JPH0332787A

JPH0332787A - 微小粒子の清浄除去装置

Info

Publication number: JPH0332787A
Application number: JP16794289A
Authority: JP
Inventors: Tadashi Sawamori; 忠澤守
Original assignee: Ibiden Co Ltd
Current assignee: Ibiden Co Ltd
Priority date: 1989-06-29
Filing date: 1989-06-29
Publication date: 1991-02-13

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、プリント配線基板等の被洗浄物から。

主として粒径１０μｍ以下の微小粒子を除去するための
清浄除去装置に関する。

〔従来技術〕

例えば、電子部品搭載用のプリント配線基板においては
、ゴミなどの微小粒子が付着していることを極度に嫌っ
ている。特に、湿った状態でプリント配線基板に付着し
ている粒径１０μｍ以下の微小粒子は、除去が困難であ
る。

そのため、従来は、かかる微小粒子を除去するために３
箱型超音波を利用した清浄除去装置を用いて、プリント
配線基板を洗浄している。この場合、プリント配線基板
は、プリント配線基板をチャックする洗浄用ラックに投
入し、洗浄後は該ラックより取り外している。

〔解決しようとする課題〕

しかしながら、前記従来法においては、１回の洗浄に１
分以上の時間を要し、またラック内にプリント配ｆｌ基
板を投入し、また取り出す操作を要する。

また、被洗浄物であるプリント配線基板において　ラッ
クの影となる部分が存在し、洗浄形となり、洗浄不充分
となる。また、高圧水洗を行うと。

チャックによるプリント配線基板の保持力が充分でない
と、洗浄中にプリント配線基板が外れるおそれがあり、
一方保持力が強すぎるとプリント配線基板に傷が付く。

かかる問題は、プリント配線基板に限らず、微小粒子の
付着を嫌う他の被洗浄物においても同様である。

本発明はかかる問題点に鑑み、短時間に、しかも洗浄影
を生ずることなく、また被洗浄物を確実に保持して、微
小粒子を除去することができる。

微小粒子の清浄除去装置を提供しようとするものである
。

〔課題の解決手段〕

本発明は、一対の超音波ホーンと、該超音波ホーンを取
り囲む水洗槽と、該水洗槽内に配設する被洗浄物保持用
の一対のホルダーとよりなると共に、該ホルダーは外方
上方に向かう保持テーパ部を有してなり、上記一対のホ
ルダーの保持テーパ部の間に被洗浄物を載置して流水中
において超音波洗浄するよう構成したことを特徴とする
微小粒子の清浄除去装置にある。

本発明において、一対の超音波ホーンは、第１図に示す
ごとく、水中において互いに対向させて配設したもので
あり、出力１５〜２５ＫＨｚのものを用いることかが好
ましい。この範囲外では１粒径１０μｍ以下の微小粒子
を除去することが困難である。

上記のごとき超音波ホーンとしては、一般に金属溶着に
用いられる超音波ホーン発振機がある。

また、洗浄時間は２〜１０秒程度である。また。

超音波ホーンの先端面間の距離は洗浄力向上のため２０
鴫以下とすることが好ましい。

また、洗浄中に超音波ホーンの間に供給する水は、ｆＬ
水を用いる。これは、超音波ホーンによって被洗浄物か
ら離脱した微小粒子を外部へ流出させるためである。こ
の流水量は、上記水洗槽の大きさによっても若干異なる
が、１分間当り水洗槽容量の２〜４倍量の水を供給する
ことか好ましい。

また、ホルダーは、被洗浄物を前記洗浄影が生じないよ
う保持するための、前記保持テーパ部を有する。該保持
テーパ部は第９図に示すごとく直線状であっても、第１
０図のごとく曲線状であっても良い。該保持テーパ部は
、被洗浄物を主として線状で保持しておくための保持部
分を形成する。そして、この一対のホルダーの保持テー
パ部の間に被洗浄物を載置し、洗浄に供する。

〔作用〕

本発明の清浄除去装置においては、まず被洗浄物を一対
のホルダーの保持テーパ部に載置する。

そして、これらを水洗槽に入っている一対の超音波ホー
ンの間に配置する。次いで、超音波ホーンを作動させ、
その超音波を被洗浄物の表面に当てる。これにより、被
洗浄物表面上の微小粒子は被洗浄物より離脱し水中に混
入する。しかして、該水は流れているので、上記の離脱
した微小粒子は該流水によって外部へ除去される。

しかして９本発明においては、上記のごとき洗浄を行な
うので、洗浄は数秒程度と非常に短時間である。

また、被洗浄物は、ホルダーの保持テーパ部上に線状に
接触しており、従来のごとくチャックによる挟持をして
いないので、洗浄影を生じない。

特に、被洗浄物は上記のごとく保持テーパ部に載置した
状態にあるため、超音波キャビテーションの衝撃によっ
て、被洗浄物が保持テーパ部より若干浮き上がることも
あり、全表面が完全に超音波洗浄にさらされる。また、
被洗浄物は前記のごとく上方外方に向かう保持テーパ部
の間で保持されているため、洗浄中に外れることがない
。

〔効果〕

したがって２本発明によれば、短時間に、しかも洗浄影
を生ずることなく、また、被洗浄物に損傷を与えること
なり、ｖ＆小粒子を洗浄除去することができる。微小粒
子の清浄除去装置を提供することができる。

〔実施例〕

本例にかかる微小粒子の清浄除去装置につき。

第１図〜第１０図を用いて説明する。本例は、電子部品
搭載用のプリント配線基板を被洗浄物とし。

該プリント配線基板に付着している微小粒子、特に粒径
１０μｍ以下の微小粒子を除去しようとする装置である
。

本例の清浄除去装置は、第１図に示すごとく。

一対の超音波ホーン１１．１２を有する超音波発生８！
１と、該超音波ホーン１１．１２を取り囲む水洗槽２と
、該水洗槽２内に配設する被洗浄物（プリント配線基板
４）保持用の一対のホルダー３とよりなる。

