JPH0355157A - ロッド研磨装置 - Google Patents
ロッド研磨装置Info
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- JPH0355157A JPH0355157A JP19209389A JP19209389A JPH0355157A JP H0355157 A JPH0355157 A JP H0355157A JP 19209389 A JP19209389 A JP 19209389A JP 19209389 A JP19209389 A JP 19209389A JP H0355157 A JPH0355157 A JP H0355157A
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- polishing
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 13
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 4
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- 239000003292 glue Substances 0.000 claims 1
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- 238000009434 installation Methods 0.000 abstract 1
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- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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Landscapes
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
イ．発明の目的
〔産業上の利用分野〕
本発明は、光学部品であるレーザロッド等の端面を、直
交度、並びに平行度を精度よく研磨する際に用いるロッ
ド研磨装置に関するものである。
交度、並びに平行度を精度よく研磨する際に用いるロッ
ド研磨装置に関するものである。
従来、レーザロッドの研磨装置としては、研磨するレー
ザロッド（以下ロッドと称す）と研磨定盤との傾きを修
正できる単品研磨装置と、修正はできないが一度に多数
個のロッドを研磨できる多数本同時研磨装置が用いられ
ている。第３図は従来のロッドの傾きを修正しながら研
磨できる単品研磨装置を示す。レーザロッド１は円筒台
２に接着され、傾き修正板３に固定される。傾きの修正
は３個の調整ねじ４で行われる。調整ねじをまわすとガ
イドパイプＢ６を支点に修正板３が上下するため、ロッ
ドの部分が数μｍ上下して研磨定盤にロッド端面が当た
らなくなる。これを防ぐために、ガイドパイブＢは修正
板に自由に結合し、研磨定盤上を摺動するガイドパイプ
Ａ５で傾きを保ちながら、修正板３を上下運動できるよ
うにしてあり、高い精度で平行度を出す研磨を可能とし
ている。
ザロッド（以下ロッドと称す）と研磨定盤との傾きを修
正できる単品研磨装置と、修正はできないが一度に多数
個のロッドを研磨できる多数本同時研磨装置が用いられ
ている。第３図は従来のロッドの傾きを修正しながら研
磨できる単品研磨装置を示す。レーザロッド１は円筒台
２に接着され、傾き修正板３に固定される。傾きの修正
は３個の調整ねじ４で行われる。調整ねじをまわすとガ
イドパイプＢ６を支点に修正板３が上下するため、ロッ
ドの部分が数μｍ上下して研磨定盤にロッド端面が当た
らなくなる。これを防ぐために、ガイドパイブＢは修正
板に自由に結合し、研磨定盤上を摺動するガイドパイプ
Ａ５で傾きを保ちながら、修正板３を上下運動できるよ
うにしてあり、高い精度で平行度を出す研磨を可能とし
ている。
しかし、上記のような単品研磨装置では装置が重くなり
、研磨定盤の寿命が短く、且つ量産性が悪い等の問題が
あった。これを解決するために、第４図のような多数本
同時研磨装置が開発された。
、研磨定盤の寿命が短く、且つ量産性が悪い等の問題が
あった。これを解決するために、第４図のような多数本
