローブ電極の下
端を、試料と直接接触させることなく、試料上方
の所定位置に設定し、プローブ電極の振幅と設定
位置を精度良く検出することができるようにする
ための全く新規な改良に関するものである。[Detailed description of the invention] a. Industrial application field The present invention relates to a scanning vibrating electrode device equipped with a probe electrode setting mechanism. This invention relates to a completely new improvement for enabling accurate detection of the amplitude and setting position of a probe electrode by setting it at a predetermined position.

ｂ 従来の技術 従来、用いられていたこの種の走査振動電極装
置としては、種々の構成が採用されているが、そ
の中で代表的なものについて述べると、昭和59年
３月23日、東京において発表された第54回腐食防
食シンポジウム資料（社団法人 腐食防食協会）
の第94頁における「走査型振動電極によるAl孔
食の場所的・経済的追跡」にて開示された、第３
図の構成を挙げることができる。b. Prior Art Various configurations have been adopted for this type of scanning vibrating electrode device that has been used in the past, but here are some representative ones: Materials presented at the 54th Corrosion Prevention Symposium (Corrosion Prevention Association)
No. 3, disclosed in “Local and economical tracking of Al pitting corrosion using a scanning vibrating electrode” on page 94 of
The configuration of the figure can be mentioned.

すなわち、第３図にて示される構成において、
符号１で示されるものは、バイモルフ型ピエゾ素
子からなる振動子２を有するプローブ電極部であ
り、この振動子２は、5.4×1.6×22mmの形状で構
成されている。 That is, in the configuration shown in FIG.
Reference numeral 1 indicates a probe electrode portion having a vibrator 2 made of a bimorph piezo element, and this vibrator 2 has a shape of 5.4×1.6×22 mm.

前記振動子２には、その先端のみに白金黒を電
着し、他の絶縁被覆した構成からなる直径0.12
mm、長さ約30mmの白金ワイヤを用いたプローブ電
極３が設けられていると共に、このプローブ電極
３の近傍位置には、同様の白金ワイヤからなる参
照電極４が取付けられている。 The vibrator 2 has a diameter of 0.12 mm and has platinum black electrodeposited only on its tip and is coated with other insulation.
A probe electrode 3 made of a platinum wire with a length of about 30 mm is provided, and a reference electrode 4 made of a similar platinum wire is attached near the probe electrode 3.

前記プローブ電極３の下端３ａは、図示しない
電解槽内の電解液中に浸漬された測定試料５の表
面から0.1mmの高さ位置に設けられると共に、前
記参照電極４の下端４ａは、測定試料５の表面か
ら10mm以上の高さ位置に設けられている。 The lower end 3a of the probe electrode 3 is provided at a height of 0.1 mm from the surface of the measurement sample 5 immersed in an electrolytic solution in an electrolytic bath (not shown), and the lower end 4a of the reference electrode 4 It is installed at a height of 10 mm or more from the surface of 5.

前記参照電極４は、雑音除去のためのもので、
測定試料５の表面に生じたピットによる電位変化
が起きている領域に入らないように、測定試料５
の表面から十分離間した高さとなる位置に配設さ
れている。 The reference electrode 4 is for noise removal,
Measurement sample 5 should be
It is located at a height that is sufficiently distant from the surface of the

前記プローブ電極部１には、周波数可変発振器
６が接続され、前記各電極３及び４には、ロツク
インアンプ７が接続されている。 A variable frequency oscillator 6 is connected to the probe electrode section 1, and a lock-in amplifier 7 is connected to each of the electrodes 3 and 4.

前記ロツクインアンプ７には、制御部８を介し
てマイクロコンピュータ９が接続され、このマイ
クロコンピュータ９には、フロツピイデイスク１
０及びプロツター１１が接続されている。 A microcomputer 9 is connected to the lock-in amplifier 7 via a control section 8, and the microcomputer 9 has a floppy disk 1.
0 and plotter 11 are connected.

