JPH0341328A - 赤外線撮像光学装置 - Google Patents

赤外線撮像光学装置

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JPH0341328A
JPH0341328A JP1175691A JP17569189A JPH0341328A JP H0341328 A JPH0341328 A JP H0341328A JP 1175691 A JP1175691 A JP 1175691A JP 17569189 A JP17569189 A JP 17569189A JP H0341328 A JPH0341328 A JP H0341328A
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imaging optical
cold shield
optical system
exit pupil
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Hajime Ichikawa
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野コ 本発明は、赤外線撮像光学装置に関するものである。
[従来の技術] 従来のこの種装置は、第9図に示す様な構造であった。
図において、対物レンズ102によって中間結像面に結
像された撮像対象の像はリレーレンズ103によって赤
外線検知器104の受光面に結像される。一般に赤外線
用の光電素子は禁制帯幅が狭く暗電流が流れやすいため
、検知器104はリレーレンズ103からの有効光束を
通過させるための開口部を有し周囲の物体からの放射光
(熱輻射)を遮蔽するコールドシールド105によって
囲まれ、80に程度の温度に冷却さされている。このよ
うな構成の赤外線撮像光学装置において、リレーレンズ
103からの光束の光路を遮らず、かつ撮像対象以外の
物体から検知器104に入射する熱輻射を低減するには
、コールドシールド105開口部と撮像光学系の射出瞳
を合致させることが提案されている。
[発明が解決しようとする課題] シカシ、上記の如き従来技術においては、以下のような
問題点があった。
まず、コールドシールド開口部の検知器受光面からの高
さは射出瞳の位置に対応させなければならないため、コ
ールドシールドの小型化を図ることができず、冷却負荷
を軽減することができないという問題がある。特に検知
器の光電素子が二次元に多数配列されていて受光面積が
大きい場合には、射出瞳と結像面(受光面)との距離が
長くなるため、それに応じてコールドシールドも大型化
し冷却負荷が大きなものとなってしまう。
また、コールドシールドの開口部の大きさは固定された
ものであるので、撮像光学系の開口絞りの大きさを変え
ると射出瞳とコールドシールド開口部の大きさが一致し
なくなるという問題点がある。即ち、開口絞りを絞った
場合、コールドシールド開口部より射出瞳の大きさが小
さくなり撮像対象以外の物体からの熱輻射が検知器に入
射してしまい、検知器の感度が低下してしまう。
更に、赤外線用の検知器は水分が受光面上に結露すると
感度が損なわれてしまう為、一般に検知器受光部を真空
中に保てる様に光学窓部材によって検知器の周囲(コー
ルドシールドの外側)を密閉することが多いが、断熱効
果の点から真空層はある程度厚くする必要があり、装置
が更に大型化してしまうという問題がある。
加えて、前述したようにコールドシールド開口部の位置
及び形状は固定されたものにせざるを得ない為、対物レ
ンズの倍率を変えると射出瞳とコールドシールド開口部
が合致しなくなり、検知器の感度が低下してしまうとい
う問題点もある。
本願発明は上記の問題点に鑑みてなされたものであり、
第1の発明(請求項1)は検知器の冷却効率の向上を図
ることができるとともに、検知器の感度を低下させずに
開口絞りの大きさを変えることができる赤外線撮像光学
装置を提供することを目的としたものである。
また、第2の発明(請求項3)は検知器の感度を低下さ
せずに装置の小型化を図ることができる赤外線撮像光学
装置を提供することを目的としたものである。
