JPH0345987B2 - - Google Patents
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- JPH0345987B2 JPH0345987B2 JP60291732A JP29173285A JPH0345987B2 JP H0345987 B2 JPH0345987 B2 JP H0345987B2 JP 60291732 A JP60291732 A JP 60291732A JP 29173285 A JP29173285 A JP 29173285A JP H0345987 B2 JPH0345987 B2 JP H0345987B2
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- JP
- Japan
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- electrode
- electrostrictive element
- circumferential direction
- electrode plate
- electrodes
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- 239000007769 metal material Substances 0.000 claims description 16
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 12
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 3
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 1
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- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/106—Langevin motors
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
- H04R17/00—Piezoelectric transducers; Electrostrictive transducers
- H04R17/04—Gramophone pick-ups using a stylus; Recorders using a stylus
- H04R17/08—Gramophone pick-ups using a stylus; Recorders using a stylus signals being recorded or played back by vibration of a stylus in two orthogonal directions simultaneously
Landscapes
- Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、任意方向の複合振動を発生させる超
音波振動子に係り、特に超音波モータなどへの利
用に適した超音波振動子に関するものである。
音波振動子に係り、特に超音波モータなどへの利
用に適した超音波振動子に関するものである。
従来の技術
一般に、超音波振動子としては円板形電歪素子
を二個の金属体で挾持し一体で共振するランジユ
バン型振動子と、フエライト磁歪材を円筒状又は
π形に成形したπ型振動子とが多用されている。
を二個の金属体で挾持し一体で共振するランジユ
バン型振動子と、フエライト磁歪材を円筒状又は
π形に成形したπ型振動子とが多用されている。
また、振動方向として見れば、軸方向に振動す
る縦型振動子と軸方向に対称にねじり振動するね
じり振動子とが存する。これらの振動子は単一方
向、即ち、軸方向のみ、又は、ねじり方向のみの
振動を発生させる単一方向振動子である。
る縦型振動子と軸方向に対称にねじり振動するね
じり振動子とが存する。これらの振動子は単一方
向、即ち、軸方向のみ、又は、ねじり方向のみの
振動を発生させる単一方向振動子である。
このような単一方向振動子により超音波モータ
を構成したものとして、例えば特開昭55−125052
号公報に記載されたものがある。すなわち、軸方
向振動子の出力端部に振動片を設け、ロータ等の
可動部材の接合面の法線を振動子の軸方向に対し
て僅かに傾斜させてその振動片をロータに押圧す