従つて、微細なプローブ電極３を、測定試料５
の金属表面に近接して走査することにより、電位
変化を測定して、アノードの位置やアノードから
流れ出す電流の大きさ、即ち、腐食速度を決定す
ることができる。 Therefore, the fine probe electrode 3 is connected to the measurement sample 5.
By scanning in close proximity to the metal surface of the anode, changes in potential can be measured to determine the position of the anode and the magnitude of the current flowing from the anode, and thus the corrosion rate.

さらに、プローブ電極３の振幅を検出する場合
は、振動子２に所定周波数の振動を与え、わずか
に振動音を発生している状態で、プローブ電極３
の下端３ａを測定試料５の表面に接触させると、
接触音（異常音）を発生する。この音を確認した
後に、マイクロメーター（図示せず）によつてこ
の接触音が聞えなくなる高さまで、プローブ電極
３を引上げ、その時のマイクロメーターの読み取
値を、プローブ電極３の振幅としている。 Furthermore, when detecting the amplitude of the probe electrode 3, the probe electrode 3 is
When the lower end 3a of is brought into contact with the surface of the measurement sample 5,
Generates a contact sound (abnormal sound). After confirming this sound, the probe electrode 3 is pulled up using a micrometer (not shown) until the contact sound is no longer audible, and the value read by the micrometer at that time is taken as the amplitude of the probe electrode 3.

又、測定中には、プローブ電極３と測定試料５
とが絶対に接触することがないように、プローブ
電極３の振幅よりもわずかに長い距離で、プロー
ブ電極３と測定試料５との間隔（即ち、プローブ
電極３の高さ位置）を設定している。 Also, during the measurement, the probe electrode 3 and the measurement sample 5
The distance between the probe electrode 3 and the measurement sample 5 (i.e., the height position of the probe electrode 3) is set at a distance slightly longer than the amplitude of the probe electrode 3 so that they never come into contact with each other. There is.

ｃ 考案が解決しようとする問題点 従来の走査振動電極装置は、以上のように構成
されていたため、次のような種々の問題点を有し
ていた。c. Problems to be solved by the invention Since the conventional scanning vibrating electrode device was constructed as described above, it had various problems as described below.

(1) 前述の走査振動電極装置では、電解液中にお
いて金属表面の局部アノード領域から、その周
囲に分布するカソード領域へと、電解質溶液を
通して流れ出す電流に対して生じる等電位線
（直流電位変化）を、プローブ電極を振動する
ことにより特定周波数の交流信号に変換し検出
するものであるが、この場合、プローブ電極の
振幅および初期設定位置（プローブ電極−測定
試料間距離）によつて、測定結果が異なるの
で、これら両者の情報を正確に把握しておかな
いと、得られた測定結果に対して定量的な評価
ができず、又、再現性の良い測定も期待できな
いと云う基本的な問題点が存在していた。(1) In the above-mentioned scanning vibrating electrode device, equipotential lines (direct current potential changes) that occur in response to the current flowing through the electrolyte solution from the local anode region on the metal surface to the cathode region distributed around it. is detected by converting it into an AC signal of a specific frequency by vibrating the probe electrode. In this case, the measurement result is determined by the amplitude of the probe electrode and the initial setting position (distance between the probe electrode and the measurement sample). The basic problem is that unless you accurately grasp the information on both, you will not be able to quantitatively evaluate the measurement results, and you will not be able to expect measurements with good reproducibility. There was a point.

前述の基本的な問題点に対して、従来装置に
おいては、プローブ電極を測定試料の表面に接
触させ、この時の接触音を頼りに振幅を検出
し、設定位置を決定しているため、検出位置の
再現性が悪く、得られた結果を定量的に電気化
学的に取扱うためには精度および信頼性が低い
と云う問題点があつた。 To solve the above-mentioned basic problem, in conventional devices, the probe electrode is brought into contact with the surface of the measurement sample, and the amplitude is detected based on the contact sound at this time, and the setting position is determined. There were problems in that positional reproducibility was poor, and accuracy and reliability were low for quantitatively electrochemically handling the obtained results.

