JPH0352173A - Magnetic disk device - Google Patents
Magnetic disk deviceInfo
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野１
本発明はボイスコイルモータによってヘッドアームを回
動制御する形式の磁気ディスク装置に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Field of Application 1] The present invention relates to a magnetic disk device in which a head arm is rotationally controlled by a voice coil motor.
一般に、この種の磁気ディスク装置は、第４図ないし第
６図に示すように構成されている。Generally, this type of magnetic disk device is constructed as shown in FIGS. 4 to 6.
図中、１はハウジングを示し、該ハウジングｌは有底状
のハウジング本体２と、該ハウジング本体２に施蓋され
るカバー３とから構成され、塵埃の侵入を防止する密封
構造となっている。４はハウジング本体２の底板２Ａに
取り付けられたスピンドルモータの回転軸で、該回転軸
４にクランブ５を介して記録媒体としての磁気ディスク
６が回転可能に取り付けられている。In the figure, 1 indicates a housing, and the housing 1 is composed of a bottomed housing body 2 and a cover 3 that is attached to the housing body 2, and has a sealed structure to prevent dust from entering. . 4 is a rotating shaft of a spindle motor attached to the bottom plate 2A of the housing body 2, and a magnetic disk 6 as a recording medium is rotatably attached to the rotating shaft 4 via a clamp 5.
７はピボット軸を示し、該ピボット軸７は磁気ディスク
６の周囲に位置し、ハウジング本体２の底板２Ａに植設
されている。８はヘッドアームを示し、該ヘッドアーム
８は、前記ピボット軸７に回動可能に支持され、後端側
に後述するコイル支持部材ｌ８が一体成形されたキャリ
ア部９と、該キャリア部９に取り付けられ、前記磁気デ
ィスク６側へ延設されたヘッド支持アーム部１０と、該
ヘッド支持アーム部１０の先端部に取り付けられ、前記
磁気ディスク６の表面に延設された板ばね１１と、該板
ばね１１の先端に取り付けられ、前記磁気ディスク６の
表面をシークして任意のトラックにおいて情報の書込み
または読出しを行なう磁気ヘッドｌ２とから構成されて
いる。Reference numeral 7 indicates a pivot shaft, which is located around the magnetic disk 6 and is embedded in the bottom plate 2A of the housing body 2. Reference numeral 8 designates a head arm, which is rotatably supported by the pivot shaft 7, and has a carrier portion 9 integrally molded with a coil support member l8, which will be described later, on the rear end side, and a carrier portion 9 on the carrier portion 9. a head support arm section 10 attached to the head support arm section 10 and extending toward the magnetic disk 6; a leaf spring 11 attached to the tip of the head support arm section 10 and extending over the surface of the magnetic disk 6; The magnetic head 12 is attached to the tip of the leaf spring 11, and is configured to seek the surface of the magnetic disk 6 and write or read information on an arbitrary track.
１３は前記ヘッドアーム８を回動制御するボイスコイル
モータで、該ボイスコイルモータ１３は、前記ハウジン
グ本体２の底板２Ａに対して垂直方向に配設された一対
のサイドヨーク部１４Ａ，１４Ｂと、該各サイドヨーク
部１４Ａ，１４Ｂ間に掛け渡した状態で、上，下端に互
いに対向させて設けられたマグネットヨーク部１５Ａ，
１５Ｂと、該マグネットヨーク部１５Ａ，１５Ｂ間に位
置し、かつ前記各サイドヨーク部１４Ａ，１４Ｂ間に掛
け渡した状態で配設され、後述するコイル部１７のコア
となるセンタヨーク部１５Ｃと、前記各マグネットヨー
ク部１５Ａ，１５Ｂの各対向面にそれぞれ固着されたマ
グネット１６Ａ，１６Ｂと、前記ヘッドアーム８のキャ
リア部９の基端側９Ａに設けられ、前記センタヨーク部
１５Ｇをコアとするコイル部１７とから概略構成されて
いる。そして、前記コイル部１７は、ボビン１７Ａと、
該ボビン１７Ａに巻回された巻き線１７Ｂとから構成さ
れている。Reference numeral 13 denotes a voice coil motor that rotationally controls the head arm 8, and the voice coil motor 13 includes a pair of side yoke portions 14A and 14B disposed perpendicularly to the bottom plate 2A of the housing body 2; Magnet yoke parts 15A, which are provided at the upper and lower ends to face each other, are stretched between the side yoke parts 14A and 14B.