る。これにより、振動片の先端部は結果的に楕円
振動し、ロータを摩擦振動させるものである。こ
のような振動片型においては、振動片とロータ接
触部との摩耗が著しく、さらに騒音の発生も大き
いと云う欠点を有する。
を構成したものとして、例えば特開昭55−125052
号公報に記載されたものがある。すなわち、軸方
向振動子の出力端部に振動片を設け、ロータ等の
可動部材の接合面の法線を振動子の軸方向に対し
て僅かに傾斜させてその振動片をロータに押圧す
る。これにより、振動片の先端部は結果的に楕円
振動し、ロータを摩擦振動させるものである。こ
のような振動片型においては、振動片とロータ接
触部との摩耗が著しく、さらに騒音の発生も大き
いと云う欠点を有する。
このような単一方向振動子とは別の方式のもの
として、第１１図に示すような振動子が存する。
すなわち、縦形振動子１とねじり変換体２とを一
体的に締着して振動子３が形成されている。前記
ねじり変換体２の一方の面には幅の広い溝４が形
成され、他方の面には前記溝４とある角度をもつ
て形成された梁状突起５が形成されている。前記
ねじり変換体２には、ボルト６とコイルバネ７と
を介してロータ８が押圧状態で取付けられてい
る。したがつて、縦形振動子１により発生した縦
振動がねじり変換体２に加えられると、ねじり変
換体２の梁状突起５の先端には矢印方向の楕円振
動が発生し、それに接するロータ８は矢印のよう
に時計方向に回転するものである。そのため、効
率の良い超音波モータを構成することができるも
のである。
として、第１１図に示すような振動子が存する。
すなわち、縦形振動子１とねじり変換体２とを一
体的に締着して振動子３が形成されている。前記
ねじり変換体２の一方の面には幅の広い溝４が形
成され、他方の面には前記溝４とある角度をもつ
て形成された梁状突起５が形成されている。前記
ねじり変換体２には、ボルト６とコイルバネ７と
を介してロータ８が押圧状態で取付けられてい
る。したがつて、縦形振動子１により発生した縦
振動がねじり変換体２に加えられると、ねじり変
換体２の梁状突起５の先端には矢印方向の楕円振
動が発生し、それに接するロータ８は矢印のよう
に時計方向に回転するものである。そのため、効
率の良い超音波モータを構成することができるも
のである。
発明が解決しようとする問題点
単一方向振動子による振動片型のものに対し
て、第１１図に示した縦ねじり変換型は、振動片
型の欠点を解決したものとして期待されている
が、その出力端部の振動姿態である楕円振動の楕
円率はねじり変換体２の形状によつて一律に決つ
てしまうものであり、駆動に最適な楕円率への制
御やその回転方向を制御することは不可能であ
る。すなわち、いずれもロータの単一方向のみの
駆動であり、さらに、接触面の摩耗が少ない状態
で最大トルクでの駆動を効率良く行うために必要
な楕円形状を得るコントロールができないもので
ある。
て、第１１図に示した縦ねじり変換型は、振動片
型の欠点を解決したものとして期待されている
が、その出力端部の振動姿態である楕円振動の楕
円率はねじり変換体２の形状によつて一律に決つ
てしまうものであり、駆動に最適な楕円率への制
御やその回転方向を制御することは不可能であ
る。すなわち、いずれもロータの単一方向のみの
駆動であり、さらに、接触面の摩耗が少ない状態
で最大トルクでの駆動を効率良く行うために必要
な楕円形状を得るコントロールができないもので
ある。
問題点を解決するための手段
厚み方向に分極された電歪素子本体の一面に二
分割された電極を形成するとともに他面に共通電
極を形成した電歪素子を設け、一枚又は複数枚の
前記電歪素子の両面に金属材を締着具により一体
的に締着し、一方の前記金属材に少なくとも三以
上の接触脚が放射状に形成された出力端部を形成
する。
分割された電極を形成するとともに他面に共通電
極を形成した電歪素子を設け、一枚又は複数枚の
前記電歪素子の両面に金属材を締着具により一体
的に締着し、一方の前記金属材に少なくとも三以
上の接触脚が放射状に形成された出力端部を形成
する。
作 用
電極に互いに位相の異なる交流電圧又は互いに
振幅の異なる交流電圧或いはこれらを組合せた交
流電圧を印加することにより出力端部に電極の分
割方向と直角の方向の面上で直線振動、円振動、
楕円振動を任意方向に発生させることができ、し
かも、金属材の出力端部には三以上の接触脚が放
射状に形成されているため、被駆動物の接触面積
が大きくて大きな駆動トルクを得ることができる
ものである。
振幅の異なる交流電圧或いはこれらを組合せた交