同時研磨装置が開発された。
７はロッドの径と同じ穴を数個有するセラミックス製の
、例えばアルミナで作られた多数本同時研磨装置で、１
がロッドである。装置の穴の研磨面に対する直角度等は
予め高精度に加工されており、穴にロッドを接着するだ
けでロツドの平行度および直角度を数秒以内に研磨する
こともできる。
、例えばアルミナで作られた多数本同時研磨装置で、１
がロッドである。装置の穴の研磨面に対する直角度等は
予め高精度に加工されており、穴にロッドを接着するだ
けでロツドの平行度および直角度を数秒以内に研磨する
こともできる。
しかしながら、このような装置の場合、ロツドを研磨装
置に接着する際の接着剤が固まる際にロッドが曲げられ
て固定されることがあり、研磨修了後、治具からロッド
を取り外したときにロツドがもとの状態に戻るため、通
常平行度を３０秒以下にするのが困難であった。
置に接着する際の接着剤が固まる際にロッドが曲げられ
て固定されることがあり、研磨修了後、治具からロッド
を取り外したときにロツドがもとの状態に戻るため、通
常平行度を３０秒以下にするのが困難であった。
本Ｊ６明はこれらの欠点を除去するために、多数本のロ
ッドを同時に研磨できる研磨装置で、個々のロッドの平
行度、および直角度を修正できる機能を設けたもので、
重量も軽量で、特にロツドの傾きを修正する機構として
、ロッドの回転と２点調整ねじて調整する構造としたロ
ツド研磨装置である。
ッドを同時に研磨できる研磨装置で、個々のロッドの平
行度、および直角度を修正できる機能を設けたもので、
重量も軽量で、特にロツドの傾きを修正する機構として
、ロッドの回転と２点調整ねじて調整する構造としたロ
ツド研磨装置である。
ロ．発明の構成
〔課題を解決するための手段〕
本発明のロッド研磨装置は、レーザロツドを円筒台に垂
直に収め接着固定し、レーザロツドを固定した円筒台は
研磨定盤に接する基板と、基板の上にロッドの中心が、
ロツドを間にはさんで同一軸方向に並べた支点となる丸
棒をはさんだ修正板により保持され、円筒台は固定金具
により修正板に固定されている。基板と修正板との間に
は丸棒をはさんでわずかに空隙が設けてあり、ロッドの
両側にロッドをはさんで置かれた丸棒の芯軸方向に直交
する位置に、ロッドをはさんで２点により修正板は基板
にねじで固定された構造としてある。
直に収め接着固定し、レーザロツドを固定した円筒台は
研磨定盤に接する基板と、基板の上にロッドの中心が、
ロツドを間にはさんで同一軸方向に並べた支点となる丸
棒をはさんだ修正板により保持され、円筒台は固定金具
により修正板に固定されている。基板と修正板との間に
は丸棒をはさんでわずかに空隙が設けてあり、ロッドの
両側にロッドをはさんで置かれた丸棒の芯軸方向に直交
する位置に、ロッドをはさんで２点により修正板は基板
にねじで固定された構造としてある。
従ってロッドをはさむ２つの調整ねじの締め位置によっ
て、ロッドは丸棒の芯軸を中心に左右に傾きを作ること
ができ、又、修正板にロッドを固定している固定全具を
緩めることにより、基板中心でロッドを回転出来るので
、調整ねじの調整と、ロッドを円筒台と一緒に基板の中
心位置で回転して調整ねじ方向に対して調整することに
より、ロッド端面を高い精度の直交度と平面度を持つ研
磨を行える様にしたロッド研磨装置である。
て、ロッドは丸棒の芯軸を中心に左右に傾きを作ること
ができ、又、修正板にロッドを固定している固定全具を
緩めることにより、基板中心でロッドを回転出来るので
、調整ねじの調整と、ロッドを円筒台と一緒に基板の中
心位置で回転して調整ねじ方向に対して調整することに
より、ロッド端面を高い精度の直交度と平面度を持つ研
磨を行える様にしたロッド研磨装置である。
即ち本づ６明は、端面研磨を行うロッドを固定する円筒
台を挿入固定する複数個の穴を、基板と基板上のロッド
の数に対応した複数個の修正板の板面に直交し貫通して
設け、基板と修正板の対向す５ る面の対向する位置に穴の中心線を通る■溝を穴の両側
に設け、■溝には基板と修正板との間に空隙を設ける程
の大きさを持つ丸棒を挿入し、ロッドは円筒台に接着固
定し、基板と修正板の穴に共通に貫通挿入し、円筒台は
修正板に円筒台固定金具で固定し、丸棒の芯軸方向と直
交し、ロッドの中心を通る線上にロッドを中心に２つの
調整ねじにより基板と修正板を接続固定し、基板下面に