さらに、第3の発明(請求項4)は対物レンズの倍率を
変えた場合でも高い冷却効率や感度を維持することがで
きる赤外線撮像光学装置を提供することを目的としたも
のである。
[課題を解決するための手段] 第1の発明の赤外線撮像光学装置は、対物レンズとリレ
ーレンズを有する撮像光学系と、該撮像光学系の最終結
像面の位置に受光面が一致するように配置された赤外線
検知器と、前記撮像光学系からの光束が通過する開口部
を有して前記検知器を囲むように配置され、前記検知器
周囲からの熱輻射を遮蔽するコールドシールドとを備え
た赤外線撮像光学装置てあって、前述した課題を達成す
るために前記コールドシールドの開口部か前記撮像光学
系の射出瞳あるいは射出瞳と共役な位置に合致するとと
もに、前記撮像光学系の開口絞りの像側の面が鏡面で構
成されたことを特徴とする赤外線撮像光学装置である。
第2の発明の赤外線撮像光学装置は、対物レンズとリレ
ーレンズを有する撮像光学系と、該撮像光学系の最終結
像面の位置に受光面が一致するように配置された赤外線
検知器と、該検知器の周囲を密閉する光学窓部材と、該
光学窓部材を支持する支持部材を有する赤外線撮像光学
装置であって、前述した課題を達成するために前記光学
窓部材が前記撮像光学系の射出瞳あるいは射出瞳と共役
な位置に合致するとともに、前記支持部月の検知器側の
面が鏡面で構成されたことを特徴とする赤外線撮像光学
装置である。
第3の発明の撮像光学装置は、対物レンズとリレーレン
ズを有する撮像光学系と、該撮像光学系の最終結像面の
位置に受光面が一致するように配置された赤外線検知器
と、前記撮像光学系からの光束が通過する開口部を有し
て前記検知器を囲むように配置され、前記検知器周囲か
らの熱輻射を遮蔽するコールドシールドとを備えた赤外
線撮像光学装置であって、前述した課題の達成のために
前記撮像光学系が、前記対物レンズを変倍した場合にあ
っても、射出瞳あるいは射出瞳と共役な位置が常に前記
コールドシールドの開口部に合致する変倍光学系で構成
されたことを特徴とする赤外線撮像光学装置である。
なお、本明細書において「射出瞳とコールドシールド開
口部(又は光学窓部材)が合致する」とは、「射出瞳と
開口部(又は光学窓部材)の位置が一致し、かつ大きさ
も等しい」ことを言い、以下「開口整合する」とも表現
する。
[作 用] 第1の発明においては、射出瞳とコールドシールドの開
口部が合致している(一般に光学設計において射出瞳の
位置及び大きさは所望の値とすることが可能であり、対
物レンズの設計によってコールドシールド開口部と光学
系全体の射出瞳を合致させることができる)とともに開
口絞りの像側の面が鏡面で構成されているので、コール
ドシールドの開口部形成面からの放射光は開口絞りの鏡
面で正反射され、コールドシールド開口部形成面に戻る
。即ち、周囲の常温物体からコールドシールド及び検知
器に入射する熱輻射が大幅に低減され、冷却されたコー
ルドシールド及び検知器自体の放射光が入射することに
なる(ナルシサス現象)ので冷却負荷が低減される。
また、射出瞳とコールドシールド開口部が合致している
状態から開口絞りを絞ると射出瞳の大きさが開口部より
小さくなるが、その場合でも撮像対象以外から検知器に
入射する放射光は冷却された検知器(及び支持基板)自
体からの放射光であるので、実質的にコールドシールド
開口部が絞られたことと等価になる。
第2の発明においては、射出瞳と合致する位置に光学窓
部材が配置されており、コールドシールドはこの先学窓
部材の内側に配置されることになる。即ち、コールドシ
ールド開口部は射出瞳と合致しないが、光学窓部材の支
持部材の検知器側の面が鏡面で構成されているので、リ
レーレンズからの有効光束以外に検知器に入射するのは
冷却されたコールドシールドからの放射光だけとなる。
即ち、検知器の感度を低下させずにコールドシールド及
び光学窓部材を従来より小型化することができる。
また、第3の発明については対物レンズの倍率を変える
と、それに伴って射出瞳の位置及び大きさが変わってし
まうが、後述する条件を満たすように開口絞りの位置及
び大きさを調整することによって変倍後においても開口
整合が実現できる。
[実施例] 第1図は第1発明の実施例を示す光路図である。かかる