流電圧を印加することにより出力端部に電極の分
割方向と直角の方向の面上で直線振動、円振動、
楕円振動を任意方向に発生させることができ、し
かも、金属材の出力端部には三以上の接触脚が放
射状に形成されているため、被駆動物の接触面積
が大きくて大きな駆動トルクを得ることができる
ものである。
実施例
本発明の第１の実施例を第１図乃至第９図に基
づいて説明する。まず、厚み方向に分極されて組
み合わされることにより円環状となる四個の電歪
素子本体９が設けられ、これらの電歪素子本体９
の一面には中央に位置する絶縁部１０を中心とし
て電極１１，１２が二分割して形成され、他面に
は共通電極１３が全面電極として形成されて電歪
素子１４が構成されている。
づいて説明する。まず、厚み方向に分極されて組
み合わされることにより円環状となる四個の電歪
素子本体９が設けられ、これらの電歪素子本体９
の一面には中央に位置する絶縁部１０を中心とし
て電極１１，１２が二分割して形成され、他面に
は共通電極１３が全面電極として形成されて電歪
素子１４が構成されている。
このような電歪素子１４を二組準備し、電極板
１５を間にして前記電極１１，１２を対向させ、
中心部に絶縁筒１６を挿通する。前記電極板１５
は、８等分された放射状の極間部１７を有し、こ
れらの極間部１７の間には端子部１８を有する電
極１９が形成されている。そして、一方の電歪素
子１４の共通電極１３の面には四個の接触脚２０
が放射状に形成されて十字状にされた出力端部２
１を有する金属材２２が接合されている。この金
属材２２にはスリツト２３がその中心部を残して
十文字状の放射方向に形成されて前記接触脚２０
を中心に位置させている脚部２４が形成されてい
る。また、他方の電歪素子１４の共通電極１３の
面には共通電極板２５が接合され、この共通電極
板２５には金属材２６を接合させて締着具として
のボルト２７によりこれらは一体的に固定されて
いる。すなわち、前記金属材２６には前記ボルト
２７を挿通する孔２８が形成されており、前記金
属材２２には前記ボルト２７が螺合するねじ部２
９が形成されている。このようにして、複合振動
子３０が構成されている。
１５を間にして前記電極１１，１２を対向させ、
中心部に絶縁筒１６を挿通する。前記電極板１５
は、８等分された放射状の極間部１７を有し、こ
れらの極間部１７の間には端子部１８を有する電
極１９が形成されている。そして、一方の電歪素
子１４の共通電極１３の面には四個の接触脚２０
が放射状に形成されて十字状にされた出力端部２
１を有する金属材２２が接合されている。この金
属材２２にはスリツト２３がその中心部を残して
十文字状の放射方向に形成されて前記接触脚２０
を中心に位置させている脚部２４が形成されてい
る。また、他方の電歪素子１４の共通電極１３の
面には共通電極板２５が接合され、この共通電極
板２５には金属材２６を接合させて締着具として
のボルト２７によりこれらは一体的に固定されて
いる。すなわち、前記金属材２６には前記ボルト
２７を挿通する孔２８が形成されており、前記金
属材２２には前記ボルト２７が螺合するねじ部２
９が形成されている。このようにして、複合振動
子３０が構成されている。
ついで、前記電極１１，１２と前記共通電極１
３とには、電極板１５と共通電極板２５とを介在
させるとともにリード端子３１，３２を介して一
つおきに図示しない駆動制御回路に接続されてい
る。
３とには、電極板１５と共通電極板２５とを介在
させるとともにリード端子３１，３２を介して一
つおきに図示しない駆動制御回路に接続されてい
る。
このような構成において、リード端子３１，３
２と共通電極板２５とに互いに位相を制御できる
駆動電源を接続してその駆動周波数を軸方向共振
周波数に調節する。その位相差を零としたときに
は、同相並列駆動となつてその出力端部２１は第
６図ｄに示すように軸方向共振振動となつて縦型
振動子と同様な振動姿態で振動する。
２と共通電極板２５とに互いに位相を制御できる
駆動電源を接続してその駆動周波数を軸方向共振
周波数に調節する。その位相差を零としたときに
は、同相並列駆動となつてその出力端部２１は第
６図ｄに示すように軸方向共振振動となつて縦型
振動子と同様な振動姿態で振動する。
そこで、一方のリード端子３１に対し、他方の
リード端子３２に印加する振動電圧の位相を進ま
せると、第６図ｃに示すように軸方向に長い反時
計方向の楕円振動を行い、その進相度をさらに増
して行くと、ｂ，ａの如く軸方向に短くなり、そ
の軸方向とは直角方向に長い楕円形状に変化す
る。