研磨定盤に接するダミーを取り付けて構成したことを特
徴とするロッド研磨装置。
台を挿入固定する複数個の穴を、基板と基板上のロッド
の数に対応した複数個の修正板の板面に直交し貫通して
設け、基板と修正板の対向す５ る面の対向する位置に穴の中心線を通る■溝を穴の両側
に設け、■溝には基板と修正板との間に空隙を設ける程
の大きさを持つ丸棒を挿入し、ロッドは円筒台に接着固
定し、基板と修正板の穴に共通に貫通挿入し、円筒台は
修正板に円筒台固定金具で固定し、丸棒の芯軸方向と直
交し、ロッドの中心を通る線上にロッドを中心に２つの
調整ねじにより基板と修正板を接続固定し、基板下面に
研磨定盤に接するダミーを取り付けて構成したことを特
徴とするロッド研磨装置。
２．請求項１記載のロッド研磨装置において、ロッドを
接着固定した円筒台の回転によるロッドの回転と、ロッ
ド両側に取り付けた２点調整ねじにより、ロッドの傾き
を調整してロッドの端面を研磨する様構或したことを特
徴とするロッド研磨装置。
接着固定した円筒台の回転によるロッドの回転と、ロッ
ド両側に取り付けた２点調整ねじにより、ロッドの傾き
を調整してロッドの端面を研磨する様構或したことを特
徴とするロッド研磨装置。
従来のロッド研磨装置の様に３点調整の場合、３点の中
心部に位置するロッドは、調整毎に数μｍ上下するが、
本発明による２点調整の場合、支点６ がその２点の中心、つまりロッドの位置であるために３
点調整のような上下移動がない。そのため、従来の単品
研磨装置のようなガイドパイプが不要であり、小型軽量
化が可能となる。これを数個組み合せることによって、
従来の単品研磨装置と同じ大きさのもので、複数のロッ
ドの傾きを一度に調整することができるロッド研磨装置
を提供することが出来る。
心部に位置するロッドは、調整毎に数μｍ上下するが、
本発明による２点調整の場合、支点６ がその２点の中心、つまりロッドの位置であるために３
点調整のような上下移動がない。そのため、従来の単品
研磨装置のようなガイドパイプが不要であり、小型軽量
化が可能となる。これを数個組み合せることによって、
従来の単品研磨装置と同じ大きさのもので、複数のロッ
ドの傾きを一度に調整することができるロッド研磨装置
を提供することが出来る。
次に本発明の実施例について説明する。
第１図は、本発明による単品研磨装置の一実施例を示す
。端面を研磨するＹＡＧレーザロッドｌは、例えば径が
３ｍｍφ、長さ６３． ５ｍｍで、円筒台８にエレクト
ロンワックスで接着している。基板９には、円筒台８が
入る円筒台挿入穴２０と、円筒台挿入穴の中心線上に幅
が８ｍｍで深さが２ｍｍのＶ溝１０が設けられている。
。端面を研磨するＹＡＧレーザロッドｌは、例えば径が
３ｍｍφ、長さ６３． ５ｍｍで、円筒台８にエレクト
ロンワックスで接着している。基板９には、円筒台８が
入る円筒台挿入穴２０と、円筒台挿入穴の中心線上に幅
が８ｍｍで深さが２ｍｍのＶ溝１０が設けられている。
基板の上に設置してある修正板１１の下面には、基板９
と同じ加工がなされ、この修正板１１と基板９の■溝の
部分にはφ４ｍｍの丸棒１２が入れてあり、これが基板
９と修正板１１とが回転する支点となる。第１図（ｂ）
に示す２つの調整ねじ１３方向と平行方向となるχ方向
の傾きは、この丸棒の支点を中心に調整ねじ１３で修正
する。χ方向に直交するｙ方向の傾きは、ＹＡＧレーザ
ロッド１が接着されている円筒台８を取付け位置で回転
することによって修正出来る。
と同じ加工がなされ、この修正板１１と基板９の■溝の
部分にはφ４ｍｍの丸棒１２が入れてあり、これが基板
９と修正板１１とが回転する支点となる。第１図（ｂ）
に示す２つの調整ねじ１３方向と平行方向となるχ方向
の傾きは、この丸棒の支点を中心に調整ねじ１３で修正
する。χ方向に直交するｙ方向の傾きは、ＹＡＧレーザ
ロッド１が接着されている円筒台８を取付け位置で回転
することによって修正出来る。
第２図は本発明の他の実施例で、第１図に示す単品研磨
装置を同一の基板９にロッドとそれに対応して修正板を
４個対称位置に取り付けた多数本同時研磨装置であり、
第２図に示す多数本同時研磨装詐では、複数個のＹＡＧ
レーザロッドを同時に調整研磨出来る。この場合の研磨
精度は±５秒以下であり、第２図の多数本同時研磨装置
では、ダミー１５を四隅に取り付けた基板９と、研磨す
