JPH033744U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH033744U JPH033744U JP6444689U JP6444689U JPH033744U JP H033744 U JPH033744 U JP H033744U JP 6444689 U JP6444689 U JP 6444689U JP 6444689 U JP6444689 U JP 6444689U JP H033744 U JPH033744 U JP H033744U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glass substrate
- holding
- processed surface
- jig
- set temperature
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 10
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 10
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 1
- 229910001285 shape-memory alloy Inorganic materials 0.000 claims 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
Description
第1図と第2図はそれぞれ本考案の一実施例の
ガラス基板治具における加熱前と設定温度到達時
の状態を示す要部断面図、第3図と第4図はそれ
ぞれ従来のガラス基板治具における加熱前と加熱
時の状態を示す要部断面図である。 1……ガラス基板、1a……加工表面、20…
…ガラス基板治具、21……治具背板、22……
治具外枠、22a……保持部。
ガラス基板治具における加熱前と設定温度到達時
の状態を示す要部断面図、第3図と第4図はそれ
ぞれ従来のガラス基板治具における加熱前と加熱
時の状態を示す要部断面図である。 1……ガラス基板、1a……加工表面、20…
…ガラス基板治具、21……治具背板、22……
治具外枠、22a……保持部。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 チヤンバー内にて加熱状態で使用されるガラス
基板を保持するガラス基板治具において、 前記ガラス基板の加工表面の周辺部分を接触保
持する保持部を備え、該保持部を、加工時の設定
温度で前記ガラス基板の加工表面に接触し、かつ
該設定温度以下で前記ガラス基板の加工表面から
所定角度を持つて離れるように記憶させた形状記
憶合金で形成したことを特徴とするガラス基板治
具。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6444689U JPH033744U (ja) | 1989-06-01 | 1989-06-01 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6444689U JPH033744U (ja) | 1989-06-01 | 1989-06-01 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH033744U true JPH033744U (ja) | 1991-01-16 |
Family
ID=31595404
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6444689U Pending JPH033744U (ja) | 1989-06-01 | 1989-06-01 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH033744U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004134725A (ja) * | 2002-08-09 | 2004-04-30 | Fuji Electric Device Technology Co Ltd | 半導体ウエハ保持治具および半導体素子の製造方法 |
-
1989
- 1989-06-01 JP JP6444689U patent/JPH033744U/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004134725A (ja) * | 2002-08-09 | 2004-04-30 | Fuji Electric Device Technology Co Ltd | 半導体ウエハ保持治具および半導体素子の製造方法 |