リード端子３２に印加する振動電圧の位相を進ま
せると、第６図ｃに示すように軸方向に長い反時
計方向の楕円振動を行い、その進相度をさらに増
して行くと、ｂ，ａの如く軸方向に短くなり、そ
の軸方向とは直角方向に長い楕円形状に変化す
る。
同様にその位相を遅らせると、楕円振動方向は
時計方向に反転し、また、位相差の増大に伴つて
第６図ｅ，ｆ，ｇの如く振動姿態が変化する。
時計方向に反転し、また、位相差の増大に伴つて
第６図ｅ，ｆ，ｇの如く振動姿態が変化する。
しかして、第５図に示したのは、その利用例で
あり、超音波モータに利用している例である。す
なわち、支軸３３が中心に設けられた円板状のロ
ータ３４の面３５に複合振動子３０の出力端部２
１を圧接したものである。例えば、第５図に示す
状態においては、出力端部２１の振動は第６図に
おけるｇの状態であり、ロータ３４は矢印３６の
方向に移動する。そして、その相対位相を制御し
て第６図ｅの姿態とすると、ロータ３４の移動速
度は遅くなり、第６図ｄに示すように同相にする
と静止し、駆動電圧の位相差を逆方向に増加させ
て行けばロータ３４は逆方向にその速度を増加さ
せて行く。このようにして、ロータ３４が駆動さ
れる結果、そのロータ３４は一定速度で回転す
る。
あり、超音波モータに利用している例である。す
なわち、支軸３３が中心に設けられた円板状のロ
ータ３４の面３５に複合振動子３０の出力端部２
１を圧接したものである。例えば、第５図に示す
状態においては、出力端部２１の振動は第６図に
おけるｇの状態であり、ロータ３４は矢印３６の
方向に移動する。そして、その相対位相を制御し
て第６図ｅの姿態とすると、ロータ３４の移動速
度は遅くなり、第６図ｄに示すように同相にする
と静止し、駆動電圧の位相差を逆方向に増加させ
て行けばロータ３４は逆方向にその速度を増加さ
せて行く。このようにして、ロータ３４が駆動さ
れる結果、そのロータ３４は一定速度で回転す
る。
また、一個の複合振動子３０で正逆方向の駆動
ができるとともにその楕円率を制御することがで
きるため、接触面での摩耗を少なく最良の接触状
態での駆動が可能となり、その効率と信頼性とが
高められる。
ができるとともにその楕円率を制御することがで
きるため、接触面での摩耗を少なく最良の接触状
態での駆動が可能となり、その効率と信頼性とが
高められる。
さらに、リード端子３１，３２に印加する駆動
電圧の位相は同相としておいて、その相対振幅を
変化させると、その出力端部２１の振動方向は第
７図に示すように軸方向に対して傾斜した直線で
振動する。すなわち、印加電圧が同振幅の場合に
は、第７図ｃに示すように通常の縦型振動子と同
様に共振振動するが、電極１１の駆動電圧を電極
１２の駆動電圧よりも小さくすると、第７図ｂの
ように傾き、さらにその差を大きくすると、ａの
ように一層その振動方向は傾斜する。また、その
差を反転すると、同様にｄ，ｅのように逆方向に
傾斜する。これらの傾斜角度は、駆動電圧の相対
振幅によつて自由に制御することができるもので
ある。
電圧の位相は同相としておいて、その相対振幅を
変化させると、その出力端部２１の振動方向は第
７図に示すように軸方向に対して傾斜した直線で
振動する。すなわち、印加電圧が同振幅の場合に
は、第７図ｃに示すように通常の縦型振動子と同
様に共振振動するが、電極１１の駆動電圧を電極
１２の駆動電圧よりも小さくすると、第７図ｂの
ように傾き、さらにその差を大きくすると、ａの
ように一層その振動方向は傾斜する。また、その
差を反転すると、同様にｄ，ｅのように逆方向に
傾斜する。これらの傾斜角度は、駆動電圧の相対
振幅によつて自由に制御することができるもので
ある。
また、駆動制御電圧は、その位相差のみなら
ず、振幅も同時に変化させることにより、極めて
多様な複合振動姿態を得ることができ、その利用
分野を拡大することができる。
ず、振幅も同時に変化させることにより、極めて
多様な複合振動姿態を得ることができ、その利用
分野を拡大することができる。
つぎに、リード端子３１，３２に印加する駆動
電圧の位相差を互いに180゜、即ち、反転させて駆
動すると、出力端部２１はねじり共振振動を行
う。このねじり共振振動は軸方向共振周波数に較
べてかなり低く、周波数を同一とすれば、装置の
形状は一層小型になる。
電圧の位相差を互いに180゜、即ち、反転させて駆
動すると、出力端部２１はねじり共振振動を行
う。このねじり共振振動は軸方向共振周波数に較
べてかなり低く、周波数を同一とすれば、装置の
形状は一層小型になる。
このようなねじり振動は軸方向に対する曲げ振