(2) プローブ電極と測定試料を接触させるため、
プローブ電極の下端に損傷を受けることにな
り、不正信号発生の原因となり、測定結果を解
析する上および測定の正確な再現性を期するた
めにも、極力回避しなければならない重要な問
題点があつた。(2) To bring the probe electrode into contact with the measurement sample,
The lower end of the probe electrode may be damaged, causing false signals, which is an important problem that must be avoided as much as possible in order to analyze measurement results and ensure accurate reproducibility of measurements. It was hot.

本考案は、以上のような問題点を解決するため
になされたもので、特に、プローブ電極を測定試
料に接触させることなく、プローブ電極の振幅と
設定位置を精度良く検出し、測定の再現性の良い
プローブ電極の設定機構を備えた走査振動電極装
置を提供することを目的とする。 The present invention was developed to solve the above-mentioned problems.In particular, it detects the amplitude and setting position of the probe electrode with high accuracy without bringing the probe electrode into contact with the measurement sample, and improves the reproducibility of measurements. An object of the present invention is to provide a scanning vibrating electrode device equipped with a probe electrode setting mechanism having excellent properties.

ｄ 問題点を解決するための手段 本考案によるプローブ電極の設定機構を備えた
走査振動電極装置は、プローブ電極及び振動子を
有するプローブ電極部と、前記プローブ電極部を
保持するための保持部と、前記プローブ電極の下
方に配設された透明箱型電解槽と、前記透明箱型
電解槽の外側に設けられた実体顕微鏡及び照明手
段とを備えた構成である。d. Means for Solving the Problems A scanning vibrating electrode device equipped with a probe electrode setting mechanism according to the present invention includes a probe electrode section having a probe electrode and a vibrator, and a holding section for holding the probe electrode section. , a transparent box-shaped electrolytic cell disposed below the probe electrode, and a stereoscopic microscope and illumination means provided outside the transparent box-shaped electrolytic cell.

ｅ 作用 本考案によるプローブ電極の設定機構を備えた
走査振動電極装置においては、プローブ電極がＸ
−Ｙパルスステージ及びマイクロメータステージ
からなる保持部によつて作動自在に保持され、実
体顕微鏡及び照明手段が透明箱型電解槽を介し
て、対向配設されているため、プローブ電極の下
端を測定試料の表面に接触させることなく、速や
かに振幅を検出することができると共に、適正設
定位置もしくは任意の位置に設定することができ
る。e Effect In the scanning vibrating electrode device equipped with the probe electrode setting mechanism according to the present invention, the probe electrode is
- The lower end of the probe electrode is measured because it is held movably by a holder consisting of a Y pulse stage and a micrometer stage, and a stereo microscope and illumination means are arranged facing each other through a transparent box-shaped electrolytic bath. The amplitude can be quickly detected without contacting the surface of the sample, and it can be set at an appropriate setting position or any arbitrary position.

さらに、計測中におけるプローブ電極の作動状
態も観察することができる。 Furthermore, the operating state of the probe electrode during measurement can also be observed.

ｆ 実施例 以下、図面と共に本考案によるプローブ電極の
設定機構を備えた走査振動電極装置の好適な実施
例について、詳細に説明する。f Embodiment Hereinafter, a preferred embodiment of a scanning vibrating electrode device equipped with a probe electrode setting mechanism according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

尚、従来例と同一又は同等部分には、同一符号
を付して説明する。 Note that the same or equivalent parts as in the conventional example will be described with the same reference numerals.

第１図及び第２図は、本考案によるプローブ電
極の設定機構を備えた走査振動電極装置を示すた
めの全体構成図及び要部の拡大図であり、図にお
いて符号１で示されるものは、バイモルフ型ピエ
ゾ素子からなる振動子２を有するプローブ電極部
であり、この振動子２には、その先端のみに白金
黒を電着し、他の絶縁被覆した構成の白金ワイヤ
からなるプローブ電極３が設けられていると共
に、このプローブ電極３の近傍位置には、同様の
白金ワイヤからなる参照電極４が取付けられてい
る。 1 and 2 are an overall configuration diagram and an enlarged view of main parts to show a scanning vibrating electrode device equipped with a probe electrode setting mechanism according to the present invention. This is a probe electrode part having a vibrator 2 made of a bimorph piezo element, and a probe electrode 3 made of a platinum wire with platinum black electrodeposited only on its tip and coated with other insulation. A reference electrode 4 made of a similar platinum wire is attached near the probe electrode 3.