撮像光学装置の光学系は、対物レンズ2と、対物レンズ
2によって中間結像面に結像された像を赤外線検知器4
の受光面(図中点A″〜点A ”の領域)に結像するリ
レーレンズ3を備えており、検知器4はリレーレンズ3
からの有効光束を通過させるための開口部を有するとと
もに周囲の物体からの熱輻射を遮蔽するコールドシール
ド5で囲まれて80に程度の温度に冷却されている。そ
して、撮像光学系の開口絞り1とコールドシールド5開
口部は共役な関係(即ち射出瞳と開口部が合致)となっ
ており、開口絞り1の検知器4側の面は鏡面で構成され
ている。
このような構成の撮像光学装置において、コールドシー
ルド5開口部の端点Aから角α内に放射される光(検知
器4受光面点A′〜点A ”からの放射光)はすべて開
口絞り1の開口部端点Bで正反射されて点Aに戻ってく
る。同様にして、コルドシールト5の開口部形成面(受
光面からの高さh)からの放射光はすべてコールドシー
ルド5に戻る。即ち、第1図に示された構成をとれば、
冷却された検知器4及びコールドシールド5自体の放射
光が開口絞り1の鏡面で反射されて検知器4及びコール
ドシールド5に入射することになり、周囲の常温物体か
ら検知器に入射する熱輻射が低減される。このため、検
知器4の比検出感度D″ (D*  == AI/2 
 (Δf)”2 /  (NPE)[cm−Hz”2−
W−’コ :ここにNEPは雑音等価電力−J−A/ 
(S /N ) [w] 、 Jは入射光束の単位面積
当りのエネルギー[W/cm2] 、 Sは信号出力電
圧[V] 、 Nは雑音電圧[V]、Aは素子の有効面
積[Cm2]Δfは測定する赤外線の帯域幅[H4F)
が向上する。
また、本実施例では中間結像面に視野絞り6を設けて視
野絞り6の検知器側の面も鏡面で構成しているので、検
知器4の非受光面の端点C(−!A°°)と視野絞り6
の開口部端点りも共役関係にあり、点Cから放射された
光も視野絞り6の鏡面で反射され点Cに戻ることになる
。即ち、検知器4非受光面からの放射光も検知器4(非
受光面)に戻ることになるので、冷却効率の向上を図る
ことができる。この際、撮像光学系がテレセントリック
系であれば、検知器4からの放射光がより効率良く開口
絞り1及び視野絞り6の鏡面で反射されることになる。
次に第2図は、第1発明の別の実施例を示す光路図であ
る。本実施例の撮像光学装置は、基本的な構成は第1図
に示された実施例と同様であるが、中間結像面に視野絞
りが設けられておらず、開口絞り21の開口部の大きさ
が可変になっている。かかる撮像光学装置において、開
口絞り21を図の様に絞った場合、射出瞳の大きさは図
中点E〜点Fで示される大きさとなる。このとき射出瞳
の大きさはコールドシールド5開口部の大きさはより小
さくなるが、角γ及び角γ′内の光束は開口絞り21の
鏡面で反射されて、同じ光路を通って検知器4受光面の
光軸上の点に戻る。
また、射出瞳の端点Eから角β内に発せられる光束(検
知器の受光面と周辺の非受光部を含む点E°〜点E ”
内から発せられた光束)は開口絞り21の端点B′で反
射されてそのまま検知器4の点E′〜点E ”内に戻っ
てくる。コールドシールド5開口部の端点Aについても
同様に開口絞り21の鏡面て反射され、点A°〜点A 
”の領域に戻る。
即ち、第2図に示されたような構成をとれば、開口絞り
21を絞ることによってコールドシールド5開口部の大
きさより射出瞳が小さくなっても撮像対象以外から検知
器4に入射するのは冷却された検知器4及びコールドシ
ールド5自体からの放射光であるので、実質的にコール
ドシールド5の開口部が絞られたのと等価である。
次に、第2の発明の実施例を第3図を用いて説明する。
本゛実施例による撮像光学装置の光学系は対物レンズ3
2と、対物レンズ32によって中間結像面32aに結像
された像を赤外線検知器34の受光面に結像するリレー
レンズ33を備えており、検知器34はリレーレンズ3
3からの有効光束を通過させるための開口部を有すると
ともに周囲の物体からの熱輻射を遮蔽するコールドシー
ルド35で囲まれて80に程度の温度に冷却されている
。コールドシールド35の外側は赤外線を透過する光学
窓部材7aとこの窓部材の支持部材7bで密閉されてお