動が軸方向端部で合成されて得られるものである
が、その高次数の共振点が軸方向共振周波数の近
くにも発生する。
動が軸方向端部で合成されて得られるものである
が、その高次数の共振点が軸方向共振周波数の近
くにも発生する。
そこで、リード端子３１，３２に印加する駆動
電圧の位相差を180゜、即ち、位相反転させて軸方
向共振周波数の近くの曲げ共振周波数に調節する
と、第８図ｃのように周方向に直線状に共振振動
を行うが、位相差180゜を基準としてリード端子３
２に対してリード端子３１の印加電圧の位相の進
み遅れによつて、第８図ｂの如く周方向に長い反
時計方向、或いは第８図ｄの如く周方向に長い時
計方向の楕円振動を行い、その位相差をさらに増
加して行くと、第８図ｂからａへと、或いは、第
８図ｄからｅへとその楕円形状が変化して行く。
電圧の位相差を180゜、即ち、位相反転させて軸方
向共振周波数の近くの曲げ共振周波数に調節する
と、第８図ｃのように周方向に直線状に共振振動
を行うが、位相差180゜を基準としてリード端子３
２に対してリード端子３１の印加電圧の位相の進
み遅れによつて、第８図ｂの如く周方向に長い反
時計方向、或いは第８図ｄの如く周方向に長い時
計方向の楕円振動を行い、その位相差をさらに増
加して行くと、第８図ｂからａへと、或いは、第
８図ｄからｅへとその楕円形状が変化して行く。
また、曲げ共振周波数に同調させた時の駆動電
圧の相対振幅を制御すると第９図ａ〜ｅのように
周方向に対して傾斜した直線振動が得られるもの
である。
圧の相対振幅を制御すると第９図ａ〜ｅのように
周方向に対して傾斜した直線振動が得られるもの
である。
さらに、第１０図に示すものは電極板１５の変
形例であり、その直径を電歪素子１４の直径より
も大きくして中心孔３７から放射状に八本の溝３
８を形成し、組立た後に溝３８の外周部の連結部
３９を切り落して独立した電極を形成するもので
ある。
形例であり、その直径を電歪素子１４の直径より
も大きくして中心孔３７から放射状に八本の溝３
８を形成し、組立た後に溝３８の外周部の連結部
３９を切り落して独立した電極を形成するもので
ある。
発明の効果
本発明は、上述のように厚み方向に分極された
電歪素子本体の一面に二分割された電極を形成す
るとともに他面に共通電極を形成した電歪素子を
設け、一枚又は複数枚の前記電歪素子の両面に金
属材を締着具により一体的に締着し、一方の前記
金属材に少なくとも三以上の接触脚が放射状に形
成された出力端部を形成したので、電極への駆動
電圧の位相、相対振幅を変化させることにより、
出力端部の振動を直線から楕円を経て円運動まで
の範囲にわたつて多様な変化を行わせることがで
き、また、その回転方向を反転させることもで
き、一方の振幅を一定にしたままでその楕円率を
変化させたり、楕円率を一定にしてその振幅を変
化させたりすることが容易にでき、特に、複数本
の接触脚が存するので、被駆動物との接触面積が
大きく、大きな駆動トルクを得ることができるも
のである。
電歪素子本体の一面に二分割された電極を形成す
るとともに他面に共通電極を形成した電歪素子を
設け、一枚又は複数枚の前記電歪素子の両面に金
属材を締着具により一体的に締着し、一方の前記
金属材に少なくとも三以上の接触脚が放射状に形
成された出力端部を形成したので、電極への駆動
電圧の位相、相対振幅を変化させることにより、
出力端部の振動を直線から楕円を経て円運動まで
の範囲にわたつて多様な変化を行わせることがで
き、また、その回転方向を反転させることもで
き、一方の振幅を一定にしたままでその楕円率を
変化させたり、楕円率を一定にしてその振幅を変
化させたりすることが容易にでき、特に、複数本
の接触脚が存するので、被駆動物との接触面積が
大きく、大きな駆動トルクを得ることができるも
のである。
第１図は本発明の一実施例を示す縦断側面図、
第２図は電歪素子の斜視図、第３図は電極の斜視
図、第４図は側面図、第５図は超音波モータに利
用した状態を示す分解斜視図、第６図ａ〜ｇは軸
方向共振周波数で相対位相を変化させて駆動した
時の出力端部の振動状態を示す説明図、第７図ａ
〜ｅは軸方向共振周波数で相対振幅を変化させて
駆動した時の出力端部の振動状態を示す説明図、
第８図ａ〜ｅはねじれ方向共振周波数で相対位相
を変化させた時の出力端部の振動状態を示す説明
図、第９図ａ〜ｅはねじれ方向共振周波数で相対
振幅を変化させた時の出力端部の振動状態を示す
説明図、第１０図は電極板の変形例を示す平面
図、第１１図は従来の一例を示す分解斜視図であ
