JPH0335102A - 走査形トンネル顕微鏡 - Google Patents
走査形トンネル顕微鏡Info
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- JPH0335102A JPH0335102A JP17000389A JP17000389A JPH0335102A JP H0335102 A JPH0335102 A JP H0335102A JP 17000389 A JP17000389 A JP 17000389A JP 17000389 A JP17000389 A JP 17000389A JP H0335102 A JPH0335102 A JP H0335102A
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Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
【産業上の利用分野3
本発明は、試料に探針を近付けてトンネル電流を検出、
し、試料表面の凹凸像を出力する走査形トンネル顕微鏡
の探針及び試料の交換装置に関する。
し、試料表面の凹凸像を出力する走査形トンネル顕微鏡
の探針及び試料の交換装置に関する。
[従来の技術及び発明が解決しようとする課題]走査形
トンネル顕微鏡においては、観測試料表面の原子レベル
の分解能を得るために、探針先端の形状を尖鋭化するこ
とが要求されている。そのため、讃探針先端は電界研磨
法等によって形成された探針先端に原子が1つあるよう
な1原子尖端とされている。
トンネル顕微鏡においては、観測試料表面の原子レベル
の分解能を得るために、探針先端の形状を尖鋭化するこ
とが要求されている。そのため、讃探針先端は電界研磨
法等によって形成された探針先端に原子が1つあるよう
な1原子尖端とされている。
さて、走査形トンネル顕微鏡における試料観測で、探針
先端と試料表面との間にトンネル電流を得るためには、
該探針先端と試料表面との間の距離をlnm程度まで接
近させる必要があるが、その接近動作中に該試料と探針
先端とが接触して該探針の原子尖端が破損したり、また
は試料が破損したりする場合がある。このよ゛うな、原
子尖端の破損した探針では原子レベルの分解能が得られ
ないため、正常な探針との交換が必要である。また、試
料が破損された場合においても、正常な試料との交換が
必要である。
先端と試料表面との間にトンネル電流を得るためには、
該探針先端と試料表面との間の距離をlnm程度まで接
近させる必要があるが、その接近動作中に該試料と探針
先端とが接触して該探針の原子尖端が破損したり、また
は試料が破損したりする場合がある。このよ゛うな、原
子尖端の破損した探針では原子レベルの分解能が得られ
ないため、正常な探針との交換が必要である。また、試
料が破損された場合においても、正常な試料との交換が
必要である。
しかし、トンネル顕微鏡が収容される超高真空状態に排
気された観察室内の真空を破って、その都度探針及び試
料の交換を行った場合、該探針及び試料の交換の後、再
排気を行なった上で観測を再開するためには美大な時間
を要するため、問題とされている。
気された観察室内の真空を破って、その都度探針及び試
料の交換を行った場合、該探針及び試料の交換の後、再
排気を行なった上で観測を再開するためには美大な時間
を要するため、問題とされている。
本発明は、上述した問題点を考慮し、探針及び試料の交
換を超高真空を維持した状態で迅速に行うことのできる
探針及び試料の交換装置を提供することを目的としてい
る。
換を超高真空を維持した状態で迅速に行うことのできる
探針及び試料の交換装置を提供することを目的としてい
る。
[課題を解決するための手段]
第1の本発明は、着脱可能に装着された探針を駆動する
探針駆動ユニットを収容する観察室と、該観察室に第1
の仕切弁を介して接続された移送室と、該移送室に第2
の仕切弁を介して接続された予備室と、該予備室及び第
2の仕切弁を通して前記移送室に交換用探針を挿入する
ための挿入棒と、該挿入棒によって挿入された複数の交
換用探針を装着可能であって、該装着を行うための第1
の位置と前記交換用探針を前記観察室へ挿入するための
第2の位置間を移送室内において移動可能な移動部材と
、前記第2の位置に位置した移動部材から交換用探針を
受けて前記観察室に第2の仕切弁を通して移送するため
の交換棒を備えたことを特徴としている。
探針駆動ユニットを収容する観察室と、該観察室に第1
の仕切弁を介して接続された移送室と、該移送室に第2
の仕切弁を介して接続された予備室と、該予備室及び第