15B, and a center yoke portion 15C which is located between the magnet yoke portions 15A and 15B and is disposed to span between the respective side yoke portions 14A and 14B, and serves as the core of the coil portion 17 to be described later. Magnets 16A and 16B are respectively fixed to opposing surfaces of the magnetic yoke parts 15A and 15B, and a coil is provided on the base end side 9A of the carrier part 9 of the head arm 8 and has the center yoke part 15G as a core. It is generally composed of a section 17. The coil portion 17 includes a bobbin 17A,
The winding 17B is wound around the bobbin 17A.
１８はコイル部１７をキャリア部９の基端側９Ａに固定
支持するために二又状に形成されたコイル支持部材で、
該コイル支持部材１８はキャリア部９に一体的に形成さ
れ、コイル部１７をその両側から扶持するように支持固
定している。18 is a coil support member formed in a bifurcated shape to fixedly support the coil portion 17 on the base end side 9A of the carrier portion 9;
The coil support member 18 is integrally formed with the carrier portion 9, and supports and fixes the coil portion 17 from both sides thereof.
そして、該ボイスコイルモータ１３は、磁気ディスク装
置に内蔵された制御回路（図示せず）によりフィードバ
ック制御（閉ループ制御）されるようになっている。The voice coil motor 13 is subjected to feedback control (closed loop control) by a control circuit (not shown) built into the magnetic disk device.
なお、コイル部１７を支持する手段としては、第７図に
示すように、キャリア部９と別体の部材として形成され
たコイル支持部材１９で前記コイル部ｌ７を固定支持さ
せ、ねじ２０，２０でキャリア部９に固定したものもあ
る。In addition, as a means for supporting the coil part 17, as shown in FIG. There is also one that is fixed to the carrier part 9.
［発明が解決しようとする課題］
ところが、上述の従来技術にあっては、コイル部１７は
コイル支持部材１８．１９によってキャリア部９に固定
支持されているため、コイル部】７の支持剛性が高い。[Problems to be Solved by the Invention] However, in the above-mentioned prior art, since the coil portion 17 is fixedly supported on the carrier portion 9 by the coil support members 18 and 19, the support rigidity of the coil portion]7 is expensive.
このため、ヘッドアーム８を、制御回路によりフィード
バック制御されたボイスコイルモータ１３で回動させ、
磁気ヘッド１２を任意のトラック位置にシークさせると
きに、そのセトリング状態（位置決め状態）が悪いと、
第８図中、実線で示すように、ヘッドアーム８の回動時
の慣性力によって、目的トラック位置に対する磁気ヘッ
ドｌ２の変位が大きく波打つようにフィードバック制御
されながら徐々に減衰して、磁気ヘッド１２が目的のト
ラック位置ヘシーク（アクセス）される。この結果、磁
気ヘッド１２の任意トラックへのアクセス所要時間が長
くなってしまうという問題点がある。For this purpose, the head arm 8 is rotated by a voice coil motor 13 that is feedback-controlled by a control circuit.
When the magnetic head 12 seeks to a desired track position, if its settling state (positioning state) is poor,
As shown by the solid line in FIG. 8, the displacement of the magnetic head l2 with respect to the target track position is gradually attenuated under feedback control in a large undulating manner due to the inertial force when the head arm 8 rotates, and the magnetic head l2 is sought (accessed) to the target track position. As a result, there is a problem in that the time required for accessing an arbitrary track of the magnetic head 12 becomes longer.
また、ヘッドアーム８は全体として剛性が高く、固有振
動を有するため、磁気ディスク６の回転等による振動に
対して、ヘッドアーム８が共振を起こし、磁気ヘッド１
２の目的トラック位置への正確な位置決めが困難になる
ことがあるという問題点がある。In addition, since the head arm 8 has high rigidity as a whole and has natural vibration, the head arm 8 resonates with vibrations caused by rotation of the magnetic disk 6, etc., and the magnetic head 1
There is a problem in that accurate positioning to the second target track position may be difficult.