前記プローブ電極部１の直下位置には、電解液
１２を収容した透明枠体からなる透明箱型電解槽
１３が配設されており、前記プローブ電極３の下
端３ａは、この透明箱型電解槽１３内に浸漬され
た測定試料５の表面から所定の高さ位置（例え
ば、0.1mm）に設けられると共に、前記参照電極
４のコイル状をなす下端４ａは、測定試料５の表
面から所定の高さ位置（例えば、10mm以上）に設
けられている。 A transparent box-shaped electrolytic cell 13 made of a transparent frame containing an electrolytic solution 12 is arranged directly below the probe electrode section 1, and the lower end 3a of the probe electrode 3 is connected to the transparent box-shaped electrolytic cell 13. The coil-shaped lower end 4a of the reference electrode 4 is provided at a predetermined height position (for example, 0.1 mm) from the surface of the measurement sample 5 immersed in the reference electrode 13. (for example, 10 mm or more).

前記プローブ電極部１は、Ｘ・Ｙ・Ｚマイクロ
メータステージ１４の固定アーム１５に設けられ
た固定治具１６に保持されており、このＸ・Ｙ・
Ｚマイクロメータステージ１４は、Ｘ軸駆動部１
７、Ｙ軸駆動部１８及びＺ軸手動ハンドル１９と
からなるＸ−Ｙパルスステージ２０によつて保持
されたＸ・Ｙ・Ｚマイクロメータ用固定アーム２
１によつて保持されている。 The probe electrode section 1 is held by a fixing jig 16 provided on a fixing arm 15 of an X/Y/Z micrometer stage 14.
The Z micrometer stage 14 is connected to the X-axis drive unit 1
7. Fixed arm 2 for X-Y-Z micrometer held by an X-Y pulse stage 20 consisting of a Y-axis drive unit 18 and a Z-axis manual handle 19
It is held by 1.

従つて、前記Ｘ・Ｙ・Ｚマイクロメータステー
ジ１４と前記Ｘ−Ｙパルスステージ２０とによつ
て、前記プローブ電極部１を保持するための保持
部２２を構成している。 Therefore, the XYZ micrometer stage 14 and the XY pulse stage 20 constitute a holding section 22 for holding the probe electrode section 1.

前記透明箱型電解槽１３は、電解槽保持台２３
によつて保持され、この電解槽保持台２３に隣接
する位置には、変圧器２４を備えた照明手段用ス
タンド２５および実体顕微鏡スタンド２６が、定
盤２７上に設けられている。 The transparent box type electrolytic cell 13 has an electrolytic cell holding stand 23
An illumination means stand 25 equipped with a transformer 24 and a stereoscopic microscope stand 26 are provided on a surface plate 27 at positions adjacent to the electrolytic cell holder 23 .

前記照明手段用スタンド２５の上部には、落射
照明ランプからなる照明手段２８が設けられてお
り、前記実体顕微鏡スタンド２６の上部には、接
眼レンズ２８、この接眼レンズ２８に設けられた
ミクロスケールメータ２９及び変倍ツマミ３０を
有する実体顕微鏡３１が設けられ、これらの照明
手段２８及び実体顕微鏡３１は、前記透明箱型電
解槽１３を介して、互いに対向した状態に配設さ
れている。 An illumination means 28 consisting of an epi-illumination lamp is provided on the top of the illumination means stand 25, and an eyepiece 28 and a microscale meter provided on the eyepiece 28 are provided on the top of the stereomicroscope stand 26. A stereoscopic microscope 31 having a magnification knob 29 and a variable magnification knob 30 is provided, and the illumination means 28 and the stereoscopic microscope 31 are arranged to face each other with the transparent box electrolytic cell 13 interposed therebetween.