2の仕切弁を通して前記移送室に交換用探針を挿入する
ための挿入棒と、該挿入棒によって挿入された複数の交
換用探針を装着可能であって、該装着を行うための第1
の位置と前記交換用探針を前記観察室へ挿入するための
第2の位置間を移送室内において移動可能な移動部材と
、前記第2の位置に位置した移動部材から交換用探針を
受けて前記観察室に第2の仕切弁を通して移送するため
の交換棒を備えたことを特徴としている。
第2の本発明は、前記移動部材として前記第1の位置と
前記12の位置間を移送室内において移動可能な移送棒
を設け、該移送棒の軸の周りに放射状に複数の交換用探
針を着脱可能に装着するようにした請求項1記載の走査
形トンネル顕微鏡を特徴としている。
前記12の位置間を移送室内において移動可能な移送棒
を設け、該移送棒の軸の周りに放射状に複数の交換用探
針を着脱可能に装着するようにした請求項1記載の走査
形トンネル顕微鏡を特徴としている。
[実施例]
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。第1
図は本発明の一実施例を説明するための装置構成図、第
2図は第1図のA−A矢視図、第3図は第1図のB−B
矢視図である。
図は本発明の一実施例を説明するための装置構成図、第
2図は第1図のA−A矢視図、第3図は第1図のB−B
矢視図である。
第1図において、1は観察室、2は移送室、3は予備室
、4,5は仕切弁、6はトンネル顕微鏡基台、7は探針
駆動機構、8は探針9の固着された探針ソケット、10
は試料ステージ、11は試料ホルダ、12は交換棒、1
3a、13bはチャック、14は導入棒、15は移送棒
、16は探針ソケット及び試料ホルダを複数個保持可能
な保持具、17 a、 17 b、 17 cは磁
器結合移動装置であり、ガイド18a、18b、18c
の外側(真空外)に移動可能に配置されたマグネット1
つ及び前記ガイド内側(真空内)の交換棒12゜導入棒
14.移送棒15の各々に設けられた磁性部材20とに
よって構成されている。Sは試料である。また、0は前
記移送棒15と交換棒12が交差する探針ソケット及び
試料ホルダの受は渡し位置であり、Pは前記移送棒15
と移送棒14が交差する探針ソケット及び試料ホルダの
受は渡し位置である。
、4,5は仕切弁、6はトンネル顕微鏡基台、7は探針
駆動機構、8は探針9の固着された探針ソケット、10
は試料ステージ、11は試料ホルダ、12は交換棒、1
3a、13bはチャック、14は導入棒、15は移送棒
、16は探針ソケット及び試料ホルダを複数個保持可能
な保持具、17 a、 17 b、 17 cは磁
器結合移動装置であり、ガイド18a、18b、18c
の外側(真空外)に移動可能に配置されたマグネット1
つ及び前記ガイド内側(真空内)の交換棒12゜導入棒
14.移送棒15の各々に設けられた磁性部材20とに
よって構成されている。Sは試料である。また、0は前
記移送棒15と交換棒12が交差する探針ソケット及び
試料ホルダの受は渡し位置であり、Pは前記移送棒15
と移送棒14が交差する探針ソケット及び試料ホルダの
受は渡し位置である。
同図において、観察室1内、移送室2内及び予備室3内
は各々が図示しない排気装置によって真空排気されてお
り、特に、観察室1内及び移送室2内は超高真空状態に
排気されている。
は各々が図示しない排気装置によって真空排気されてお
り、特に、観察室1内及び移送室2内は超高真空状態に
排気されている。
第2図に示す第1図のA−A矢視図に基づいて、走査形
トンネル顕微鏡の探針及び試料の交換機構及び交換作業
について説明する。
トンネル顕微鏡の探針及び試料の交換機構及び交換作業
について説明する。
第2図において観察室1内で除振器21上に基台6が配
置され、該基台6上に探針駆動機構7及び試料ステージ
10が配置されている。該探針駆動機構7の先端に雄捩
子部7aが設けられており、該雄捩子部7aに前記探針
ソケット8が螺合されている。また、試料ステージ1o
には開口部1゜aが設けられており、該開口部10aに
前記試料ホルダ11が嵌合されている。ここで、前記探
針9と試料S表面との高さ方向を2方向(Z軸)とする
とき、該2軸に沿って移動可能な交換棒12が挿入され
ている。該交換棒12の先端部には試料ホルダ及び探針
ソケットを保持するチャック13aが設けられている。
置され、該基台6上に探針駆動機構7及び試料ステージ
10が配置されている。該探針駆動機構7の先端に雄捩
子部7aが設けられており、該雄捩子部7aに前記探針
ソケット8が螺合されている。また、試料ステージ1o
には開口部1゜aが設けられており、該開口部10aに