本発明は上述した従来技術の問題点に鑑みてなされたも
ので、コイルの支持剛性が高いために生じるアクセス不
良、振動等による磁気ヘッドの位置決め不良等の問題を
解消した磁気ディスク装置を提供することを目的とする
。The present invention has been made in view of the problems of the prior art described above, and provides a magnetic disk device that eliminates problems such as poor access caused by the high support rigidity of the coil and poor positioning of the magnetic head due to vibrations. The purpose is to
上述した課題を解決するために本発明が採用する構成は
、ハウジングと、該ハウジング内に位置して回転軸に回
転可能に支持された磁気ディスクと、前記ハウジング内
に設けられたピボット軸に回動可能に支持されたヘッド
アームと、該ヘッドアームの先端側に取り付けられた磁
気ヘッドと、前記ハウジング内に位置して前記ヘッドア
ームの基端側に設けられたボイスコイルモータとを備え
、前記ボイスコイルモータを、ハウジング側に取付けら
れたマグネットと、前記ヘッドアームの基端側に設けら
れたコイル支持部材と、該コイル支持部材に支持された
コイルとから構成してなる磁気ディスク装置において、
前記コイルとコイル支持部材との間に緩衝部材を設けた
ことにある。The configuration adopted by the present invention in order to solve the above problems includes a housing, a magnetic disk located inside the housing and rotatably supported by a rotating shaft, and a magnetic disk rotatable around a pivot shaft provided inside the housing. A movably supported head arm, a magnetic head attached to the distal end of the head arm, and a voice coil motor located within the housing and provided at the proximal end of the head arm, In a magnetic disk drive in which a voice coil motor is constituted by a magnet attached to a housing side, a coil support member provided at a proximal end side of the head arm, and a coil supported by the coil support member,
A buffer member is provided between the coil and the coil support member.
上記構成により、ヘッドアームがボイスコイルモータに
よって回動制御され、磁気ヘッドを任意のトラックにシ
ークさせると、該任意のトラックに磁気ヘッドが移動し
たところでボイスコイルモータがヘッドアームの回動を
抑えるように作用するが、この際のヘッドアームの回動
による慣性力と、この慣性力を抑える方向に作用するボ
イスコイルモータの駆動力とで生じるヘッドアームの振
動の多くを、コイルとコイル支持部材との間の緩衝部材
で吸収し、磁気ヘッドを任意のトラックへ正確にかつ短
時間で移動させることができる。With the above configuration, the rotation of the head arm is controlled by the voice coil motor, and when the magnetic head is sought to an arbitrary track, the voice coil motor suppresses the rotation of the head arm when the magnetic head moves to the arbitrary track. However, much of the vibration of the head arm caused by the inertial force due to the rotation of the head arm and the driving force of the voice coil motor that acts in the direction of suppressing this inertial force is absorbed by the coil and coil support member. The magnetic head can be moved to any desired track accurately and in a short time by absorbing the magnetic head with a buffer member between the two.
以下、本発明の実施例を第１図ないし第３図に基づいて
説明する。なお、本実施例の磁気デイスク装置の全体構
成は、ボイスコイルモータを除いて、前述した従来技術
とほぼ同様であり、ここでは、同一部材には同一符号を
付して、その説明を省略する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to FIGS. 1 to 3. Note that the overall configuration of the magnetic disk device of this embodiment is almost the same as that of the prior art described above, except for the voice coil motor, and the same members are given the same reference numerals and the explanation thereof will be omitted here. .
図中の２１は本実施例のボイスコイルモータで、該ボイ
スコイルモータ２ｌの全体構成は、前述した従来技術と
ほぼ同様に、ハウジング本体２の底板２Ａに対して垂直
方向に配設された一対のサイドヨーク部２２Ａ，２２Ｂ
と、該各サイドヨーク部２２Ａ，２２Ｂ間に設けられた
マグネットヨーク部２３Ａ，２３Ｂと、該マグネットヨ
ーク部２３Ａ，２３Ｂ間に配設されたセンタヨーク部２
３Ｃと、前記各マグネットヨーク部２３Ａ，２３Ｂの各
対向面にそれぞれ固着されたマグネット２４Ａ，２４Ｂ
と、前記ヘッドアーム８のキャリア部９の基端側９Ａに
設けられたコイル部２５とから概略構成されている。Reference numeral 21 in the figure indicates a voice coil motor of this embodiment, and the overall configuration of the voice coil motor 2l is substantially the same as that of the prior art described above. side yoke parts 22A, 22B
, magnetic yoke portions 23A and 23B provided between the side yoke portions 22A and 22B, and a center yoke portion 2 provided between the magnetic yoke portions 23A and 23B.