又、前述のＸ−Ｙパルスステージ２０、照明手
段用スタンド２５、電解槽保持台２３及び実体顕
微鏡スタンド２６は、互いに最適な位置関係とな
るように配設されて、前記定盤２７上に各々固定
されている。 Further, the aforementioned X-Y pulse stage 20, illumination means stand 25, electrolytic cell holding stand 23, and stereoscopic microscope stand 26 are arranged in an optimal positional relationship with each other, and are respectively placed on the surface plate 27. Fixed.

さらに、前記振動子２には、周波数可変発振器
６が接続されると共に、前記プローブ電極３及び
参照電極４には、ロツクインアンプ７が接続さ
れ、このロツクインアンプ７は、Ｘ−Ｙプロツタ
１１が接続されたマイクロコンピュータ９が接続
されている。 Further, a variable frequency oscillator 6 is connected to the vibrator 2, and a lock-in amplifier 7 is connected to the probe electrode 3 and reference electrode 4. A microcomputer 9 is connected thereto.

前述のＸ−Ｙパルスステージ２０に設けられた
Ｘ軸駆動部１７及びＹ軸駆動部１８には、前記マ
イクロコンピュータ９に接続されたパルスモータ
コントローラ３２が接続されている。 A pulse motor controller 32 connected to the microcomputer 9 is connected to the X-axis drive section 17 and Y-axis drive section 18 provided on the XY pulse stage 20 described above.

本考案によるプローブ電極の設定機構を備えた
走査振動電極装置は、以上のように構成されてお
り、以下に、その動作について説明する。 The scanning vibrating electrode device equipped with the probe electrode setting mechanism according to the present invention is constructed as described above, and its operation will be described below.

まず、Ｘ−Ｙパルスステージ２０のＺ軸手動ハ
ンドル１９により、プローブ電極３が測定試料５
に接触しない程度に距離調整し、周波数可変発振
器６によつて振動子２に任意の周波数で振動を与
え、実体顕微鏡３１によりプローブ電極３の下端
３ａの振幅を観測する。 First, the probe electrode 3 is moved to the measurement sample 5 by the Z-axis manual handle 19 of the X-Y pulse stage 20.
The distance is adjusted to such an extent that the probe electrode 3 does not come in contact with the probe electrode 3 , the vibrator 2 is vibrated at an arbitrary frequency by the variable frequency oscillator 6 , and the amplitude of the lower end 3 a of the probe electrode 3 is observed by the stereoscopic microscope 31 .

前述の観測状態において、室内では適切な光量
が得られないので、変圧器２４を介して照明手段
２８を点灯する。 In the aforementioned observation state, since an appropriate amount of light cannot be obtained indoors, the illumination means 28 is turned on via the transformer 24.

この実体顕微鏡３１による振幅値の読取りは、
接眼レンズ２８にミクロメータ２９を付与し、変
倍ツマミ３０で、振幅を観察可能な倍率に設定し
て行う。 The reading of the amplitude value by this stereomicroscope 31 is as follows:
A micrometer 29 is attached to the eyepiece 28, and a magnification knob 30 is used to set the amplitude to a magnification that allows observation.

尚、この実体顕微鏡３１の倍率とミクロメータ
２９との関係および透明箱型電解槽１３の材質並
びに厚さによる屈折率の影響については、あらか
じめ求めておくことが必要である。 Note that the relationship between the magnification of the stereoscopic microscope 31 and the micrometer 29 and the influence of the refractive index due to the material and thickness of the transparent box electrolytic cell 13 must be determined in advance.

次に、前述の状態で、実体顕微鏡３１で観察し
つつ、Ｘ・Ｙ・Ｚマイクロメータステージ１４に
おける図示しないＺ軸移動マイクロメータによつ
て、プローブ電極３の下端３ａをさらに測定試料
５に接近させる。 Next, in the above-mentioned state, while observing with the stereomicroscope 31, the lower end 3a of the probe electrode 3 is moved closer to the measurement sample 5 using the Z-axis moving micrometer (not shown) on the XYZ micrometer stage 14. let

この場合、実体顕微鏡３１の倍率は、測定試料
５とプローブ電極３の下端３ａが視野内に入る倍
率とし、プローブ電極３が測定試料５に接触しな
い範囲で最大限近接させ、その距離をミクロメー
タ２９で読取り、プローブ電極３の設定位置とす
る。 In this case, the magnification of the stereomicroscope 31 is such that the measurement sample 5 and the lower end 3a of the probe electrode 3 are within the field of view, and the probe electrode 3 is brought as close as possible to the measurement sample 5 without touching it, and the distance is measured by a micrometer. 29, and set the position of the probe electrode 3.