前記試料ホルダ11が嵌合されている。ここで、前記探
針9と試料S表面との高さ方向を2方向(Z軸)とする
とき、該2軸に沿って移動可能な交換棒12が挿入され
ている。該交換棒12の先端部には試料ホルダ及び探針
ソケットを保持するチャック13aが設けられている。
以下、探針ソケット及び試料ホルダの交換(装着)作業
について説明する。
について説明する。
先ず、探針ソケットの交換を行なう場合は、該チャック
13によって保持された探針ソケット8が試料ステージ
10の該開口部10aを通して探針駆動機構5の先端部
まで移動される。そして、該交換棒12を磁器結合移動
装置17aを用いて回転することによって該駆動機構7
の先端部に設けられた雄捩子部7aに探針ソケット8が
螺合されて固定される。探針ソケット8固定後、交換棒
12は移送室2まで引き戻される。試料ホルダの交換を
行なう場合は、同様に前記チャック13aによって保持
された試料ホルダが交換棒12によって試料ステージ1
0の該開口部10aまで移動され、該開口部10aに嵌
合される。そして、試料ホルダ11は試料ステージ10
に設けられた固定ピンなどによる固定機構(図示せず)
によってステージ10に固定される。その後、交換棒1
2は移送室2まで引き戻される。そして、観察室1と移
送室2の間に設けられた仕切弁4が閉鎖されて、観察室
1内が図示しない排気装置によって超高真空状態に排気
された後に、検鏡が行なわれる。
13によって保持された探針ソケット8が試料ステージ
10の該開口部10aを通して探針駆動機構5の先端部
まで移動される。そして、該交換棒12を磁器結合移動
装置17aを用いて回転することによって該駆動機構7
の先端部に設けられた雄捩子部7aに探針ソケット8が
螺合されて固定される。探針ソケット8固定後、交換棒
12は移送室2まで引き戻される。試料ホルダの交換を
行なう場合は、同様に前記チャック13aによって保持
された試料ホルダが交換棒12によって試料ステージ1
0の該開口部10aまで移動され、該開口部10aに嵌
合される。そして、試料ホルダ11は試料ステージ10
に設けられた固定ピンなどによる固定機構(図示せず)
によってステージ10に固定される。その後、交換棒1
2は移送室2まで引き戻される。そして、観察室1と移
送室2の間に設けられた仕切弁4が閉鎖されて、観察室
1内が図示しない排気装置によって超高真空状態に排気
された後に、検鏡が行なわれる。
なお、該探針ソケット8を探針駆動機構から外す場合及
び試料ホルダを試料ステージから外す場合には上述した
作業を逆順序で行なえば良い。
び試料ホルダを試料ステージから外す場合には上述した
作業を逆順序で行なえば良い。
さて、上述した探針ソケット及び試料ホルダの交換を超
高真空状態を維持したまま迅速に行うために、本発明に
おいては、移送室2内の位置Oと位置4間で移動可能な
移送棒15を備えると共に、この移送棒15の先端部に
放射状に複数の探針ソケット及び試料ホルダを着脱可能
に保持する保持具16が設けられている。該保持具16
の周囲には雄板子が放射状に設けられており、該雄板子
に前記探針ソケット8が螺合されて保持されている。
高真空状態を維持したまま迅速に行うために、本発明に
おいては、移送室2内の位置Oと位置4間で移動可能な
移送棒15を備えると共に、この移送棒15の先端部に
放射状に複数の探針ソケット及び試料ホルダを着脱可能
に保持する保持具16が設けられている。該保持具16
の周囲には雄板子が放射状に設けられており、該雄板子
に前記探針ソケット8が螺合されて保持されている。
また、保持具の周囲には複数の開口部25が設けられて
おり、各開口部に試料ホルダが嵌合されている。
おり、各開口部に試料ホルダが嵌合されている。
第3図は第1図のB−B矢視図であり、該保持具16の
探針ソケット保持部の断面図が示されている。第3図に
おいて、移動棒15に取り付けられた保持具16の周囲
には雄捩子部24a〜24fが放射状に設けられており
、該雄捩子部に前記探針ソケット8b〜8fが螺合され
て保持されている。
探針ソケット保持部の断面図が示されている。第3図に
おいて、移動棒15に取り付けられた保持具16の周囲
には雄捩子部24a〜24fが放射状に設けられており
、該雄捩子部に前記探針ソケット8b〜8fが螺合され
て保持されている。
ここで、導入棒14は前記交換棒12と同方向(Z軸方
向)から挿入されており、該導入棒14の先端部には試
料ホルダ及び探針ソケットを保持するチャック13bが
設けられている。同図においては、該チャック13bに
よって探針ソケット8aが保持されている状態が示され
ている。図に示すように、導入棒14先端のチャック1