3C, and magnets 24A and 24B respectively fixed to the opposing surfaces of the respective magnet yoke parts 23A and 23B.
and a coil portion 25 provided on the base end side 9A of the carrier portion 9 of the head arm 8.
そして、前記コイル部２５は、ボビン２５Ａと、該ボビ
ン２５Ａの巻回された巻き線２５Ｂとからなり、該コイ
ル部２５は別体のコイル支持部材２６で支持され、ねじ
２７，２７でキャリア部９の基端側９Ａに固定されてい
る。The coil section 25 is made up of a bobbin 25A and a winding 25B wound around the bobbin 25A. It is fixed to the base end side 9A of 9.
２８はコイル部２５のボビン２５Ａとコイル支持部材２
６との間に設けられた緩衝部材で、該緩衝部材２８は、
ゴム、粘着剤等の粘弾性を有する高分子材料で成形され
ている。さらに、緩衝部材２８は、ボビン２５Ａとコイ
ル支持部材２６との間に介在した状態で、コイル部２５
をコイル支持部材２６に対して粘弾性的に支持するよう
になっている。28 is the bobbin 25A of the coil portion 25 and the coil support member 2
6, the buffer member 28 is provided between
It is molded from a viscoelastic polymeric material such as rubber or adhesive. Furthermore, the buffer member 28 is interposed between the bobbin 25A and the coil support member 26, and the coil portion 25
is viscoelastically supported by the coil support member 26.
以上のように構成された磁気ディスク装置では、ボイス
コイルモータ２１がヘッドアーム８を回動させて、この
ヘッドアーム８の先端に取り付けられた磁気ヘッド１２
が磁気ディスク６の表面をシークし、任意のトラックに
移動して情報の書込み，読出しを行なう。In the magnetic disk drive configured as described above, the voice coil motor 21 rotates the head arm 8 to rotate the magnetic head 12 attached to the tip of the head arm 8.
seeks the surface of the magnetic disk 6, moves to an arbitrary track, and writes and reads information.
そして、この際、ヘッドアーム８は、ボイスコイルモー
タ２１によって回動され、目的のトラック位置に達する
と、ヘッドアーム８の回動が停止される。このとき、セ
トリング状態が悪いと、磁気ヘッドｌ２が目的のトラッ
ク位置を行き過ぎて該目的トラック位置に対する変位量
が大きくずれ、フィードバック制御によってヘッドアー
ム８を逆に回動させる。そしてこの際、ヘッドアーム８
の回動が逆転するときの慣性力の変化に対して、緩衝部
材２８で粘弾性支持されたコイル部２５が緩衝部材２８
を変形させながらヘッドアーム８に対して微小に変動す
る。この結果、前記慣性力の変化によるエネルギー変動
の多くが、緩衝部材２８の粘弾性変形によって吸収され
、かつコイル部２５の微小変動によって分欣され、吸収
される。At this time, the head arm 8 is rotated by the voice coil motor 21, and when the target track position is reached, the rotation of the head arm 8 is stopped. At this time, if the settling condition is poor, the magnetic head l2 goes too far past the target track position and the amount of displacement with respect to the target track position deviates greatly, causing the head arm 8 to rotate in the opposite direction by feedback control. And at this time, head arm 8
The coil portion 25 viscoelastically supported by the buffer member 28 responds to the change in inertia force when the rotation of the buffer member 28 is reversed.
The head arm 8 slightly fluctuates while deforming the head arm 8. As a result, most of the energy fluctuations due to changes in the inertial force are absorbed by the viscoelastic deformation of the buffer member 28, and are divided and absorbed by minute fluctuations of the coil portion 25.