尚、プローブ電極３と測定試料５が互いに接触
しない範囲においては、その距離を任意に設定す
ることが可能である。 Note that the distance can be arbitrarily set as long as the probe electrode 3 and the measurement sample 5 do not come into contact with each other.

その後、パルスモータコントローラ３２の制御
信号をＸ−Ｙパルスステージ２０に印加し、Ｘ軸
駆動部１７およびＹ軸駆動部１８を移動させて、
プローブ電極３を走査状態とすることにより、こ
のプローブ電極３および参照電極４から得られた
検出信号を、ロツクインアンプ７内に取込み、ノ
イズ除去処理を行つてＳ／Ｎ比を向上させること
ができる。 After that, a control signal from the pulse motor controller 32 is applied to the X-Y pulse stage 20 to move the X-axis drive section 17 and the Y-axis drive section 18,
By putting the probe electrode 3 in a scanning state, the detection signals obtained from the probe electrode 3 and the reference electrode 4 can be taken into the lock-in amplifier 7 and subjected to noise removal processing to improve the S/N ratio. can.

さらに、カラーグラフイツク機構のプログラム
を内蔵したマイクロコンピュータ９によつて情報
処理を行い、カラーCRT（図示せず）に測定結果
を表示させると共に、Ｘ−Ｙプロツタ１１によつ
てカラーハードコピーを得ることもできる。 Further, the microcomputer 9 containing a program for the color graphics mechanism processes the information, displays the measurement results on a color CRT (not shown), and obtains a color hard copy using the X-Y plotter 11. You can also do that.

尚、所定のプログラムをマイクロコンピュータ
９内に内蔵することにより、Ｘ−Ｙパルスステー
ジ２０の移動による走査条件も、マイクロコンピ
ュータ９によつて、パルスモータコントローラ３
２を介して制御することもできる。 Incidentally, by incorporating a predetermined program into the microcomputer 9, the scanning conditions for the movement of the X-Y pulse stage 20 can also be controlled by the microcomputer 9.
It can also be controlled via 2.

なお、実体顕微鏡３１及び照明手段２８が透明
箱型電解槽１３を介して対向配置されていれば、
プローブ電極３をスタンド先端に取付けたマイク
ロメータステージ１４に固定し、透明箱型電解槽
１３をＸ−Ｙパルスステージ２０の上に設置する
構成でも良い。 Note that if the stereoscopic microscope 31 and the illumination means 28 are arranged facing each other with the transparent box-type electrolytic cell 13 in between,
A configuration may also be used in which the probe electrode 3 is fixed to a micrometer stage 14 attached to the tip of a stand, and the transparent box-shaped electrolytic cell 13 is installed on the XY pulse stage 20.

ｇ 考案の効果 本考案によるプローブ電極の設定機構を備えた
走査振動電極装置は、以上のように構成されてい
るため、次のような効果を得ることができる。g. Effects of the invention Since the scanning vibrating electrode device equipped with the probe electrode setting mechanism according to the invention is configured as described above, the following effects can be obtained.

(1) プローブ電極の下端を、照明手段と実体顕微
鏡により直接観察することができるため、プロ
ーブ電極の下端を測定試料に接触することな
く、速やかに振幅検出をすることができると共
に、適正設定位置もしくは任意の位置に設定す
ることができる。(1) Since the lower end of the probe electrode can be directly observed using the illumination means and a stereomicroscope, it is possible to quickly detect the amplitude without touching the lower end of the probe electrode to the measurement sample, and to find the correct setting position. Or it can be set at any position.