3にはローラ22及び該ローラの軸22aを押さえるス
プリングリーフ23からなる押さえ部が設けられており
、該押さえ部によって探針ソケット8aが保持されてい
る。
向)から挿入されており、該導入棒14の先端部には試
料ホルダ及び探針ソケットを保持するチャック13bが
設けられている。同図においては、該チャック13bに
よって探針ソケット8aが保持されている状態が示され
ている。図に示すように、導入棒14先端のチャック1
3にはローラ22及び該ローラの軸22aを押さえるス
プリングリーフ23からなる押さえ部が設けられており
、該押さえ部によって探針ソケット8aが保持されてい
る。
前記保持具16への探針ソケットの装着は次のような手
順で行われる。
順で行われる。
まず、移送室2と予備室3の間に設けられた仕切弁5が
閉鎖された状態で、該予備室3側で導入棒14のチャッ
ク13bに探針ソケットが取り付けられる。そして、予
備室3内が図示しない排気装置によって高真空乃至超高
真空状態に排気された後に前記仕切弁5が開放される。
閉鎖された状態で、該予備室3側で導入棒14のチャッ
ク13bに探針ソケットが取り付けられる。そして、予
備室3内が図示しない排気装置によって高真空乃至超高
真空状態に排気された後に前記仕切弁5が開放される。
該仕切弁5の開放後、導入棒14により該導入棒先端の
チャック13bに保持された探針ソケット8aが予備室
3側より移送室2内の位置Pまで導入される。ここで、
該チャック13bによって保持された探針ソケット8a
が、移送室2内の位置Pにおいて待機する保持具16の
雄捩子部21gの位置まで移動される。そして、該導入
棒14を磁器結合移動装置17bによって回転すること
により、雄捩子部24mに探針ソケット8aが螺合され
て固定される。
チャック13bに保持された探針ソケット8aが予備室
3側より移送室2内の位置Pまで導入される。ここで、
該チャック13bによって保持された探針ソケット8a
が、移送室2内の位置Pにおいて待機する保持具16の
雄捩子部21gの位置まで移動される。そして、該導入
棒14を磁器結合移動装置17bによって回転すること
により、雄捩子部24mに探針ソケット8aが螺合され
て固定される。
探針ソケット8a固定後、導入棒14は予備室3まで引
き戻される。そして、移送室2と予備室3の間に設けら
れた仕切弁5が閉鎖された後に、移送室2内が図示しな
い排気装置によって超高真空状態に排気される。
き戻される。そして、移送室2と予備室3の間に設けら
れた仕切弁5が閉鎖された後に、移送室2内が図示しな
い排気装置によって超高真空状態に排気される。
前記複数の探針ソケット及び試料ホルダがセットされた
保持具16は、移送棒15により位置Pから位置Oへ移
送室2内を移送される。
保持具16は、移送棒15により位置Pから位置Oへ移
送室2内を移送される。
該位置Oには前記交換棒12の先端部に設けられたチャ
ック13aが配置されており、該チャック13aによっ
て前記保持具16にセットされた複数の探針ソケットの
うち、いずれかがチャックされる。ここで、該探針ソケ
ットの選択は移送棒15の軸を回転させて所望の探針ソ
ケットの先端部をチャックの挿入方向に向けることによ
って行なわれる。
ック13aが配置されており、該チャック13aによっ
て前記保持具16にセットされた複数の探針ソケットの
うち、いずれかがチャックされる。ここで、該探針ソケ
ットの選択は移送棒15の軸を回転させて所望の探針ソ
ケットの先端部をチャックの挿入方向に向けることによ
って行なわれる。
そして、該チャック13aに保持された探針ソケットは
該移送室2から仕切弁4を介して観察室1内へ導入され
て、前述した駆動機構7の先端部に設けられた雄捩子部
7aに螺合されて固定される。なお、交換棒12が観察
室1内へ導入される際には前記保持具16は移動棒15
によって位置Pまで後退されている。
該移送室2から仕切弁4を介して観察室1内へ導入され
て、前述した駆動機構7の先端部に設けられた雄捩子部
7aに螺合されて固定される。なお、交換棒12が観察
室1内へ導入される際には前記保持具16は移動棒15
によって位置Pまで後退されている。
試料ホルダも同様の操作により保持具16から選択的に
チャックされ、導入棒13aによって観察室1内に1導
入され前述した試料ホルダ10の開口部10aに嵌合さ
れる。その後、交換棒12は移送室2まで引き戻される
。そして、観察室1と移送室2の間に設けられた仕切弁
4が閉鎖されて、観察室1内が図示しない排気装置によ
って超高真空状態に排気された後、検鏡が行なわれる。
チャックされ、導入棒13aによって観察室1内に1導