る。 ９……電歪素子本体、１１，１２……電極、１
３……共通電極、１４……電歪素子、２０……接
触脚、２１……出力端部、２２，２６……金属
材、２７……ボルト（締着具）。
第２図は電歪素子の斜視図、第３図は電極の斜視
図、第４図は側面図、第５図は超音波モータに利
用した状態を示す分解斜視図、第６図ａ〜ｇは軸
方向共振周波数で相対位相を変化させて駆動した
時の出力端部の振動状態を示す説明図、第７図ａ
〜ｅは軸方向共振周波数で相対振幅を変化させて
駆動した時の出力端部の振動状態を示す説明図、
第８図ａ〜ｅはねじれ方向共振周波数で相対位相
を変化させた時の出力端部の振動状態を示す説明
図、第９図ａ〜ｅはねじれ方向共振周波数で相対
振幅を変化させた時の出力端部の振動状態を示す
説明図、第１０図は電極板の変形例を示す平面
図、第１１図は従来の一例を示す分解斜視図であ
る。 ９……電歪素子本体、１１，１２……電極、１
３……共通電極、１４……電歪素子、２０……接
触脚、２１……出力端部、２２，２６……金属
材、２７……ボルト（締着具）。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 厚み方向に分極された電歪素子本体の一面に
互いに周方向に二分割されて対になつた電極を形
成するとともに他面に共通電極を形成した電極対
を周方向に複数個配列した電歪素子を設け、前記
電極対の各々の電極に接触するとともにそれぞれ
端子を備えた電極部を有する電極板を形成し、周
方向に配列された電極対よりなる前記電歪素子に
接触する二個の金属材を形成し、これらの金属材
のうち少なくとも一方の金属材に少なくとも三以
上の接触脚が放射状に形成された出力端部を形成
し、これらの金属材の間に一枚又は複数枚の前記
電歪素子と前記電極板とを位置させて前記金属部
材と前記電歪素子と前記電極板との中央を挿通す
る導電性のあるボルトで両側の前記金属材を電気
的に接続して一体的に挟持締着したことを特徴と
する超音波振動子。 ２ 厚み方向に分極された電歪素子本体の一面に
互いに周方向に二分割されて対になつた電極を形
成するとともに他面に共通電極を形成した電極対
を周方向に複数個配列した電歪素子を設け、前記
電極対の各々の電極に接触するとともにそれぞれ
端子を備えた電極部を有する電極板を形成し、周
方向に配列された電極対よりなる前記電歪素子に
接触する二個の金属材を形成し、これらの金属材
のうち少なくとも一方の金属材に少なくとも三以
上の接触脚が放射状に形成された出力端部を形成
し、これらの金属材の間に一枚又は複数枚の前記
電歪素子と前記電極板とを位置させて前記金属部
材と前記電歪素子と前記電極板との中央を挿通す
る導電性のあるボルトで両側の前記金属材を電気
的に接続して一体的に挟持締着し、前記電歪素子
の電極に相対位相を制御した駆動電圧を印加する
駆動回路を設けたことを特徴とする超音波振動
子。 ３ 厚み方向に分極された電歪素子本体の一面に
互いに周方向に二分割されて対になつた電極を形
成するとともに他面に共通電極を形成した電極対
を周方向に複数個配列した電歪素子を設け、前記
電極対の各々の電極に接触するとともにそれぞれ
端子を備えた電極部を有する電極板を形成し、周
方向に配列された電極対よりなる前記電歪素子に
接触する二個の金属材を形成し、これらの金属材
のうち少なくとも一方の金属材に少なくとも三以
上の接触脚が放射状に形成された出力端部を形成
し、これらの金属材の間に一枚又は複数枚の前記
電歪素子と前記電極板とを位置させて前記金属部
材と前記電歪素子と前記電極板との中央を挿通す
る導電性のあるボルトで両側の前記金属材を電気
的に接続して一体的に挟持締着し、前記電歪素子
の電極に相対振幅を制御した駆動電圧を印加する
駆動回路を設けたことを特徴とする超音波振動
子。 ４ 厚み方向に分極された電歪素子本体の一面に
互いに周方向に二分割されて対になつた電極を形
成するとともに他面に共通電極を形成した電極対
を周方向に複数個配列した電歪素子を設け、前記
電極対の各々の電極に接触するとともにそれぞれ
端子を備えた電極部を有する電極板を形成し、周
方向に配列された電極対よりなる前記電歪素子に
接触する二個の金属材を形成し、これらの金属材
のうち少なくとも一方の金属材に少なくとも三以
上の接触脚が放射状に形成された出力端部を形成
し、これらの金属材の間に一枚又は複数枚の前記
電歪素子と前記電極板とを位置させて前記金属部
材と前記電歪素子と前記電極板との中央を挿通す
る導電性のあるボルトで両側の前記金属材を電気
的に接続して一体的に挟持締着し、前記電歪素子