上記超音波発生機１は、第２図に示すごとく上部の超音
波ホーン１１に超音波を発生させる超音波発生部１１１
と、下部の超音波ホーンＩ２に超音波ホーンを発生させ
る超音波発生部１２１とを有する。また、水洗槽２は、
第１図及び第３図に示すごとく、内槽２１と、咳内槽２
１から浴流する水を受ける外槽２２とからなる。また、
内槽２１には２ケ所に、給水口２４．２５を設け、外槽
２２には排水口２６を設ける。排水口２６と給水口２４
．２５とは、水循環用の水ポンプ、フィルター（図示略
）を介して連結する。

上記ホルダー３は、第４図〜第６図及び第９図に示すご
とく、フッ素樹脂製の保持部３１と金属製のフレーム３
２とをボルト３３により連結してなる。該フレーム３２
は、該ホルダー３を、超音波ホーン１１．１２の間に配
設するためのアーム３０（第１図）に接続する０両者は
、フレーム３２のポルト孔３２１．ボルト（図示略）を
介して接続する。上記ホルダー３は、同しものを一対。

上記アーム３０に取付ける。

上記保持部３１は、外方上方に向かう直線状の保持テー
パ部３５．３５を有する。また、該保持テーパ部３５．
３５に対向する上面にも、保持テーパ部３６，３６を有
する（第５図、第７図〜第９図参照）。

なお、保持部３１の保持テーパ部は、第１０図に示すご
とく１曲面状の保持テーパ部３７，３８とすることもで
きる。

次に５作用効果につき示す。

まず、第７図、第８図に示すごとく、ホルダー３．３の
各保持テーパ部３５，３５の間に、被洗浄物としてのプ
リント配線基板４をｆ２置する。

しかして、これらは、前記第１図に示すごとく。

一対の超音波ホーン１１．１２の間に位置させる。

また、水洗槽２の内槽２１内に給水孔２４．　２５より
水を供給する。内槽２１内の水面は、上部の超音波ホー
ン１１の先端部の少し上まである。また、供給された水
は、内槽２１より溢れ、外槽２２に入る。そして、該水
は排水口２６．水ポンプ。

フィルター（図示略）を経て浄化され、再び給水口２４
．２５まり内槽２１内へ循環される。

上記状態において、一対の超音波ホーン１１゜１２に超
音波を印加する。これにより、ホルダー３．３に保持さ
れたプリント配線基板４と水との間に超音波キャビテー
ションが発生し、プリント配線基板４上の微小粒子が除
去される。除去された微小粒子は、流水中に混入し、前
記のごとく外槽２２．排水口２６を経て、フィルターに
濾取される。

また、洗浄を終了したプリント配線基板４はホルダー３
．３より外し１次の被洗浄物であるプリント配線基板４
を載置する。

しかして１本例においては、超音波は１８Ｋｌ（ｚ（１
２００Ｗ）を用いた。また、超音波の印加は約１．５秒
間であった。また、超音波ホーン１１゜１２の間隔は１
０ｍｍ、内槽は３１．内槽への給水量は９Ｅ／分であっ
た。また、プリント配線基板の厚みは約１．　６ｍｍで
あった。また　上記プリント配線基板上には、プリント
配線基板切断時の切断切粉（粒径１０μｍ以下）が付着
していたが上記洗浄後は、かかる微小粒子は全く付着し
ていなかった。

しかして、上記超音波による洗浄の際には、プリント配
線基板４は一対のホルダー３の各保持テーパ部３５，３
５によって、その四個所が保持されている。この保持状
態は、プリント配線基板４の周縁において線状接触であ
る。そのため、前記従来のごとく、プリント配線基板４
に洗浄法を生じない。

更に、プリント配線基板４は、保持テーパ部３５．３５
に載置されているのみであるから、前記超音波キャビテ
ーションによって５時々若干浮き上がる。そのため、プ
リント配線基板４の前記周縁部も充分に洗浄に供される
。それ故、プリント配線基板４の全表面の洗浄を行なう
ことができる。

また２本例においては、ａ音波ホーンの印加は僅か数秒
間であり、極めて短時間に洗浄することかできる。

上記のごとく２本例の清浄除去装置によれば。

短時間に、しかも洗浄形を生ずることなく、また被洗浄
物に損傷を与えることなく、プリント配線基板上の微小
粒子を効率良く除去することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図〜第１０図は実施例の清浄除去装置を示し、第１
図はその要部断面図、第２図は全体図。第３図は水洗槽の平面図、第４図、第５図及び第６図は
ホルダーの側面図、正面図及び平面図、第７図及び第８
図はプリント配線基板を保持した状態の正面断面図及び
側面断面図、第９図及び第１０図はホルダーの斜視図で
ある。１゜１１゜２゜３゜３０゜３５゜４゜３．超音波発生機。１２、、’、超音波ホーン。０．水洗槽。６．ホルダー３．アーム。３５、、、保持テーパ部。０．被洗浄物としてのプリント配線基板出代願人イ　　ビ埋入

Claims

【特許請求の範囲】　一対の超音波ホーンと，該超音波ホーンを取り囲む水
洗槽と，該水洗槽内に配設する被洗浄物保持用の一対の
ホルダーとよりなると共に，該ホルダーは外方上方に向
かう保持テーパ部を有してなり，上記一対のホルダーの保持テーパ部の間に被洗浄物を載
置して流水中において超音波洗浄するよう構成したこと
を特徴とする微小粒子の清浄除去装置。