り、検知器34は真空中に配置されている。
また、支持部材7bの検知器34側の面は鏡面て構成さ
れており、光学窓部材7aの端部(支持部材7bとの接
続部分)は耐圧性の点からテーバ加工されている。そし
て、光学窓部44’ 7 aの検知器34側の面と撮像
光学系の開口絞り31か共役な関係(即ち射出瞳と光学
窓部材7aが合致)となっている。検知器34とともに
真空中に配置されているコールドシールド35の開口部
形成面の高さは射出瞳の位置より低くなっており、開口
部口径はリレーレンズ33からの有効光束の光路を遮ら
ないように射出瞳より大きくなっている。また、本実施
例ではコールドシールド35の外表面は黒体(反射率−
!零、放射率!100%)て構成されている。
このような構成の撮像光学装置の光軸を含む断面におい
て、光軸上の受光点G、射出瞳の端点Hコールドシール
ド35開口部の端点■で規定される角δ内から点Gに入
射する熱輻射は、全て冷却器(図示せず)によって冷却
された検知器34受光部及びコールドシールド35から
発せられることになる。例えば、コールドシールド35
の外表面の点Jからの放射光は図に示される如く光学窓
部材7aの鏡面て反射されて検知器34受光面上の点G
に入射する。また、受光部の端点Kに関しても3点H,
に、Iで規定される角C内から入射する熱輻射について
同様の状況が成立し、コールドシールド35からの放射
光が入射することになる。光軸を含まない断面について
も同様である。このため、光学窓部材7aによって規定
されるF値(F=f/D 、fは光学系の焦点距離、D
は入射瞳の直径)と、コールドシールド35によって規
定されるF値が実質的に一致することになる。
即ち、第3図に示された撮像光学系においては、射出瞳
と合致するように配置された光学窓部材7aの支持部7
bの検知器側の面を鏡面で構成されているので、射出瞳
と開口部とが合致するように配置されたコールドシール
ドの代替としての機能を支持部7bの内面(鏡面)が果
たしていることになり、従来に比較してコールドシール
ド35及び光学窓部材7a、支持部材7bを小型化する
ことができ、それによって冷却負荷を低減することもで
きる。更に、光学窓部材7a及びその支持部材7bを小
型化できることは機械的強度(耐圧)の点でも有利であ
る。
なお、コールドシールド35の外表面は冷却されたコー
ルドシールド35自体の放射光を検知器34に入射させ
る上では本実施例のように黒体で構成することが好まし
いか、コールドシールド35外表面の放射率1反射率に
ついては特に限定されるものではない。コールドシール
ド35外表面が鏡面である場合には、検知器34の支持
基板8(第3図では基板8はコールドシールド35内に
配置されているが、支持部材7aの底部が基板8によっ
て閉止された構造をとることもある)等からの放射光が
コールドシールド35の外表面及び支持部材7bの鏡面
で反射されて検知器34に入射する。
また、上記の実施例では検知器34及びコールドシール
ド35が真空中に配置されているが、不活性ガス等を封
入する場合でも同様に適応できることは言うまでもない
更に、第3図に示された実施例ては光学窓部材7aの内
側(検知器側)の面と射出瞳を合致させたが、外側の面
と射出瞳を合致させ、光学窓部材7aの外表面の位置に
検知器34側の面を鏡面で構成した絞りを配置すれば、
この絞りによって第2図で説明した実施例と同様に検知
器の感度を低下させることなく光学系のF値を変化させ
ることかできる。
次に、第3の発明の実施例について第4図及び第5図を
用いて説明する。
まず、第4図を参照して射出瞳とコールドシールド開口
部を合致させるための条件について説明する。第4図に
示された撮像光学装置の構成は第1図に示した実施例の
構成と基本的に同様である。図において、対物レンズ2
を単レンズとして主点から開口絞り1までの距離をS、
対物レンズ2の焦点距離をfl、リレーレンズ3主点か
ら中間結像面までの距離をa、最終結像面(検知器4受
光面)までの距離をす、リレーレンズ3の焦点距離をf
2.コールドシールド5開口部の高さをり、射出瞳位置
(リレーレンズ主点からの距離)をX、射出瞳の径をφ
、l5fI口絞り径をDとする。