この結果、第８図中、一点鎖線で示すように、セトリン
グ状態が悪い場合に生じる磁気ヘッドｌ２の大きな変位
に対して、フィードバック制御によるその変位の減衰係
数が大幅に向上すると共に、フィードバック制御系での
ゲインが向上し、磁気ヘッド１２を目的トラック位置に
シークさせるアクセス時間を大幅に短縮でき、かつ正確
にアクセスさせることができる。As a result, as shown by the dashed line in FIG. 8, the damping coefficient of the large displacement of the magnetic head l2 that occurs when the settling condition is poor is greatly improved by the feedback control, and the feedback control system The access time for seeking the magnetic head 12 to the target track position can be significantly shortened, and the access can be performed accurately.
また、コイル部２５をヘッドアーム８に緩衝部材２８で
粘弾性的に支持するので、磁気ディスク６の回転等によ
る振動がヘッドアーム８に伝達してもこの振動は緩衝部
材２８で吸収され、ヘッドアーム８が共振することがな
くなる。この結果、磁気ヘッド１２による任意のトラッ
クでの情報の書込みまたは読出し精度が増し、装置に対
する信頼性が向上する。Further, since the coil portion 25 is viscoelastically supported on the head arm 8 by the buffer member 28, even if vibrations due to the rotation of the magnetic disk 6 are transmitted to the head arm 8, this vibration is absorbed by the buffer member 28 and the head Arm 8 no longer resonates. As a result, the accuracy of writing or reading information on any track by the magnetic head 12 increases, and the reliability of the apparatus improves.
なお、本実施例では、コイル部２５を支持する手段とし
て、キャリア部９と別体のコイル支持部材２６をねじ２
７で前記キャリア部９に固定させる構造としたが、コイ
ル支持部材２６をキャリア部９に一体的に形成してもよ
い。In this embodiment, as means for supporting the coil portion 25, a coil support member 26 separate from the carrier portion 9 is attached to the screw 2.
7, the coil support member 26 is fixed to the carrier portion 9, but the coil support member 26 may be formed integrally with the carrier portion 9.
また、コイル支持部材２６はコイル部２５のボビン２５
Ａと一体的に形成してもよい。Further, the coil support member 26 is connected to the bobbin 25 of the coil section 25.
It may be formed integrally with A.
以上詳述した通り、本発明によれば、ボイスコイルモー
タのコイルとコイル支持部材との間に緩衝部材を設けた
ので、磁気ヘッドを目的トラック位置にシークさせる際
に、セトリング状態が悪い場合に生じる磁気ヘッドの目
的位置に対する大きな変位に対して、フィードバック制
御によるその変位の減衰係数が大幅に向上すると共に、
フィードバック制御系でのゲインが向上し、磁気ヘッド
を目的トラック位置にシークさせるアクセス時間を大幅
に短縮でき、かつ正確にアクセスさせることができる。As detailed above, according to the present invention, the buffer member is provided between the coil of the voice coil motor and the coil support member, so that when the magnetic head seeks the target track position, if the settling state is poor, Feedback control significantly improves the attenuation coefficient for large displacements of the magnetic head relative to its target position, and
The gain in the feedback control system is improved, the access time for seeking the magnetic head to the target track position can be significantly shortened, and the access can be performed accurately.
また、コイル部をヘッドアームに緩衝部材で粘弾性的に
支持するので、磁気ディスクの回転等による振動がヘッ
ドアームに伝達してもこの振動は緩衝部材で吸収され、
ヘッドアームが共振することがなくなる。この結果、磁
気ヘッドによる任意のトラックでの情報の書込みまたは
読出し精度が増し、装置に対する信頼性が向上する。In addition, since the coil part is viscoelastically supported by the head arm with the buffer member, even if vibrations due to rotation of the magnetic disk are transmitted to the head arm, this vibration is absorbed by the buffer member.
The head arm will no longer resonate. As a result, the accuracy of writing or reading information on any track by the magnetic head increases, and the reliability of the device improves.