入され前述した試料ホルダ10の開口部10aに嵌合さ
れる。その後、交換棒12は移送室2まで引き戻される
。そして、観察室1と移送室2の間に設けられた仕切弁
4が閉鎖されて、観察室1内が図示しない排気装置によ
って超高真空状態に排気された後、検鏡が行なわれる。
なお、上述した実施例は本発明の一実施例に過ぎず、本
発明は種々変形して実施することができる。例えば、上
述した実施例においては、導入棒14によって、移送棒
15の先端に取り付けられた保持具16に探針ソケット
及び試料ホルダを1つずつ装着するようにしたが、あら
かじめ複数の探針ソケット及び試料ホルダが装着された
保持具を導入棒14によって導入して、該保持具を移送
棒に取り付けるようにしても良い。
発明は種々変形して実施することができる。例えば、上
述した実施例においては、導入棒14によって、移送棒
15の先端に取り付けられた保持具16に探針ソケット
及び試料ホルダを1つずつ装着するようにしたが、あら
かじめ複数の探針ソケット及び試料ホルダが装着された
保持具を導入棒14によって導入して、該保持具を移送
棒に取り付けるようにしても良い。
また、上述した実施例においては、移送室2内の位置O
と位置4間で移動可能な移送棒15を設けたが、該移送
棒に代えて、該位置Oと位置Pを含む面内で回転可能な
円盤等を設は該円盤の円周上に複数の探針ソケット及び
試料ホルダを着脱可能に保持するようにしても良い。
と位置4間で移動可能な移送棒15を設けたが、該移送
棒に代えて、該位置Oと位置Pを含む面内で回転可能な
円盤等を設は該円盤の円周上に複数の探針ソケット及び
試料ホルダを着脱可能に保持するようにしても良い。
さらに、移送室2内の該位置Oにおいて、交換棒12の
チャックに保持された探針ソケット先端の探針及び試料
ホルダの試料面を見込む位置にイオンスパッタリング装
置や蒸着装置等を設けることにより、探針や試料表面の
予備処理を行なうことができる。また、前記保持具に電
気接点を設けて通電することにより、探針や試料のベー
キングを行なうことができる。
チャックに保持された探針ソケット先端の探針及び試料
ホルダの試料面を見込む位置にイオンスパッタリング装
置や蒸着装置等を設けることにより、探針や試料表面の
予備処理を行なうことができる。また、前記保持具に電
気接点を設けて通電することにより、探針や試料のベー
キングを行なうことができる。
[発明の効果]
以上の説明から明らかなように、第1の本発明によれば
、着脱可能に装着された探針を駆動する探針駆動ユニッ
トを収容する観察室と、該観察室に第1の仕切弁を介し
て接続された移送室と、該移送室に第2の仕切弁を介し
て接続された予備室と、該予備室及び第2の仕切弁を通
して前記移送室に交換用探針を挿入するための挿入棒と
、該挿入棒によって挿入された複数の交換用探針を装着
可能であって、該装着を行うための第1の位置と前記交
換用探針を前記観察室へ挿入するための第2の位置間を
移送室内において移動可能な移動部材と、前記第2の位
置に位置した移動部材から交換用探針を受けて前記観察
室に第2の仕切弁を通して移送するための交換棒を備え
たことにより、探針及び試料の交換を超高真空を維持し
た状態で迅速に行うことのできる。
、着脱可能に装着された探針を駆動する探針駆動ユニッ
トを収容する観察室と、該観察室に第1の仕切弁を介し
て接続された移送室と、該移送室に第2の仕切弁を介し
て接続された予備室と、該予備室及び第2の仕切弁を通
して前記移送室に交換用探針を挿入するための挿入棒と
、該挿入棒によって挿入された複数の交換用探針を装着
可能であって、該装着を行うための第1の位置と前記交
換用探針を前記観察室へ挿入するための第2の位置間を
移送室内において移動可能な移動部材と、前記第2の位
置に位置した移動部材から交換用探針を受けて前記観察
室に第2の仕切弁を通して移送するための交換棒を備え
たことにより、探針及び試料の交換を超高真空を維持し
た状態で迅速に行うことのできる。
また、第2の本発明によれば、前記移動部材として前記
第1の位置と前記第2の位置間を移送室内において移動
可能な移送棒を設け、該移送棒の軸の周りに放射状に複
数の交換用探針を着脱可能に装着するようにしたことに
より、複数の探針を超高真空内で交換することができる
ので、従来のように、再排気のために美大な時間を要す
ることはない。
第1の位置と前記第2の位置間を移送室内において移動
可能な移送棒を設け、該移送棒の軸の周りに放射状に複
数の交換用探針を着脱可能に装着するようにしたことに
より、複数の探針を超高真空内で交換することができる
ので、従来のように、再排気のために美大な時間を要す