(2) 又、(1)項の効果により、検出精度が良く、得
られた測定結果も極めて信頼性が高くなる。(2) Furthermore, due to the effect of item (1), the detection accuracy is good and the obtained measurement results are also extremely reliable.

(3) (1)項の効果により、プローブ電極の下端に損
傷を受けることがなく、不正信号等の発生によ
る測定誤差を皆無とし、測定の再現性を確実な
ものとすることができる。(3) As a result of the effect of item (1), the lower end of the probe electrode is not damaged, there is no measurement error due to the occurrence of false signals, etc., and the reproducibility of measurement can be ensured.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第１図および第２図は、本考案によるプローブ
電極の設定機構を備えた走査振動電極装置を示す
もので、第１図は一部断面部分を有する全体構成
図、第２図は作動システムを示す構成図、第３図
は従来の走査振動電極装置を示すブロツク図であ
る。 １はプローブ電極部、２は振動子、３はプロー
ブ電極、５は測定試料、１３は透明箱型電解槽、
１４はＸ・Ｙ・Ｚマイクロメータステージ、２０
はＸ−Ｙパルスステージ、２２は保持部、２８は
照明手段、３１は実体顕微鏡である。 1 and 2 show a scanning vibrating electrode device equipped with a probe electrode setting mechanism according to the present invention. FIG. 3 is a block diagram showing a conventional scanning vibration electrode device. 1 is a probe electrode part, 2 is a vibrator, 3 is a probe electrode, 5 is a measurement sample, 13 is a transparent box type electrolytic cell,
14 is an X/Y/Z micrometer stage, 20
2 is an XY pulse stage, 22 is a holding section, 28 is an illumination means, and 31 is a stereoscopic microscope.

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】 (1) プローブ電極３及び振動子２を有するプロー
ブ電極部１と、前記プローブ電極部１を保持す
るための保持部２２と、前記プローブ電極３の
下方に配設された透明箱型電解槽１３と、前記
透明箱型電解槽１３の外側に設けられた実体顕
微鏡３１及び照明手段２８とを備え、前記実体
顕微鏡３１で観察しつつ、前記プローブ電極部
１を前記透明箱型電解槽１３内の測定試料５上
方の所定位置に非接触状態で設定できるように
したことを特徴とするプローブ電極の設定機構
を備えた走査振動電極装置。 (2) 前記保持部２２は、Ｘ−Ｙパルスステージ２
０及びＸ・Ｙ・Ｚマイクロメータステージ１４
とからなり、前記プローブ電極部１は前記Ｘ・
Ｙ・Ｚマイクロメータステージ１４に設けられ
ていることを特徴とする実用新案登録請求の範
囲第１項記載のプローブ電極の設定機構を備え
た走査振動電極装置。 (3) 前記実体顕微鏡３１と照明手段２８は、前記
透明箱型電解槽１３を介して対向配設されてい
ることを特徴とする実用新案登録請求の範囲第
１項又は第２項記載のプローブ電極の設定機構
を備えた走査振動電極装置。[Claims for Utility Model Registration] (1) A probe electrode part 1 having a probe electrode 3 and a vibrator 2, a holding part 22 for holding the probe electrode part 1, and a holding part 22 disposed below the probe electrode 3. A stereoscopic microscope 31 and an illumination means 28 are provided on the outside of the transparent box-type electrolytic cell 13, and while observing with the stereoscopic microscope 31, the probe electrode section 1 is A scanning vibrating electrode device equipped with a probe electrode setting mechanism, characterized in that it can be set in a predetermined position above a measurement sample 5 in a transparent box electrolytic cell 13 in a non-contact state. (2) The holding section 22 is attached to the X-Y pulse stage 2
0 and X/Y/Z micrometer stage 14
The probe electrode section 1 consists of the X.
A scanning vibrating electrode device equipped with a probe electrode setting mechanism according to claim 1, characterized in that it is provided on a Y/Z micrometer stage 14. (3) The probe according to claim 1 or 2, wherein the stereoscopic microscope 31 and the illumination means 28 are arranged facing each other with the transparent box electrolytic cell 13 interposed therebetween. A scanning vibration electrode device equipped with an electrode setting mechanism.