第１図ないし第３図は本発明の実施例に係り、第１図は
磁気ディスク装置の全体構成を示す一部破断の平面図、
第２図は第１図の■一■矢示方向から見たボイスコイル
モータの部分を示す断面図、第３図はピボット軸を含む
ヘッドアームの基端側を示す部分平面図、第４図ないし
第８図は従来技術に係り、第４図は磁気ディスク装置の
全体構成を示す一部破断の平面図、第５図は第４図のＶ
−■矢視方向から見たボイスコイルモータの部分を示す
断面図、第６図はピボット軸を含むヘッドアームの基端
側を示す部分平面図、第７図は他の従来例を示す第６図
と同様の部分の平面図、第８図は磁気ヘッドのシーク作
動時の目的トラック位置に対する変位量と時間との関係
を示す特性線図である。
１・・・ハウジング、６・・・磁気ディスク、７・・・
ピボット軸、８・・・ヘッドアーム、ｌ２・・・磁気ヘ
ッド、２１・・・ボイスコイルモータ、２４Ａ，２４Ｂ
・・・マグネット、２５・・・コイル部、２６・・・コ
イル支持部材、２８・・・緩衝部材。1 to 3 relate to an embodiment of the present invention; FIG. 1 is a partially cutaway plan view showing the overall configuration of a magnetic disk device;
Figure 2 is a cross-sectional view of the voice coil motor seen from the direction indicated by the arrows 1 and 2 in Figure 1, Figure 3 is a partial plan view of the base end of the head arm including the pivot shaft, and Figure 4 8 to 8 relate to the prior art, FIG. 4 is a partially cutaway plan view showing the overall configuration of a magnetic disk device, and FIG. 5 is the V of FIG.
-■ A sectional view showing a portion of the voice coil motor seen from the arrow direction, FIG. 6 is a partial plan view showing the proximal end side of the head arm including the pivot shaft, and FIG. 7 is a sectional view showing another conventional example. FIG. 8, which is a plan view of the same portion as shown in the figure, is a characteristic diagram showing the relationship between the displacement amount and time with respect to the target track position during the seek operation of the magnetic head. 1...Housing, 6...Magnetic disk, 7...
Pivot axis, 8... Head arm, l2... Magnetic head, 21... Voice coil motor, 24A, 24B
... Magnet, 25 ... Coil part, 26 ... Coil support member, 28 ... Buffer member.
Claims (1)
可能に支持された磁気ディスクと、前記ハウジング内に
設けられたピボット軸に回動可能に支持されたヘッドア
ームと、該ヘッドアームの先端側に取り付けられた磁気
ヘッドと、前記ハウジング内に位置して前記ヘッドアー
ムの基端側に設けられたボイスコイルモータとを備え、
前記ボイスコイルモータを、ハウジング側に取付けられ
たマグネットと、前記ヘッドアームの基端側に設けられ
たコイル支持部材と、該コイル支持部材に支持されたコ
イルとから構成してなる磁気ディスク装置において、前
記コイルとコイル支持部材との間に緩衝部材を設けたこ
とを特徴とする磁気ディスク装置。a housing; a magnetic disk located within the housing and rotatably supported on a rotating shaft; a head arm rotatably supported on a pivot shaft provided within the housing; and a distal end side of the head arm. a magnetic head attached to the head arm; and a voice coil motor located within the housing and provided on the proximal end side of the head arm,
In a magnetic disk drive in which the voice coil motor is constituted by a magnet attached to a housing side, a coil support member provided at a proximal end side of the head arm, and a coil supported by the coil support member. . A magnetic disk device, characterized in that a buffer member is provided between the coil and the coil support member.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18820989A JPH0352173A (en) | 1989-07-20 | 1989-07-20 | Magnetic disk device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18820989A JPH0352173A (en) | 1989-07-20 | 1989-07-20 | Magnetic disk device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0352173A true JPH0352173A (en) | 1991-03-06 |
Family
ID=16219678
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18820989A Pending JPH0352173A (en) | 1989-07-20 | 1989-07-20 | Magnetic disk device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0352173A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7329971B2 (en) * | 2002-06-06 | 2008-02-12 | Kabushiki Kaisha Yasakawa Denki | Voice coil-type linear motor with cooling function |
-
1989
- 1989-07-20 JP JP18820989A patent/JPH0352173A/en active Pending
Cited By (1)
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| US7329971B2 (en) * | 2002-06-06 | 2008-02-12 | Kabushiki Kaisha Yasakawa Denki | Voice coil-type linear motor with cooling function |
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