ることはない。
第1図は本発明の一実施例を説明するための装置構成図
、第2図はチャックによって探針ソケットを保持した状
態を示す図、第3図はチャックによって試料ホルダを保
持した状態を示す図である。 1:観察室 2:移送室 3:予備室 4.5:仕切弁 6:トンネル顕微鏡基台 7:探針駆動機構 8:探針ソケット10:試料ステ
ージ 11:試料ホルダ12:交換棒 13a、
13b:チャック14:導入棒 15:移送棒 16:保持具 17a、17b、17c:磁器結合移動装置18ニガイ
ド 19:マグネット20:磁性部材 S
:試料 24a〜24f:雄捩子部
、第2図はチャックによって探針ソケットを保持した状
態を示す図、第3図はチャックによって試料ホルダを保
持した状態を示す図である。 1:観察室 2:移送室 3:予備室 4.5:仕切弁 6:トンネル顕微鏡基台 7:探針駆動機構 8:探針ソケット10:試料ステ
ージ 11:試料ホルダ12:交換棒 13a、
13b:チャック14:導入棒 15:移送棒 16:保持具 17a、17b、17c:磁器結合移動装置18ニガイ
ド 19:マグネット20:磁性部材 S
:試料 24a〜24f:雄捩子部
Claims (2)
- (1)着脱可能に装着された探針を駆動する探針駆動ユ
ニットを収容する観察室と、該観察室に第1の仕切弁を
介して接続された移送室と、該移送室に第2の仕切弁を
介して接続された予備室と、該予備室及び第2の仕切弁
を通して前記移送室に交換用探針を挿入するための挿入
棒と、該挿入棒によって挿入された複数の交換用探針を
装着可能であって、該装着を行うための第1の位置と前
記交換用探針を前記観察室へ挿入するための第2の位置
間を移送室内において移動可能な移動部材と、前記第2
の位置に位置した移動部材から交換用探針を受けて前記
観察室に第2の仕切弁を通して移送するための交換棒を
備えたことを特徴とする走査形トンネル顕微鏡。 - (2)前記移動部材として前記第1の位置と前記第2の
位置間を移送室内において移動可能な移送棒を設け、該
移送棒の軸の周りに放射状に複数の交換用探針を着脱可
能に装着するようにしたことを特徴とする請求項1記載
の走査形トンネル顕微鏡。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17000389A JPH0335102A (ja) | 1989-06-30 | 1989-06-30 | 走査形トンネル顕微鏡 |
GB9014087A GB2235571B (en) | 1989-06-26 | 1990-06-25 | Scanning tunnelling microscope |
US07/543,449 US4992660A (en) | 1989-06-26 | 1990-06-25 | Scanning tunneling microscope |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17000389A JPH0335102A (ja) | 1989-06-30 | 1989-06-30 | 走査形トンネル顕微鏡 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0335102A true JPH0335102A (ja) | 1991-02-15 |
Family
ID=15896789
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP17000389A Pending JPH0335102A (ja) | 1989-06-26 | 1989-06-30 | 走査形トンネル顕微鏡 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0335102A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102909788A (zh) * | 2012-10-26 | 2013-02-06 | 安良平 | 智能搅拌混凝土泵 |
-
1989
- 1989-06-30 JP JP17000389A patent/JPH0335102A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102909788A (zh) * | 2012-10-26 | 2013-02-06 | 安良平 | 智能搅拌混凝土泵 |
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