るロッド１を取り付ける円筒台８を固定した修正板１１
は研磨面に平行な面で２分されており、基板と修正板１
１の間に、夫々■溝１０を丸棒１２が、丸棒の軸芯がロ
ッドの中心を通るよう取り付けてある。一方前記の調整
ねじ１３の取付け方向は丸棒の軸芯方向と直角方向でロ
ッドの中心位置を通る様構成し、ロッドを固定した円筒
台は、円筒台固定金具により修正板に固定ねじ１６によ
り固定されている。ロッドを保持した円筒台は、固定ね
じ１６を緩め、円筒台を回転して位置調整を行う。第２
図はロッドを４個同時に研磨するロッド研磨装置を示し
ており、個々の第１図のロッド研磨装置が４組組み合わ
させて構成されている。
装置を同一の基板９にロッドとそれに対応して修正板を
４個対称位置に取り付けた多数本同時研磨装置であり、
第２図に示す多数本同時研磨装詐では、複数個のＹＡＧ
レーザロッドを同時に調整研磨出来る。この場合の研磨
精度は±５秒以下であり、第２図の多数本同時研磨装置
では、ダミー１５を四隅に取り付けた基板９と、研磨す
るロッド１を取り付ける円筒台８を固定した修正板１１
は研磨面に平行な面で２分されており、基板と修正板１
１の間に、夫々■溝１０を丸棒１２が、丸棒の軸芯がロ
ッドの中心を通るよう取り付けてある。一方前記の調整
ねじ１３の取付け方向は丸棒の軸芯方向と直角方向でロ
ッドの中心位置を通る様構成し、ロッドを固定した円筒
台は、円筒台固定金具により修正板に固定ねじ１６によ
り固定されている。ロッドを保持した円筒台は、固定ね
じ１６を緩め、円筒台を回転して位置調整を行う。第２
図はロッドを４個同時に研磨するロッド研磨装置を示し
ており、個々の第１図のロッド研磨装置が４組組み合わ
させて構成されている。
ハ．発明の効果
〔発明の効果〕
以上のように、本発明の多数本同時研磨装置は、ロッド
の傾きの調整方法として、ロ゛ツドの回転と、ロッドを
中ノｂとしてロッドの両側に取付けた固定ねじによる２
点調整方法を用いたことによって、従来の研磨装置と同
じ大きさで複数個のロッドを同時に調整、研磨できるよ
うになった。しかも構造が簡単であるため装置の製作が
容易であり、研磨装置全体も軽量であり，その経済効果
は大である。
の傾きの調整方法として、ロ゛ツドの回転と、ロッドを
中ノｂとしてロッドの両側に取付けた固定ねじによる２
点調整方法を用いたことによって、従来の研磨装置と同
じ大きさで複数個のロッドを同時に調整、研磨できるよ
うになった。しかも構造が簡単であるため装置の製作が
容易であり、研磨装置全体も軽量であり，その経済効果
は大である。
以下余白
９
第１図は本発明によるロッド研磨装置の単品研磨装置を
示す図で、第１図（ａ）は縦断面図、第１図（ｂ）は裏
面図。 第２図は本発明によるロッド研磨装置の多数本同時研磨
装置を示す図で、第２図（ａ）は平面図、第２図（ｂ）
の一点鎖線の左半分は第２図（ａ）のＡ−Ａ部分の断面
図を示し、一点鎖線の右半分は第２図（ｂ）のＢ−Ｂ断
面の部分破砕図を示す。 第３図はロッド研磨装置の従来の単品研磨装置を示す図
で、第３図（ａ）は断面図、第３図（ｂ）は裏面図を示
す。 第４図は従来の多数本同時研磨装置を示す図で、第４図
（ａ）は断面図、第４図（ｂ）は平面図を示す。 １・・・レーザロッド、２，８・・・円筒台、３，１１
・・・修正板、４，１３・・・調整ねじ、５・・・ガイ
ドパイプＡ、６・・・ガイドパイプＢ、７・・・多数本
同時研磨装置、９・・・基板、１０・・・■溝、１２・
・・丸棒、１４・・・円筒台固定金具、１５・・・ダミ
ー、１６・・・固定ねじ、２０・・・円筒台挿入穴。 以下余白 ｌ０ 第／ 図 （（７） （ｂ） 第２図 （Ｃ７） ｑ （ｂ） 第３ 図 （Ｃ７） 第４ 図 （Ｃ７） （ｂ）
示す図で、第１図（ａ）は縦断面図、第１図（ｂ）は裏
面図。 第２図は本発明によるロッド研磨装置の多数本同時研磨
装置を示す図で、第２図（ａ）は平面図、第２図（ｂ）
の一点鎖線の左半分は第２図（ａ）のＡ−Ａ部分の断面
図を示し、一点鎖線の右半分は第２図（ｂ）のＢ−Ｂ断
面の部分破砕図を示す。 第３図はロッド研磨装置の従来の単品研磨装置を示す図
で、第３図（ａ）は断面図、第３図（ｂ）は裏面図を示
す。 第４図は従来の多数本同時研磨装置を示す図で、第４図
（ａ）は断面図、第４図（ｂ）は平面図を示す。 １・・・レーザロッド、２，８・・・円筒台、３，１１
・・・修正板、４，１３・・・調整ねじ、５・・・ガイ