そして、入射瞳と共役な位置をX”、入射瞳の径をpo
 とすると、光軸方向には 1  1  1 x=b−h (4) が成立し、 光軸と直角方向には D’=Dx’/5 (5) φ−D X/(fl ) (6) が成立する。
(1) 〜(4) を解く と s−f、+[(b f2) (h (b f2N/(hf2”)]f+’ (7) 更に(5) (6)を解くと、 fl1O−(h/φ)  X f2/b−f2−(h−
φ)  x (a/b)   (8)従って、リレーレ
ンズ3が固定で、対物レンズ2を交換することによって
画角を変える場合、(7)式で決定される位置に開口絞
り1を置くと同時に、(8)式で決定される開口の大き
さを設定すれば(即ち、一定のF値を設定すれば)、常
に射出瞳とコールドシールド5開口部が合致することに
なる。
第5図は、第4図の撮像光学装置において対物0 レンズの焦点距離を変えた場合を示す光路図である。
このとき、 開口絞り 1の中間結像面からの距 @I1.は 角−s’+f、°−[(b−t2) (h(b f2))/(hf2”)]L’+2f+(9) となり、 (9) 式を、 flをtと書きなおし、 F  (t) と すると、 F (t)−pt2+2t−p (t+1/p) 21
/p (10) 但し、 p・(b−f2)(h−(b f2) )/ (hf2) となる。
従って、 対物レンズの倍率を変えた場合の開口 絞り5 1の移動量を対物レンズ5 2の焦点距離に 比例した値とするための条件は p ” (t)−o 、  即ち、p=Qを解いて、h
=b   f2 (S=f+  >         
  (11)となる。
即ち、開口絞り51の位置を対物レンズ52の前側焦点
位置に一致させ対物レンズ52を射出側テレセントリッ
クとすれば射出瞳をコールドシールド5の開口部に合致
させることができる。
また、対物レンズの倍率を2段階に変倍(1=f3.f
4)する場合には、 f3”f4    1 を満たせば、F(f3)・F (f、+)−2f3f4
/(f3’L)が成立し、変倍しても射出瞳位置が等し
くなる。
f3+f4 =f’ と置き、 (12)式をhについて解く h−(b−f2)2/((b−f2)+f2’/f(1
3) となる。
即ち、コールドシールド5開口部をこの位置に配せば、
2段階に変倍する場合に入射瞳の大きさを変えるたけて
射出瞳とコールドシールド開口部を合致させることがで
きる。
更に、この条件は、対物レンズの焦点距離をf3〜f4
に連続的に変えた場合の、開口絞り位置F (t)の変
化量が最少の場合でもある。また、2段階変倍時に対物
レンズ主点からの入射瞳位置を等しくする場合もF (
t)=pt2+tに関して同様に考えれば良い。
なお、上記の説明では射出瞳とコールドシールド開口部
を合致させることについて述べたが、上述した条件は第
2の発明において射出瞳と光学窓部材を合致させる場合
にも適応されることは言うまでもない。また、上記の説
明ては対物レンズを単レンズとしたが2段レンズ、3段
レンズ等多段3 レンズについても同様に開口整合のための解が存在する
更に、第4図に示された構成の撮像光学装置において第
6図に示されるように中間結像面に焦点鏡9を挿入する
場合、焦点鏡9のマスク部分10を鏡面で構成すれば、
ナルシサス現象を利用して(マスク部分10の鏡面で検
知器からの放射光が反射され検知器に戻る)焦点鏡を得
ることができる。また、鏡面(マスク部分10)以外で
の反射光が検知器に入射することが問題となる場合には
、第7図のようにくさび型の部材を2枚貼りあわせて平
行平面板11とし、貼り合せ面に焦点鏡9を形成して焦
点鏡9が中間結像面に位置するように平行平面板11を
光軸AXk:対して傾けて挿入すればよい。このように
すれば、マスク10以外ての反射光が検知器に入射する
のを回避できる。
また、第8図に示された様に平行平面板12を光軸AX
に対して傾けて挿入し、平行平面板12を光軸を回転軸
として回転させれば等価的に検知 4 器の画素の数あるいは一画素の大きさを増すことができ
るが、平行平面板12を中間結像面2aの位置に配置す
ることによって光学系の収差を最少とすることができる
[発明の効果コ 以上のように、第1の発明においては射出瞳ととコール