の電極に相対位相及び相対振幅を制御した駆動電
圧を印加する駆動回路を設けたことを特徴とする
超音波振動子。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60291732A JPS62152378A (ja) | 1985-12-24 | 1985-12-24 | 超音波振動子 |
| US06/913,754 US4703214A (en) | 1985-11-27 | 1986-09-30 | Ultrasonic vibrator and its drive control method |
| DE19863635806 DE3635806A1 (de) | 1985-11-27 | 1986-10-22 | Ultraschallvibrator |
| US06/930,429 US4697117A (en) | 1985-11-27 | 1986-11-14 | Rotary ultrasonic motor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60291732A JPS62152378A (ja) | 1985-12-24 | 1985-12-24 | 超音波振動子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62152378A JPS62152378A (ja) | 1987-07-07 |
| JPH0345987B2 true JPH0345987B2 (ja) | 1991-07-12 |
Family
ID=17772679
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60291732A Granted JPS62152378A (ja) | 1985-11-27 | 1985-12-24 | 超音波振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62152378A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2657227B2 (ja) * | 1987-07-14 | 1997-09-24 | 本多電子株式会社 | 超音波駆動装置 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS513633A (ja) * | 1974-06-06 | 1976-01-13 | Ibm | Rejisutogenzohoho |
| JPS58181399A (ja) * | 1982-04-16 | 1983-10-24 | Oki Electric Ind Co Ltd | 多素子配列型ランジユバン振動子の製造方法 |
| JPS5996881A (ja) * | 1982-11-22 | 1984-06-04 | Toshio Sashita | 平板型超音波モータ装置 |
| JPS60113672A (ja) * | 1983-11-24 | 1985-06-20 | Hitachi Maxell Ltd | 圧電回転機 |
-
1985
- 1985-12-24 JP JP60291732A patent/JPS62152378A/ja active Granted
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS513633A (ja) * | 1974-06-06 | 1976-01-13 | Ibm | Rejisutogenzohoho |
| JPS58181399A (ja) * | 1982-04-16 | 1983-10-24 | Oki Electric Ind Co Ltd | 多素子配列型ランジユバン振動子の製造方法 |
| JPS5996881A (ja) * | 1982-11-22 | 1984-06-04 | Toshio Sashita | 平板型超音波モータ装置 |
| JPS60113672A (ja) * | 1983-11-24 | 1985-06-20 | Hitachi Maxell Ltd | 圧電回転機 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62152378A (ja) | 1987-07-07 |
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