ドパイプＡ、６・・・ガイドパイプＢ、７・・・多数本
同時研磨装置、９・・・基板、１０・・・■溝、１２・
・・丸棒、１４・・・円筒台固定金具、１５・・・ダミ
ー、１６・・・固定ねじ、２０・・・円筒台挿入穴。 以下余白 ｌ０ 第／ 図 （（７） （ｂ） 第２図 （Ｃ７） ｑ （ｂ） 第３ 図 （Ｃ７） 第４ 図 （Ｃ７） （ｂ）
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、端面研磨を行うロッドを固定する円筒台を挿入固定
する複数個の穴を、基板と基板上のロッドの数に対応し
た複数個の修正板の板面に直交し貫通して設け、基板と
修正板の対向する面の対向する位置に穴の中心線を通る
Ｖ溝を穴の両側に設け、Ｖ溝には基板と修正板との間に
空隙を設ける程の大きさを持つ丸棒を挿入し、ロッドは
円筒台に接着固定し、基板と修正板の穴に共通に貫通挿
入し、円筒台は修正板に円筒台固定金具で固定し、丸棒
の芯軸方向と直交し、ロッドの中心を通る線上にロッド
を中心に２つの調整ねじにより基板と修正板を接続固定
し、基板下面に研磨定盤に接するダミーを取り付けて構
成したことを特徴とするロッド研磨装置。 ２、請求項１記載のロッド研磨装置において、ロッドを
接着固定した円筒台の回転によるロッドの回転と、ロッ
ド両側に取り付けた２点調整ねじにより、ロッドの傾き
を調整してロッドの端面を研磨する様構成したことを特
徴とするロッド研磨装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19209389A JPH0355157A (ja) | 1989-07-24 | 1989-07-24 | ロッド研磨装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19209389A JPH0355157A (ja) | 1989-07-24 | 1989-07-24 | ロッド研磨装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0355157A true JPH0355157A (ja) | 1991-03-08 |
Family
ID=16285534
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19209389A Pending JPH0355157A (ja) | 1989-07-24 | 1989-07-24 | ロッド研磨装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0355157A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6027196A (en) * | 1993-01-08 | 2000-02-22 | Canon Kabushiki Kaisha | Recording method for gradation recording with light-and dark-colored inks and apparatus therefor |
| US9126308B2 (en) | 2010-11-01 | 2015-09-08 | Sintokogio, Ltd. | Shot-processing apparatus |
-
1989
- 1989-07-24 JP JP19209389A patent/JPH0355157A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6027196A (en) * | 1993-01-08 | 2000-02-22 | Canon Kabushiki Kaisha | Recording method for gradation recording with light-and dark-colored inks and apparatus therefor |
| US9126308B2 (en) | 2010-11-01 | 2015-09-08 | Sintokogio, Ltd. | Shot-processing apparatus |
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