ドシールド開口部が合致し、かつ開口絞りの像側が鏡面
で構成されているので、ナルシサス現象を利用して等価
的にコールドシールド開口部の大きさを変えることが可
能となる。このため、開口絞りを絞って光学系のF値を
大きくさせるとともに、コールドシールドによって規定
されるF値と光学系のF値と合致させて、検知器の感度
(D*)を高めることができる。
また、第2の発明においては射出瞳と光学窓部材が合致
し、かつ光学窓部材の支持部が鏡面で構成されているの
で、検知器の感度を低下させることなく検知器の周囲に
配置される光学窓部材及びその支持部材とコールドシー
ルドの大きさを従来に比較して小型化することができる
更に、第3の発明においては対物レンズの倍率が変わる
場合にも常に射出瞳とコールドシールド開口部が合致す
るので、冷却効率及び検出感度を維持しなから画角を変
えることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は第1発明の詳細な説明するための光路図、第2
図は第1発明の別の実施例を説明するための光路図、第
3図は第2発明の詳細な説明するための光路図、第4図
及び第5図は第3発明を説明するための光路図、第6図
及び第7図は焦点鏡の挿入側説明する光路図、第8図は
平行平面板の挿入例を説明する光路図、第9図は従来例
を説明するための光路図である。 [主要部分の符号の説明] 1.21.31・・・開口絞り 2.32・・・・・・・・・・・・対物レンズ333・
・・・・・・・・・・・リレーレンズ4.34・・・・
・・・・・・・・検知器5.35・・・・・・・・・・
・・コールドシールド6・・・・・・・・・・・・・・
・・・・・・・視野絞り7

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)対物レンズとリレーレンズを有する撮像光学系と
    、該撮像光学系の最終結像面の位置に受光面が一致する
    ように配置された赤外線検知器と、前記撮像光学系から
    の光束が通過する開口部を有して前記検知器を囲むよう
    に配置され、前記検知器周囲からの熱輻射を遮蔽するコ
    ールドシールドとを備えた赤外線撮像装置において、 前記コールドシールドの開口部が前記撮像光学系の射出
    瞳あるいは射出瞳と共役な位置に合致するとともに、前
    記撮像光学系の開口絞りの像側の面が鏡面で構成された
    ことを特徴とする赤外線撮像光学装置。
  2. (2)前記対物レンズによる像が結像される中間結像面
    に配置された視野絞りを有し、かつ該視野絞りの像側の
    面が鏡面で構成されたことを特徴とする請求項1記載の
    赤外線撮像光学装置。
  3. (3)対物レンズとリレーレンズを有する撮像光学系と
    、該撮像光学系の最終結像面の位置に受光面が一致する
    ように配置された赤外線検知器と、該検知器の周囲を密
    閉する光学窓部材と、該光学窓部材を支持する支持部材
    を有する赤外線撮像光学装置において、 前記光学窓部材が前記撮像光学系の射出瞳あるいは射出
    瞳と共役な位置に合致するとともに、前記支持部材の検
    知器側の面が鏡面で構成されたことを特徴とする赤外線
    撮像光学装置。
  4. (4)対物レンズとリレーレンズを有する撮像光学系と
    、該撮像光学系の最終結像面の位置に受光面が一致する
    ように配置された赤外線検知器と、前記撮像光学系から
    の光束が通過する開口部を有して前記検知器を囲むよう
    に配置され、前記検知器周囲からの熱輻射を遮蔽するコ
    ールドシールドとを備えた赤外線撮像光学装置において
    、 前記撮像光学系が、前記対物レンズを変倍した場合にあ
    っても、射出瞳あるいは射出瞳と共役な位置が常に前記
    コールドシールドの開口部に合致する変倍光学系である
    ことを特徴とする赤外線撮像光学装置。
  5. (5)前記対物レンズがテレセントリックであることを
    特徴とする請求項4記載の赤外線撮像光学装置。
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